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包含雙致動(dòng)軸機(jī)電系統(tǒng)光調(diào)制器的顯示器設(shè)備的制造方法_5

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113] 每一數(shù)據(jù)互連件908a到908c包含對(duì)應(yīng)晶體管910a到910c及電容器912a到 912c。沿著多狀態(tài)快門(mén)組合件700的一行的所有晶體管910a到910c的柵極皆耦合到對(duì)應(yīng) 于所述行的掃描線互連件906。對(duì)于所述行中的給定快門(mén)組合件700,晶體管910a的漏極 耦合到快門(mén)敞開(kāi)數(shù)據(jù)互連件908a,晶體管910b的漏極耦合到快門(mén)關(guān)閉數(shù)據(jù)互連件908b,且 晶體管910c的漏極耦合到快門(mén)部分敞開(kāi)數(shù)據(jù)互連件908c。晶體管910a的源極并聯(lián)耦合 到電容器912a及快門(mén)敞開(kāi)致動(dòng)器708的驅(qū)動(dòng)橫梁。晶體管910b的源極并聯(lián)耦合到電容器 912b及快門(mén)關(guān)閉致動(dòng)器710的驅(qū)動(dòng)橫梁。晶體管910c的源極并聯(lián)耦合到電容器912c及側(cè) 電極716。快門(mén)敞開(kāi)致動(dòng)器708及快門(mén)關(guān)閉致動(dòng)器710的負(fù)載電極712耦合到接地。
[0114] 在操作中,控制矩陣900 -次一行地同時(shí)尋址及致動(dòng)快門(mén)組合件700的每一行。特 定來(lái)說(shuō),在行尋址及致動(dòng)循環(huán)的開(kāi)始處,將寫(xiě)入啟用電壓VWE施加到對(duì)應(yīng)掃描線互連件906, 從而接通所述行中的每一快門(mén)組合件的晶體管910a到910c。然后,取決于加載到控制矩陣 中的圖像數(shù)據(jù)而將致動(dòng)電壓選擇性地施加到用于多狀態(tài)快門(mén)組合件700的每一列的數(shù)據(jù) 互連件908a到908c,借此致動(dòng)接收致動(dòng)電壓的致動(dòng)器。對(duì)于快門(mén)敞開(kāi)致動(dòng)器708及快門(mén)關(guān) 閉致動(dòng)器710,致動(dòng)電壓(% ()或¥1)。)可取決于快門(mén)組合件700的特定配置而介于約15V到 40V的范圍內(nèi)。除其它因素外,取決于側(cè)電極716與快門(mén)702之間的分離距離,施加到快門(mén) 部分敞開(kāi)數(shù)據(jù)互連件908c以致動(dòng)側(cè)致動(dòng)器的致動(dòng)電壓(VDP_Q)可介于約20V(針對(duì)小分離距 離)到約60V(針對(duì)較大分離距離)的范圍內(nèi)。
[0115] 在快門(mén)702進(jìn)入其所期望狀態(tài)之后,控制矩陣900從掃描線互連件906移除電壓 并針對(duì)多狀態(tài)快門(mén)組合件700的下一行再次開(kāi)始所述循環(huán)。
[0116] 在某些其它實(shí)施方案中,控制多狀態(tài)快門(mén)組合件(例如圖7A到7D及圖8A到8C 中所繪示的多狀態(tài)快門(mén)組合件700及800)的控制矩陣針對(duì)快門(mén)組合件的列中的每一致動(dòng) 器包含單獨(dú)數(shù)據(jù)互連件及致動(dòng)互連件。在某些其它實(shí)施方案中,控制矩陣可針對(duì)列中的每 一組致動(dòng)器包含單獨(dú)數(shù)據(jù)互連件,但其可在所述列中的兩組或兩組以上致動(dòng)器之間共享致 動(dòng)互連件。舉例來(lái)說(shuō),此控制矩陣可針對(duì)快門(mén)組合件的每一列包含快門(mén)敞開(kāi)數(shù)據(jù)互連件、快 門(mén)關(guān)閉數(shù)據(jù)互連件及快門(mén)部分敞開(kāi)數(shù)據(jù)互連件。每一列中的快門(mén)敞開(kāi)致動(dòng)器及快門(mén)關(guān)閉致 動(dòng)器可耦合到共享致動(dòng)互連件,而側(cè)電極可耦合到單獨(dú)致動(dòng)互連件。
[0117] 在某些其它實(shí)施方案中,多狀態(tài)快門(mén)組合件的控制矩陣可并入有一或多個(gè)全局共 同互連件,例如全局致動(dòng)或全局預(yù)充電互連件。全局共同互連件耦合到控制矩陣的多個(gè)行 及多個(gè)列中的快門(mén)組合件。
[0118] 圖10A到10C展示另一實(shí)例多狀態(tài)快門(mén)組合件1000的平面圖。圖10A展示處于 完全敞開(kāi)狀態(tài)中的快門(mén)組合件1000。圖10B展示處于部分敞開(kāi)狀態(tài)中的快門(mén)組合件1000。 圖10C展示處于關(guān)閉狀態(tài)中的快門(mén)組合件1000。
[0119] 快門(mén)組合件1000類(lèi)似于圖7A到7D中所展示的快門(mén)組合件700,且其之間的共同 組件共享共同元件符號(hào)。與圖7A到7D中所展示的快門(mén)組合件700相比,快門(mén)組合件1000 包含僅用于使快門(mén)702沿著第一軸706移動(dòng)的一個(gè)致動(dòng)器(快門(mén)敞開(kāi)致動(dòng)器708)。替代 地,圖7A到7D中所展示的快門(mén)關(guān)閉致動(dòng)器710由折疊回位彈簧1014替換。還與側(cè)電極 716相對(duì)地添加第二折疊回位彈簧1014b。
[0120] 折疊回位彈簧1014a用于將與由快門(mén)敞開(kāi)致動(dòng)器702所施加的力相反的恢復(fù)力施 加到快門(mén)702,同時(shí)仍允許快門(mén)沿著第二軸715移動(dòng)。因此,如果在去啟動(dòng)快門(mén)敞開(kāi)致動(dòng)器 708時(shí),快門(mén)702處于敞開(kāi)位置中,那么折疊回位彈簧1014a可將快門(mén)可靠地往回移動(dòng)到關(guān) 閉位置中而不必供能量給相對(duì)致動(dòng)器。
[0121] 第二折疊回位彈簧1014b用于將與由側(cè)電極716施加的力相反的恢復(fù)力施加到快 門(mén)702,同時(shí)仍允許快門(mén)沿著第一軸706移動(dòng)。因此,如果在去啟動(dòng)側(cè)電極716時(shí),快門(mén)處于 部分敞開(kāi)狀態(tài)中,那么折疊回位彈簧1014a可將快門(mén)702可靠地往回移動(dòng)到完全關(guān)閉位置 中。
[0122] 圖11A到11D展示另一實(shí)例多狀態(tài)快門(mén)組合件1100的平面圖。圖11A到11D中 所展示的快門(mén)組合件1100類(lèi)似于圖7中所展示的多狀態(tài)快門(mén)組合件700,除了快門(mén)組合件 1100經(jīng)配置以在四種相異狀態(tài)(而非僅三種)之間移動(dòng)。特定來(lái)說(shuō),圖11A展示處于敞開(kāi) 位置中的快門(mén)組合件1100。圖11B展示處于關(guān)閉位置中的快門(mén)組合件1100。圖11C展示 處于約25%敞開(kāi)位置中的快門(mén)組合件1100。圖11D展示處于約50%敞開(kāi)位置中的快門(mén)組 合件。
[0123] 作為包含第二側(cè)電極1118的結(jié)果,快門(mén)組合件1100可移動(dòng)到第四狀態(tài)中。第二 側(cè)電極1118定位于快門(mén)702的與側(cè)電極716相對(duì)的側(cè)上。在某些實(shí)施方案中,第二側(cè)電極 1118與快門(mén)702之間的距離不同于分離快門(mén)與側(cè)電極716的距離。
[0124] 舉例來(lái)說(shuō),在某些實(shí)施方案中,側(cè)電極716在一距離處間隔開(kāi)以使得到側(cè)電極716 的電壓的施加(在快門(mén)原本處于關(guān)閉位置中時(shí))將快門(mén)702移動(dòng)到其中露出光圈704的 約50%的位置中。在某些此類(lèi)實(shí)施方案中,第二側(cè)電極1118與快門(mén)702之間的分離距離 為所述距離的一半。因此,當(dāng)致動(dòng)時(shí),第二側(cè)電極1118將快門(mén)拉動(dòng)到其中露出光圈704的 約25%的位置中。因此,在任何給定時(shí)間處,快門(mén)組合件1100可處于完全關(guān)閉狀態(tài)、四分之 一敞開(kāi)狀態(tài)、半敞開(kāi)狀態(tài)或完全敞開(kāi)狀態(tài)中。在某些其它實(shí)施方案中,側(cè)電極716及第二側(cè) 電極1118分別定位于將快門(mén)移動(dòng)到約三分之一敞開(kāi)狀態(tài)及約三分之二敞開(kāi)狀態(tài)中的距離 處。此些快門(mén)組合件1100可在完全關(guān)閉狀態(tài)、三分之一敞開(kāi)狀態(tài)、三分之二敞開(kāi)狀態(tài)及完 全敞開(kāi)狀態(tài)之間移動(dòng)。在某些其它實(shí)施方案中,側(cè)電極716及第二側(cè)電極1118定位于距快 門(mén)的其它距離處以允許多種不同對(duì)應(yīng)透射率水平。
[0125] 如圖7八到7(:、圖84到8(:、圖1(^到10(:及圖1認(rèn)到11(:中所展示,側(cè)電極716采 取具有垂直于在上方形成其的襯底的主要面的實(shí)質(zhì)上筆直平面橫梁的形式。在某些其它實(shí) 施方案中,側(cè)電極716包含一或多個(gè)特征以減小快門(mén)702與側(cè)電極716之間的靜摩擦的可 能性。舉例來(lái)說(shuō),在某些實(shí)施方案中,側(cè)電極可具有稍微彎曲或具有淺蛇形形狀以限制可能 與快門(mén)702的側(cè)壁720接觸的快門(mén)的主要面的區(qū)域。在某些其它實(shí)施方案中,側(cè)電極716可 包含從側(cè)電極716的主要面朝向快門(mén)702突出的一或多個(gè)窄抗靜摩擦脊或凸塊,所述一或 多個(gè)窄抗靜摩擦脊或凸塊具有垂直于襯底的長(zhǎng)度。在此些實(shí)施方案中,快門(mén)的側(cè)壁720將 僅接觸脊或凸塊的末端,而非側(cè)電極716的主要面。
[0126] 圖12A到12D展示另一實(shí)例多狀態(tài)快門(mén)組合件1200的平面圖。快門(mén)組合件1200 可移動(dòng)到四種相異狀態(tài)中,即敞開(kāi)狀態(tài)(圖12A中所展示)、關(guān)閉狀態(tài)(圖12B中所展示) 及兩種不同部分敞開(kāi)狀態(tài)(圖12C及12D中分別展不)。
[0127] 快門(mén)組合件1200類(lèi)似于圖11A到11C中所展示的快門(mén)組合件1100。然而,快門(mén)組 合件1200包含用于使快門(mén)沿著第二軸715移動(dòng)的不同致動(dòng)機(jī)構(gòu)。更特定來(lái)說(shuō),快門(mén)組合件 1200包含側(cè)致動(dòng)器1230,所述側(cè)致動(dòng)器在其架構(gòu)方面類(lèi)似于使快門(mén)沿著第一軸706移動(dòng)的 快門(mén)敞開(kāi)致動(dòng)器708及快門(mén)關(guān)閉致動(dòng)器710。兩個(gè)側(cè)致動(dòng)器1230包含鄰近一對(duì)相對(duì)柔性驅(qū) 動(dòng)橫梁1234定位的一對(duì)柔性負(fù)載橫梁1232,所述柔性驅(qū)動(dòng)橫梁及柔性負(fù)載橫梁一起形成 靜電致動(dòng)器。側(cè)致動(dòng)器1230的負(fù)載橫梁1232經(jīng)由折疊橫梁1214耦合到快門(mén)702。形成快 門(mén)敞開(kāi)致動(dòng)器708、快門(mén)關(guān)閉致動(dòng)器710及兩個(gè)側(cè)致動(dòng)器1230的雙柔性橫梁靜電致動(dòng)器往 往需要比圖7A到7D、圖8A到8C、圖10A到10C及圖11A到11C中分別展示的快門(mén)組合件 700、800、1000及1100中所使用的側(cè)電極低的電壓來(lái)致動(dòng)。然而,其占據(jù)額外空間,從而限 制顯示器的光圈比及/或分辨率。
[0128] 圖13及14展示包含多個(gè)顯示元件的實(shí)例顯示裝置40的系統(tǒng)框圖。顯示裝置40 可為(例如)智能電話、蜂窩式或移動(dòng)電話。然而,顯示裝置40的相同組件或其稍微變化 形式也說(shuō)明各種類(lèi)型的顯示裝置,例如電視、計(jì)算機(jī)、平板計(jì)算機(jī)、電子閱讀器、手持式裝置 及便攜式媒體裝置。
[0129] 顯不裝置40包含外殼41、顯不器30、天線43、揚(yáng)聲器45、輸入裝置48及麥克風(fēng) 46。外殼41可由多種制造過(guò)程中的任一者形成,所述制造過(guò)程包含射出模制及真空成形。 另外,外殼41可由多種材料中的任何材料制成,所述材料包含但不限于:塑料、金屬、玻璃、 橡膠及陶瓷或其組合。外殼41可包含可移動(dòng)部分(未展示),所述可移動(dòng)部分可與具有不 同色彩或含有不同標(biāo)識(shí)、圖片或符號(hào)的其它可移動(dòng)部分互換。
[0130] 顯示器30可為多種顯示器中的任一者,包含雙穩(wěn)態(tài)顯示器或模擬顯示器,如本文 中所闡述。顯示器30還可經(jīng)配置以包含平板顯示器(例如,等離子體、電致發(fā)光(EL)顯示 器、0LED、超扭轉(zhuǎn)向列(STN)顯示器、IXD或薄膜晶體管(TFT)IXD)或非平板顯示器(例如, 陰極射線管(CRT)或其它電子管裝置)。另外,顯示器30可包含基于機(jī)械光調(diào)制器的顯示 器,如本文中所闡述。
[0131] 圖13中示意性地說(shuō)明顯示裝置40的組件。顯示裝置40包含外殼41且可包含至 少部分地包封于其中的額外組件。舉例來(lái)說(shuō),顯示裝置40包含網(wǎng)絡(luò)接口 27,所述網(wǎng)絡(luò)接口 包含可耦合到收發(fā)器47的天線43。網(wǎng)絡(luò)接口 27可為顯示裝置40上可顯示的圖像數(shù)據(jù)的 來(lái)源。因此,網(wǎng)絡(luò)接口 27為圖像源模塊的一個(gè)實(shí)例,但處理器21及輸入裝置48還可充當(dāng) 圖像源模塊。收發(fā)器47連接到處理器21,所述處理器連接到調(diào)節(jié)硬件52。調(diào)節(jié)硬件52可 經(jīng)配置以調(diào)節(jié)信號(hào)(例如濾波或以其它方式操縱信號(hào))。調(diào)節(jié)硬件52可連接到揚(yáng)聲器45 及麥克風(fēng)46。處理器21還可連接到輸入裝置48及驅(qū)動(dòng)器控制器29。驅(qū)動(dòng)器控制器29可 耦合到幀緩沖器28及陣列驅(qū)動(dòng)器22,所述陣列驅(qū)動(dòng)器又可耦合到顯示陣列30。顯示裝置 40中的一或多個(gè)元件(包含圖13中未特定繪示的元件)可經(jīng)配置以充當(dāng)存儲(chǔ)器裝置且經(jīng) 配置以與處理器21通信。在某些實(shí)施方案中,電力供應(yīng)器50可將電力提供到特定顯示裝 置40設(shè)計(jì)中的實(shí)質(zhì)上所有組件。
[0132] 網(wǎng)絡(luò)接口 27包含天線43及收發(fā)器47,以使得顯示裝置40可經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)與一或多 個(gè)裝置通信。網(wǎng)絡(luò)接口 27還可具有一些處理能力以減輕(例如)處理器21的數(shù)據(jù)處理要 求。天線43可發(fā)射及接收信號(hào)。在一些實(shí)施方案中,天線43發(fā)射并接收根據(jù)IEEE16. 11 標(biāo)準(zhǔn)(包含IEEE16.ll(a)、(b)或(g))或IEEE802. 11 標(biāo)準(zhǔn)(包含IEEE802.lla、b、g、n 及其進(jìn)一步實(shí)施方案)的RF信號(hào)。在某些其它實(shí)施方案中,天線43根據(jù)Bluetooth?.標(biāo)準(zhǔn) 發(fā)射及接收RF信號(hào)。在蜂窩式電話的情形中,天線43經(jīng)設(shè)計(jì)以接收碼分多址(CDMA)、頻分 多址(FDMA)、時(shí)分多址(TDMA)、全球移動(dòng)通信系統(tǒng)(GSM)、GSM/通用包無(wú)線電服務(wù)(GPRS)、 增強(qiáng)型數(shù)據(jù)GSM環(huán)境(EDGE)、地面中繼無(wú)線電(TETRA)、寬帶-CDMA(W-CDMA)、演進(jìn)數(shù)據(jù)最 優(yōu)化(EV-DO)、lxEV-D0、EV-D0修訂版A、EV-D0修訂版B、高速包接入(HSPA)、高速下行鏈 路包接入(HSDPA)、高速上行鏈路包接入(HSUPA)、經(jīng)演進(jìn)的高速包接入(HSPA+)、長(zhǎng)期演進(jìn) (LTE)、AMPS或用于在無(wú)線網(wǎng)絡(luò)(例如利用3G、4G或5G技術(shù)的系統(tǒng))內(nèi)通信的其它已知信 號(hào)。收發(fā)器47可預(yù)處理從天線43接收的信號(hào),以使得所述信號(hào)可由處理器21接收并進(jìn)一 步操縱。收發(fā)器47還可處理從處理器21接收的信號(hào),以使得所述信號(hào)可經(jīng)由天線43從顯 示裝置40發(fā)射。
[0133] 在一些實(shí)施方案中,可由接收器來(lái)替換收發(fā)器47。另外,在某些實(shí)施方案中,可由 圖像源來(lái)替換網(wǎng)絡(luò)接口 27,所述圖像源可存儲(chǔ)或產(chǎn)生待發(fā)送到處理器21的圖像數(shù)據(jù)。處理 器21可控制顯示裝置40的總體操作。處理器21從網(wǎng)絡(luò)接口 27或圖像源接收數(shù)據(jù)(例如 經(jīng)壓縮圖像數(shù)據(jù)),且將所述數(shù)據(jù)處理成原始圖像數(shù)據(jù)或處理成易于被處理成原始圖像數(shù) 據(jù)的格式。處理器21可將經(jīng)處理數(shù)據(jù)發(fā)送到驅(qū)動(dòng)器控制器29或發(fā)送到幀緩沖器28以供 存儲(chǔ)。原始數(shù)據(jù)通常是指識(shí)別圖像內(nèi)的每一位置處的圖像特性的信息。舉例來(lái)說(shuō),此些圖 像特性可包含色彩、飽和度及灰度階。
[0134] 處理器21可包含微控制器、CPU或用以控制顯示裝置40的操作的邏輯單元。調(diào) 節(jié)硬件52可包含用于將信號(hào)發(fā)射到揚(yáng)聲器45及用于從麥克風(fēng)46接收信號(hào)的放大器及濾 波器。調(diào)節(jié)硬件52可為顯示裝置40內(nèi)的離散組件,或可并入于處理器21或其它組件內(nèi)。
[0135] 驅(qū)動(dòng)器控制器29可直接從處理器21或從幀緩沖器28得到由處理器21產(chǎn)生的原 始圖像數(shù)據(jù)且可適當(dāng)?shù)刂匦赂袷交鲈紙D像數(shù)據(jù)以供高速發(fā)射到陣列驅(qū)動(dòng)器22。在某 些實(shí)施方案中,驅(qū)動(dòng)器控制器29可將所述原始圖像數(shù)據(jù)重
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