一種具有打碼功能的曝光機的制作方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體制造技術領域，具體地，涉及一種用于平板顯示領域曝光制程的具有打碼功能的曝光機。
【背景技術】
[0002]在平板顯示的TFT (Thin Film Transistor:薄膜晶體管)面板制造制程中，曝光機用于TFT器件圖形的制作，而打碼機(Titler)用于面板上每個屏幕的編碼制作。這個編碼用于在后續(xù)生產(chǎn)制造過程中對每個屏幕的品質(zhì)追蹤。在TFT面板制造的第一層圖形制作產(chǎn)線上都配有曝光機和打碼機。
[0003]目前手機屏幕的市場需求很大，許多中大世代的TFT產(chǎn)線開始轉(zhuǎn)做小尺寸的手機屏幕，這樣以來，同樣世代的玻璃基板上制作的屏幕數(shù)量會大大增加，因此，打碼機的產(chǎn)能明顯不足。
[0004]目前為了不增加打碼設備，不用提高產(chǎn)線成本和改造產(chǎn)線配置，現(xiàn)行辦法多采用設置打碼機僅打部分屏幕的編碼，來減少基板打碼的時間，以便產(chǎn)線提高產(chǎn)率，完成產(chǎn)能。這個方法增加了產(chǎn)品異常追蹤的難度，提高了產(chǎn)品異常分析時的難度，使產(chǎn)線的產(chǎn)品質(zhì)量追蹤風險提聞。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]本發(fā)明的目的在于提出一種在曝光過程中能實現(xiàn)打碼的曝光機，能在TFT器件圖形制作的過程中，不影響產(chǎn)率，不占用額外產(chǎn)線制造時間，將每個曝光場的邊緣屏幕的編碼制作出來，這樣可大大減少后續(xù)打碼機的節(jié)拍時間，從而大大提高產(chǎn)率，同時成本增加遠小于增加打碼設備的價格，產(chǎn)線配置不用作任何改造。
[0006]本發(fā)明公開一種具有打碼功能的曝光機，包括由光源、掩模、物鏡、基板以及工件臺組成的曝光系統(tǒng)，其特征在于:還包括打碼系統(tǒng)，所述打碼系統(tǒng)包括光源，打碼系統(tǒng)固定模塊，液晶數(shù)字顯示掩模模塊，打碼位置調(diào)整模塊以及編碼、定位軟件模塊；所述打碼系統(tǒng)與所述曝光系統(tǒng)同時工作。
[0007]更進一步地，所述打碼系統(tǒng)固定模塊包括框架和導軌，所述液晶數(shù)字顯示掩模模塊固定于所述導軌上，并沿所述導軌平行于所述工件臺移動。
[0008]更進一步地，所述打碼系統(tǒng)固定于所述物鏡兩側(cè)。
[0009]更進一步地，所述打碼系統(tǒng)固定于所述工件臺上方的框架。
[0010]更進一步地，還包括分光模塊，使所述打碼系統(tǒng)與所述曝光系統(tǒng)共用光源。
[0011]更進一步地，所述分光模塊包括半透半反棱鏡及反射鏡。
[0012]更進一步地，所述編碼、定位軟件模塊進行曝光場順序的設置、導軌運動速度的設置與調(diào)整、液晶數(shù)字顯示的計算與輸入、打碼坐標的輸入與計算。
[0013]更進一步地，所述曝光、打碼過程中，所述液晶數(shù)字顯示掩模的運動與基板的運動平行。
[0014]本專利公布的曝光機能在曝光的過程中同時進行每個曝光場邊緣屏幕的打碼，可明顯為后續(xù)打碼機縮短生產(chǎn)時間，以便整條產(chǎn)線提高產(chǎn)能，同時不改變產(chǎn)線設備的配置。
【附圖說明】
[0015]關于本發(fā)明的優(yōu)點與精神可以通過以下的發(fā)明詳述及所附圖式得到進一步的了解。
[0016]圖1為本發(fā)明具有打碼功能的曝光機結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為本發(fā)明具有打碼功能的曝光機的打碼系統(tǒng)的俯視圖；
圖3為本發(fā)明曝光、打碼示意圖；
圖4為本發(fā)明另一個實施例中分光裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖詳細說明本發(fā)明的具體實施例。
[0018]如圖1所示，本發(fā)明具有打碼功能的曝光機包括由光源1、掩模2、物鏡3、基板4以及工件臺5組成曝光系統(tǒng)，用于基板圖形曝光。還包括由光源6，打碼系統(tǒng)固定模塊7，液晶數(shù)字顯示掩模8，打碼位置調(diào)整模塊9以及編碼、定位軟件模塊組成的打碼系統(tǒng)，用于在曝光過程中打碼。打碼系統(tǒng)與曝光系統(tǒng)同時工作。打碼系統(tǒng)固定模塊7固定安裝在物鏡3鏡筒的兩側(cè)，如圖2所示，包括框架10和導軌11，液晶數(shù)字顯示掩模8固定在導軌11上，導軌11可以攜帶液晶數(shù)字顯示掩模8做平行于基板曝光掃描方向的運動，可實現(xiàn)加速，減速或勻速運動。液晶數(shù)字顯示掩模8可通過設備的編碼、定位軟件系統(tǒng)實現(xiàn)動態(tài)的數(shù)字編碼顯示，在不同的屏幕打碼時，能實現(xiàn)不同的編碼顯示。編碼、定位軟件系統(tǒng)可實現(xiàn)各個屏幕不同編碼的計算和給出，編碼位置坐標的輸入和計算，以及導軌運動速度的計算和調(diào)節(jié)。
[0019]圖3為本發(fā)明曝光、打碼示意圖。如圖3所示，曝光機的載臺攜帶玻璃基板如圖示方向運動，同時曝光機開始進行如圖所不各個曝光場15的曝光。在每個曝光場15曝光時，鏡筒及其物鏡3不動，掩模2和下方工件臺5作相對的掃描運動。與此同時，導軌11攜帶液晶數(shù)字顯示掩模8進行平行于基板的運動，運動速度可以控制。當光源6通過掩模8將編碼16曝光在曝光場的邊緣屏幕17上時，導軌11運動的速度與下方玻璃基板4的運動速度一致。打碼位置調(diào)整光學系統(tǒng)9可以按照軟件系統(tǒng)計算的位置進行調(diào)整，將編碼16的圖形準確的定位在所需位置。
[0020]在本發(fā)明的另一個實施例中，打碼系統(tǒng)也可安裝于工件臺上方的框架上。曝光系統(tǒng)和打碼系統(tǒng)可以共用光源，如圖4所示。曝光機的光源1經(jīng)過分光模塊12，使所述打碼系統(tǒng)與所述曝光系統(tǒng)共用光源。分光模塊12可以為半透半反棱鏡13及反射鏡14。
[0021]本發(fā)明的曝光和打碼的工藝過程如下:當一片玻璃基板進入曝光機時，基板進行例行的對位調(diào)整后，開始進行逐場曝光過程，曝光是按照軟件給出的曝光場15的順序進行的。在每個場內(nèi)開始曝光時，打碼裝置也準備就緒。當場內(nèi)開始進行掃描曝光時，導軌攜帶液晶數(shù)字顯示掩模按一定的速度到達第一個所需打碼位置進行曝光打碼，打碼過程中掩模運動與基板運動平行且速度一致。然后導軌攜帶掩模到達第二個打碼位置進行打碼，依次將邊緣所需打碼位置完成。掩模運動速度可在軟件中設置，以便場內(nèi)所有的打碼時間總和控制在一個曝光場完成的時間內(nèi)。 本說明書中所述的只是本發(fā)明的較佳具體實施例，以上實施例僅用以說明本發(fā)明的技術方案而非對本發(fā)明的限制。凡本領域技術人員依本發(fā)明的構(gòu)思通過邏輯分析、推理或者有限的實驗可以得到的技術方案，皆應在本發(fā)明的范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種具有打碼功能的曝光機，包括由光源、掩模、物鏡、基板以及工件臺組成的曝光系統(tǒng)，其特征在于:還包括打碼系統(tǒng)，所述打碼系統(tǒng)包括光源，打碼系統(tǒng)固定模塊，液晶數(shù)字顯示掩模模塊，打碼位置調(diào)整模塊以及編碼、定位軟件模塊；所述打碼系統(tǒng)與所述曝光系統(tǒng)同時工作。2.如權(quán)利要求1所述的具有打碼功能的曝光機，其特征在于:所述打碼系統(tǒng)固定模塊包括框架和導軌，所述液晶數(shù)字顯示掩模模塊固定于所述導軌上，并沿所述導軌平行于所述工件臺移動。3.如權(quán)利要求1所述的具有打碼功能的曝光機，其特征在于:所述打碼系統(tǒng)固定于所述物鏡兩側(cè)。4.如權(quán)利要求1所述的具有打碼功能的曝光機，其特征在于:所述打碼系統(tǒng)固定于所述工件臺上方的框架。5.如權(quán)利要求1所述的具有打碼功能的曝光機，其特征在于:還包括分光模塊，使所述打碼系統(tǒng)與所述曝光系統(tǒng)共用光源。6.如權(quán)利要求5所述的具有打碼功能的曝光機，其特征在于:所述分光模塊包括半透半反棱鏡及反射鏡。7.如權(quán)利要求1所述的具有打碼功能的曝光機，其特征在于:所述編碼、定位軟件模塊進行曝光場順序的設置、導軌運動速度的設置與調(diào)整、液晶數(shù)字顯示的計算與輸入、打碼坐標的輸入與計算。8.如權(quán)利要求1所述的具有打碼功能的曝光機，其特征在于:所述曝光、打碼過程中，所述液晶數(shù)字顯示掩模的運動與基板的運動平行且速度一致。
【專利摘要】本發(fā)明公開一種具有打碼功能的曝光機，包括由光源、掩模、物鏡、基板以及工件臺組成的曝光系統(tǒng)，其特征在于：還包括打碼系統(tǒng)，所述打碼系統(tǒng)包括光源，打碼系統(tǒng)固定模塊，液晶數(shù)字顯示掩模模塊，打碼位置調(diào)整模塊以及編碼、定位軟件模塊；所述打碼系統(tǒng)與所述曝光系統(tǒng)同時工作。本發(fā)明的曝光機能在曝光的過程中同時進行每個曝光場邊緣屏幕的打碼，可明顯為后續(xù)打碼機縮短生產(chǎn)時間，以便整條產(chǎn)線提高產(chǎn)能，同時不改變產(chǎn)線設備的配置。
【IPC分類】G03F7/20
【公開號】CN105446083
【申請?zhí)枴緾N201410428551
【發(fā)明人】李會麗, 林彬, 李志丹
【申請人】上海微電子裝備有限公司
【公開日】2016年3月30日
【申請日】2014年8月28日