光照射裝置以及光照射方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光照射裝置以及光照射方法，尤其涉及具備能夠在相同軸上往復(fù)移動(dòng)的兩個(gè)工件工作臺(tái)，并對(duì)該工件工作臺(tái)上的工件交替地照射光的光照射裝置以及光照射方法。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，關(guān)于以液晶面板為首的液晶顯示元件的取向膜、視場(chǎng)角補(bǔ)償薄膜的取向?qū)拥鹊娜∠蛱幚?，采用通過照射規(guī)定的波長的偏振光來進(jìn)行取向的、被稱為光取向的技術(shù)。
[0003]在光取向中使用的光照射裝置具備:具有與光照射區(qū)域的寬度相當(dāng)?shù)拈L度的棒狀的光源；以及使來自該光源的光偏振的偏振元件，對(duì)沿與光源的長邊方向正交的方向被搬運(yùn)的工件照射偏振光。
[0004]作為這樣的光照射裝置，例如存在專利文獻(xiàn)I所記載的技術(shù)。該技術(shù)采用雙工作臺(tái)方式，具備:能夠在設(shè)定于照射區(qū)域的一側(cè)的第一工件搭載位置與照射區(qū)域之間往復(fù)移動(dòng)的第一工作臺(tái)；以及能夠在設(shè)定于照射區(qū)域的另一側(cè)的第二工件搭載位置與照射區(qū)域之間往復(fù)移動(dòng)的第二工作臺(tái)。而且，通過使第一工作臺(tái)和第二工作臺(tái)交替地朝照射區(qū)域移動(dòng)，并對(duì)工作臺(tái)上的工件照射光，由此，與僅具備一方的工作臺(tái)的情況相比較生產(chǎn)間隔時(shí)間減少。
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2014 - 174352號(hào)公報(bào)
[0006]在上述專利文獻(xiàn)I所記載的技術(shù)中，為了實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步的生產(chǎn)間隔時(shí)間的縮短的目的，也可以形成為:與一方的工作臺(tái)的歸路移動(dòng)(從照射區(qū)域朝工件搭載位置返回的移動(dòng))相連續(xù)，開始另一方的工作臺(tái)的去路移動(dòng)(從工件搭載位置朝向照射區(qū)域的移動(dòng))。
[0007]然而，各工作臺(tái)在照射區(qū)域內(nèi)移動(dòng)的期間(照射偏振光的期間)、和在照射區(qū)域外移動(dòng)的期間工作臺(tái)的移動(dòng)速度不同。具體而言，各工作臺(tái)當(dāng)在照射區(qū)域外移動(dòng)而僅進(jìn)行工件的搬運(yùn)的情況下，能夠高速移動(dòng)，但當(dāng)在照射區(qū)域內(nèi)移動(dòng)的期間，存在為了獲得規(guī)定的曝光量而低速移動(dòng)的情況。
[0008]因此，僅僅使一方的工作臺(tái)的歸路移動(dòng)開始的定時(shí)與另一方的工作臺(tái)的去路移動(dòng)開始的定時(shí)同步的話，存在因上述的移動(dòng)速度差而在工作臺(tái)之間產(chǎn)生干涉的顧慮。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]因此，本發(fā)明的課題在于，在雙工作臺(tái)方式中，提供一種工作臺(tái)彼此不會(huì)干涉而能夠高效地進(jìn)行光照射處理的光照射裝置以及光照射方法。
[0010]為了解決上述課題，本發(fā)明所涉及的光照射裝置的一個(gè)方式為一種光照射裝置，對(duì)通過預(yù)先設(shè)定的照射區(qū)域的工件照射光，其中，具備:第一工作臺(tái)，載置第一工件，且能夠在通過上述照射區(qū)域的搬運(yùn)軸上將從設(shè)定于上述照射區(qū)域的一側(cè)的第一待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)；第二工作臺(tái)，載置第二工件，且能夠在通過上述照射區(qū)域的搬運(yùn)軸上將從設(shè)定于上述照射區(qū)域的另一側(cè)的第二待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)；以及控制部，對(duì)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)的移動(dòng)獨(dú)立地進(jìn)行控制，以便上述第一工件和上述第二工件交替地通過上述照射區(qū)域，上述控制部以下述方式進(jìn)行控制:上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)在上述照射區(qū)域內(nèi)以第一移動(dòng)速度移動(dòng)，在上述照射區(qū)域外的歸路以比上述第一移動(dòng)速度高速的第二移動(dòng)速度移動(dòng)，在上述照射區(qū)域外的去路，當(dāng)工作臺(tái)間距離比預(yù)先設(shè)定的最接近距離長時(shí)以上述第二移動(dòng)速度移動(dòng)、當(dāng)上述工作臺(tái)間距離為上述最接近距離以下時(shí)以上述第一移動(dòng)速度移動(dòng)，并且以下述方式進(jìn)行控制:在上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的、處于歸路移動(dòng)中的一方的工作臺(tái)至少處于上述照射區(qū)域的期間之前，另一方的工作臺(tái)開始進(jìn)行去路移動(dòng)。
[0011]這樣，采用具備載置工件的兩個(gè)工作臺(tái)，且對(duì)各工件交替地照射光的所謂雙工作臺(tái)方式。由此，在朝一方的工作臺(tái)照射光的期間，能夠進(jìn)行另一方的工作臺(tái)的工件更換作業(yè)等。因此，與工作臺(tái)僅為一個(gè)的情況相比較能夠減少生產(chǎn)間隔時(shí)間，能夠提高生產(chǎn)率。并且，由于使在照射區(qū)域外進(jìn)行去路移動(dòng)的工作臺(tái)以使得工作臺(tái)間距離不會(huì)低于最接近距離的移動(dòng)速度移動(dòng)，因此，即便當(dāng)在第一工作臺(tái)與第二工作臺(tái)之間存在移動(dòng)速度差的情況下，也能夠以不會(huì)發(fā)生工作臺(tái)之間的干涉且能夠高效地進(jìn)行光照射處理的方式使工作臺(tái)移動(dòng)。
[0012]并且，由于直至不發(fā)生工作臺(tái)之間的干涉的位置為止以以較高的速度進(jìn)行去路移動(dòng)，之后使其追隨先行移動(dòng)的工作臺(tái)，因此能夠避免工作臺(tái)之間的干涉并且能夠使其盡早到達(dá)照射區(qū)域。因此，能夠在對(duì)一方的工件進(jìn)行光照射處理后立刻對(duì)另一方的工件進(jìn)行光照射處理，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)間隔時(shí)間的進(jìn)一步縮短。
[0013]此外，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)在上述照射區(qū)域外正進(jìn)行去路移動(dòng)、且另一方的工作臺(tái)正進(jìn)行歸路移動(dòng)時(shí)，上述控制部使上述一方的工作臺(tái)追隨上述另一方的工作臺(tái)而移動(dòng)。
[0014]這樣，由于使在照射區(qū)域外進(jìn)行去路移動(dòng)的工作臺(tái)以與另一方的工作臺(tái)相同的移動(dòng)速度移動(dòng)，因此，即便當(dāng)在第一工作臺(tái)與第二工作臺(tái)之間存在移動(dòng)速度差的情況下，也能夠可靠地防止工作臺(tái)之間的干涉。
[0015]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，上述控制部以下述方式進(jìn)行控制:當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)在上述照射區(qū)域外正進(jìn)行去路移動(dòng)、且另一方的工作臺(tái)正進(jìn)行歸路移動(dòng)時(shí)，當(dāng)上述另一方的工作臺(tái)的歸路移動(dòng)方向上的后端部位置相比上述照射區(qū)域的靠上述一方的工作臺(tái)的待機(jī)位置側(cè)的端部位置而位于上述另一方的工作臺(tái)的待機(jī)位置側(cè)時(shí)，使上述一方的工作臺(tái)以上述第二移動(dòng)速度移動(dòng)直至到上述端部位置為止。
[0016]由此，若先行移動(dòng)的工作臺(tái)完全進(jìn)入照射區(qū)域內(nèi)，則在照射區(qū)域外進(jìn)行去路移動(dòng)的工作臺(tái)與工作臺(tái)間距離無關(guān)而直至照射區(qū)域的入口為止都能夠以較高的速度移動(dòng)。因此，也能夠形成為對(duì)兩個(gè)工件中的至少一方的工件始終進(jìn)行光照射處理的狀態(tài)，能夠?qū)崿F(xiàn)進(jìn)一步的生產(chǎn)間隔時(shí)間的縮短。
[0017]此外，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)的期間，上述控制部禁止另一方的工作臺(tái)的去路移動(dòng)。
[0018]由此，能夠在一方的工作臺(tái)開始進(jìn)行歸路移動(dòng)后再開始另一方的工作臺(tái)的去路移動(dòng)，能夠避免兩個(gè)工作臺(tái)均進(jìn)行去路移動(dòng)的狀況。因此，能夠可靠地避免工作臺(tái)彼此的干涉。
[0019]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)的期間，上述控制部使上述另一方的工作臺(tái)開始朝向目標(biāo)停止位置進(jìn)行去路移動(dòng)，其中，上述目標(biāo)停止位置設(shè)定于相對(duì)于上述一方的工作臺(tái)的從去路移動(dòng)朝歸路移動(dòng)切換的折返位置而靠另一方的工作臺(tái)的待機(jī)位置側(cè)上述最接近距離的位置，當(dāng)上述另一方的工作臺(tái)到達(dá)上述目標(biāo)停止位置時(shí)，當(dāng)上述一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)時(shí)，直至上述一方的工作臺(tái)開始進(jìn)行歸路移動(dòng)為止，使上述另一方的工作臺(tái)在上述目標(biāo)停止位置停止。
[0020]這樣，當(dāng)一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)時(shí)，開始另一方的工作臺(tái)的去路移動(dòng)，因此能夠更高效地進(jìn)行針對(duì)兩個(gè)工件的光照射處理。
[0021]此外，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，還具備旋轉(zhuǎn)控制部，該旋轉(zhuǎn)控制部獨(dú)立地控制上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)繞相對(duì)于工作臺(tái)面正交的軸的旋轉(zhuǎn)，使該工作臺(tái)的姿態(tài)成為光照射時(shí)的姿態(tài)，當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)在從各自的待機(jī)位置直至到達(dá)上述照射區(qū)域前的旋轉(zhuǎn)允許位置為止的區(qū)間正進(jìn)行去路移動(dòng)的期間，上述旋轉(zhuǎn)控制部對(duì)上述旋轉(zhuǎn)進(jìn)行控制。
[0022]通過像這樣具備旋轉(zhuǎn)控制部，例如在對(duì)工件照射偏振光的情況下，能夠?qū)⒐ぜ姆较蛳鄬?duì)于偏振光的偏振光軸設(shè)置成規(guī)定的方向而進(jìn)行光照射處理。并且，通過在去路移動(dòng)中進(jìn)行工作臺(tái)的旋轉(zhuǎn)控制，能夠抑制生產(chǎn)間隔時(shí)間變長。
[0023]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當(dāng)未由上述旋轉(zhuǎn)控制部控制的非旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)時(shí)，上述旋轉(zhuǎn)允許位置設(shè)定于相比該非旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的工作臺(tái)從去路移動(dòng)朝歸路移動(dòng)切換的折返位置而靠旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的待機(jī)位置側(cè)上述最接近距離的位置，當(dāng)上述非旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的工作臺(tái)正進(jìn)行歸路移動(dòng)時(shí)，上述旋轉(zhuǎn)允許位置設(shè)定于相比該非旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的工作臺(tái)的位置靠上述旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的待機(jī)位置側(cè)上述最接近距離的位置。
[0024]由此，能夠在避免工作臺(tái)間的干涉的同時(shí)進(jìn)行去路移動(dòng)中的旋轉(zhuǎn)控制。
[0025]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，上述工作臺(tái)間距離是上述第一工作臺(tái)的去路移動(dòng)方向上的前端位置與上述第二工作臺(tái)的去路移動(dòng)方向上的前端位置之間的沿上述搬運(yùn)軸方向的距離。
[0026]這樣，由于各工作臺(tái)的去路移動(dòng)方向上的前端位置彼此的距離設(shè)為工作臺(tái)間距離，因此，即便當(dāng)各工作臺(tái)的形狀或繞與工作臺(tái)面正交的軸的旋轉(zhuǎn)角度等產(chǎn)生差異的情況下，也能夠進(jìn)行避免了工作臺(tái)間的干涉的工作臺(tái)移動(dòng)控制。
[0027]此外，在上述的光照射裝置中，上述光可以是偏振光。這樣，也能夠應(yīng)用于對(duì)工件照射偏振光而進(jìn)行光取向處理的偏振光照射裝置。
[0028]并且，在上述的光照射裝置中，可以對(duì)上述第一工件以及上述第二工件，在去路移動(dòng)和歸路移動(dòng)這雙方照射上述光。由此，能夠不浪費(fèi)能量地進(jìn)行光照射處理。
[0029]此外，本發(fā)明所涉及的光照射方法的一個(gè)方式涉及對(duì)通過預(yù)先設(shè)定的照射區(qū)域的工件照射光的光照射方法，其中，對(duì)第一工作臺(tái)和第二工作臺(tái)獨(dú)立地進(jìn)行控制以便第一工件和第二工件交替地通過上述照射區(qū)域，其中，上述第一工作臺(tái)載置上述第一工件，且能夠在通過上述照射區(qū)域的搬運(yùn)軸上將從設(shè)定于上述照射區(qū)域的一側(cè)的第一待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)，上述第二工作臺(tái)載置上述第二工件，且能夠在通過上