醋、 甲基丙締酸異冰片基氧己醋、丙締酸異冰片醋、甲基丙締酸異冰片醋、丙締酸-2-己基己 醋、甲基丙締酸-2-己基己醋、己基二甘醇丙締酸醋、己基二甘醇甲基丙締酸醋、叔辛基丙 締酷胺、叔辛基甲基丙締酷胺、二丙酬丙締酷胺、二丙酬甲基丙締酷胺、丙締酸二甲氨基醋、 甲基丙締酸二甲氨基醋、丙締酸十二烷基醋、甲基丙締酸十二烷基醋、丙締酸二環(huán)戊締氧 己醋、甲基丙締酸二環(huán)戊締氧己醋、丙締酸二環(huán)戊締醋、甲基丙締酸二環(huán)戊締醋、N，N-二 甲基丙締酷胺、N，N-二甲基甲基丙締酷胺、丙締酸四氯苯醋、甲基丙締酸四氯苯醋、丙締 酸-2-四氯苯氧基己醋、甲基丙締酸-2-四氯苯氧基己醋、丙締酸四氨慷醋、甲基丙締酸 四氨慷醋、丙締酸四漠苯醋、甲基丙締酸四漠苯醋、丙締酸-2-四漠苯氧基己醋、甲基丙締 酸-2-四漠苯氧基己醋、丙締酸-2-=氯苯氧基己醋、甲基丙締酸-2-=氯苯氧基己醋、 丙締酸S漠苯醋、甲基丙締酸S漠苯醋、丙締酸-2- S漠苯氧基己醋、甲基丙締酸-2- S 漠苯氧基己醋、丙締酸-2-哲己醋、甲基丙締酸-2-哲己醋、丙締酸-2-哲丙醋、甲基丙締 酸-2-哲丙醋、己締基己內(nèi)酷胺、N-己締基皮酪燒酬、丙締酸苯氧基己醋、甲基丙締酸苯氧 基己醋、丙締酸五氯苯醋、甲基丙締酸五氯苯醋、丙締酸五漠苯醋、甲基丙締酸五漠苯醋、聚 單丙締酸己二醇醋、聚單甲基丙締酸己二醇醋、聚單丙締酸丙二醇醋、聚單甲基丙締酸丙二 醇醋、丙締酸冰片醋或甲基丙締酸冰片醋等。
[0117] 前述具有至少一個(gè)己締性不飽和基的不飽和化合物可單獨(dú)一種或混合多種使用。
[0118] 該具有2個(gè)或2個(gè)W上己締性不飽和基的不飽和化合物包含但不限于己二醇二 丙締酸醋、己二醇二甲基丙締酸醋、二丙締酸二環(huán)戊締醋、二甲基丙締酸二環(huán)戊締醋、立甘 醇二丙締酸醋、四甘醇二丙締酸醋、四甘醇二甲基丙締酸醋、S (2-哲己基）異氯酸醋二丙 締酸醋、S (2-哲己基）異氯酸醋二甲基丙締酸醋、S (2-哲己基）異氯酸醋S丙締酸醋、 =(2-哲己基）異氯酸醋=甲基丙締酸醋、己內(nèi)醋改質(zhì)的=(2-哲己基）異氯酸醋=丙締 酸醋、己內(nèi)醋改質(zhì)的S (2-哲己基）異氯酸醋S甲基丙締酸醋、S丙締酸S哲甲基丙醋、S 甲基丙締酸S哲甲基丙醋、環(huán)氧己燒（W下簡(jiǎn)稱(chēng)E0)改質(zhì)的S丙締酸S哲甲基丙醋、E0改 質(zhì)的S甲基丙締酸S哲甲基丙醋、環(huán)氧丙烷（W下簡(jiǎn)稱(chēng)P0)改質(zhì)的S丙締酸S哲甲基丙醋、 P0改質(zhì)的S甲基丙締酸S哲甲基丙醋、S甘醇二丙締酸醋、S甘醇二甲基丙締酸醋、新戊二 醇二丙締酸醋、新戊二醇二甲基丙締酸醋、1，4-了二醇二丙締酸醋、1，4-了二醇二甲基丙 締酸醋、1,6-己二醇二丙締酸醋、1,6-己二醇二甲基丙締酸醋、季戊四醇S丙締酸醋、季戊 四醇S甲基丙締酸醋、季戊四醇四丙締酸醋、季戊四醇四甲基丙締酸醋、聚醋二丙締酸醋、 聚醋二甲基丙締酸醋、聚己二醇二丙締酸醋、聚己二醇二甲基丙締酸醋、二季戊四醇六丙締 酸醋（dipentaer}ftbitol hexaac巧late ;DPHA)、二季戊四醇六甲基丙締酸醋、二季戊四醇 五丙締酸醋、二季戊四醇五甲基丙締酸醋、二季戊四醇四丙締酸醋、二季戊四醇四甲基丙締 酸醋、己內(nèi)醋改質(zhì)的二季戊四醇六丙締酸醋、己內(nèi)醋改質(zhì)的二季戊四醇六甲基丙締酸醋、己 內(nèi)醋改質(zhì)的二季戊四醇五丙締酸醋、己內(nèi)醋改質(zhì)的二季戊四醇五甲基丙締酸醋、四丙締酸 二S哲甲基丙醋、四甲基丙締酸二S哲甲基丙醋、E0改質(zhì)的雙酪A二丙締酸醋、E0改質(zhì)的雙 酪A二甲基丙締酸醋、P0改質(zhì)的雙酪A二丙締酸醋、P0改質(zhì)的雙酪A二甲基丙締酸醋、E0 改質(zhì)的氨化雙酪A二丙締酸醋、E0改質(zhì)的氨化雙酪A二甲基丙締酸醋、P0改質(zhì)的氨化雙酪 A二丙締酸醋、P0改質(zhì)的氨化雙酪A二甲基丙締酸醋、P0改質(zhì)的甘油S丙酸醋、E0改質(zhì)的 雙酪F二丙締酸醋、E0改質(zhì)的雙酪F二甲基丙締酸醋、酪醒聚縮水甘油離丙締酸醋、酪醒聚 縮水甘油離甲基丙締酸醋，或者日本東亞合成株式會(huì)社制造，型號(hào)為T(mén)0-1382的商品等。
[0119] 該具有己締性不飽和基的化合物（C)較佳是選自于S丙締酸S哲甲基丙醋、E0改 質(zhì)的S丙締酸S哲甲基丙醋、P0改質(zhì)的S丙締酸S哲甲基丙醋、季戊四醇S丙締酸醋、季 戊四醇四丙締酸醋、二季戊四醇六丙締酸醋、二季戊四醇五丙締酸醋、二季戊四醇四丙締酸 醋、己內(nèi)醋改質(zhì)的二季戊四醇六丙締酸醋、四丙締酸二S哲甲基丙醋、P0改質(zhì)的甘油S丙酸 醋或上述材料的任意組合。
[0120] 基于前述堿可溶性樹(shù)脂炬）的總使用量為100重量份，該具有己締性不飽和基的 化合物（C)的使用量為60重量份至600重量份，較佳為80重量份至500重量份，更佳為 100重量份至400重量份。
[0121] 光起始劑值）
[0122] 本發(fā)明的光起始劑做可為0-酷基朽（oxime)化合物、S嗦（triazine)化 合物、苯己燒酬（aceto地enone)化合物、二咪挫化iimidazole)化合物或二苯甲酬 化enzo地enone)化合物等。該光起始劑值）可單獨(dú)一種或混合多種使用。
[0123] 該0-酷基目虧化合物可包含但不限于1-[4-(苯基硫代）苯基]-庚燒-1，2-二 酬-2-(0-苯酷基朽）、1-[4-(苯基硫代）苯基]-辛燒-1，2-二酬-2-(0-苯酷基目虧）、 1-[4-(苯酷基）苯基]-庚燒-1，2-二酬-2-(0-苯酷基朽）、1-巧-己基-6-(2-甲基苯酷 基）-9H-巧挫-3-基]-己燒酬-1- (0-己酷基目虧）、1- [9-己基-6- (3-甲基苯酷基）-9H-巧 挫-3-基]-己燒酬1-(0-己酷基目虧）、1-巧-己基-6-苯酷基-9H-巧挫-3-基]-己燒 酬1-(0-己酷基目虧）、己燒酬-1-[9-己基-6-(2-甲基-4-四氨快喃基苯酷基）-9H-巧 挫-3-基]-1- (0-己酷基目虧）、己燒酬-1- [9-己基-6- (2-甲基-5-四氨化喃基苯酷 基）-9H-巧挫-3-基]-1-(0-己酷基朽）、己燒酬-1-[9-己基-6-(2-甲基-4-四氨快喃 基甲氧基苯酷基）-9H-巧挫-3-基]-1-(0-己酷基朽）、己燒酬-1-[9-己基-6-(2-甲 基-5-四氨快喃基甲氧基苯酷基）-9H-巧挫-3-基]-1-(0-己酷基目虧）、己燒酬-1-[9-己 基-6- {2-甲基-4- (2, 2-二甲基-1，3-二氧雜戊環(huán)基）苯酷基} -9H-巧挫-3-基]-1- (0-己 酷基朽），或己燒酬-1-[9-己基-6-{2-甲基-4-(2, 2-二甲基-1，3-二氧雜戊環(huán)基）甲氧 基苯酷基}-9H-巧挫-3-基]-1-(0-己酷基目虧）等。前述的0-酷基目虧化合物可單獨(dú)一種 或混合多種使用。
[0124] 該S嗦化合物可包含但不限于2,4-雙氯甲基）-6-(對(duì)-甲氧基）苯己締 基-S- S 嗦[2, 4-Bis(trichloromethyl)-6-(p-methoxy)styryl-s-triazine]、2,4-雙 (S氯甲基對(duì)-二甲基氨基苯基-1，3- 了二締基）-s- S嗦巧，4-Bis(trichlo romethyl)-6-(l-p-dimethylaminophenyl-l, 3-butadienyl)-s-triazine]或 2- S 氯甲 基-4-氨基-6-對(duì)-甲氧基苯己締基-s-;嗦[2-trichloromethyl-4-amin0-6-(p-metho xy)styiTl-s-t;riazine]等。前述的S嗦化合物可單獨(dú)一種或混合多種使用。
[01巧]該苯己燒酬化合物可包含但不限于對(duì)二甲胺苯己燒酬、a，a '-二甲氧基氧化偶 氮苯己燒酬、2, 2'-二甲基-2-苯基苯己燒酬、對(duì)-甲氧基苯己燒酬、2-甲基-1-(4-甲基硫 代苯基）-2-嗎咐-1-丙酬或2-芐基-2-N，N-二甲胺-1-(4-嗎咐苯基）-1- 了酬等。前述 的苯己燒酬化合物可單獨(dú)一種或混合多種使用。
[0126] 該二咪挫化合物可包含但不限于2,2' -雙（鄰-氯苯基）-4,4'，5,5' -四苯 基二咪挫、2, 2' -雙（鄰-氣苯基）-4,4'，5, 5' -四苯基二咪挫、2, 2' -雙（鄰-甲基苯 基）-4,4'，5,5' -四苯基二咪挫、2,2' -雙（鄰-甲氧基苯基）-4,4'，5,5' -四苯基二 咪挫、2, 2' -雙（鄰-己基苯基）-4,4'，5, 5' -四苯基二咪挫、2, 2' -雙（對(duì)-甲氧基苯 基）-4,4'，5, 5' -四苯基二咪挫、2, 2' -雙（2, 2'，4, 4' -四甲氧基苯基）-4,4'，5, 5' -四 苯基二咪挫、2, 2' -雙（2-氯苯基）-4, 4'，5, 5' -四苯基二咪挫或2, 2' -雙化4-二氯苯 基）-4, 4'，5, 5' -四苯基二咪挫等。前述的二咪挫化合物可單獨(dú)一種或混合多種使用。
[0127] 該二苯甲酬化合物可包含但不限于唾?lài)嵆辍?, 4-二己基唾?lài)嵆?、唾?lài)嵆?4-諷、二 苯甲酬、4, 4' -雙（二甲胺）二苯甲酬或4, 4' -雙（二己胺）二苯甲酬等。前述的二苯甲 酬化合物可單獨(dú)一種或混合多種使用。
[0128]該光起始劑值）較佳可為1- [4-(苯基硫代）苯基]-辛燒-1，2-二酬-2- (0-苯酷 基月虧）、1-巧-己基-6-(2-甲基苯酷基）-9H-巧挫-3-基]-己燒酬-1-(0-己酷基朽）、己 燒酬-1-[9-己基-6-(2-甲基-4-四氨快喃基甲氧基苯酷基）-9H-巧挫-3-基]-1-(0-己 酷基朽）、己燒酬-1-[9-己基-6-{2-甲基-4-(2, 2-二甲基-1，3-二氧雜戊環(huán)基）甲氧基 苯酷基} -9H-巧挫-3-基]-1- (0-己酷基朽）、2, 4-雙（S氯甲基）-6-(對(duì)-甲氧基）苯 己締基-S-二嗦、2-芐基-2-N, N-二甲胺-1-(4-嗎咐苯基）-1- 了酬、2, 2'-雙化4-二氯 苯基）-4, 4', 5, 5'-四苯基二咪挫[2, 2' -bis 化 4-dichloro地en}d) -4, 4', 5, 5' -tetraph en^-l, 2' -biimidazole]、4, 4' -雙（二己胺）二苯甲酬或上述材料的任意組合。
[0129] 在不影響感光性樹(shù)脂組合物的物性下，本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物可進(jìn)一步添加 該光起始劑值）W外的起始劑。該起始劑的具體例，如；a -二酬（a -d化etone)化合物、酬 醇（acyloin)化合物、酬醇離（acyloin ether)化合物、酷麟氧化物（acyl地osphineoxide) 化合物、釀（quinone)化合物、具有面素的化合物或過(guò)氧化物等。
[0130] 該a -二酬化合物可包含但不限于苯偶酷化enzil)或己酷基（acetyl)是化合物 等。前述的a-二酬化合物可單獨(dú)一種或混合多種使用。
[0131] 該酬醇化合物可包含但不限于二苯己醇酬化enzoin)等。前述的酬醇化合物可單 獨(dú)一種或混合多種使用。
[0132] 該酬醇離化合物可包含但不限于二苯己醇酬甲離化enzoin methylether)、二苯 己醇酬己離化enzoin eth}dethe;r)或二苯己醇酬異丙離化enzoin isoprop}^ ether)等。 前述的酬醇離化合物可單獨(dú)一種或混合多種使用。
[0133] 該酷麟氧化物化合物可包含但不限于2, 4,6-S甲基苯酷二苯基麟氧化 物（2, 4, 6-trimeth5d-benz〇5d diphenylphosphineoxide)或雙- (2, 6-二甲氧基苯 酷）-2, 4, 4- S甲基苯基麟氧化物比is-(2, 6-dimethoxy-benz〇}d)-2, 4, 4-trimethy化enz yl phosphineoxide]等。前述的酷麟氧化物化合物可單獨(dú)一種或混合多種使用。
[0134] 該釀?lì)惢衔锟砂幌抻诖柔劊╝nthraquinone)、1, 4-蒙釀 (1,4-naphthoquinone)等。前述的釀?lì)惢衔锟蓡为?dú)一種或混合多種使用。
[01巧]該具有面素的化合物可包含但不限于苯酷甲基氯（phenacyl chloride)、S漠甲 基苯諷（tribromomethyl phenylsulfone)或S ( S氯甲基）-s-;嗦[tris (trichlorome thyl)-s-triazine]等。前述具有面素的化合物可單獨(dú)一種或混合多種使用。
[0136] 該過(guò)氧化物可包含但不限于二-叔了基過(guò)氧化物（di-tedbutylperoxide)等。前 述的過(guò)氧化物可單獨(dú)一種或混合多種使用。
[0137] 基于前述堿可溶性樹(shù)脂炬）的總使用量為100重量份，該光起始劑值）的使用量 為10重量份至100重量份，較佳為15重量份至90重量份，更佳為20重量份至80重量份。
[0138] 有機(jī)溶劑巧）
[0139] 本發(fā)明的有機(jī)溶劑巧）可包含但不限于己二醇甲離、己二醇己離、二甘醇甲離、二 甘醇己離、二甘醇正丙離、二甘醇正了離、S甘醇甲離、S甘醇己離、丙二醇甲離、丙二醇己 離、一縮二丙二醇甲離、一縮二丙二醇己離、一縮二丙二醇正丙離、一縮二丙二醇正了離、二 縮=丙二醇甲離或二縮=丙二醇己離等的（聚）亞烷基二醇單燒離類(lèi)溶劑；己二醇甲離醋 酸醋、己二醇己離醋酸醋、丙二醇甲離醋酸醋（propylene glycol meth}d ether acetate; PGMEA)或丙二醇己離醋酸醋等的（聚）亞烷基二醇單燒離醋酸醋類(lèi)溶劑；二甘醇二甲離、 二甘醇甲己離、二甘醇二