?；约罢轷；?。作為IT9為飽和脂肪族酰氧基的情況下的具體例， 可以舉出：乙酰氧基、丙酰氧基、正丁酰氧基、2-甲基丙酰氧基、正戊酰氧基、2, 2-二甲基丙 酰氧基、正己酰氧基、正庚酰氧基、正辛酰氧基、正壬酰氧基、正癸酰氧基、正十一烷酰氧基、 正十二烷酰氧基、正十三烷酰氧基、正十四烷酰氧基、正十五烷酰氧基以及正十六烷酰氧基 等。
[0149] Re9為烷氧基羰基的情況下，碳原子數(shù)優(yōu)選為2~20,碳原子數(shù)更優(yōu)選為2~7。 作為IT9為烷氧基羰基的情況下的具體例，可以舉出：甲氧基羰基、乙氧基羰基、正丙氧基羰 基、異丙氧基幾基、正丁氧基幾基、異丁氧基幾基、仲丁氧基幾基、叔丁氧基幾基、正戊氧基 幾基、異戊氧基幾基、仲戊氧基幾基、叔戊氧基幾基、正己氧基幾基、正庚氧基幾基、正辛氧 基羰基、異辛氧基羰基、仲辛氧基羰基、叔辛氧基羰基、正壬氧基羰基、異壬氧基羰基、正癸 氧基羰基以及異癸氧基羰基等。
[0150]Re9為苯基烷基的情況下，碳原子數(shù)優(yōu)選為7~20,碳原子數(shù)更優(yōu)選為7~10。另 外，儼為萘基烷基的情況下，碳原子數(shù)優(yōu)選為11~20,碳原子數(shù)更優(yōu)選為11~14。作 為儼為苯基烷基的情況下的具體例，可以舉出：芐基、2-苯基乙基、3-苯基丙基以及4-苯 基丁基。作為P為萘基烷基的情況下的具體例，可以舉出：萘基甲基、β-萘基甲基、 2-(α-萘基）乙基以及2-(β-萘基）乙基。Re9為苯基烷基或萘基烷基的情況下，Re9可以 在苯基或萘基上進一步具有取代基。
[0151] IT9為雜環(huán)基的情況下，雜環(huán)基為包含1個以上的N、S、0的五元單環(huán)或六元單環(huán)， 或者所述單環(huán)彼此間或所述單環(huán)與苯環(huán)稠合而成的雜環(huán)基。雜環(huán)基為稠環(huán)的情況下，稠合 的環(huán)的數(shù)量設(shè)定為到3為止。作為構(gòu)成所述雜環(huán)基的雜環(huán)，可以舉出：呋喃、噻吩、吡咯、噁 唑、異噁唑、噻唑、噻二唑、異噻唑、咪唑、吡唑、三唑、吡啶、吡嗪、嘧啶、噠嗪、苯并呋喃、苯并 噻吩、吲哚、異吲哚、吲嗪、苯并咪唑、苯并三唑、苯并噁唑、苯并噻唑、咔唑、嘌呤、喹啉、異喹 啉、喹唑啉、酞嗪、噌啉以及喹喔啉等。IT9為雜環(huán)基的情況下，雜環(huán)基可以進一步具有取代 基。
[0152] IT9為被1個或2個有機基團取代后的氨基的情況下，有機基團的適合的示例可以 舉出：碳原子數(shù)1~20的烷基、碳原子數(shù)3~10的環(huán)烷基、碳原子數(shù)2~20的飽和脂肪 族?；⒖梢跃哂腥〈谋交?、可以具有取代基的苯甲?；⒖梢跃哂腥〈奶荚訑?shù) 7~20的苯基烷基、可以具有取代基的萘基、可以具有取代基的萘?；⒖梢跃哂腥〈?碳原子數(shù)11~20的萘基烷基以及雜環(huán)基等。這些適合的有機基團的具體例與IT9相同。 作為被1個或2個有機基團取代后的氨基的具體例，可以舉出：甲基氨基、乙基氨基、二乙基 氨基、正丙基氨基、二正丙基氨基、異丙基氨基、正丁基氨基、二正丁基氨基、正戊基氨基、正 己基氨基、正庚基氨基、正辛基氨基、正壬基氨基、正癸基氨基、苯基氨基、萘基氨基、乙?；?氨基、丙?；被?、正丁?；被?、正戊?；被⒄乎；被?、正庚酰基氨基、正辛?；?氨基、正癸?；被?、苯甲酰基氨基、α-萘?；被约唉?萘酰基氨基等。
[0153] 作為IT9中含有的苯基、萘基以及雜環(huán)基進一步具有取代基的情況下的取代基，可 以舉出：碳原子數(shù)1~6的烷基、碳原子數(shù)1~6的烷氧基、碳原子數(shù)2~7的飽和脂肪 族?；?、碳原子數(shù)2~7的烷氧基羰基、碳原子數(shù)2~7的飽和脂肪族酰氧基、具有碳原子 數(shù)1~6的烷基的單烷基氨基、具有碳原子數(shù)1~6的烷基的二烷基氨基、嗎啉-1-基、哌 嗪-1-基、鹵素、硝基以及氰基等。IT9中含有的苯基、萘基以及雜環(huán)基進一步具有取代基的 情況下，其取代基的數(shù)目在不阻礙本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)沒有限定，優(yōu)選為1~4。IT9中含 有的苯基、萘基以及雜環(huán)基具有多個取代基的情況下，多個取代基可以相同也可以不同。
[0154]IT9中，從化學上穩(wěn)定、空間阻礙少、肟酯化合物的合成容易等觀點出發(fā)，優(yōu)選選自 碳原子數(shù)1~6的烷基、碳原子數(shù)1~6的烷氧基以及碳原子數(shù)2~7的飽和脂肪族?；?中的基團，更優(yōu)選碳原子數(shù)1~6的烷基，特別優(yōu)選甲基。
[0155] 關(guān)于IT9與苯基鍵合的位置，對于IT9所鍵合的苯基而言，在將苯基與肟酯化合物的 主骨架的結(jié)合位點的位置設(shè)為1位、將甲基的位置設(shè)為2位的情況下，優(yōu)選4位或5位，更 優(yōu)選5位。另外，d優(yōu)選為0~3的整數(shù)，更優(yōu)選為0~2的整數(shù)，特別優(yōu)選為0或1。
[0156] 上述式（c4)中的IT3為氫原子、碳原子數(shù)1~6的烷基或者可以具有取代基的苯 基。儼的具體例，如針對式（cl)所述。作為式（c4)中的ΙΓ3,優(yōu)選甲基、乙基以及苯基，更 優(yōu)選甲基以及苯基。
[0157] 肟酯化合物中，作為式（cl)所包含但式（c4)不包含的化合物的適合例，可以舉出 以下化合物。
[0158] [化 13]
[0159]
[0160] 另外，作為肟酯化合物特別適合的式（c4)所表示的肟酯化合物之中，作為特別適 合的化合物，可以舉出下述式的化合物。
[0161] [化 14]
[0162]






[0175] 在（C)光聚合引發(fā)劑含有肟酯化合物的情況下，（C)光聚合引發(fā)劑優(yōu)選只含有肟 酯化合物，但也可以含有肟酯化合物以外的化合物。（C)光聚合引發(fā)劑中的肟酯化合物以 外的化合物的含量優(yōu)選相對于（C)光聚合引發(fā)劑的總質(zhì)量為10質(zhì)量％以下，更優(yōu)選為5質(zhì) 量％以下，特別優(yōu)選為3質(zhì)量％以下。
[0176] (C)光聚合引發(fā)劑的含量優(yōu)選相對于感光性樹脂組合物中的固體成分的質(zhì)量為 1~15質(zhì)量％。通過設(shè)定為上述范圍，容易制備出兼具良好的涂布性和固化性的感光性樹 脂組合物。
[0177] <⑶遮光劑>
[0178] 感光性樹脂組合物含有包含利用下述式（1)所表示的硅烷偶聯(lián)劑進行處理后的 炭黑的遮光劑。感光性樹脂組合物含有利用下述式（1)所表示的硅烷偶聯(lián)劑進行處理后的 炭黑作為（D)遮光劑的情況下，使用感光性樹脂組合物，容易形成對基板的密合性和絕緣 性優(yōu)異且抑制了因加熱導致的絕緣性的降低的圖案。（D)遮光劑所含有的炭黑也可以通過 組合2種以上式（1)所表示的硅烷偶聯(lián)劑來進行處理。
[0179] (D)遮光劑在不阻礙本發(fā)明目的范圍內(nèi)出于色調(diào)的調(diào)節(jié)等目的可以含有炭黑以外 的著色劑。（D)遮光劑、特別是炭黑優(yōu)選使用分散劑進行分散。以下，關(guān)于（D)遮光劑，依次 對利用硅烷偶聯(lián)劑、炭黑、炭黑以外的著色劑、硅烷偶聯(lián)劑進行的炭黑的處理、以及炭黑的 分散方法進行說明。
[0180] (硅烷偶聯(lián)劑）
[0181] (D)遮光劑含有利用下述式（1)所表示的硅烷偶聯(lián)劑進行處理后的炭黑。
[0182] p)Si-R3-NH-C(0)-Y-R4-X…（1)
[0183] (式⑴中，R1為烷氧基，R2為烷基，p為1~3的整數(shù)，R3為亞烷基，Y 為-NH-、-〇-或-S-，R4為單鍵或亞烷基，X為可以具有取代基的、單環(huán)或多環(huán)的含氮雜芳基， X中的與-Y-R4-鍵合的環(huán)為含氮六元芳香環(huán)，-Y-R4-與上述含氮六元芳香環(huán)中的碳原子鍵 合。）
[0184] 式（1)中，R1為烷氧基。對于R\烷氧基的碳原子數(shù)優(yōu)選為1~6,更優(yōu)選為1~ 4,從硅烷偶聯(lián)劑的反應(yīng)性的觀點出發(fā)，特別優(yōu)選為1或2。作為R1的優(yōu)選的具體例，可以舉 出：甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、仲丁氧基、叔丁氧基、正戊氧 基以及正己氧基。這些烷氧基中，優(yōu)選甲氧基以及乙氧基。
[0185] 通過使烷氧基R1經(jīng)水解而生成的硅烷醇基、與存在于炭黑的表面的羥基、羧基等 含有活性氫原子的官能團進行反應(yīng)，從而硅烷偶聯(lián)劑與炭黑的表面鍵合。因此，從使硅烷偶 聯(lián)劑容易鍵合于炭黑的表面的觀點出發(fā)，P優(yōu)選為3。
[0186] 式⑴中，R2為烷基。對于R2,烷基的碳原子數(shù)優(yōu)選為1~12,更優(yōu)選為1~6,從 硅烷偶聯(lián)劑的反應(yīng)性的觀點出發(fā)，特別優(yōu)選為1或2。作為R2的優(yōu)選的具體例，可以舉出： 甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛 基、正壬基、正癸基、正i^一烷基以及正十二烷基。
[0187] 式（1)中，R3為亞烷基。對于R3,亞烷基的碳原子數(shù)優(yōu)選為1~12,更優(yōu)選為1~ 6,特別優(yōu)選為2~4。作為R3的優(yōu)選的具體例，可以舉出：亞甲基、1，2-亞乙基、1，1-亞乙 基、丙烷 _1，3_二基、丙烷_1，2_二基、丙烷_1，1_二基、丙烷_2, 2_二基、丁燒_1，4_二基、 丁燒 _1，3_ 二基、丁燒 _1，2_ 二基、丁燒 _1，1_ 二基、丁燒 _2, 2_ 二基、丁燒 _2, 3_ 二基、戊 燒_1，5_二基、戊燒_1，4_二基、及己燒_1，6_二基、庚燒_1，7_二基、辛燒_1，8_二基、壬 烷-1，9-二基、癸烷-1，10-二基、^^一烷-1，11-二基以及十二烷-1，12-二基。這些亞烷 基中，優(yōu)選1，亞乙基、丙烷_1，3_二基以及丁燒_1，4_二基。
[0188] Y為-NH-、-〇-或-S-，優(yōu)選為-NH-。這是因為，與-C0-0-或-C0-S-所表示的鍵相 比，-C0-NH-所表示的鍵不易受到水解。使用包含利用Y為-NH-的化合物作為硅烷偶聯(lián)劑 而處理后的炭黑的感光性樹脂組合物來形成圖案的情況下，硅烷偶聯(lián)劑的結(jié)構(gòu)不會因基于 堿顯影液等的處理而發(fā)生變化，因此容易得到通過使用硅烷偶聯(lián)劑而得的所期望的效果。
[0189] R4為單鍵或亞烷基，優(yōu)選為單鍵。R4為亞烷基的情況下的優(yōu)選的示例與R3相同。
[0190] X為可以具有取代基的、單環(huán)或多環(huán)的含氮雜芳基，X中的與-Y-R4-鍵合的環(huán)為含 氮六元芳香環(huán)，-Y-R4-與該含氮六元芳香環(huán)中的碳原子鍵合。雖然理由還不清楚，但使用包 含具有這樣的X的化合物作為硅烷偶聯(lián)劑的感光性樹脂組合物時，能夠形成對基材的密合 性、耐水性以及耐溶劑性優(yōu)異的固化物。
[0191]X為多環(huán)雜芳基的情況下，雜芳基既可以為多個單環(huán)縮合而成的基團，也可以為多 個單環(huán)借助單鍵鍵合而成的基團。X為多環(huán)雜芳基的情況下，多環(huán)雜芳基所含的環(huán)數(shù)優(yōu)選為 1~3。X為多環(huán)雜芳基的情況下，與X中的含氮六元芳香環(huán)縮合或鍵合的環(huán)可以包含雜原 子也可以不包含雜原子、可以是芳香環(huán)也可以不是芳香環(huán)。
[0192] 作為為含氮雜芳基的X可以具有的取代基，可以舉出：碳原子數(shù)1~6的烷基、碳 原子數(shù)1~6的烷氧基、碳原子數(shù)2~6的烯基、碳原子數(shù)2~6的烯氧基、碳原子數(shù)2~6 的脂肪族?；?、苯甲?；?、硝基、亞硝基、氨基、羥基、巰基、氰基、磺酸基、羧基以及鹵素原子 等。X所具有的取代基的數(shù)目在不阻礙本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)沒有特別限定。X所具有的 取代基的數(shù)目優(yōu)選為5以下，更優(yōu)選為3以下。X具有多個取代基的情況下，多個取代基可 以相同也可以不同。
[0193] 作為X的優(yōu)選的示例，可以舉出下述式的基團。
[0194] [化 21]
[0195]
[0196] 上述基團中，作為X更優(yōu)選下述式的基團。
[0197] [化 22]
[0198]
[0199] 作為以上說明的、式（1)所表示的化合物的適合的具體例，可以舉出以下的化合 物1~8〇
[0200] [化 23]
[02011
[0202] (炭黑）
[0203] 炭黑在不阻礙本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)沒有特別限定，可以從公知的炭黑中適當選 擇使用。作為炭黑，可以使用槽法炭黑、爐黑、熱炭黑、燈黑等公知的炭黑。
[0204] 另外，作為炭黑，優(yōu)選使用實施了引入酸性基團的處理的炭黑。使用包含引入酸性 基團的炭黑作為（D)遮光劑的感光性樹脂組合物時，具有容易形成絕緣性優(yōu)異的圖案這樣 的優(yōu)點，但另一方面存在難以形成對基板的密合性優(yōu)異的微細圖案這樣的不良。但是，通過 利用上述式（1)所表示的硅烷偶聯(lián)劑對引入酸性基團的炭黑進行處理，可消除上述關(guān)于圖 案對基板的密合性的不良。
[0205] 引入炭黑的酸性基團為基于布朗斯特定義的顯示酸性的官能團。作為酸性基團的 具體例，可以舉出：羧基、磺酸基、磷酸基等。引入炭黑的酸性基團可以形成鹽。與酸性基團 形成鹽的陽離子在不阻礙本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)沒有特別限定。作為陽離子的示例，可以 舉出：各種金屬離子、含氮化合物的陽離子、銨離子等，優(yōu)選鈉離子、鉀離子、鋰離子等堿金 屬離子、銨離子。
[0206] 以上說明的實施了引入酸性基團的處理的炭黑中，優(yōu)選具有選自羧酸基、羧酸鹽 基、磺酸基以及磺酸鹽基中的1種以上的官能團的炭黑。
[0207]向炭黑引入酸性基團的方法沒有特別限定。作為引入酸性基團的方法，例如可以 舉出以下方法。
[0208] 1)通過使用濃硫酸、發(fā)煙硫酸、氯磺酸等的直接取代法、或使用亞硫酸鹽、亞硫酸 氫鹽等的間接取代法，向炭黑引入磺酸基的方法。
[0209] 2)使具有氨基和酸性基團的有機化合物與炭黑發(fā)生重氮偶合的方法。
[0210] 3)使具有鹵素原子和酸性基團的有機化合物、與具有羥基的炭黑通過威廉姆森醚 化法進行反應(yīng)的方法。
[0211] 4)使具有鹵代羰基和被保護基保護的酸性基團的有機化合物、與具有羥基的炭黑 反應(yīng)的方法。
[0212] 5)使用具有鹵代羰基和被保護基保護的酸性基團的有機化合物，對炭黑進行傅列 德爾克拉夫茨反應(yīng)，然后進行脫保護的方法。
[0213] 這些方法中，從酸性基團的引入處理容易且安全的觀點出發(fā)，優(yōu)選方法2)。作為方 法2)中使用的具有氨基和酸性基團的有機化合物，優(yōu)選在芳香族基團上鍵合有氨基和酸 性基團的化合物。作為這樣的化合物的示例，可以舉出：磺胺酸這樣的氨基苯磺酸、4-氨基 苯甲酸這樣的氨基苯甲酸。
[0214] 在炭黑中引入的酸性基團的摩爾數(shù)在不阻礙本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)沒有特別限 定。在炭黑中引入的酸性基團的摩爾數(shù)相對于炭黑l〇〇g優(yōu)選為1~200_〇1，更優(yōu)選為5~ lOOmmol〇
[0215] 炭黑可以實施利用樹脂的被覆處理。使用包含利用樹脂被覆后的炭黑的感光性樹 脂組合物時，易于形成遮光性和絕緣性優(yōu)異、表面反射率低的圖案。作為能夠用于炭黑的被 覆的樹脂的示例，可以舉出：酚醛樹脂、三聚氰胺樹脂、二甲苯樹脂、鄰苯二甲酸二烯丙酯樹 月旨、甘酞樹脂、環(huán)氧樹脂、烷基苯樹脂等熱固化性樹脂；聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚對苯二甲酸 乙二醇酯、聚對苯二甲酸丁二醇酯、改性聚苯醚、聚砜、聚對亞苯基對苯二甲酰胺、聚酰胺酰 亞胺、聚酰亞胺、聚氨基雙馬來酰亞胺、聚醚砜、聚亞苯基砜、聚芳酯、聚醚醚酮等熱塑性樹 月旨。在將炭黑與樹脂的總量設(shè)為100質(zhì)量份的情況下，樹脂相對于炭黑的被覆量優(yōu)選為1~ 30質(zhì)量份。
[0216] (炭黑以外的著色劑）
[0217] 出于調(diào)整色調(diào)的目的等，（D)遮光劑可以與炭黑一起包含炭黑以外的黑色顏料、 紅、藍、綠、黃、紫等彩色的色素。作為炭黑以外的黑色顏料，可以舉出：茈系顏料、銀錫合金、 鈦黑、銅、鐵、猛、鈷、絡(luò)、鎳、鋅、1丐、銀等的金屬氧化物、復合氧化物、金屬硫化物、金屬硫酸 鹽或金屬碳酸鹽等。在將（D)遮光劑的總質(zhì)量設(shè)為100質(zhì)量份的情況下，炭黑以外的著色 劑的用量優(yōu)選為15質(zhì)量份以下，更優(yōu)選為10質(zhì)量份以下。
[0218](利用硅烷偶聯(lián)劑進行的炭黑的處理）
[0219] 炭黑的基于硅烷偶聯(lián)劑的處理方法在不阻礙本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)沒有特別限 定。典型地，優(yōu)選在硅烷偶聯(lián)劑可溶的有機溶劑中、在水的存在下使炭黑與硅烷偶聯(lián)劑反應(yīng) 的方法。
[0220] 作為利用硅烷偶聯(lián)劑進行的炭黑的處理中能夠適合使用的有機溶劑，可以舉出： 甲醇、乙醇、正丙醇、異丙醇以及正丁醇等一價烷醇類；乙二醇、二乙二醇、三乙二醇、四乙二 醇、聚乙二醇、丙二醇、二丙二醇、三丙二醇、1，3-丙二醇、異丙二醇、聚丙二醇、戊二醇、丙 二醇、丁二醇、異丁二醇、硫代二乙二醇、1，2-己二醇、1，6-己二醇、2-乙基-1，3-己二醇、 1，2-戊二醇、1，5-戊二醇、2-甲基-2, 4-戊二醇、1，3-丙二醇、1，4- 丁二醇、1，7-庚二醇、 1，8-辛二醇以及2- 丁烯-1，4-二醇以及丙三醇等多元醇類；乙二醇單甲醚、乙二醇單乙 醚、乙二醇單丁醚、乙二醇單叔丁醚、乙二醇單丙醚、乙二醇單異丙醚、乙二醇單苯基醚、乙 二醇單甲醚乙酸酯、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單異丙醚、二乙二醇單丁 醚、二乙二醇單叔丁醚、三乙二醇單乙醚、三乙二醇單丁醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、 丙二醇單丁醚、丙二醇單叔丁醚、丙二醇單丙醚、丙二醇單異丙醚、丙二醇單苯基醚、二丙二 醇單甲醚、二丙二醇單乙醚、二丙二醇單丁醚、二丙二醇單丙醚以及二丙二醇單異丙醚等 二醇醚類；乙二醇單乙醚乙酸酯、乙二醇單丙醚乙酸酯、乙二醇單丁醚乙酸酯、乙二醇單苯 基醚乙酸酯、二乙二醇單甲醚乙酸酯、二乙二醇單丙醚乙酸酯、二乙二醇單乙醚乙酸酯、二 乙二醇單苯基醚乙酸酯、二乙二醇單丁醚乙酸酯、二乙二醇單乙醚乙酸酯、乙酸2-甲氧基 丁酯、乙酸3-甲氧基丁酯、乙酸4-甲氧基丁酯、乙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、乙酸3-乙 基-3-甲氧基丁酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單丙醚乙酸酯、乙 酸2-乙氧基丁酯、乙酸4-乙氧基丁酯、乙酸4-丙氧基丁酯、乙酸2-甲氧基戊酯、乙酸3-甲 氧基戊酯、乙酸4-甲氧基戊酯、乙酸2-甲基-3-甲氧基戊酯、乙酸3-甲基-