光波導(dǎo)元件模塊的制作方法
【專(zhuān)利說(shuō)明】光波導(dǎo)元件模塊
[0001 ] 本申請(qǐng)為申請(qǐng)日為2011年3月29日、申請(qǐng)?zhí)枮?01110082295.8的、發(fā)明名稱(chēng)為“光波導(dǎo)元件模塊”的申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]本發(fā)明涉及一種光波導(dǎo)元件模塊，尤其涉及一種將光波導(dǎo)元件和連接基板收納于框體的光波導(dǎo)元件模塊。
【背景技術(shù)】
[0003]在光測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域及光通信技術(shù)領(lǐng)域中，常用光調(diào)制器或光學(xué)開(kāi)關(guān)等在具有電光效應(yīng)的基板所形成有光波導(dǎo)的光波導(dǎo)元件。這些光波導(dǎo)元件通常收納在密閉的框體(殼體)內(nèi)而構(gòu)成光波導(dǎo)元件模塊。
[0004]如專(zhuān)利文獻(xiàn)I所示，光波導(dǎo)元件模塊的框體內(nèi)收納有中繼基板及終端基板，該中繼基板用于將來(lái)自外部的輸入線電連接于光波導(dǎo)元件的控制電極，該終端基板電連接于光波導(dǎo)元件的控制電極的輸出側(cè)，用于吸收輸出信號(hào)或向模塊外導(dǎo)出輸出信號(hào)。
[0005]通常，如圖1所示，為了降低在連接部的非連續(xù)性并提高頻率特性，設(shè)計(jì)成構(gòu)成光波導(dǎo)元件的調(diào)制用基板與中繼基板的電極尺寸或接地電極(GND)的間隔相等。另外，可以說(shuō)終端基板與調(diào)制用基板的連接也相同。如果這樣使調(diào)制用基板和連接基板的電極的尺寸及間隔一致，則需要準(zhǔn)備與光波導(dǎo)元件的種類(lèi)相應(yīng)的連接基板，這會(huì)成為制造成本增加的原因。
[0006]隨著光波導(dǎo)元件的高頻化(寬帶化)的發(fā)展，在圖2所示的中繼基板中使用氧化鋁等與構(gòu)成光波導(dǎo)元件的基板(調(diào)制用基板)相比低介電常數(shù)的材料。并且，為了防止由基板模型等引起的頻率特性惡化，中繼基板等連接部的尺寸也變小。因此，如以往那樣若GND間隔相同，則光波導(dǎo)元件的信號(hào)電極寬度變小，并且LiNbO3這樣的具有電光效應(yīng)的基板或半導(dǎo)體基板與中繼基板的信號(hào)線路的寬度不同，由此發(fā)生連接部的非連續(xù)性，成為電特性惡化的原因。并且，若在中繼基板的輸入側(cè)與輸出側(cè)之間急劇改變信號(hào)線路的寬度或接地(GND)線路的間隔，則容易發(fā)生阻抗的不匹配，電特性的惡化變得更加顯著。
[0007]進(jìn)而，為了使來(lái)自外部的輸入線與中繼基板及光波導(dǎo)元件的阻抗匹配，如圖2(b)(圖2(a)的符號(hào)X部分的放大圖)所示，使光波導(dǎo)元件的信號(hào)電極的寬度SI與中繼基板的信號(hào)線路的寬度S2不同，并且，當(dāng)光波導(dǎo)元件的接地電極的間隔Wl與中繼基板的接地線路的間隔W2不同時(shí)，在中繼基板和光波導(dǎo)元件中發(fā)生信號(hào)部分和接地部分的電場(chǎng)強(qiáng)度不同等電連接中的非連續(xù)性，產(chǎn)生電特性的惡化。另外，符號(hào)I及2為電連接光波導(dǎo)元件與中繼基板的配線。
[0008]專(zhuān)利文獻(xiàn)I:日本專(zhuān)利公開(kāi)2003-233043號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明所要解決的課題是，提供一種光波導(dǎo)元件模塊，能夠解決上述問(wèn)題，減少光波導(dǎo)元件與連接基板(中繼基板或終端基板)的電連接的非連續(xù)性，且防止電特性惡化。而且，提供一種針對(duì)不同種類(lèi)的光波導(dǎo)元件可以使用共同的連接基板并且降低制造成本的光波導(dǎo)元件模塊。
[0010]為了解決上述課題，技術(shù)方案I所涉及的發(fā)明的光波導(dǎo)元件模塊，在框體內(nèi)收納光波導(dǎo)元件和連接基板，所述光波導(dǎo)元件具備具有電光效應(yīng)的基板、形成于該基板上的光波導(dǎo)以及用于控制在該光波導(dǎo)中傳輸?shù)墓獠ǖ目刂齐姌O，所述連接基板設(shè)置于所述光波導(dǎo)元件的外部，并具有與所述控制電極電連接的配線，所述光波導(dǎo)元件模塊的特征在于，所述控制電極包括信號(hào)電極和配置成夾著該信號(hào)電極的接地電極，所述連接基板上設(shè)置有信號(hào)線路和配置成夾著該信號(hào)線路的接地線路，所述控制電極的輸入端部或輸出端部上的所述接地電極的間隔Wl大于所述連接基板的所述光波導(dǎo)元件側(cè)的所述接地線路的間隔W2，所述控制電極在離開(kāi)所述輸入端部或所述輸出端部的部分具有所述接地電極的間隔小于所述間隔W2的部分，至少具有配線間隔小于所述第I間隔的用于連接所述光波導(dǎo)元件與所述連接基板的接地用配線。
[0011]技術(shù)方案2所涉及的發(fā)明的特征在于，在技術(shù)方案I所述的光波導(dǎo)元件模塊中，所述接地用配線的所述光波導(dǎo)元件側(cè)的端部的連接位置與小于所述間隔W2的部分連接。
[0012]技術(shù)方案3所涉及的發(fā)明的特征在于，在技術(shù)方案I或2所述的光波導(dǎo)元件模塊中，具有配線間隔大于所述間隔Wl的其他配線，該其他配線配置成夾著連接所述光波導(dǎo)元件與所述連接基板的所述接地用配線。
[0013]技術(shù)方案4所涉及的發(fā)明的特征在于，在技術(shù)方案I至3中任一項(xiàng)所述的光波導(dǎo)元件模塊中，所述輸入端部或所述輸出端部上的所述信號(hào)電極的寬度的大小與所述光波導(dǎo)元件側(cè)的所述信號(hào)線路的寬度的大小不同。
[0014]技術(shù)方案5所涉及的發(fā)明的特征在于，在技術(shù)方案I至4中任一項(xiàng)所述的光波導(dǎo)元件模塊中，所述連接基板的介電常數(shù)低于構(gòu)成所述光波導(dǎo)元件的所述基板的介電常數(shù)。
[0015]技術(shù)方案6所涉及的發(fā)明的特征在于，在技術(shù)方案I至5中任一項(xiàng)所述的光波導(dǎo)元件模塊中，連接所述光波導(dǎo)元件與所述連接基板的配線是引線接合方式。
[0016]發(fā)明效果
[0017]根據(jù)技術(shù)方案I所涉及的發(fā)明，光波導(dǎo)元件的控制電極的輸入端部或輸出端部中的接地電極的間隔Wl大于連接基板的該光波導(dǎo)元件側(cè)的接地線路的間隔W2，該控制電極在離開(kāi)該輸入端部或該輸出端部的部分具有該接地電極的間隔小于該間隔W2的部分，并且至少具有配線間隔小于所述第I間隔的用于連接所述光波導(dǎo)元件與所述連接基板的接地用配線，所以能夠抑制信號(hào)部分和接地部分中的電場(chǎng)強(qiáng)度在連接基板與光波導(dǎo)元件之間不同的現(xiàn)象，并減少兩者的連接部分中的電的非連續(xù)部分，防止高頻率特性等電特性惡化。而且，也可以用共同的連接基板滿足電極的尺寸及間隔不同的光波導(dǎo)元件，能夠?qū)崿F(xiàn)制造成本降低。
[0018]根據(jù)技術(shù)方案2所涉及的發(fā)明，因?yàn)榻拥赜门渚€的光波導(dǎo)元件側(cè)的端部的連接位置與小于間隔W2的部分連接，所以能夠更連續(xù)地改變從連接基板側(cè)向光波導(dǎo)元件側(cè)的電場(chǎng)強(qiáng)度的變化，可以抑制電特性惡化。
[0019]根據(jù)技術(shù)方案3所涉及的發(fā)明，因?yàn)榫哂信渚€間隔大于間隔Wl的其他配線，且該其他配線配置成夾著連接光波導(dǎo)元件與連接基板的接地用配線，所以可以更切實(shí)地進(jìn)行接地部分的電連接。
[0020]根據(jù)技術(shù)方案4所涉及的發(fā)明，因?yàn)榭刂齐姌O的輸入端部或輸出端部中的信號(hào)電極的寬度與光波導(dǎo)元件側(cè)的信號(hào)線路的寬度的大小不同，所以雖然通常情況下由連接部而引起電的非連續(xù)性，但是通過(guò)將連接光波導(dǎo)元件與連接基板的接地用配線的間隔W設(shè)定成小于間隔Wl，可以抑制電強(qiáng)度的非連續(xù)性，防止電特性惡化。
[0021]根據(jù)技術(shù)方案5所涉及的發(fā)明，因?yàn)檫B接基板的介電常數(shù)低于構(gòu)成光波導(dǎo)元件的基板的介電常數(shù)，所以當(dāng)進(jìn)行阻抗匹配時(shí)，雖然通常情況下連接部中的信號(hào)電極的寬度或接地電極的間隔為不同于連接基板的信號(hào)線路或接地線路的值，但是根據(jù)本發(fā)明，可以抑制連接部的非連續(xù)性。
[0022]根據(jù)技術(shù)方案6所涉及的發(fā)明，因?yàn)檫B接光波導(dǎo)元件與連接基板的配線是引線接合方式，所以能夠容易地設(shè)定成接地用配線間隔W小于間隔W1。
【附圖說(shuō)明】
[0023]圖1是說(shuō)明現(xiàn)有光波導(dǎo)元件模塊的圖。
[0024]圖2是說(shuō)明中繼基板使用與光波導(dǎo)元件的基板相比低介電常數(shù)的材料時(shí)的電極構(gòu)造等的圖。
[0025]圖3是說(shuō)明利用于本發(fā)明的光波導(dǎo)元件模塊的光波導(dǎo)元件與連接基板的配線狀況的圖。
[0026]圖4是表示本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)的光頻率響應(yīng)的比較結(jié)果的曲線圖。
[0027]圖5是表示本發(fā)明的光波導(dǎo)元件模塊中的光波導(dǎo)元件的接地電極的間隔急劇變化時(shí)的配線例的圖。
[0028]圖6是表示本發(fā)明的光波導(dǎo)元件模塊中的光波導(dǎo)元件的信號(hào)電極的寬度與連接基板的信號(hào)線路的寬度相等時(shí)的配線例的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0029]以下用最佳例詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的光波導(dǎo)元件模塊。
[0030]如圖3所示，本發(fā)明的光波導(dǎo)元件模塊，在框體內(nèi)收納光波導(dǎo)元件和連接基板，