彩膜基板及其制作方法、顯示裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種彩膜基板及其制作方法、顯示裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在諸如TFT-1XD彩膜的彩膜工藝技術(shù)中，黑矩陣作為黑色邊框用來對(duì)各種顏色的濾光片(例如紅色濾光片R、綠色濾光片G和藍(lán)色濾光片B)的圖形邊界進(jìn)行遮擋，用來防止漏光。實(shí)際生產(chǎn)中，各種顏色的濾光片的掩模板通常是可以共用的，這是由于紅色濾光片R、綠色濾光片G和藍(lán)色濾光片B的圖形是類似的；在制作綠色濾光片和藍(lán)色濾光片的圖形時(shí)，可以通過平移一張紅色濾光片掩模板，從而在玻璃基板上獲得綠色濾光片和藍(lán)色濾光片的圖形，因此不再需要綠色濾光片的掩模板和藍(lán)色濾光片的掩模板。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]然而，發(fā)明人意識(shí)到，對(duì)于例如紅色濾光片圖形來說，對(duì)應(yīng)于該紅色濾光片圖形的黑矩陣圖形與該紅色濾光片圖形是基本上互補(bǔ)的。這使得黑矩陣掩模板與紅色濾光片的掩模板、綠色濾光片的掩模板和藍(lán)色濾光片的掩模板存在共用的可能性。
[0004]有鑒于此，本發(fā)明的實(shí)施例提供了一種彩膜基板及其制作方法、顯示裝置；可以通過使用半色調(diào)掩模板技術(shù)以及正負(fù)性光刻膠技術(shù)，利用一個(gè)濾光片掩模板來形成至少一種顏色的多個(gè)彩色濾光片的圖形以及黑矩陣圖形；為彩膜工藝節(jié)省了一張黑矩陣掩模板，從而大大節(jié)省了生產(chǎn)成本。
[0005]本發(fā)明的實(shí)施例提供了一種彩膜基板；所述彩膜基板包括:襯底基板、形成在襯底基板上的至少一種顏色的多個(gè)彩色濾光片、以及形成在襯底基板上的黑矩陣；所述黑矩陣具有多個(gè)開口，所述多個(gè)開口與所述至少一種顏色的多個(gè)彩色濾光片一一對(duì)應(yīng)；
其中，在垂直于所述襯底基板的橫截面中:所述彩色濾光片的邊緣與所述黑矩陣的開口邊緣具有交疊區(qū)域。
[0006]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例提供的彩膜基板，可以通過使用半色調(diào)掩模板技術(shù)以及正負(fù)性光刻膠技術(shù)，利用一個(gè)濾光片掩模板來形成至少一種顏色的多個(gè)彩色濾光片的圖形以及黑矩陣圖形；為彩膜工藝節(jié)省了一張黑矩陣掩模板，從而大大節(jié)省了生產(chǎn)成本。
[0007]較佳地，在所述交疊區(qū)域中，所述彩色濾光片的形狀和所述黑矩陣具有互補(bǔ)的形狀。
[0008]較佳地，所述彩色濾光片的邊緣位于所述襯底基板和所述黑矩陣的開口邊緣之間。
[0009]較佳地，相比于所述彩色濾光片的中心區(qū)域，所述彩色濾光片的邊緣具有較小的厚度；相比于所述黑矩陣的中心區(qū)域，所述黑矩陣的開口邊緣具有較小的厚度。
[0010]較佳地，形成所述彩色濾光片的光刻膠為負(fù)性光刻膠；形成所述黑矩陣的光刻膠為正性光刻膠。
[0011]較佳地，所述至少一種顏色的多個(gè)彩色濾光片包括紅色濾光片、綠色濾光片和藍(lán)色濾光片。
[0012]較佳地，所述至少一種顏色的多個(gè)彩色濾光片包括紅色濾光片、綠色濾光片、藍(lán)色濾光片和白色濾光片。
[0013]本發(fā)明的實(shí)施例還提供了一種制作彩膜基板的方法，所述彩膜基板包括襯底基板、形成在襯底基板上的至少一種顏色的多個(gè)彩色濾光片、以及形成在襯底基板上的黑矩陣；所述黑矩陣具有多個(gè)開口，所述多個(gè)開口與所述至少一種顏色的多個(gè)彩色濾光片一一對(duì)應(yīng)；所述方法包括:
利用一個(gè)半色調(diào)掩模板在所述襯底基板上形成所述至少一種顏色的多個(gè)彩色濾光片；
以及
利用同一個(gè)半色調(diào)掩模板形成所述黑矩陣。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例提供的制作彩膜基板的方法，可以通過使用半色調(diào)掩模板技術(shù)以及正負(fù)性光刻膠技術(shù)，利用一個(gè)濾光片掩模板來形成至少一種顏色的多個(gè)彩色濾光片的圖形以及黑矩陣圖形；為彩膜工藝節(jié)省了一張黑矩陣掩模板，從而大大節(jié)省了生產(chǎn)成本。
[0015]較佳地，利用一個(gè)半色調(diào)掩模板在所述襯底基板上形成所述至少一種顏色的多個(gè)彩色濾光片包括:
對(duì)于所述至少一種顏色中的各個(gè)顏色，分別地:將所述半色調(diào)掩模板與所述至少一種顏色之一的彩色濾光片的位置進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)并執(zhí)行曝光工藝和顯影工藝以形成所述至少一種顏色之一的彩色濾光片。
[0016]較佳地，利用同一個(gè)半色調(diào)掩模板形成所述黑矩陣包括:
對(duì)于所述至少一種顏色中的各個(gè)顏色，分別地將所述半色調(diào)掩模板與所述至少一種顏色之一的多個(gè)彩色濾光片對(duì)準(zhǔn)并執(zhí)行曝光工藝；以及執(zhí)行顯影工藝以形成所述具有多個(gè)開口的黑矩陣。
[0017]較佳地，形成所述彩色濾光片的光刻膠為負(fù)性光刻膠；形成所述黑矩陣的光刻膠為正性光刻膠。
[0018]較佳地，所述至少一種顏色的多個(gè)彩色濾光片包括紅色濾光片、綠色濾光片和藍(lán)色濾光片。
[0019]較佳地，所述至少一種顏色的多個(gè)彩色濾光片包括紅色濾光片、綠色濾光片、藍(lán)色濾光片和白色濾光片。
[0020]本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)一步提供了一種顯示裝置，所述顯示裝置包括如上所述的彩膜基板。
【附圖說明】
[0021]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0022]圖1示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的彩膜基板的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的半色調(diào)掩模板的局部示意圖；
圖3a示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的制作彩膜基板的方法制作紅色濾光片R的示意圖； 圖3b示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的制作彩膜基板的方法制作綠色濾光片G的示意圖； 圖3c示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的制作彩膜基板的方法制作藍(lán)色濾光片B的示意圖； 圖3d-3f示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的制作彩膜基板的方法制作黑矩陣的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明專利保護(hù)的范圍。
[0024]圖1示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的彩膜基板的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明的一方面，本發(fā)明的實(shí)施例提供了一種彩膜基板100，所述彩膜基板100包括:襯底基板101、形成在襯底基板101上的至少一種顏色的多個(gè)彩色濾光片(R、G、B)、以及形成在襯底基板101上的黑矩陣102 ;所述黑矩陣102具有多個(gè)開口 103，所述多個(gè)開口 103與所述至少一種顏色的多個(gè)彩色濾光片(R、G、B) 一一對(duì)應(yīng)；
其中，在垂直于所述襯底基板101的橫截面中:所述彩色濾光片(R、G、B)的邊緣與所述黑矩陣102的開口 103的邊緣具有交疊區(qū)域P。如圖1所示，所述彩色濾光片的邊緣為所述彩色濾光片下部厚度較小且向黑矩陣凸出的部分，所述黑矩陣的開口邊緣為黑矩陣中部厚度較小且向彩色濾光片凸出的部分，即如圖1所示，所述彩色濾光片的邊緣與所述黑矩陣的開口邊緣具有交疊區(qū)域。
[0025]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例提供的彩膜基板，可以通過使用半色調(diào)掩模板技術(shù)以及正負(fù)性光刻膠技術(shù)，利用一個(gè)濾光片掩模板來形成至少一種顏色的多個(gè)彩色濾光片的圖形以及黑矩陣圖形；為彩膜工藝節(jié)省了一張黑矩陣掩模板，從而大大節(jié)省了生產(chǎn)成本。
[0026]本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠理解，盡管在本發(fā)明的實(shí)施例中使用的彩色濾光片包括R、G、B彩色濾光片，在實(shí)施本發(fā)明時(shí)，彩色濾光片還可以是諸如RGBW等各種彩色濾光片的組合。本發(fā)明實(shí)施例中所述的彩膜基板，不僅包括與陣列基板對(duì)盒形成顯示面板的彩膜基板，也包括彩色濾光片集成于陣列基板的顯示基板，本發(fā)明實(shí)施例對(duì)此不做限定，只要顯示基板中包括彩色濾光片和黑矩陣結(jié)構(gòu)，都是本發(fā)明實(shí)施例所述的彩膜基板，屬于本發(fā)明實(shí)施例保護(hù)的范疇。
[0027]較佳地，在所述交疊區(qū)域P中，所述彩色濾光片的形狀和所述黑矩陣具有互補(bǔ)的形狀，即如圖1所示，所述彩色濾光片的邊緣與黑矩陣開口邊緣嵌入接觸，因此形狀是互補(bǔ)的。
[0028]利用以上配置，確保了黑矩陣的開口與彩色濾光片一一對(duì)應(yīng)，改善了彩膜基板的開口率。
[0029]較佳地，所述彩色濾光片(R、G、B)的邊緣位于所述襯底基板101和所述黑矩陣102的開口邊緣之間。
[0030]利用上述配置，所述黑矩陣開口位于所述彩色濾光片的頂部區(qū)域，能夠更有效地防止漏光。
[0031]較佳地，相比于所述彩色濾光片(R、G、B)的中心區(qū)域，所述彩色濾光片(R、G、B)的邊緣具有較小的厚度；相比于所述黑矩陣102的中心區(qū)域，所述黑矩陣102的開口邊緣具有較小的厚度。
[0032]利用上述配置，可以有效地減小所述彩膜基板表面的段差。盡管在本申請(qǐng)的圖1和圖3a-3f中，所述彩色濾光片(R、G、B)的邊緣和所述黑矩陣102的開口邊緣具有矩形的形狀，本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠理解，根據(jù)不同的工藝特點(diǎn)(例如，曝光時(shí)間、光刻膠類型等)，所述彩色濾光片(R、G、B)的邊緣和所述黑矩陣102的開口邊緣可以具有一定的坡度或曲面。
[0033]較佳地，形成所述彩色濾光片(R、G、B)的光刻膠為負(fù)性光刻膠；形成所述黑矩陣102的光刻膠為正性光刻膠。
[0034]使用正性光刻膠制作黑矩陣，能夠確保制作過程中無需曝光的黑矩陣部分始終被半色調(diào)掩模板遮擋。
[0035]較佳地，所述至少一種顏色的多個(gè)彩色濾光片包括紅色濾光片、綠色濾光片和藍(lán)色濾光片。
[0036]利用紅色濾光片、綠色濾光片和藍(lán)色濾光片，能夠?qū)崿F(xiàn)較為常規(guī)的彩膜基板。
[0037]