以及第一犧牲材料層1820及第二犧牲材料層1824 的剩余部分的頂部上沉積第三犧牲材料層1832。這產(chǎn)生圖18G中所示的結(jié)構(gòu)。接著，圖案 化此結(jié)構(gòu)以產(chǎn)生將快門1702a及1702b的近端層級1703a及1703b連接到快門1702a及 1702b的遠(yuǎn)端層級1704a及1704b的側(cè)壁1711的模具。如圖18H中所示，在頂部上沉積第 二結(jié)構(gòu)材料層1834。接著，圖案化第二結(jié)構(gòu)材料層1834以形成快門1702a及1702b的遠(yuǎn)端 層級1704a及1704b以及將快門1702a及1702b的遠(yuǎn)端層級1704a及1704b連接到近端層 級1703a及1703b的側(cè)壁1711，如圖181中所示。在一些實施方案中，可使用單個各向異性 蝕刻實行此圖案化過程。施加脫模劑，移除第一犧牲材料層1820、第二犧牲材料層1824及 第三犧牲材料層1832的剩余部分，從而產(chǎn)生如圖17A及17B中所示的快門組合件1700。
[0188] 圖19及20展示包含一組顯示元件的實例性顯示裝置40的系統(tǒng)框圖。顯示裝置 40可為（例如）智能電話、蜂窩式電話或移動電話。然而，顯示裝置40的相同組件或其稍 微變化形式也說明例如電視機(jī)、計算機(jī)、平板計算機(jī)、電子閱讀器、手持式裝置及便攜式媒 體裝置等各種類型的顯示裝置。
[0189] 顯示裝置40包含外殼41、顯示器30、天線43、揚聲器45、輸入裝置48及麥克風(fēng)46。 外殼41可由各種制造工藝（包含注射模制及真空成型）中的任一者形成。另外，外殼41 可由各種材料中的任何材料制成，所述材料包含但不限于：塑料、金屬、玻璃、橡膠及陶瓷或 其組合。外殼41可包含可與具有不同色彩或含有不同標(biāo)志、圖片或符號的其它可移除部分 互換的可移除部分（未展示）。
[0190] 顯示器30可為各種顯示器中的任一者，包含雙穩(wěn)態(tài)顯示器或模擬顯示器，如本文 中所描述。顯示器30也可經(jīng)配置以包含平板顯示器（例如，等離子、電致發(fā)光（EL)顯示器、 0LED、超扭轉(zhuǎn)向列型（STN)顯示器、IXD或薄膜晶體管（TFT)IXD)或非平板顯示器（例如， 陰極射線管（CRT)或其它電子管裝置）。另外，顯示器30可包含機(jī)械基于光調(diào)制器的顯示 器，如本文中所描述。
[0191] 圖19中示意性地圖解說明顯示裝置40的組件。顯示裝置40包含外殼41，且可包 含至少部分地封圍于其中的額外組件。舉例來說，顯示裝置40包含網(wǎng)絡(luò)接口 27,所述網(wǎng)絡(luò) 接口包含可耦合到收發(fā)器47的天線43。網(wǎng)絡(luò)接口 27可為可顯示于顯示裝置40上的圖像 數(shù)據(jù)的源。因此，網(wǎng)絡(luò)接口 27是圖像源模塊的一個實例，但處理器21及輸入裝置48也可 用作圖像源模塊。收發(fā)器47連接到處理器21，所述處理器連接到調(diào)節(jié)硬件52。調(diào)節(jié)硬件 52可經(jīng)配置以調(diào)節(jié)信號（例如濾波或以其它方式操縱信號）。調(diào)節(jié)硬件52可連接到揚聲 器45及麥克風(fēng)46。處理器21也可連接到輸入裝置48及驅(qū)動器控制器29。驅(qū)動器控制器 29可耦合到幀緩沖器28及陣列驅(qū)動器22,所述陣列驅(qū)動器又可耦合到顯示陣列30。顯示 裝置40中的一或多個元件（包含圖19中未具體繪示的元件）可經(jīng)配置以用作存儲器裝置 且經(jīng)配置以與處理器21通信。在某些實施方案中，電力供應(yīng)器50可將電力提供到特定顯 示裝置40設(shè)計中的實質(zhì)上所有組件。
[0192] 網(wǎng)絡(luò)接口 27包含天線43及收發(fā)器47,以使得顯示裝置40可經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)與一或多 個裝置通信。網(wǎng)絡(luò)接口 27也可具有某些處理能力以減輕（例如）處理器21的數(shù)據(jù)處理要 求。天線43可發(fā)射和接收信號。在某些實施方案中，天線43根據(jù)IEEE 16. 11標(biāo)準(zhǔn)（包含 IEEE16. 11(a)、（b)或（g))或 IEEE 802. 11 標(biāo)準(zhǔn)（包含 IEEE 802. 11a、b、g、η 及其進(jìn)一步 實施方案）發(fā)射和接收RF信號。在某些其它實施方案中，天線43根據(jù)Bluetooth?標(biāo)準(zhǔn)發(fā) 射和接收RF信號。在蜂窩式電話的情形中，天線43可經(jīng)設(shè)計以接收碼分多址（CDMA)、頻分 多址（FDM)、時分多址（TDM)、全球移動通信系統(tǒng)（GSM)、GSM/通用包無線電服務(wù)（GPRS)、 增強(qiáng)型數(shù)據(jù)GSM環(huán)境（EDGE)、地面中繼無線電（TETRA)、寬帶-CDMA(W-CDM)、演進(jìn)數(shù)據(jù)優(yōu)化 (EV-DO)、lxEV-D0、EV-D0修訂版A、EV-D0修訂版B、高速包接入（HSPA)、高速下行鏈路包接 入（HSDPA)、高速上行鏈路包接入（HSUPA)、經(jīng)演進(jìn)的高速包接入（HSPA+)、長期演進(jìn)（LTE)、 AMPS或用于在無線網(wǎng)絡(luò)（例如利用3G、4G或5G技術(shù)的系統(tǒng)）內(nèi)通信的其它已知信號。收 發(fā)器47可預(yù)處理從天線43接收的信號，以使得其可由處理器21接收并進(jìn)一步操縱。收發(fā) 器47也可處理從處理器21接收的信號，以使得可經(jīng)由天線43從顯示裝置40發(fā)射所述信 號。
[0193] 在某些實施方案中，可由接收器來替換收發(fā)器47。另外，在某些實施方案中，可由 圖像源來替換網(wǎng)絡(luò)接口 27,所述圖像源可存儲或產(chǎn)生待發(fā)送到處理器21的圖像數(shù)據(jù)。處理 器21可控制顯示裝置40的總體操作。處理器21從網(wǎng)絡(luò)接口 27或圖像源接收數(shù)據(jù)（例如 經(jīng)壓縮圖像數(shù)據(jù)），且將所述數(shù)據(jù)處理成原始圖像數(shù)據(jù)或處理成容易被處理成原始圖像數(shù) 據(jù)的格式。處理器21可將經(jīng)處理的數(shù)據(jù)發(fā)送到驅(qū)動器控制器29或發(fā)送到幀緩沖器28進(jìn) 行存儲。原始數(shù)據(jù)通常指識別圖像內(nèi)的每一位置處的圖像特性的信息。舉例來說，此些圖 像特性可包含色彩、飽和度及灰階等級。
[0194] 處理器21可包含微控制器、CPU或邏輯單元以控制顯示裝置40的操作。調(diào)節(jié)硬 件52可包含用于將信號發(fā)射到揚聲器45及用于從麥克風(fēng)46接收信號的放大器及濾波器。 調(diào)節(jié)硬件52可為顯示裝置40內(nèi)的離散組件，或可并入于處理器21或其它組件內(nèi)。
[0195] 驅(qū)動器控制器29可直接從處理器21或從幀緩沖器28獲取由處理器21產(chǎn)生的原 始圖像數(shù)據(jù)且可適當(dāng)?shù)刂匦赂袷交鲈紙D像數(shù)據(jù)以供高速傳輸?shù)疥嚵序?qū)動器22。在某 些實施方案中，驅(qū)動器控制器29可將所述原始圖像數(shù)據(jù)重新格式化成具有光柵樣格式的 數(shù)據(jù)流，以使得其具有適于跨越顯示陣列30掃描的時間次序。然后驅(qū)動器控制器29將經(jīng) 格式化的信息發(fā)送到陣列驅(qū)動器22。盡管驅(qū)動器控制器29 (例如LCD控制器）經(jīng)常作為獨 立集成電路（IC)與系統(tǒng)處理器21相關(guān)聯(lián)，但此些控制器可以許多方式來實施。舉例來說， 控制器可作為硬件嵌入于處理器21中、作為軟件嵌入于處理器21中或以硬件形式與陣列 驅(qū)動器22完全集成在一起。
[0196] 陣列驅(qū)動器22可從驅(qū)動器控制器29接收經(jīng)格式化信息且可將視頻數(shù)據(jù)重新格式 化成一組平行波形，所述組平行波形每秒多次地施加到來自顯示器的x-y顯示元件矩陣的 數(shù)百條且有時數(shù)千條（或更多）引線。
[0197] 在某些實施方案中，驅(qū)動器控制器29、陣列驅(qū)動器22及顯示陣列30適于本文中所 描述的顯示器類型中的任一者。舉例來說，驅(qū)動器控制器29可為常規(guī)顯示器控制器或雙穩(wěn) 態(tài)顯示器控制器。另外，陣列驅(qū)動器22可為常規(guī)驅(qū)動器或雙穩(wěn)態(tài)顯示器驅(qū)動器。此外，顯 示陣列30可為常規(guī)顯示陣列或雙穩(wěn)態(tài)顯示陣列。在某些實施方案中，驅(qū)動器控制器29可 與陣列驅(qū)動器22集成。此實施方案可在高度集成系統(tǒng)（例如，移動電話、便攜式電子裝置、 手表或小面積顯示器）中為有用的。
[0198] 在某些實施方案中，輸入裝置48可經(jīng)配置以允許（例如）用戶控制顯示裝置40 的操作。輸入裝置48可包含小鍵盤（例如，QWERTY鍵盤或電話小鍵盤）、按鈕、開關(guān)、搖桿、 觸敏屏幕、與顯示陣列30集成在一起的觸敏屏幕或者壓敏或熱敏薄膜。麥克風(fēng)46可經(jīng)配 置而作為顯示裝置40的輸入裝置。在某些實施方案中，可使用通過麥克風(fēng)46的話音命令 來控制顯示裝置40的操作。
[0199] 電力供應(yīng)器50可包含各種能量存儲裝置。舉例來說，電力供應(yīng)器50可為可再充 電電池，例如鎳鎘電池或鋰離子電池。在使用可再充電電池的實施方案中，所述可再充電電 池可為可使用來自（例如）壁式插座或光伏裝置或陣列的電力充電的。替代地，所述可再 充電電池可無線充電。電力供應(yīng)器50也可為可再生能量源、電容器或太陽能電池，包含塑 料太陽能電池或太陽能電池涂料。電力供應(yīng)器50也可經(jīng)配置以從墻上插座接收電力。
[0200] 在某些實施方案中，控制可編程性駐存于驅(qū)動器控制器29中，所述驅(qū)動器控制器 可位于電子顯示器系統(tǒng)中的數(shù)個地方中。在某些其它實施方案中，控制可編程性駐存于陣 列驅(qū)動器22中。上文所闡述的優(yōu)化可以任一數(shù)目的硬件及/或軟件組件實施且可以各種 配置實施。
[0201] 如本文中所使用，提及一項目列表中的"至少一者"的短語是指那些項目的任何組 合，包含單個部件。作為實例，"a、b或c中的至少一者"既定涵蓋：a、b、c、a-b、a-c、b_c及 a-b-c〇
[0202] 可將結(jié)合本文中所揭示的實施方案闡述的各種說明性邏輯、邏輯塊、模塊、電路及 算法過程實施為電子硬件、計算機(jī)軟件或兩者的組合。已就功能性大體闡述了硬件與軟件 的可互換性且在上文所闡述的各種說明性組件、塊、模塊、電路及過程中圖解說明了硬件與 軟件的可互換性。此功能性是實施成硬件還是軟件取決于特定應(yīng)用及強(qiáng)加于整個系統(tǒng)的設(shè) 計約束。
[0203] 可借助通用單芯片或多芯片處理器、數(shù)字信號處理器（DSP)、專用集成電路 (ASIC)、現(xiàn)場可編程門陣列（FPGA)或其它可編程邏輯裝置、離散門或晶體管邏輯、離散硬 件組件或經(jīng)設(shè)計以執(zhí)行本文中所闡述功能的其任何組合來實施或執(zhí)行用于實施連同本文 中所揭示的方面一起闡述的各種說明性邏輯、邏輯塊、模塊及電路的硬件及數(shù)據(jù)處理設(shè)備。 通用處理器可為微處理器或任一常規(guī)處理器、控制器、微控制器或狀態(tài)機(jī)。處理器也可實施 為計算裝置的組合，例如DSP與微處理器的組合、多個微處理器、結(jié)合DSP核心的一或多個 微處理器或任一其它此類配置。在某些實施方案中，可通過特定于給定功能的電路來執(zhí)行 特定過程及方法。
[0204] 在一或多個方面中，可以硬件、數(shù)字電子電路、計算機(jī)軟件、固件（包含本說明書 中所揭示的結(jié)構(gòu)及其結(jié)構(gòu)等效物）或其任何組合來實施所闡述的功能。也可將本說明書中 所闡述的標(biāo)的物的實施方案實施為一或多個計算機(jī)程序，即，編碼于計算機(jī)存儲媒體上供 數(shù)據(jù)處理設(shè)備執(zhí)行或用于控制數(shù)據(jù)處理設(shè)備的操作的一或多個計算機(jī)程序指令模塊。
[0205] 如果以軟件實施，則所述功能可存儲于計算機(jī)可讀媒體上或作為計算機(jī)可讀媒體 上的一或多個指令或代碼進(jìn)行傳輸。本文中所揭示的方法或算法的過程可實施于可駐存于 計算機(jī)可讀媒體上的處理器可執(zhí)行軟件模塊中。計算機(jī)可讀媒體包含計算機(jī)存儲媒體及包 含可經(jīng)啟用以將計算機(jī)程序從一個地方傳送到另一地方的任一媒體的通信媒體。存儲媒體 可為可由計算機(jī)存取的任何可用媒體。通過實例而非限制的方式，此些計算機(jī)可讀媒體可 包含RAM、ROM、EEPROM、CD-ROM或者其它光盤存儲裝置、磁盤存儲裝置或其它磁性存儲裝置 或者可用于以指令或數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)的形式存儲所要程序代碼且可由計算機(jī)存取的任一其它媒 體。此外，任一連接可適當(dāng)?shù)胤Q為計算機(jī)可讀媒體。如本中所用的磁盤及光盤包含壓縮光 盤（CD)、激光光盤、光學(xué)光盤、數(shù)字多功能光盤（DVD)、軟磁盤及藍(lán)光光盤，其中磁盤通常磁 性地再現(xiàn)數(shù)據(jù)而光盤借助激光光學(xué)地再現(xiàn)數(shù)據(jù)。上述的組合也應(yīng)包含于計算機(jī)可讀媒體的 范圍內(nèi)。另外，方法或算法的操作可作為一個或任一組合或集合的代碼及指令駐存于可并 入到計算機(jī)程序產(chǎn)品中的機(jī)器可讀媒體及計算機(jī)可讀媒體上。
[0206] 所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可容易地明了對本發(fā)明中所描述的實施方案的各種修改，且 本文中所定義的一般原理可適用于其它實施方案而不背離本發(fā)明的精神或范圍。因此，權(quán) 利要求書并不既定限于本文中所展示的實施方案，而應(yīng)被賦予與本發(fā)明、本文中所揭示的 原理及新穎特征相一致的最寬廣范圍。
[0207] 另外，所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)容易地了解，術(shù)語"上部"及"下部"有時用于便于闡 述所述圖，且指示對應(yīng)于圖在一適當(dāng)定向的頁面上的定向的相對位置，且可能不反映如所 實施的任何裝置的適當(dāng)定向。
[0208] 也可結(jié)合單個實施方案來實施本說明書中在單獨實施方案的情況下闡述的特定 特征。相反地，也可將在單個實施方案的情況下闡述的各種特征單獨地或以任一適合子組 合的形式實施于多個實施方案中。此外，盡管上文可將特征闡述為以特定組合形式起作用 且甚至最初主張如此，但來自所主張組合的一或多個特征在某些情形中可從所述組合去 除，且所主張組合可針對于子組合或子組合的變化形式。
[0209] 類似地，雖然在所述圖式中以特定次序繪示操作，但不應(yīng)將此理解為需要以所展 示的特定次序或以順序次序執(zhí)行此些操作或執(zhí)行所有所圖解說明的操作以實現(xiàn)合意結(jié)果。 此外，所述圖式可以流程圖的形式示意性地繪示一或多個實例性過程。然而，可將未繪示的 其它操作并入于示意性地圖解說明的實例性過程中。舉例來說，可在所圖解說明操作中的 任一者之前、之后、同時或之間執(zhí)行一或多個額外操作。在某些情況下，多任務(wù)及并行處理 可為有利的。此外，上文所闡述的實施方案中的各種系統(tǒng)組件的分開不應(yīng)被理解為需要在 所有實施方案中進(jìn)行此分開，而應(yīng)理解為所描述的程序組件及系統(tǒng)通?？梢黄鸺捎趩蝹€ 軟件產(chǎn)品中或封裝到多個軟件產(chǎn)品中。另外，其它實施方案也在所附權(quán)利要求書的范圍內(nèi)。 在某些情形中，權(quán)利要求書中所陳述的動作可以不同次序執(zhí)行且仍實現(xiàn)合意結(jié)果。
【主權(quán)項】
1. 一種設(shè)備，其包括： 襯底；及 機(jī)電系統(tǒng)EMS顯示元件，其支撐在所述襯底上方，所述EMS顯示元件包含： 靜電致動器，其包含： 第一梁電極，其耦合到第一錨固件； 第二梁電極，其跨致動間隙與所述第一梁電極相對且耦合到第二錨固件， 其中所述第一錨固件及所述第二錨固件將所述第一梁電極及所述第二梁電極支撐在 所述襯底上方，使得所述第一梁電極及所述第二梁電極中的至少一者響應(yīng)于跨所述致動間 隙施加電壓而朝向所述第一梁電極及所述第二梁電極中的另一者變形；及 快門，其連接到所述第二梁電極，使得在致動所述靜電致動器后，所述快門的最接近所 述第二錨固件的邊緣即刻在所述第一梁電極及所述第二梁電極中的一者的至少一部分上 方或下方經(jīng)過。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述快門包含： 近端層級，其實質(zhì)上平行于所述襯底；及 遠(yuǎn)端層級，其實質(zhì)上平行于所述襯底，其中所述遠(yuǎn)端層級與所述襯底隔開大于所述近 端層級與所述襯底隔開的距離。3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其中所述第一錨固件與所述近端快門層級的最接近所 述第一錨固件的邊緣之間的距離小于所述第一錨固件與所述遠(yuǎn)端快門層級的最接近所述 第一錨固件的邊緣之間的距離，且其中所述第二梁電極在所述遠(yuǎn)端快門層級處連接到所述 快門。4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其中所述第一錨固件與所述近端快門層級的最接近所 述第一錨固件的邊緣之間的所述距離小于所述第一錨固件與所述遠(yuǎn)端快門層級的最接近 所述第一錨固件的邊緣之間的所述距離，且其中所述第二梁電極在所述近端快門層級處連 接到所述快門。5. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其中所述第二梁電極在所述快門的連接所述近端快門 層級與所述遠(yuǎn)端快門層級的側(cè)壁處連接到所述快門。6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其中所述第二梁電極連接到所述快門的連接所述近端 快門層級與所述遠(yuǎn)端快門層級的所述側(cè)壁且包含所述側(cè)壁。7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包括耦合到第二靜電致動器且經(jīng)配置以在與 所述快門的方向相反的方向上致動的第二快門，且其中所述快門及所述第二快門一起經(jīng)配 置以選擇性地阻擋界定于所述襯底上的阻光層中的共同光透射區(qū)域。8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的設(shè)備，其中所述快門及所述第二快門中的每一者包含實質(zhì)上 平行于所述襯底的上阻光層級及下阻光層級，且其中所述第一快門及所述第二快門經(jīng)配置 以使得當(dāng)所述第一快門及所述第二快門處于光阻擋狀態(tài)時，所述第一快門及所述第二快門 的上阻光層在從其中所述第一快門及所述第二快門的所述下阻光層級彼此最接近的位置 橫向偏移的位置處彼此最接近。9. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的設(shè)備，其中所述快門及所述第二快門的部分經(jīng)配置以用作第 三靜電致動器的相對電極，使得當(dāng)跨所述快門及所述第二快門施加電位差時，將所述快門 及所述第二快門一起牽拉到阻光狀態(tài)中。10. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包括中心靜電致動器，所述中心靜電致動器 定位于所述快門與所述第二快門之間且經(jīng)配置以對所述快門及所述第二快門施加共同靜 電力。11. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包括： 顯示器，其包含所述EMS顯示元件； 處理器，其經(jīng)配置以與所述顯示器通信，所述處理器經(jīng)配置以處理圖像數(shù)據(jù)；及 存儲器裝置，其經(jīng)配置以與所述處理器通信。12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包括： 驅(qū)動器電路，其經(jīng)配置以將至少一個信號發(fā)送到所述顯示器；且其中 所述處理器進(jìn)一步經(jīng)配置以將所述圖像數(shù)據(jù)的至少一部分發(fā)送到所述驅(qū)動器電路。13. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包括： 圖像源模塊，其經(jīng)配置以將所述圖像數(shù)據(jù)發(fā)送到所述處理器，其中所述圖像源模塊包 括接收器、收發(fā)器和發(fā)射器中的至少一者。14. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包括： 輸入裝置，其經(jīng)配置以接收輸入數(shù)據(jù)并將所述輸入數(shù)據(jù)傳送到所述處理器。15. -種制造顯示元件的方法，其包括： 在襯底上提供經(jīng)成形用于制作顯示元件錨固件及靜電致動器的犧牲模具； 在所述犧牲模具上方沉積第一結(jié)構(gòu)材料層； 圖案化所述結(jié)構(gòu)材料層以界定所述顯示元件錨固件及所述靜電致動器； 在所述經(jīng)圖案化的第一結(jié)構(gòu)材料層上方沉積額外犧牲材料層； 圖案化所述額外犧牲材料層以形成顯示元件快門的模具； 在所述經(jīng)圖案化的額外犧牲材料層上方沉積第二結(jié)構(gòu)材料層；及 圖案化所述第二結(jié)構(gòu)材料層以界定所述顯示元件快門的一部分，使得與所述靜電致動 器的最遠(yuǎn)離所述襯底的邊緣相比，所述顯示元件快門的所述部分的最接近所述靜電致動器 的邊緣與所述襯底隔開更遠(yuǎn)。16. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其進(jìn)一步包括從所述犧牲模具及所述額外犧牲材料 層釋放所述顯示元件錨固件、所述靜電致動器及所述快門。17. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其中圖案化所述額外犧牲材料層包含在所述額外犧 牲材料層中形成具有側(cè)壁及底部的凹口，且圖案化所述第二結(jié)構(gòu)材料層包含界定所述顯示 元件快門以包含來自所述第二結(jié)構(gòu)材料層的沉積在所述凹口的所述側(cè)壁及所述底部上的 結(jié)構(gòu)材料。18. 根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中圖案化所述第二結(jié)構(gòu)材料層包含界定所述顯示 元件快門以包含來自所述第二結(jié)構(gòu)材料層的沉積在所述額外犧牲材料層的頂部上與所述 凹口鄰近的材料。19. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其中圖案化所述額外犧牲材料層包含在所述額外犧 牲材料層中形成具有側(cè)壁及頂表面的臺面，且圖案化所述第二結(jié)構(gòu)材料層包含界定所述顯 示元件快門以包含來自所述第二結(jié)構(gòu)材料層的沉積在所述臺面的所述側(cè)壁及所述頂表面 上的結(jié)構(gòu)材料。20. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其中圖案化所述第二結(jié)構(gòu)材料層包含界定所述顯示 元件快門以包含來自所述第二結(jié)構(gòu)材料層的經(jīng)沉積與所述臺面鄰近的材料。
【專利摘要】本發(fā)明提供用于提供緊湊快門組合件的系統(tǒng)、方法及設(shè)備。快門組合件可通過并入在致動期間在致動器的控制快門的部分上方或下方經(jīng)過的所述快門而以更緊湊方式形成，從而容許更高的每英寸像素顯示。
【IPC分類】G02B26/02, G02B27/00
【公開號】CN105122115
【申請?zhí)枴緾N201480013554
【發(fā)明人】T·J·布羅斯妮漢, J·維拉瑞歐, M·B·安德森
【申請人】皮克斯特隆尼斯有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2014年3月5日
【公告號】US20140268272, WO2014164140A1