掩膜板、陣列基板及其制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶顯示技術領域，具體地說，涉及掩膜板、陣列基板及其制造方法。
【背景技術】
[0002]液晶顯示器具有低輻射、體積小以及低能耗等優(yōu)點，其已經(jīng)逐漸取代傳統(tǒng)的陰極射線管顯示器而廣泛地應用在平板電視、個人電腦以及移動顯示面板等產(chǎn)品上。
[0003]對于大尺寸液晶顯示面板來說，由于陣列基板走線較長，線路RC時延以及線路負載較大，因此通常需要采用雙邊驅動的方式來進行驅動。然而，對于同一款產(chǎn)品，為滿足不同客戶的需求，液晶顯示面板的驅動方式(例如信號反轉方式和幀刷新速率等)會有所不同，因此不同的驅動方式可對應不同的電路設計。對于高刷新速率以及點反轉驅動的產(chǎn)品，需要的驅動成本相對較高，柵極掃描通常采用雙邊驅動的方式。
[0004]而對于雙邊驅動的陣列基板，陣列基板會包括兩個用于與柵極驅動芯片連接的端子區(qū)。當陣列基板采用單邊驅動時，現(xiàn)有陣列基板中的兩個端子區(qū)中的一個將不會焊接柵極驅動芯片，即該端子區(qū)將處于懸空狀態(tài)。而當端子區(qū)處于懸空狀態(tài)時，不僅很容易受到空氣中水汽腐蝕，還容易被劃傷，從而對陣列基板的質量產(chǎn)生影響。
【發(fā)明內容】
[0005]本發(fā)明所要解決的技術問題是為了解決現(xiàn)有的陣列基板由于端子區(qū)處于懸空狀態(tài)而導致端子區(qū)被水汽侵蝕或被劃傷的問題。為解決上述問題，本發(fā)明的一個實施例首先提供了一種掩膜板，所述掩膜板包括:
[0006]第一圖案化透光區(qū)，其形成在所述掩膜板的一側；
[0007]第二圖案化透光區(qū)，其形成在所述掩膜板中并處于所述第一圖案化透光區(qū)的對側；
[0008]第一標記，其形成在所述第一圖案化透光區(qū)靠近所述掩膜板中心的一側，并距所述第一圖案化透光區(qū)第一預設距離；
[0009]第二標記，其形成在所述第一圖案化透光區(qū)遠離所述掩膜板中心的一側，并距所述第一圖案化透光區(qū)第二預設距離。
[0010]本發(fā)明還提供了一種制造陣列基板的方法，所述方法包括:
[0011 ] 在基板上形成柵極走線；
[0012]在所述基板和柵極走線上形成絕緣層；
[0013]根據(jù)所制造的陣列基板的驅動類型，將曝光機內部的擋板調至與掩膜板中的第一標記或第二標記對齊，并對所述柵極走線上覆蓋的絕緣層進行刻蝕，以在所述柵極走線上方形成過孔；
[0014]在所述絕緣層上形成導電層，所述導電層通過所述過孔與所述柵極走線連接。
[0015]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述第一標記形成在所述掩膜板中第一圖案化透光區(qū)靠近所述掩膜板中心的一側，并距所述第一圖案化透光區(qū)第一預設距離。
[0016]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述第二標記形成在所述第一圖案化透光區(qū)遠離所述掩膜板中心的一側，并距所述第一圖案化透光區(qū)第二預設距離。
[0017]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述陣列基板的驅動類型包括單邊驅動和雙邊驅動，其中，
[0018]當所制造的陣列基板為單邊驅動時，將曝光機內部的擋板調至與掩膜板中的第一標記對齊，以遮擋所述第一圖案化透光區(qū)；
[0019]當所制造的陣列基板為雙邊驅動時，將曝光機內部的擋板調至與掩膜板中的第二標記對齊，以露出所述第一圖案化透光區(qū)。
[0020]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，在所述柵極走線上形成過孔的步驟包括:
[0021]在所述絕緣層上形成光阻層；
[0022]利用所述曝光機通過掩膜板對所述光阻層進行曝光，以將所述光阻層圖案化；
[0023]對所述絕緣層進行刻蝕，以將未被所述光阻層遮擋的絕緣層刻蝕掉，從而形成所述過孑L ；
[0024]剝離所述光阻層。
[0025]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，形成絕緣層的步驟包括:
[0026]在所述基板和柵極走線上形成柵極絕緣層；
[0027]在所述柵極絕緣層上形成絕緣保護層。
[0028]本發(fā)明還提供了一種陣列基板，所述陣列基板包括:
[0029]基板，
[0030]柵極走線，其形成在所述基板上，所述柵極走線的兩端分別形成有第一連接區(qū)和第二連接區(qū)；
[0031]絕緣層，其形成在所述基板和柵極走線上；
[0032]過孔，其形成在所述第一連接區(qū)上方；
[0033]第一導電層，其形成在所述絕緣層上，并通過所述過孔與所述第一連接區(qū)連接。
[0034]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述第二連接區(qū)上覆蓋有絕緣層和第二導電層。
[0035]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述絕緣層包括柵極絕緣層和絕緣保護層，其中，所述柵極絕緣層形成在所述基板和柵極走線上，所述絕緣保護層形成在所述柵極絕緣層上。
[0036]本發(fā)明所提供的陣列基板中某一連接端子區(qū)處于懸空狀態(tài)時，由于柵極走線上覆蓋有絕緣層，因此不易受到空氣中水汽的腐蝕以及劃傷，從而保證了陣列基板的可靠性。
[0037]本發(fā)明的其它特征和優(yōu)點將在隨后的說明書中闡述，并且，部分地從說明書中變得顯而易見，或者通過實施本發(fā)明而了解。本發(fā)明的目的和其他優(yōu)點可通過在說明書、權利要求書以及附圖中所特別指出的結構來實現(xiàn)和獲得。
【附圖說明】
[0038]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要的附圖做簡單的介紹:
[0039]圖1是現(xiàn)有的陣列基板的結構示意圖；
[0040]圖2是現(xiàn)有的驅動陣列基板中某一連接端子的剖視圖；
[0041]圖3是根據(jù)本發(fā)明一個實施例的陣列基板的結構示意圖；
[0042]圖4是根據(jù)本發(fā)明一個實施例的陣列基板中某一連接端子的剖視圖；
[0043]圖5是根據(jù)本發(fā)明一個實施例的掩膜板的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0044]以下將結合附圖及實施例來詳細說明本發(fā)明的實施方式，借此對本發(fā)明如何應用技術手段來解決技術問題，并達成技術效果的實現(xiàn)過程能充分理解并據(jù)以實施。需要說明的是，只要不構成沖突，本發(fā)明中的各個實施例以及各實施例中的各個特征可以相互結合，所形成的技術方案均在本發(fā)明的保護范圍之內。
[0045]同時，在以下說明中，出于解釋的目的而闡述了許多具體細節(jié)，以提供對本發(fā)明實施例的徹底理解。然而，對本領域的技術人員來說顯而易見的是，本發(fā)明可以不用這里的具體細節(jié)或者所描述的特定方式來實施。
[0046]圖1示出了現(xiàn)有陣列基板的結構示意圖。
[0047]如圖1所示，現(xiàn)有的雙邊驅動陣列基板包括顯示區(qū)域101以及分別設置在顯示區(qū)域101兩側的柵極驅動芯片焊接端子區(qū)(即左側連接端子區(qū)102和右側連接端子區(qū)103)。由于陣列基板采用雙邊驅動的方式，因此顯示區(qū)域101中所布置的各條柵極掃描線104分別與左側端子區(qū)102和右側端子區(qū)103中的相應端子連接。
[0048]在現(xiàn)有的陣列基板中，左側端子區(qū)102和右側端子區(qū)103的結構相同，均包括相同數(shù)量的連接端子105，各個連接端子的結構也相同。為了描述的方便，以下以某一連接端子為例來對現(xiàn)有的雙邊驅動陣列基板的結構作進一步地闡述。
[0049]圖2示出了某一連接端子的剖視圖。從圖2中可以看出，現(xiàn)有的雙邊驅動陣列基板的連接端子105包括:基板201、柵極走線202、柵極絕緣層203、絕緣保護層204和導電層205。其中，導電層205通過過孔206與柵極走線202連接。當柵極驅動芯片焊接到該液晶顯示面板上后，柵極驅動芯片的各個端子會通過異性導電膠(ACF)與陣列基板的各個導電層205對應連接，這樣柵極驅動芯片便可以通過相應的連接端子與柵極掃描線相連，以便向柵極掃描線發(fā)送掃描信號。
[0050]對于現(xiàn)有的陣列基板來說，如果需要采用單邊驅動的方式來進行驅動的話，左側連接端子區(qū)102和右側連接端子區(qū)103將有一組處于懸空狀態(tài)。由于處于懸空狀態(tài)的連接端子區(qū)未做任何保護處理，因此該連接端子區(qū)將很容易受到空氣中水汽等物質的腐蝕，同時，該連接端子區(qū)還容易被劃傷。
[0051]針對現(xiàn)有陣列基板存在的上述問題，本實施例提供了一種新的陣列基板，圖3示出了該陣列基板的結構示意圖。
[0052]如圖3所示，本實施例所提供的陣列基板包括顯示區(qū)域101以及分別設置在顯示區(qū)域101兩側的柵極驅動芯片連接端子區(qū)(即左側連接端子區(qū)102和右側連接端子區(qū)301)。其中，左側連接端子區(qū)102中各個連接端子的結構與圖2所示的現(xiàn)有陣列基板中連接端子的結構相同，在此不再贅述。左側連接端子區(qū)102中各個連接端子所包含的導電層為第一導電層。
[0053]本實施例中，右側連接端子區(qū)301中各個連接端子302的剖視圖如圖4所示。
[0054]從圖4中可以看出，本實施例所提供的陣列基板中右側連接端子區(qū)301中各個連接端子302包括:基板201、柵極走線202、絕緣層(本實施例中，絕緣層包括柵極絕緣層203和絕緣保護層204)以及第二導電層207。其中，柵極走線202形成在基板201上，絕緣層形成在基板201和柵極走線202上，第二導電層207形成在絕緣層上并處于柵極走線202上方。
[0055]由于本發(fā)明所提供的陣列基板的驅動方式為單邊驅動，因此在本發(fā)明的其他實施例中，右側連接端子