一種柔性板的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種柔性板。
【背景技術(shù)】
[0002]激光剝離技術(shù)(Laser Lift-Off，LL0)是指利用激光能量分解玻璃基板和柔性基材接口處的連接層，從而實現(xiàn)將柔性基材從玻璃基板上分離的技術(shù)。
[0003]然而，使用激光剝離工藝將柔性基材從玻璃基板上取下時，激光從玻璃基板的一側(cè)射入，繼而穿透柔性基材、經(jīng)過緩沖層，并最終到達有緣層。這樣，激光的能量會被有緣層吸收，激光的能量會破壞有緣層的結(jié)構(gòu)，對被處理的柔性板導(dǎo)致元件特性的損壞。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對上述現(xiàn)有技術(shù)中的問題，即使用激光剝離工藝將柔性基材從玻璃基板取下時，激光的能量會破壞有緣層的結(jié)構(gòu)，本發(fā)明提出了一種柔性板。
[0005]本發(fā)明所提出的柔性板包括:柔性基材；設(shè)置于所述柔性基材的至少一個表面上的散射結(jié)構(gòu)；位于所述散射結(jié)構(gòu)的遠離所述柔性基材的一側(cè)的緩沖層；以及位于所述緩沖層的遠離所述柔性基材的一側(cè)的有緣層。
[0006]以此方式，為了實施激光剝離工藝以將柔性基材從玻璃基板的表面上分離，首先從玻璃基板的另一側(cè)射入強度較大的成束的大束激光。大束激光穿透玻璃基板和柔性基材以實現(xiàn)剝離功能，同時剩余的激光在穿透柔性基材后被設(shè)置在柔性基材的遠離玻璃基板的表面上的散射結(jié)構(gòu)散射，散射結(jié)構(gòu)將強度較大的成束的大束激光散射為多束強度較弱的小束激光。小束激光進入位于散射結(jié)構(gòu)的遠離柔性基材的一側(cè)的緩沖層中，在緩沖層中逐漸衰減。小束激光在緩沖層中逐漸衰減至消失，因此沒有激光能量到達位于緩沖層的遠離柔性基材的一側(cè)的有緣層并對后者造成傷害。當然，在本發(fā)明所提出的技術(shù)方案中，即使少量的激光能量到達位于緩沖層的遠離柔性基材的一側(cè)的有緣層，也不足以對其造成傷害，因為此處的激光能量已經(jīng)經(jīng)過分散和衰減。
[0007]在一個實施方式中，所述散射結(jié)構(gòu)包括兩個以上散射元件，所述散射元件的尺寸為納米至微米量級。納米至微米量級的散射元件針對激光有高效的散射作用。
[0008]在一個實施方式中，在所述柔性基材的設(shè)置有所述散射元件的表面上，所述散射元件相互之間無間隙地設(shè)置。以此方式，散射元件可以緊密的方式排布，加強了作為整體的多個散射元件對來自玻璃基板的方向的激光的散射作用。整束強度較高的大束激光在經(jīng)過散射元件后被有效散射為多束分散的強度較弱的小束激光。
[0009]在一個實施方式中，在所述柔性基材的設(shè)置有所述散射元件的表面上，所述散射元件之間設(shè)置有間隙。以此方式，可以靈活地調(diào)節(jié)散射元件的布置，實現(xiàn)分散來自玻璃基板的方向的激光能量的同時，還可以盡可能節(jié)省材料、減輕產(chǎn)品重量和降低工藝難度。
[0010]在一個實施方式中，在所述柔性基材的表面的任意方向上，所述間隙的寬度為與其相鄰的所述散射元件在相應(yīng)方向上的尺寸的1/4-1/2。以此方式，能夠使得對來自玻璃基板的方向的激光能量的分散效果最佳化，同時有效降低了散射元件的數(shù)量，節(jié)省了工序和材料。
[0011]在一個實施方式中，在垂直于所述柔性基材的表面的方向上，所述散射元件的截面為三角形、矩形、正方形、半橢圓形、半圓形或梯形。散射元件的不同的截面形狀針對激光的光路有不同的影響，因此可以適應(yīng)于不同的具體情況，這在下文中將結(jié)合不同的實施例詳細討論。
[0012]在一個實施方式中，所述散射元件通過壓印工藝、黃光工藝、干刻工藝或濕刻工藝形成在所述柔性基材的表面上。由此可見，本發(fā)明的方案對具體工藝的選擇十分靈活。
[0013]在一個實施方式中，所述緩沖層包覆住全部的所述散射元件，并且填充到相鄰的所述散射元件之間的空間中。這對激光能量的衰減和緩沖起到很有效的作用，因為從散射元件的任何表面以任意角度出射的激光都能夠進入到緩沖層中以進行衰減。
[0014]在一個實施方式中，在垂直于所述柔性基材的表面的方向上，所述緩沖層的厚度相當于所述散射元件在相應(yīng)方向上的尺寸的數(shù)倍至數(shù)千倍。這樣的尺寸設(shè)置，既能夠保證使得分散開的激光能量得到有效衰減，又不會過度增加柔性板的厚度和重量。
[0015]在一個實施方式中，所述散射元件還能夠反射或吸收光線。這樣可以更有效地阻止激光的能量被有緣層吸收，進而傷害到有緣層的結(jié)構(gòu)。
[0016]上述技術(shù)特征可以各種適合的方式組合或由等效的技術(shù)特征來替代，只要能夠達到本發(fā)明的目的。
【附圖說明】
[0017]在下文中將基于實施例并參考附圖來對本發(fā)明進行更詳細的描述。其中:
[0018]圖1顯示了本發(fā)明所提出的柔性板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2顯示了本發(fā)明所提出的柔性板的第一實施例的部分結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖3顯示了本發(fā)明所提出的柔性板的第二實施例的部分結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖4顯示了本發(fā)明所提出的柔性板的第三實施例的部分結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖5顯示了本發(fā)明所提出的柔性板的第四實施例的部分結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖6顯示了本發(fā)明所提出的柔性板的第一實施例的激光透射示意圖；以及
[0024]圖7顯示了所設(shè)計的對比例的柔性板的激光透射示意圖。
[0025]在附圖中，相同的部件使用相同的附圖標記。附圖并未按照實際的比例。
【具體實施方式】
[0026]下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步說明。
[0027]圖1顯示了本發(fā)明所提出的柔性板的結(jié)構(gòu)示意圖。本發(fā)明提出了一種柔性板100。根據(jù)本發(fā)明的柔性板100包括:柔性基材2 ;設(shè)置于柔性基材2的至少一個表面上的散射結(jié)構(gòu)3(在圖1所示的示意圖中，散射結(jié)構(gòu)3位于柔性基材2的遠離玻璃基板I的表面上);位于散射結(jié)構(gòu)3的遠離柔性基材2的一側(cè)的緩沖層4 ；以及位于緩沖層4的遠離柔性基材2的一側(cè)的有緣層5。從圖1中可看出，柔性基材2附著在玻璃基板I上。
[0028]根據(jù)本發(fā)明的柔性板100尤其適合用于激光剝離技術(shù)(Laser Lift-Off, LLO)，即利用激光能量分解玻璃基板I和柔性基材2接口處的連接層，從而實現(xiàn)將柔性基材2從玻璃基板I上分咼。
[0029]具體地，散射結(jié)構(gòu)3可以構(gòu)造為兩個以上的散射元件，該散射元件的尺寸為納米至微米量級。納米至微米量級的散射元件針對激光有高效的散射作用。
[0030]圖2顯示了本發(fā)明所提出的柔性板的第一實施例的部分結(jié)構(gòu)示意圖。在圖2所示的第一實施例中，在柔性基材2的設(shè)置有散射元件3.1的表面上(即柔性基材2的遠離玻璃基板I的表面上)，散射元件3.1相互之間無間隙地設(shè)置。以此方式，散射元件3.1可以緊密的方式排布，加強了作為整體的多個散射元件3.1對來自玻璃基板I的方向的激光6的散射作用。圖2中清楚地顯示了，整束強度較高的大束激光6在經(jīng)過散射元件3.1后被散射為多束分散的強度較弱的小束激光6.10
[0031]關(guān)于散射元件3.1的形狀，在圖2中可清楚地看出，在垂直于柔性基材2的表面的方向上，散射元件3.1的截面為三角形。其中三角形的底邊與柔性基材2的表面貼合，激光從三角形的底邊入射，經(jīng)散射元件3.1的散射后在其兩條側(cè)邊處出射。以此方式，可通過調(diào)節(jié)三角形的角的角度來控制光線的出射方向。
[0032]當然，這并非限定性的，也可以是這樣的情況:在柔性基材的設(shè)置有散射元件的表面上，在散射元件之間設(shè)置有間隙。以此方式，可以靈活地調(diào)節(jié)散射元件的布置，實現(xiàn)分散來自玻璃基板I的方向的激光能量的同時，還可以盡可能節(jié)省材料、減輕產(chǎn)品重量和降低工藝難度。
[0033]圖3顯示了本發(fā)明所提出的柔性板的第二實施例的部分結(jié)構(gòu)示意圖。在圖3所示的第二實施例中，在柔性基材2的設(shè)置有散射元件3.2的表面上(即柔性基材2的遠離玻璃基板I的表面上)，在散射元件3.2之間設(shè)置有間隙8。以此方式，可以靈活地調(diào)節(jié)散射元件3.2的布置，實現(xiàn)分散來自玻璃基板I的方向的激光能量的同時，還可以盡可能節(jié)省材料、減輕產(chǎn)品重量和降低工藝復(fù)雜度。圖3中清楚地顯示了，整束強度較高的大束激光6在經(jīng)過散射元件3.2后被散射為多束分散的強度較弱的小束激光6.1。
[0034]關(guān)于散射元件3.2的形狀，在圖3中可清楚地看出，在垂直于柔性基材2的表面的方向上，散射元件3.2的截面可為矩形或正方形(圖中所示僅為示意性，其邊長比例不能理解為針對本實施例的精確限定)。矩形或正方形是最容易加工的形狀，可以大大簡化本發(fā)明的方案的工藝難度，同時矩形或正方形對材料的利用率也最高，可有效減少廢材、節(jié)約成本。
[0035]關(guān)于間隙8的寬度，在柔性基材2的表面的任意方向上(例如圖3的水平方向上)，間隙8的寬度例如可以為與其相鄰的散射元件3.2在相應(yīng)方向上的尺寸的1/4-1/2。以此方式，能夠使得對來自玻璃基板I的方向的激光能量的分散效果最佳化，同時不必過度地增加整個柔性板100的重量或工藝復(fù)雜度。
[0036]當然，這并非限定性的，也可以是這樣的情況:散射元件3.2相互之間無間隙地設(shè)置。以此方式，散射元件3.2可以緊密的方式排布，這加強了作為整體的多個散射元件3.2對來自玻璃基板I的方向的激光6的散射作用。
[0037]圖4顯示了本發(fā)明所提出的柔性板的第三實施例的部分結(jié)構(gòu)示意圖。在圖4所示的第三實施例中，在柔性基