光控制設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種光控制設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在下述專利文獻(xiàn)I中記載有應(yīng)用于光調(diào)制器等的光波導(dǎo)元件。該文獻(xiàn)所記載的光波導(dǎo)元件具有:多個光波導(dǎo)部分，在基板上彼此靠近且平行地配置；以及多個調(diào)制用電極，用于對該光波導(dǎo)部分各自施加基于獨立的調(diào)制信號(控制信號)的電場。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2009-53444號公報
[0006]專利文獻(xiàn)2:日本特開2010-237593號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]發(fā)明所要解決的課題
[0008]在具有在基板上彼此靠近且平行地配置的多個光波導(dǎo)部分以及用于對該光波導(dǎo)部分各自施加獨立的調(diào)制信號的多個調(diào)制用電極的光調(diào)制器等光控制設(shè)備中，由于多個光波導(dǎo)部分彼此靠近，因此多個調(diào)制用電極中的對該多個光波導(dǎo)部分施加電場的部分(作用電極部)間的分隔距離變短。因此，多個調(diào)制用電極中的各作用電極部間的串?dāng)_(在一個作用電極部內(nèi)傳遞的調(diào)制信號的一部分轉(zhuǎn)移到在另一個作用電極部內(nèi)傳遞的調(diào)制信號的現(xiàn)象)成為問題。
[0009]在上述專利文獻(xiàn)I所記載的光波導(dǎo)元件中，通過在基板的主面中的各作用電極部間的區(qū)域形成槽，從而抑制多個調(diào)制用電極中的各作用電極部間的串?dāng)_。
[0010]通常，在設(shè)置有多個調(diào)制用電極的光控制設(shè)備中，各調(diào)制用電極具有如上所述的作用電極部以及使從外部輸入的調(diào)制信號傳遞到作用電極部的輸入側(cè)信號電極。并且，通常容易使多個調(diào)制用電極中的各輸入側(cè)信號電極間的距離比各作用電極部間的分隔距離大。因此，在本領(lǐng)域技術(shù)人員之間認(rèn)識到各調(diào)制用電極間的串?dāng)_(在某調(diào)制用電極內(nèi)傳遞的調(diào)制信號的一部分轉(zhuǎn)移到在其他調(diào)制用電極內(nèi)傳遞的調(diào)制信號的現(xiàn)象)是在分隔距離短的各作用電極部間產(chǎn)生的現(xiàn)象。并且，提出了例如上述專利文獻(xiàn)I所記載的方法那樣的抑制各作用電極部間的串?dāng)_的各種方法。
[0011]但是，本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，各調(diào)制用電極間的串?dāng)_有時在比各作用電極部間的分隔距離分隔得更大的各輸入側(cè)信號電極間中也可能成為問題。在上述專利文獻(xiàn)I中，對于在各輸入側(cè)信號電極間產(chǎn)生串?dāng)_的情況(各輸入側(cè)信號電極間的串?dāng)_即在某輸入側(cè)信號電極內(nèi)傳遞的調(diào)制信號的一部分轉(zhuǎn)移到在其他輸入側(cè)信號電極內(nèi)傳遞的調(diào)制信號的現(xiàn)象)以及抑制各輸入側(cè)信號電極間的串?dāng)_的方法沒有任何記載。在上述專利文獻(xiàn)2中雖然公開了抑制具有配線折回的彎曲部的輸入側(cè)信號電極間的串?dāng)_的方法，但是在該方法中，需要使在光調(diào)制器中使用的基板的厚度極薄到30 μπι?100 μπι。
[0012]另外，在具有多個控制信號電極的集成型光控制設(shè)備的情況下，通常在輸入側(cè)信號電極包括信號延遲電路或阻抗轉(zhuǎn)換電路。在這種設(shè)備中，需要使各輸入側(cè)信號電極的長度變長，而且各輸入側(cè)信號電極包含彎曲部、曲折部、信號電極寬度的變更部、信號電極-接地電極間隔的變更部等結(jié)構(gòu)變更部的情況較多。因此，本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，在這種設(shè)備中，由于控制信號(調(diào)制信號)的傳播不穩(wěn)定，因此特別容易引起各輸入側(cè)信號電極間的控制信號的串?dāng)_。
[0013]本發(fā)明鑒于這種課題而完成，其目的在于，提供一種具有多個調(diào)制用電極的光控制設(shè)備，不需要使基板的厚度變薄就能夠抑制各調(diào)制用電極的各輸入側(cè)信號電極間的串?dāng)_。
[0014]用于解決課題的技術(shù)方案
[0015]為了解決上述課題，本發(fā)明的一方式的光控制設(shè)備，具有:基板；第一光波導(dǎo)及第二光波導(dǎo)，設(shè)置于基板并沿該基板的主面延伸；第一控制用信號電極，為了根據(jù)從外部供給的第一電信號使在第一光波導(dǎo)內(nèi)傳播的光的折射率變化而設(shè)置在基板的主面上，第一控制用信號電極具有第一作用電極部以及第一輸入側(cè)信號電極，第一作用電極部以能夠?qū)Φ谝还獠▽?dǎo)施加電場的方式沿該第一光波導(dǎo)延伸，第一輸入側(cè)信號電極以將第一電信號傳遞到第一作用電極部的方式沿基板的主面延伸；第二控制用信號電極，為了根據(jù)從外部供給的第二電信號使在第二光波導(dǎo)內(nèi)傳播的光的折射率變化而設(shè)置在基板的主面上，第二控制用信號電極具有第二作用電極部以及第二輸入側(cè)信號電極，第二作用電極部以能夠?qū)Φ诙獠▽?dǎo)施加電場的方式沿該第二光波導(dǎo)延伸，第二輸入側(cè)信號電極以將第二電信號傳遞到第二作用電極部的方式沿基板的主面延伸；信號電極間接地電極，以在俯視視角中在第一輸入側(cè)信號電極與第二輸入側(cè)信號電極之間位于與第一輸入側(cè)信號電極和第二輸入側(cè)信號電極分隔的位置的方式，設(shè)置在基板的主面上；第一接地電極，以在俯視視角中在隔著第一輸入側(cè)信號電極與信號電極間接地電極側(cè)相反的一側(cè)位于與該第一輸入側(cè)信號電極分隔的位置的方式，設(shè)置在基板的主面上；以及第二接地電極，以在俯視視角中在隔著第二輸入側(cè)信號電極與信號電極間接地電極側(cè)相反的一側(cè)位于與該第二輸入側(cè)信號電極分隔的位置的方式，設(shè)置在基板的所述主面上，基板具有在俯視視角中設(shè)置在第一輸入側(cè)信號電極與信號電極間接地電極之間的第一槽部、設(shè)置在第一輸入側(cè)信號電極與第一接地電極之間的第二槽部、設(shè)置在第二輸入側(cè)信號電極與信號電極間接地電極之間的第三槽部以及設(shè)置在第二輸入側(cè)信號電極與第二接地電極之間的第四槽部。
[0016]在本發(fā)明的一方式的光控制設(shè)備中，由于基板具有第一槽部和第二槽部，因此與基板不具有這些槽部的情況相比，能夠縮小第一接地電極的一端與信號電極間接地電極的一端的沿著第一方向的分隔距離。在該分隔距離較小的情況下，還能夠縮小第一輸入側(cè)信號電極與第一接地電極、信號電極間接地電極間的分隔距離。由此，由于能夠減少第一輸入側(cè)信號電極與第一接地電極、信號電極間接地電極間的電力線的擴(kuò)散，因此能夠使從第一輸入側(cè)信號電極朝向第一接地電極和信號電極間接地電極的電力線更有效地終止。即，即使第一輸入側(cè)信號電極與第二輸入側(cè)信號電極間的分隔距離不大，由于基板具有第一槽部和第二槽部，從而也更有效地終止從第一輸入側(cè)信號電極產(chǎn)生的電力線，因此即使不使基板的厚度變薄，也能夠減少在第一輸入側(cè)信號電極內(nèi)傳遞的控制信號對在第二輸入側(cè)信號電極內(nèi)傳遞的控制信號產(chǎn)生串?dāng)_的情況。
[0017]同樣地，由于基板具有第三槽部和第四槽部，因此與基板不具有這些槽部的情況相比，能夠縮小第二接地電極的一端與信號電極間接地電極的一端的沿著第一方向的分隔距離。在該分隔距離較小的情況下，還能夠縮小第二輸入側(cè)信號電極與第二接地電極、信號電極間接地電極間的分隔距離。由此，由于能夠減少第二輸入側(cè)信號電極與第二接地電極、信號電極間接地電極間的電力線的擴(kuò)散，因此能夠使從第二輸入側(cè)信號電極朝向第二接地電極和信號電極間接地電極的電力線更有效地終止。即，即使第一輸入側(cè)信號電極與第二輸入側(cè)信號電極間的分隔距離不大，由于基板具有第三槽部和第四槽部，從而也更有效地終止從第二輸入側(cè)信號電極產(chǎn)生的電力線，因此即使不使基板的厚度變薄，也能夠減少在第二輸入側(cè)信號電極內(nèi)傳遞的控制信號對在第一輸入側(cè)信號電極內(nèi)傳遞的控制信號產(chǎn)生串?dāng)_的情況。其結(jié)果是，根據(jù)本發(fā)明的一方式的光控制設(shè)備，能夠抑制第一輸入側(cè)信號電極和第二輸入側(cè)信號電極間的串?dāng)_。
[0018]進(jìn)而，在本發(fā)明的一方式的光控制設(shè)備中，也可以是，所述第一槽部、所述第二槽部、所述第三槽部以及所述第四槽部的深度為2 μπι以上。由此，特別是能夠抑制第一輸入側(cè)信號電極和第二輸入側(cè)信號電極間的串?dāng)_。
[0019]進(jìn)而，在本發(fā)明的一方式的光控制設(shè)備中，可以是，信號電極間接地電極具有主體部、設(shè)置成比該主體部靠所述第一槽部側(cè)且比該主體部薄的第一薄壁部和/或設(shè)置成比該主體部靠第三槽部側(cè)且比該主體部薄的第二薄壁部，和/或，第一接地電極具有主體部以及設(shè)置成比該主體部靠所述第二槽部側(cè)且比該主體部薄的薄壁部，和/或，第二接地電極具有主體部以及設(shè)置成比該主體部靠所述第四槽部側(cè)且比該主體部薄的薄壁部。
[0020]此時，信號電極間接地電極在主體部與第一薄壁部之間具有臺階差，和/或，第一接地電極在主體部與薄壁部之間具有臺階差，因此信號電極間接地電極和/或第一接地電極的與第一輸入側(cè)信號電極相對的表面積增加。由此，從第一輸入側(cè)信號電極放射的電力線容易在信號電極間接地電極和/或第一接地電極處終止，因此能夠抑制該電力線到達(dá)第二輸入側(cè)信號電極的情況。同樣地，信號電極間接地電極在主體部與第二薄壁部之間具有臺階差，和/或，第二接地電極在主體部與薄壁部之間具有臺階差，因此信號電極間接地電極和/或第二接地電極的與第二輸入側(cè)信號電極相對的表面積增加。由此，從第二輸入側(cè)信號電極放射的電力線容易在信號電極間接地電極和/或第二接地電極處終止，因此抑制該電力線到達(dá)第一輸入側(cè)信號電極的情況。其結(jié)果是，能夠進(jìn)一步抑制第一輸入側(cè)信號電極和第二輸入側(cè)信號電極間的串?dāng)_。
[0021]進(jìn)而，在本發(fā)明的一方式的光控制設(shè)備中，可以是，第一控制用信號電極具有主體部、設(shè)置成比該主體部靠第一槽部側(cè)且比該主體部薄的第一薄壁部和/或設(shè)置成比該主體部靠第二槽部側(cè)且比該主體部薄的第二薄壁部，和/或，第二控制用信號電極具有主體部、設(shè)置成比該主體部靠第三槽部側(cè)且比該主體部薄的第一薄壁部和/或設(shè)置成比該主體部靠第四槽部側(cè)且比該主體部薄的第二薄壁部。
[0022]此時，在從外部對第一控制用信號電極的第一輸入側(cè)信號電極施加了第一電信號時，電場集中在厚度薄的第一薄壁部和/或第二薄壁部，因此電力線主要從該第一薄壁部和/或第二薄壁部放射。并且，第一輸入側(cè)信號電極的第一薄壁部和/或第二薄壁部從比主體部更靠近基板的較低的位置發(fā)出電力線，因此抑制從它們放射的電力線經(jīng)由基板的主面的上方而到達(dá)第二輸入側(cè)信號電極的情況。同樣地，在從外部對第二控制用信號電極的第二輸入側(cè)信號電極施加了第二電信號時，由于電場集中在厚度薄的第一薄壁部和/或第二薄壁部，因此電力線主要從該第一薄壁部和/或第二薄壁部放射。并且，第二輸入側(cè)信號電極的第一薄壁部和/或第二薄壁部從比主體部更靠近基板的較低的位置發(fā)出電力線，因此抑制從它們放射的電力線經(jīng)由基板的主面的上方而到達(dá)第一輸入側(cè)信號電極的情況。其結(jié)果是，能夠進(jìn)一步抑制第一輸入側(cè)信號電極和第二輸入側(cè)信號電極間的串?dāng)_。
[0023]進(jìn)而，在本發(fā)明的一方式的光控制設(shè)備中，可以是，信號電極間接地電極、第一接地電極以及第二接地電極中的至少一個具有貫通孔。由此，信號電極間接地電極、第一接地電極以及第二接地電極的至少一個表面積增加，因此從第一輸入側(cè)信號電極放射的電力線容易在信號電極間接地電極和第一接地電極處終止，從第二輸入側(cè)信號電極放射的電力線容易在信號電極間接地電極和第二接地電極處終止。其結(jié)果是，能夠進(jìn)一步抑制第一輸入側(cè)信號電極和第二輸入側(cè)信號電極間的串?dāng)_。
[0024]進(jìn)而，本發(fā)明的一方式的光控制設(shè)備還能夠包括設(shè)置在第一槽部內(nèi)并與信號電極間接地電極電連接的第一槽部內(nèi)接地電極；和/或設(shè)置在第二槽部內(nèi)并與第一接地電極電連接的第二槽部內(nèi)接地電極；和/或設(shè)置在第三槽部內(nèi)并與信號電極間接地電極電連接的第三槽部內(nèi)接地電極；和/或設(shè)置在第四槽部內(nèi)并與第二接地電極電連接的第四槽部內(nèi)接地電極。
[0025]此時，從第一輸入側(cè)信號電極放射的電力線的一部分在第一槽部內(nèi)接地電極和/或第二槽部內(nèi)接地電極處終止，和/或，從第二輸入側(cè)信號電極放射的電力線的一部分在第三槽部內(nèi)接地電極和/或第四槽部內(nèi)接地電極處終止。其結(jié)果是，從第一輸入側(cè)信號電極放射的電力線和從第二輸入側(cè)信號電極放射的電力線容易在更近的地方終止，因此能夠進(jìn)一步抑制第一輸入側(cè)信號電極和第二輸入側(cè)信號電極間的串?dāng)_。
[0026]進(jìn)而，在本發(fā)明的一方式的光控制設(shè)備中，可以是，第一槽部內(nèi)接地電極、第二槽部內(nèi)接地電極、第三槽部內(nèi)接地電極以及第四槽部內(nèi)接地電極中的至少一個具有貫通孔。由此，第一槽部內(nèi)接地電極、第二槽部內(nèi)接地電極、第三槽部內(nèi)接地電極以及第四槽部內(nèi)接地電極的表面積增加，因此從第一輸入側(cè)信號電極放射的電力線更容易在第一槽部內(nèi)接地電極和第二槽部內(nèi)接地電極處終止，并且從第二輸入側(cè)信號電極放射的電力線更容易在第三槽部內(nèi)接地電極和第四槽部內(nèi)接地電極處終止。其結(jié)果是，能夠進(jìn)一步抑制第一輸入側(cè)信號電極和第二輸入側(cè)信號電極間的串?dāng)_。
[0027]另外，在本發(fā)明的一方式的光控制設(shè)備中，可以是，信號電極間接地電極、第一接地電極以及第二接地電極分別具有凹部。由此，信號電極間接地電極、第一接地電極以及第二接地電極的表面積增加，因此從第一輸入側(cè)信號電極放射的電力線容易在信號電極間接地電極和第一接地電極處終止，從第二輸入側(cè)信號電極放射的電力線容易在信號電極間接地電極和第二接地電極處終止。其結(jié)果是，能夠進(jìn)一步抑制第一輸入側(cè)信號電極和第二輸入側(cè)信號電極間的串?dāng)_。
[0028]進(jìn)而，在本發(fā)明的一方式的光控制設(shè)備中，可以是，第一接地電極的一端、第一輸入側(cè)信號電極的一端、信號電極間接地電極的一端、第二輸入側(cè)信號電極的一端以及所述第二接地電極的一端，按照該順序沿第一方向排列配置，該第一方向沿著基板的主面，當(dāng)將第一輸入側(cè)信號電極的所述一端與第二輸入側(cè)信號電極的所述一端的沿著第一方向的分隔距離設(shè)為D，將第一接地電極的所述一端與信號電極間接地電極的所述一端的沿著所述第一方向的分隔距離或第二接地電極的所述一端與信號電極間接地電極的所述一端的沿著所述第一方向的分隔距離設(shè)為K時，D/Κ的值為3.0以下。顯然，D的值越大，則越有利于串?dāng)_的防止，但是本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)如下情況:在K的值較大的情況下串?dāng)_特性容易惡化；以及，在D/Κ的值作為串?dāng)_特性的判別式有效而D/Κ的值滿足該條件的以往的光控制設(shè)備中，特別容易產(chǎn)生與第一輸入側(cè)信號電極相當(dāng)?shù)囊睾团c第二輸入側(cè)信號電極相當(dāng)?shù)囊亻g的串?dāng)_。因此，通過在D/Κ的值滿足該條件的光控制設(shè)備中應(yīng)用本發(fā)明的一方式，從而能夠特別有效地發(fā)揮本發(fā)明的一方式的上述效果。
[0029]發(fā)明效果
[0030]根據(jù)本發(fā)明，提供一種光控制設(shè)備，其具有多個調(diào)制用電極，且能夠抑制各調(diào)制用電極的各輸入側(cè)信號電極間的串?dāng)_。
【附圖說明】
[0031]圖1是示出第一實施方式的光控制設(shè)備的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
[0032]圖2是示出圖1所示的光控制設(shè)備的第一控制用信號電極的第一輸入側(cè)信號電極和第二控制用信號電極的第一輸入側(cè)信號電極的一端附近的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
[0033]圖3是沿著圖2的II1-1II線的光控