光照射裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及光照射裝置，具體地，涉及用于制造顯示裝置時(shí)使用的光照射裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 通常，液晶顯示裝置是在具有用于產(chǎn)生電場(chǎng)的電極的兩個(gè)基板之間注入液晶物質(zhì) 并向兩個(gè)電極施加不同電勢(shì)形成電場(chǎng)，由此改變液晶分子的排列，調(diào)整透光率，從而顯示圖 像的裝置。上述液晶顯示裝置具有使上述液晶分子朝預(yù)定方向線傾斜的取向膜。
[0003] 制造上述液晶顯示裝置時(shí)需要進(jìn)行多個(gè)階段的工序。例如，尤其是對(duì)上述取向膜 賦予方向性時(shí)或者通過(guò)光刻使薄膜圖案化的工序中包括向基板照射光的曝光工序。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0005] 本發(fā)明的目的在于提供一種能夠高效率地向基板照射光的光照射裝置。
[0006] 本發(fā)明的目的在于提供一種制造顯示裝置時(shí)使用的光照射裝置，具體地，在基板 上形成取向膜時(shí)，能夠短時(shí)間內(nèi)高效率地向上述取向膜照射光的光照射裝置。
[0007] 解決技術(shù)問(wèn)題的技術(shù)手段
[0008] 根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的光照射裝置，包括光源、第一反光鏡以及第二反光鏡。所 述光源設(shè)在相對(duì)的第一基板以及第二基板之間，分別向所述第一基板和所述第二基板提供 第一光以及第二光。所述第一反光鏡隔著所述光源與所述第一基板相對(duì)配置，所述第二反 光鏡隔著所述光源與所述第二基板相對(duì)配置。
[0009] 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述第一反光鏡以及所述第二反光鏡中的至少一個(gè)的截 面為橢圓的一部分形狀。
[0010] 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述第一反光鏡的截面可以相當(dāng)于第一橢圓的一部分， 所述第二反光鏡的截面可以相當(dāng)于第二橢圓的一部分。
[0011] 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述第一反光鏡和所述第二反光鏡的截面能夠與穿過(guò)所 述光源的線中的一個(gè)線對(duì)稱。
[0012] 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述第一反光鏡可以具有切除部分第一反光鏡的第一開 口，以使第二光在所述光源和所述第二基板之間前進(jìn)，所述第二反光鏡可以具有切除部分 第二反光鏡的第二開口，以使第一光在所述光源和所述第一基板之間前進(jìn)。
[0013] 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述第一橢圓的多個(gè)焦點(diǎn)中的一個(gè)和所述第二橢圓的多 個(gè)焦點(diǎn)中的一個(gè)一致，所述光源可以位于所述第一橢圓和所述第二橢圓的一致的焦點(diǎn)上或 者其周圍。
[0014] 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述第一基板可以設(shè)在所述第一橢圓的剩余焦點(diǎn)中的一 個(gè)上或者其附近，所述第二基板可以設(shè)在所述第二橢圓的剩余焦點(diǎn)中的一個(gè)上或者其附 近。
[0015] 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述光照射裝置還可以包括：設(shè)在所述第一基板和所述 光源之間的第一光學(xué)板和設(shè)在所述第二基板和所述光源之間的第二光學(xué)板。
[0016] 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述第一光學(xué)板以及所述第二光學(xué)板可以分別包括偏光 器。
[0017] 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述第一光學(xué)板以及所述第二光學(xué)板分別還包括設(shè)在所 述偏光器的一側(cè)的帶通濾波器。
[0018] 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述第一光以及所述第二光可以是紫外線。
[0019] 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述第一光以及所述第二光可以是偏振光。
[0020] 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述第一基板以及所述第二基板可以分別包括基底基板 和設(shè)在所述基底基板上的取向膜。
[0021] 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述第一基板和所述第二基板可以配置為垂直于地面， 所述光源和所述第一以及第二基板中的一個(gè)可進(jìn)行移動(dòng)。
[0022] 發(fā)明效果
[0023] 根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，光照射裝置中的光源的有效照射區(qū)域比現(xiàn)有的光照射裝 置中的光源的有效照射區(qū)域更廣，從而，與現(xiàn)有的光照射裝置相比，能夠顯著提高光效率。
[0024] 并且，當(dāng)利用本發(fā)明的光照射裝置進(jìn)行基板的曝光時(shí)，能夠從光源的兩側(cè)同時(shí)對(duì) 基板進(jìn)行曝光，因此能夠顯著增加曝光處理數(shù)量，同時(shí)顯著減少制造時(shí)間。
【附圖說(shuō)明】
[0025] 圖1是根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的光照射裝置立體圖。
[0026] 圖2是圖1所示的光照射裝置的部分截面圖。
[0027] 圖3是現(xiàn)有的光照射裝置的部分截面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0028] 本發(fā)明可以有多種變化，可以以多種方式實(shí)施本發(fā)明，在附圖中示出特定的實(shí)施 例并進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。但是，這并不是用于將本發(fā)明限定于特定的方式，包含在本發(fā)明的思想 以及技術(shù)范圍的所有變更、等同物以及代替物均包括在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
[0029] 在說(shuō)明各圖時(shí)，對(duì)于類似的構(gòu)成要素標(biāo)注了類似的符號(hào)。為了明確本發(fā)明，在附圖 中，構(gòu)成物的尺寸比實(shí)際有所擴(kuò)大示出。第一、第二等術(shù)語(yǔ)用于說(shuō)明多種構(gòu)成要素，但是，上 述構(gòu)成要素并不限定于所述術(shù)語(yǔ)。所述術(shù)語(yǔ)僅用于與其他構(gòu)成要素加以區(qū)別。例如，在不 脫離本發(fā)明的保護(hù)范圍的情況下，第一構(gòu)成要素可以命名為第二構(gòu)成要素，類似地，第二構(gòu) 成要素可以命名為第一構(gòu)成要素。如果沒有明確表示不同，則單數(shù)的表述方式包括多個(gè)的 情況。
[0030] 在本申請(qǐng)中，"包括"或者"具有"等術(shù)語(yǔ)指定存在說(shuō)明書中記載的特征、數(shù)字、步 驟、動(dòng)作、構(gòu)成要素、部件或者其組合，并不是用于排除存在或者追加一個(gè)或一個(gè)以上的其 他特征或者數(shù)字、步驟、動(dòng)作、構(gòu)成要素、部件或者其組合的可能性。并且，當(dāng)記載為層、膜、 區(qū)域、板等部分位于其他部分的"上面"時(shí)，不僅包括位于其他部分的"正上面"的情況，還包 括其之間具有另一部分的情況。相反，當(dāng)記載為層、膜、區(qū)域、板等部分位于其他部分的"下 面"時(shí)，不僅包括位于其他部分的"正下面"的情況，還包括其之間具有另一部分的情況。
[0031] 圖1是根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的光照射裝置的立體圖，圖2是圖1所示的光照射 裝置的一部分的截面圖。圖2是沿平行于地面的面截取時(shí)的截面圖，為了方便說(shuō)明，省略了 一部分構(gòu)成要素。
[0032] 參照?qǐng)D1以及圖2,根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的光照射裝置可以包括發(fā)射光的光源 LS和反射所述光以使所述光向基板前進(jìn)的反光鏡。所述光照射裝置在所述光源LS和所述 基板之間還可以包括過(guò)濾所述光的一部分的光學(xué)板。一對(duì)基板彼此相對(duì)地配置在所述光源 LS的兩側(cè)。
[0033] 根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的光照射裝置向上述相對(duì)的兩個(gè)基板照射光。
[0034] 根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的光照射裝置可用于在制造顯示裝置的步驟中需要照射 光的步驟。尤其是，在制造液晶顯示裝置的步驟中形成取向膜時(shí)可以將根據(jù)本發(fā)明的一實(shí) 施例的光照射裝置用作紫外線照射裝置。但是，根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的光照射裝置的用 途并不限定于此，只要是用于向基板上照射光就可以使用，并不特別限定。例如，通過(guò)光刻 使特定構(gòu)成要素圖案化時(shí)，可以在曝光工序使用根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的光照射裝置。并 且，在制造除了顯示裝置之外的其他裝置時(shí)，只要未脫離本發(fā)明的概念，可以使用根據(jù)本發(fā) 明的一實(shí)施例的光照射裝置。從而，從所述光照射裝置接收光的被照射基板通常是用于顯 示裝置的基板，但并不限定于此。
[0035] 下面，以根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的光照射裝置用于形成液晶顯示裝置的取向膜時(shí) 為例子進(jìn)行說(shuō)明。
[0036] 所述基板是用于液晶顯示裝置的基板，可配置在支座上?？梢允÷运鲋ё?。可 設(shè)置一對(duì)所述基板，下面，為了方便說(shuō)明，以所述光源LS為中心，將位于一側(cè)的基板稱為第 一基板SUB1，位于另一側(cè)的基板稱為第二基板SUB2,將支撐所述第一基板SUB1和所述第二 基板SUB2的支座分別稱為第一支座ST1以及第二支座ST2。并且，在本發(fā)明的一實(shí)施例中， 以地面為標(biāo)準(zhǔn)，構(gòu)成平行于所述地面的平面的兩個(gè)方向稱為第一方向D1和第二方向D2,分 別垂直于所述第一方向D1和所述第二方向D2且遠(yuǎn)離所述地面的方向稱為第三方向D3。
[0037] 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述第一基板SUB1包括第一基底基板BS1和形成在其上 面的第一取向膜ALN1。所述第二基板SUB2包括第二基底基板BS2和形成在其上的第二取 向膜ALN1。所述第一取向膜ALN1和所述第二取向膜ALN1彼此相對(duì)。
[0038] 所述第一基底基板BS1以及所述第二基