的腐蝕的風(fēng)險(xiǎn)較高。
[0044] 實(shí)施例3
本發(fā)明是一種新型負(fù)膠顯影液，所述蝕刻液中各物質(zhì)質(zhì)量百分比如下:環(huán)戊酮85%、有機(jī)溶劑14.9%、鋁保護(hù)劑0.1%。
[0045]其中，所述有機(jī)溶劑包括石油醚和四氫呋喃；所述有機(jī)溶劑各組分質(zhì)量比為:石油醚:四氫呋喃=30:1。添加四氫呋喃的目的是為了增強(qiáng)鋁保護(hù)劑的溶解性能。
[0046]其中鋁保護(hù)劑包括鉬酸鈉、苯并三氮唑、吖啶，所述鋁保護(hù)劑各物質(zhì)質(zhì)量比為:鉬酸鈉:苯并三氮唑:吖啶=5:1:0.5。
[0047]其制備方法與實(shí)施例1相同。
[0048]實(shí)施過(guò)程:將配置好的顯影液置于溫控槽內(nèi)，控制其溫度在25°C ±2°C。將待顯影的基板傳送至顯影液槽內(nèi)進(jìn)行浸泡或者噴淋100s，然后進(jìn)行水洗、吹干、后烘，得到顯影后的光刻膠基板。隨后進(jìn)行光學(xué)顯微鏡觀察以及SEM觀察，測(cè)量光刻膠的顯影效果。
[0049]顯影效果:顯影無(wú)殘留，壽命(lift time)較大，線寬特性(⑶profile)較好，線寬角度(CD Taper)穩(wěn)定性較好，CD線性度較好有變差風(fēng)險(xiǎn)(在顯影時(shí)間較短時(shí)容易發(fā)生)，CD穩(wěn)定性較好，CD隨時(shí)間變化較好(顯影可控性較好)，無(wú)剝落現(xiàn)象，對(duì)底層金屬(Al)的腐蝕較小。
[0050]
實(shí)施例4
本發(fā)明是一種新型負(fù)膠顯影液，所述蝕刻液中各物質(zhì)質(zhì)量百分比如下:環(huán)戊酮90%、有機(jī)溶劑9.95%、鋁保護(hù)劑0.05%。
[0051]其中，所述有機(jī)溶劑包括石油醚和四氫呋喃；所述有機(jī)溶劑各組分質(zhì)量比為:石油醚:四氫呋喃=45:1。添加四氫呋喃的目的是為了增強(qiáng)鋁保護(hù)劑的溶解性能。
[0052]其中鋁保護(hù)劑包括鉬酸鈉、苯并三氮唑、吖啶、硫脲，所述鋁保護(hù)劑各物質(zhì)質(zhì)量比為:鉬酸鈉:苯并三氮唑:卩丫啶:硫脲=6:2:0.5: 0.10
[0053]其制備方法與實(shí)施例1相同。
[0054]實(shí)施過(guò)程:將配置好的顯影液置于溫控槽內(nèi)，控制其溫度在25°C ±2°C。將待顯影的基板傳送至顯影液槽內(nèi)進(jìn)行浸泡或者噴淋100s，然后進(jìn)行水洗、吹干、后烘，得到顯影后的光刻膠基板。隨后進(jìn)行光學(xué)顯微鏡觀察以及SEM觀察，測(cè)量光刻膠的顯影效果。
[0055]顯影效果:顯影無(wú)殘留，壽命(lift time)較大，線寬特性(⑶profile)較好，線寬角度(CD Taper)穩(wěn)定性較好，CD線性度較好(無(wú)毛邊現(xiàn)象)，線寬(CD)穩(wěn)定性較好，CD隨時(shí)間變化較好(顯影可控性較好)，無(wú)剝落現(xiàn)象，對(duì)底層金屬(Al)的腐蝕較小。
[0056]
實(shí)施例5
本發(fā)明是一種新型負(fù)膠顯影液，所述蝕刻液中各物質(zhì)質(zhì)量百分比如下:環(huán)戊酮95%、有機(jī)溶劑4.995%、鋁保護(hù)劑0.005%。
[0057]其中，所述有機(jī)溶劑包括石油醚和四氫呋喃；所述有機(jī)溶劑各組分質(zhì)量比為:石油醚:四氫呋喃=40:1。添加四氫呋喃的目的是為了增強(qiáng)鋁保護(hù)劑的溶解性能。
[0058]其中鋁保護(hù)劑包括鉬酸鈉、苯并三氮唑，所述鋁保護(hù)劑各物質(zhì)質(zhì)量比為:鉬酸鈉:苯并三氮唑=6:1。
[0059]其制備方法與實(shí)施例1相同。
[0060]實(shí)施過(guò)程:將配置好的顯影液置于溫控槽內(nèi)，控制其溫度在25°C ±2°C。將待顯影的基板傳送至顯影液槽內(nèi)進(jìn)行浸泡或者噴淋100s，然后進(jìn)行水洗、吹干、后烘，得到顯影后的光刻膠基板。隨后進(jìn)行光學(xué)顯微鏡觀察以及SEM觀察，測(cè)量光刻膠的顯影效果。
[0061]顯影效果:顯影無(wú)殘留，壽命(lift time)較大，線寬特性(⑶profile)較好，線寬角度(CD Taper)穩(wěn)定性較好，CD線性度較好(無(wú)毛邊現(xiàn)象)，CD穩(wěn)定性較好，CD隨時(shí)間變化較好(顯影可控性較好)，無(wú)剝落現(xiàn)象，對(duì)底層金屬(Al)的腐蝕較小。
[0062]
對(duì)比例I
本對(duì)比例與實(shí)施例1的區(qū)別僅在于:有機(jī)溶劑使用二甲苯。
[0063]實(shí)施過(guò)程與對(duì)比例I相同，使用后顯影不足:
線寬特性(⑶profile)穩(wěn)定性變差，且顯影毛邊發(fā)生的風(fēng)險(xiǎn)會(huì)增高對(duì)比例2
本對(duì)比例與實(shí)施例1的區(qū)別僅在于:有機(jī)溶劑為石油醚。
[0064]實(shí)施過(guò)程與對(duì)比例I相同，使用后顯影不足:
⑶隨顯影穩(wěn)定性變差，且發(fā)生PR剝落現(xiàn)象的風(fēng)險(xiǎn)增高，金屬腐蝕風(fēng)險(xiǎn)變高。
[0065]
對(duì)比例3
本對(duì)比例與實(shí)施例1的區(qū)別僅在于:有機(jī)溶劑為四氫呋喃。
[0066]實(shí)施過(guò)程與對(duì)比例I相同，使用后顯影不足:
線寬特性(CD profile)變差，線寬角度(CD Taper)穩(wěn)定性變差，壽命(lift time)會(huì)有變差的風(fēng)險(xiǎn)，且⑶穩(wěn)定性變差。
[0067]
對(duì)比例4
本對(duì)比例與實(shí)施例1的區(qū)別僅在于:鋁保護(hù)劑僅為鉬酸鈉。
[0068]實(shí)施過(guò)程與對(duì)比例I相同，使用后顯影不足:
金屬腐蝕風(fēng)險(xiǎn)變高，線寬特性(⑶profile)和⑶穩(wěn)定性變差。
[0069]
對(duì)比例5
本對(duì)比例與實(shí)施例1的區(qū)別僅在于:鋁保護(hù)劑僅為苯并三氮唑。
[0070]實(shí)施過(guò)程與對(duì)比例I相同，使用后顯影不足:
金屬腐蝕風(fēng)險(xiǎn)變高，CD穩(wěn)定性變差。
[0071]
對(duì)比例6
本對(duì)比例與實(shí)施例1的區(qū)別僅在于:鋁保護(hù)劑為苯并三氮唑:吖啶:硫脲=2:1:
0.1。
[0072]實(shí)施過(guò)程與對(duì)比例I相同，使用后顯影不足:
金屬腐蝕風(fēng)險(xiǎn)變高，CD穩(wěn)定性變差。
[0073]
本發(fā)明已經(jīng)參考具體實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明。然而，很明顯，在不背離本發(fā)明的精神的情況下，本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠?qū)?shí)施例執(zhí)行更改和替換。換句話說(shuō)，本發(fā)明用說(shuō)明的形式公開(kāi)，而不是被限制地解釋。要判斷本發(fā)明的要旨，應(yīng)該考慮所附的權(quán)利要求。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種新型有機(jī)負(fù)膠顯影液，其特征在于，所述顯影液包括環(huán)戊酮、有機(jī)溶劑和鋁保護(hù)劑；所述有機(jī)溶劑包括石油醚與四氫呋喃的混合物，或者石油醚與環(huán)氧乙烷的混合物；所述鋁保護(hù)劑至少包括鉬酸鈉、苯并三氮唑。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型有機(jī)負(fù)膠顯影液，其特征在于，所述組分中各物質(zhì)質(zhì)量配比如下:環(huán)戊酮85%~99.8%、有機(jī)溶劑0.1%~15%、鋁保護(hù)劑0.001%~0.1%。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型有機(jī)負(fù)膠顯影液，其特征在于，所述有機(jī)溶劑各組分質(zhì)量比為:石油醚:四氫呋喃或環(huán)氧乙烷=30~50:1。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型有機(jī)負(fù)膠顯影液，其特征在于，所述鋁保護(hù)劑還包括吖啶和/或硫脲。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型有機(jī)負(fù)膠顯影液，其特征在于，各物質(zhì)質(zhì)量比為:鉬酸鈉:苯并三氮唑:吖啶:硫脲=5-7: 1-2: 0~1: 0~1。6.一種新型有機(jī)負(fù)膠顯影液的制備方法，其特征在于:所述制備方法包括如下加工步驟: 第一步:將強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹(shù)脂分別加入到環(huán)戊酮、石油醚、四氫呋喃或環(huán)氧乙烷、鋁保護(hù)劑中，攪拌混合，然后濾出強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹(shù)脂； 第二步:將原料按配比稱重配置； 第三步:先加入環(huán)戊酮至配料罐，在攪拌下加入石油醚，再在攪拌下加入四氫呋喃或環(huán)氧乙烷，將混合液攪拌均勻后，攪拌下加入鋁保護(hù)劑，混合均勻； 第四步:將混合物通入過(guò)濾器中過(guò)濾，得到所述新型有機(jī)負(fù)膠顯影液。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的新型有機(jī)負(fù)膠顯影液的制備方法，其特征在于:所述強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹(shù)脂為強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)離子交換樹(shù)脂。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的新型有機(jī)負(fù)膠顯影液的制備方法，其特征在于:所述強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹(shù)脂與所述環(huán)戊酮、石油醚、四氫呋喃或環(huán)氧乙烷的質(zhì)量比值為0.18-0.20。9.根據(jù)權(quán)利要求6-8之一所述的新型有機(jī)負(fù)膠顯影液的制備方法，其特征在于:所述過(guò)濾的次數(shù)至少3次，所述過(guò)濾器的微濾膜孔徑為0.08-0.25 μ m，所述過(guò)濾在每立方米空氣中顆粒度大于0.5 μπι的不超過(guò)100個(gè)的百級(jí)凈化環(huán)境中進(jìn)行。10.根據(jù)權(quán)利要求6-9之一所述的新型有機(jī)負(fù)膠顯影液的制備方法，其特征在于:所述攪拌為機(jī)械攪拌或磁力攪拌，所述新型有機(jī)負(fù)膠顯影液的制備是在常溫、常壓的狀態(tài)下進(jìn)行。
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種新型有機(jī)負(fù)膠顯影液，其特征在于，所述顯影液包括環(huán)戊酮、有機(jī)溶劑和鋁保護(hù)劑；所述有機(jī)溶劑包括石油醚與四氫呋喃的混合物，或者石油醚與環(huán)氧乙烷的混合物；所述鋁保護(hù)劑至少包括鉬酸鈉、苯并三氮唑。本發(fā)明有機(jī)負(fù)膠顯影液在高效去除有機(jī)負(fù)膠的同時(shí)，采用鋁保護(hù)劑有效阻止了芯片的鋁基板不被顯影液腐蝕，大幅提高了產(chǎn)品的良率。
【IPC分類】G03F7/32, C09K13/00
【公開(kāi)號(hào)】CN105182703
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510619619
【發(fā)明人】戈燁銘
【申請(qǐng)人】江陰潤(rùn)瑪電子材料股份有限公司
【公開(kāi)日】2015年12月23日
【申請(qǐng)日】2015年9月25日