光學(xué)發(fā)射/接收模塊的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種光學(xué)發(fā)射/接收模塊，具體地，涉及一種設(shè)置有用于減小漫射光的光學(xué)發(fā)射/接收模塊。
【背景技術(shù)】
[0002]廣泛使用的光纖通信系統(tǒng)主要包括發(fā)射器、與發(fā)射線相對應(yīng)的光纖和接收器。
[0003]在光波導(dǎo)型發(fā)射器和光纖之間的連接點處，從電信號轉(zhuǎn)換而來的光信號從發(fā)射器內(nèi)的光波導(dǎo)輸入到光纖。輸入到光纖的光信號隨后通過光纖發(fā)射。在光波導(dǎo)型接收器和光纖之間的連接點處，發(fā)射的光信號被輸入到接收器的光波導(dǎo)。輸入到光波導(dǎo)的光信號之后被輸入到諸如光電二極管(PD)的光接收元件，在該光接收元件中光信號被轉(zhuǎn)換為電信號。
[0004]在上述接收器和發(fā)射器被模塊化為一個整體的光發(fā)射/接收模塊中，多個光學(xué)器件被布置在模塊內(nèi)的光波導(dǎo)上。多個光學(xué)器件包括與光源相對應(yīng)的激光二極管(LD)、與光接收元件相對應(yīng)的ro等。
[0005]在具有這種配置的光發(fā)射/接收模塊中，在從光源發(fā)射的光信號中，未被耦合到光波導(dǎo)中的光分量成為“漫射光”。漫射光在光波導(dǎo)的襯底外部或內(nèi)部傳播。具體地，在襯底內(nèi)部傳播的漫射光成為信號中增加噪聲的原因，這是因為其重新進入光波導(dǎo)或進入與光波導(dǎo)連接的光接收元件。
[0006]針對該問題，已知以下專利文獻1至專利文獻3是用于消除如上所述產(chǎn)生的漫射光的方法。
[0007]圖6是示出在專利文獻1中描述的光調(diào)制器的截面的視圖。在專利文獻1中，光調(diào)制器被描述為形成在薄板102的上表面或下表面的光波導(dǎo)101，并且漫射光消除裝置(圖6中的光吸收部分103)被布置在薄板102內(nèi)或接近薄板102。
[0008]圖7是示出在專利文獻2中描述的光1C(集成電路)的視圖。在圖7的光1C中，光波導(dǎo)101形成在襯底104的上表面，并且大致與光波導(dǎo)101平行的溝槽(三角形溝槽105)以大致與光波導(dǎo)101相對的方式形成在襯底104的下表面。構(gòu)成溝槽(三角形溝槽105)的表面不與襯底104的下表面垂直或平行。專利文獻3描述了一種設(shè)置有漫射光反射裝置的光學(xué)器件，用于引導(dǎo)在形成有光波導(dǎo)的薄板外部的漫射光。
[0009]引用文獻列表
[0010]專利文獻
[0011][專利文獻1]日本專利申請公開N0.2006-276518
[0012][專利文獻2]日本專利申請公開N0.2001-264553
[0013][專利文獻3]日本專利申請待審公開N0.2007-272121。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0014]發(fā)明要解決的技術(shù)問題
[0015]在用于發(fā)射的光源和用于接收的光接收元件被布置在光發(fā)射/接收模塊的相同襯底上的情況下，在光源發(fā)光時產(chǎn)生的漫射光可能會在襯底內(nèi)部傳播之后進入光接收元件。然而，對于具有這種配置的光發(fā)射/接收模塊，不能應(yīng)用專利文獻1至專利文獻3的消除漫射光的技術(shù)，原因在于:
[0016]專利文獻1中的漫射光消除裝置(在圖6中，光吸收單元103)主要沿光波導(dǎo)101布置。因此，在專利文獻1中描述的漫射光消除裝置僅可以有效地消除形成在光波導(dǎo)101上的薄板102中的漫射光、以及在與光波導(dǎo)101的縱向方向垂直的方向傳輸?shù)穆涔狻?br>[0017]專利文獻2中的溝槽(圖7中的三角形溝槽105)也沿光波導(dǎo)101布置，并且其反射漫射光分量中的與光波導(dǎo)101的縱向方向垂直傳輸?shù)穆涔夥至俊Ｒ虼耍趯＠墨I2和專利文獻3中描述的配置也僅可以有效地消除沿與光波導(dǎo)的縱向方向垂直的方向傳輸?shù)穆涔狻?br>[0018]由于這些原因，在具有上述配置的光發(fā)射/接收模塊中，即使對其應(yīng)用專利文獻1至專利文獻3中描述的配置，在光源發(fā)光時產(chǎn)生的漫射光仍然可能在襯底內(nèi)部傳播之后進入光接收元件。結(jié)果，在同時執(zhí)行發(fā)射和接收的全雙工操作的情況下，噪聲可能被添加到由光接收元件接收到的信號中，因此，光接收元件的接收敏感度會劣化。
[0019]本發(fā)明的目的在于解決上述問題，并且相應(yīng)地提供一種減小光接收元件的接收敏感度的劣化的光發(fā)射/接收模塊。
[0020]解決問題的方案
[0021]本發(fā)明的一種光發(fā)射/接收模塊包括:襯底；光接收元件，設(shè)置在所述襯底上；光源，設(shè)置在所述襯底上；光波導(dǎo)，形成在所述襯底上且具有轉(zhuǎn)向點；濾光器，布置在所述光波導(dǎo)和所述光接收元件之間，其中:所述光波導(dǎo)的一端與所述光源光連接，并在所述轉(zhuǎn)向點處與所述光接收元件光連接；以及漫射光消除部，設(shè)置在所述光接收元件和所述光波導(dǎo)的所述一端之間的所述襯底的一部分中。
[0022]發(fā)明的有益效果
[0023]本發(fā)明的光發(fā)射/接收模塊可以減小光接收元件的接收敏感度的劣化。
【附圖說明】
[0024]圖1A是在本發(fā)明的第一示例性實施例中光發(fā)射/接收模塊的頂視圖。
[0025]圖1B是在本發(fā)明的第一示例性實施例中光發(fā)射/接收模塊的側(cè)視圖。
[0026]圖2A是在本發(fā)明的第一示例性實施例中采用了另一種類型的漫射光消除部的光發(fā)射/接收模塊的底視圖。
[0027]圖2B是在本發(fā)明的第一示例性實施例中采用了另一種類型的漫射光消除部的光發(fā)射/接收模塊的側(cè)視圖。
[0028]圖3A是在本發(fā)明的第一示例性實施例中采用了另一種類型的漫射光消除部的光發(fā)射/接收模塊的底視圖。
[0029]圖3B是在本發(fā)明的第一示例性實施例中采用了另一種類型的漫射光消除部的光發(fā)射/接收模塊的側(cè)視圖。
[0030]圖4A是在本發(fā)明的第一示例性實施例中覆蓋有光吸收材料的光發(fā)射/接收模塊的示例的頂視圖。
[0031]圖4B是在本發(fā)明的第一示例性實施例中覆蓋有光吸收材料的光發(fā)射/接收模塊的示例的側(cè)視圖。
[0032]圖5A是示出本發(fā)明的光發(fā)射/接收模塊的示例的頂視圖。
[0033]圖5B是示出本發(fā)明的光發(fā)射/接收模塊的示例的側(cè)視圖。
[0034]圖6是示出在專利文獻1中描述的光調(diào)制器的截面的視圖。
[0035]圖7是示出在專利文獻2中描述的光1C的視圖。
【具體實施方式】
[0036][第一不例性實施例]
[0037]在下文中，將使用附圖描述本發(fā)明的示例性實施例。然而，示例性實施例不限制本發(fā)明的范圍。
[0038][配置的描述]
[0039]圖1A和圖1B分別是本示例性實施例的光發(fā)射/接收模塊200的頂視圖和側(cè)視圖。第一示例性實施例的光發(fā)射/接收模塊200包括襯底1、光波導(dǎo)2、光接收元件3、漫射光消除部5、光源6和濾光器7。
[0040]如圖1A中所不，在襯底1上形成的光波導(dǎo)2具有轉(zhuǎn)向點4a、一端4b和另一端4c。光接收元件3布置在襯底1上，并在轉(zhuǎn)向點4a處與光波導(dǎo)2光連接。光接收元件3經(jīng)由濾光器7在轉(zhuǎn)向點4a處接收通過光波導(dǎo)2傳輸?shù)墓?。光?布置在襯底1上。光源6的一端4b與光波導(dǎo)2光連接。從光源6發(fā)射的光在一端4b處親合到光波導(dǎo)2中，并隨后在光波導(dǎo)2中傳播。在另一端4c，在光波導(dǎo)2中傳播的發(fā)射光耦合到模塊外部的光傳輸線路中，并隨后在光傳輸線路中傳輸。濾光器7布置在光波導(dǎo)2的轉(zhuǎn)向點4a和光接收元件3之間。濾光器7使從模塊外部的光傳輸線路進入光波導(dǎo)2的光通過。另一方面，濾光器7對從光源6發(fā)射的光進行全反射。
[0041]對于光波導(dǎo)2，從濾光器7到另一端4c的部分被稱為光波導(dǎo)2c，并且從一端4b到濾光器7的部分被稱為光波導(dǎo)2d。通過濾光器7的入射光由光接收元件3接收。另一方面，被濾光器7全反射的發(fā)射光通過光波導(dǎo)2c傳播，并隨后在另一端4c處入射到模塊外部的光傳輸線路等上。
[0042]此外，如圖