一種用于光刻直寫系統(tǒng)的混合調(diào)焦裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及PCB印刷電路板行業(yè)中無(wú)掩膜光刻直寫設(shè)備領(lǐng)域，具體提供了一種針對(duì)不同PCB板厚的焦面調(diào)節(jié)的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在無(wú)掩膜光刻直寫系統(tǒng)中，光刻物鏡的焦面調(diào)節(jié)直接影響著光刻產(chǎn)品的質(zhì)量。通常光刻物鏡的焦深范圍較小，而印刷電路板的板厚差別通常遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出焦深范圍。目前光刻設(shè)備中的調(diào)焦模塊多只在小范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)調(diào)焦功能，在板厚差距較大時(shí)需要選用不同墊板調(diào)整焦面。這樣，在生產(chǎn)中對(duì)于不同規(guī)格板厚的印刷電路板需要進(jìn)行多次更換墊板后調(diào)焦，降低了產(chǎn)能，直接影響生產(chǎn)效益。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種用于光刻直寫系統(tǒng)的混合調(diào)焦裝置，其包括固定調(diào)焦組件與連續(xù)調(diào)焦組件，曝光光路依次穿過(guò)所述固定調(diào)焦組件與連續(xù)調(diào)焦組件完成調(diào)焦，所述固定調(diào)焦組件具有若干厚度不同的固定厚度區(qū)域，所述連續(xù)調(diào)焦組件的厚度可線性變化，所述固定調(diào)焦組件可改變所述曝光光路穿過(guò)的固定厚度區(qū)域，所述連續(xù)調(diào)焦組件可改變所述曝光光路穿過(guò)位置的厚度。
[0004]較佳地，所述固定調(diào)焦組件包括具有多個(gè)不同固定厚度的梯形平板玻璃，所述梯形平板玻璃通過(guò)左右位移完成曝光光路穿過(guò)位置的厚度選擇。
[0005]較佳地，所述連續(xù)調(diào)焦組件包括兩塊楔角相同的楔形棱鏡，所述兩楔形棱鏡的斜邊相互平行，所述兩楔形棱鏡沿斜邊平行方向位移完成曝光光路穿過(guò)位置的厚度改變。
[0006]較佳地，所述兩楔形棱鏡中的一個(gè)位置固定，位移另一個(gè)完成曝光光路穿過(guò)位置的厚度改變。
[0007]較佳地，所述梯形平板玻璃與楔形棱鏡通過(guò)驅(qū)動(dòng)裝置完成位移。
[0008]本發(fā)明具有以下有益效果:
[0009]本發(fā)明利用了固定調(diào)焦組和連續(xù)調(diào)焦組各自的特點(diǎn)，固定調(diào)焦組在選用不同厚度的玻璃區(qū)域時(shí)可以在大范圍內(nèi)固定地改變調(diào)焦量，而連續(xù)調(diào)焦組可以在對(duì)應(yīng)固定調(diào)焦組某一玻璃厚度的情況下實(shí)現(xiàn)連續(xù)調(diào)焦，兩者混合使用后可以實(shí)現(xiàn)大范圍連續(xù)調(diào)焦，設(shè)計(jì)合理，調(diào)焦方便快捷。
[0010]當(dāng)然，實(shí)施本發(fā)明的任一產(chǎn)品并不一定需要同時(shí)達(dá)到以上所述的所有優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說(shuō)明】
[0011]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0012]圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的用于光刻直寫系統(tǒng)的混合調(diào)焦裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其它實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0014]如圖1所示，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種用于光刻直寫系統(tǒng)的混合調(diào)焦裝置，其包括固定調(diào)焦組件與連續(xù)調(diào)焦組件，曝光光路依次穿過(guò)所述固定調(diào)焦組件與連續(xù)調(diào)焦組件完成調(diào)焦，所述固定調(diào)焦組件具有若干厚度不同的固定厚度區(qū)域，所述連續(xù)調(diào)焦組件的厚度可線性變化，所述固定調(diào)焦組件可改變所述曝光光路穿過(guò)的固定厚度區(qū)域，所述連續(xù)調(diào)焦組件可改變所述曝光光路穿過(guò)位置的厚度。
[0015]所述固定調(diào)焦組件包括具有多個(gè)不同固定厚度的梯形平板玻璃1，梯形平板玻璃I通過(guò)左右位移完成曝光光路穿過(guò)位置的厚度選擇。
[0016]所述連續(xù)調(diào)焦組件包括兩塊楔角相同的楔形棱鏡，分別為上楔形棱鏡2與下楔形棱鏡3，，兩楔形棱鏡的斜邊相互平行，兩楔形棱鏡沿斜邊平行方向位移完成曝光光路穿過(guò)位置的厚度改變。
[0017]本實(shí)施例中所述兩楔形棱鏡中的一個(gè)位置固定，位移另一個(gè)完成曝光光路穿過(guò)位置的厚度改變。本實(shí)施例在調(diào)焦過(guò)程中固定上楔形棱鏡2不動(dòng)，讓下楔形棱鏡3沿左側(cè)箭頭所示方向沿斜面平行運(yùn)動(dòng)，則連續(xù)調(diào)焦組沿光軸方向的玻璃總厚度會(huì)隨之變化，焦面也會(huì)相應(yīng)沿光軸方向連續(xù)移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)連續(xù)調(diào)焦。
[0018]本實(shí)施例在實(shí)際調(diào)焦時(shí)，根據(jù)光刻產(chǎn)品的厚度移動(dòng)梯形平板玻璃1，選擇固定調(diào)焦組中合適的玻璃厚度區(qū)域，然后移動(dòng)下楔形棱鏡3，實(shí)現(xiàn)大范圍調(diào)焦。梯形平板玻璃I與楔形棱鏡3通過(guò)驅(qū)動(dòng)裝置完成位移。
[0019]本發(fā)明利用了固定調(diào)焦組和連續(xù)調(diào)焦組各自的特點(diǎn)，固定調(diào)焦組在選用不同厚度的玻璃區(qū)域時(shí)可以在大范圍內(nèi)固定地改變調(diào)焦量，而連續(xù)調(diào)焦組可以在對(duì)應(yīng)固定調(diào)焦組某一玻璃厚度的情況下實(shí)現(xiàn)連續(xù)調(diào)焦，兩者混合使用后可以實(shí)現(xiàn)大范圍連續(xù)調(diào)焦，設(shè)計(jì)合理，調(diào)焦方便快捷。
[0020]以上公開(kāi)的本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例只是用于幫助闡述本發(fā)明。優(yōu)選實(shí)施例并沒(méi)有詳盡敘述所有的細(xì)節(jié)，也不限制該發(fā)明僅為所述的【具體實(shí)施方式】。顯然，根據(jù)本說(shuō)明書的內(nèi)容，可作很多的修改和變化。本說(shuō)明書選取并具體描述這些實(shí)施例，是為了更好地解釋本發(fā)明的原理和實(shí)際應(yīng)用，從而使所屬技術(shù)領(lǐng)域技術(shù)人員能很好地理解和利用本發(fā)明。本發(fā)明僅受權(quán)利要求書及其全部范圍和等效物的限制。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于光刻直寫系統(tǒng)的混合調(diào)焦裝置，其特征在于，包括固定調(diào)焦組件與連續(xù)調(diào)焦組件，曝光光路依次穿過(guò)所述固定調(diào)焦組件與連續(xù)調(diào)焦組件完成調(diào)焦，所述固定調(diào)焦組件具有若干厚度不同的固定厚度區(qū)域，所述連續(xù)調(diào)焦組件的厚度可線性變化，所述固定調(diào)焦組件可改變所述曝光光路穿過(guò)的固定厚度區(qū)域，所述連續(xù)調(diào)焦組件可改變所述曝光光路穿過(guò)位置的厚度。2.如權(quán)利要求1所述的用于光刻直寫系統(tǒng)的混合調(diào)焦裝置，其特征在于，所述固定調(diào)焦組件包括具有多個(gè)不同固定厚度的梯形平板玻璃，所述梯形平板玻璃通過(guò)左右位移完成曝光光路穿過(guò)位置的厚度選擇。3.如權(quán)利要求1所述的用于光刻直寫系統(tǒng)的混合調(diào)焦裝置，其特征在于，所述連續(xù)調(diào)焦組件包括兩塊楔角相同的楔形棱鏡，所述兩楔形棱鏡的斜邊相互平行，所述兩楔形棱鏡沿斜邊平行方向位移完成曝光光路穿過(guò)位置的厚度改變。4.如權(quán)利要求3所述的用于光刻直寫系統(tǒng)的混合調(diào)焦裝置，其特征在于，所述兩楔形棱鏡中的一個(gè)位置固定，位移另一個(gè)完成曝光光路穿過(guò)位置的厚度改變。5.如權(quán)利要求2-4任一項(xiàng)所述的用于光刻直寫系統(tǒng)的混合調(diào)焦裝置，其特征在于，所述梯形平板玻璃與楔形棱鏡通過(guò)驅(qū)動(dòng)裝置完成位移。
【專利摘要】一種用于光刻直寫系統(tǒng)的混合調(diào)焦裝置，其包括固定調(diào)焦組件與連續(xù)調(diào)焦組件，曝光光路依次穿過(guò)所述固定調(diào)焦組件與連續(xù)調(diào)焦組件完成調(diào)焦，所述固定調(diào)焦組件具有若干厚度不同的固定厚度區(qū)域，所述連續(xù)調(diào)焦組件的厚度可線性變化，所述固定調(diào)焦組件可改變所述曝光光路穿過(guò)的固定厚度區(qū)域，所述連續(xù)調(diào)焦組件可改變所述曝光光路穿過(guò)位置的厚度。本發(fā)明利用了固定調(diào)焦組和連續(xù)調(diào)焦組各自的特點(diǎn)，固定調(diào)焦組在選用不同厚度的玻璃區(qū)域時(shí)可以在大范圍內(nèi)固定地改變調(diào)焦量，而連續(xù)調(diào)焦組可以在對(duì)應(yīng)固定調(diào)焦組某一玻璃厚度的情況下實(shí)現(xiàn)連續(xù)調(diào)焦，兩者混合使用后可以實(shí)現(xiàn)大范圍連續(xù)調(diào)焦，設(shè)計(jì)合理，調(diào)焦方便快捷。
【IPC分類】G03F7/207
【公開(kāi)號(hào)】CN104965395
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510434693
【發(fā)明人】張磊, 王曉光
【申請(qǐng)人】合肥芯碩半導(dǎo)體有限公司
【公開(kāi)日】2015年10月7日
【申請(qǐng)日】2015年7月21日