一種coa基板及其制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種COA基板及其制作方法。
【背景技術(shù)】
[0002]TFT-LCD，薄膜晶體管液晶顯示器由于具有體積小、功耗低、無輻射等特點而備受關(guān)注，在平板顯示領(lǐng)域中占據(jù)了主導(dǎo)地位，被廣泛地應(yīng)用到各行各業(yè)中。該液晶顯示器通常由彩膜基板和陣列基板對盒而成，其R、G、B色阻位于彩膜基板上。而C0A(Color Filter onArray)基板是一種將彩膜基板制作于陣列基板上的結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)可有效地減少由于對盒偏差導(dǎo)致的漏光問題，并且降低信號線與像素電極間的耦合電容，從而有效地提高像素開口率。因此，目前在液晶顯示領(lǐng)域被廣泛應(yīng)用。
[0003]然而現(xiàn)有的COA基板結(jié)構(gòu)中，由于彩色濾光片(ColorFilter)較厚，通常會有幾個微米的厚度，這就使得聯(lián)通信號線與像素電極的接觸過孔需要做很大才能保證有效接觸。由于接觸過孔的坡腳距離較大，且過孔較深，所以在制造過程中容易隱藏多余的氣體，使得在后期液晶面板中出現(xiàn)氣泡(Bubble)不良。而且在過孔位置處，液晶分子會出現(xiàn)不規(guī)則排列，而導(dǎo)致漏光現(xiàn)象。通常為了避免漏光現(xiàn)象，會增加此處的遮擋而使得開口率下降。同時，由于過孔坡度較大，將可能引起像素電極的爬坡斷線，導(dǎo)致像素電極無法充電，進(jìn)而影響液晶面板的顯不品質(zhì)。
[0004]因此，有必要提供一種新型的COA基板及其制作方法以解決上述方面的不足。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種COA基板及其制作方法，以解決現(xiàn)有COA基板由于接觸過孔過大、過深引起的氣泡不良，像素開口率下降，像素電極爬坡斷線等問題。
[0006]為解決上述問題，本發(fā)明第一方面提供了一種COA基板，包括:
[0007]襯底基板；
[0008]柵極，設(shè)于所述襯底基板上；
[0009]柵絕緣層，設(shè)于所述柵極和所述襯底基板上，覆蓋所述襯底基板和所述柵極；
[0010]有源層，位于所述柵極上方設(shè)于所述柵絕緣層上，用于形成溝道；
[0011 ]源極和漏極，設(shè)于所述柵絕緣層上并分別與所述有源層的兩端相接觸；
[0012]第一鈍化層，覆蓋所述源極、漏極、所述柵絕緣層以及所述有源層；
[0013]色阻層，設(shè)于所述第一鈍化層上，所述色阻層設(shè)置有貫通的第一過孔，以使所述第一鈍化層暴露；
[0014]第二鈍化層，設(shè)于所述色阻層上和所述第一過孔內(nèi)，所述第一過孔內(nèi)設(shè)有貫通所述第二鈍化層和所述第一鈍化層的第二過孔，以使所述源極和漏極暴露；
[0015]導(dǎo)電填充層，所述導(dǎo)電填充層充滿所述第一過孔和所述第二過孔，所述導(dǎo)電填充層的導(dǎo)電填充材料包括有機(jī)導(dǎo)電材料；
[0016]以及透明導(dǎo)電層，設(shè)于所述第二鈍化層及所述導(dǎo)電填充層上。
[0017]在本發(fā)明COA基板中，所述有機(jī)導(dǎo)電材料為聚對苯(PPP)、聚吡咯(PPY)、聚噻吩(PTH)、聚苯基乙炔(PPV)、聚苯胺(PANI)中的一種或多種。
[0018]在本發(fā)明COA基板中，所述導(dǎo)電填充層通過采用噴墨打印的方法獲得。
[0019]在本發(fā)明COA基板中，所述導(dǎo)電填充層通過涂覆所述有機(jī)導(dǎo)電材料，再涂覆光刻膠，然后經(jīng)光刻工藝獲得。
[0020]在本發(fā)明COA基板中，所述導(dǎo)電填充層的表面與所述第二鈍化層的表面齊平。
[0021]本發(fā)明第二方面提供了一種COA基板的制作方法，包括以下步驟:
[0022]提供襯底基板，在所述襯底基板上形成柵極；
[0023]在所述柵極及未被所述柵極覆蓋的襯底基板上形成柵絕緣層；
[0024]在所述柵極上方所述柵絕緣層上形成有源層；
[0025]在所述柵絕緣層上形成分別與所述有源層的兩端相接觸的源極和漏極；
[0026]在所述源極和漏極上形成覆蓋所述源極、漏極、所述柵絕緣層以及所述有源層的第一鈍化層；
[0027]在所述第一鈍化層上形成色阻層，所述色阻層設(shè)置有貫通的第一過孔，以使所述第一鈍化層暴露；
[0028]在所述色阻層上和所述第一過孔內(nèi)形成第二鈍化層，所述第一過孔內(nèi)設(shè)有貫通所述第二鈍化層和所述第一鈍化層的第二過孔，以使所述源極和漏極暴露；
[0029]在所述第一過孔和所述第二過孔內(nèi)填充導(dǎo)電填充材料形成導(dǎo)電填充層，所述導(dǎo)電填充層的導(dǎo)電填充材料包括有機(jī)導(dǎo)電材料；
[0030]在所述第二鈍化層及所述導(dǎo)電填充層上形成透明導(dǎo)電層，再將所述透明導(dǎo)電層進(jìn)行圖案化處理形成像素電極。
[0031]在本發(fā)明CO A基板的制作方法中，所述有機(jī)導(dǎo)電材料為聚對苯(P P P )、聚吡咯(PPY)、聚噻吩(PTH)、聚苯基乙炔(PPV)、聚苯胺(PANI)中的一種或多種。
[0032]在本發(fā)明COA基板的制作方法中，所述在所述第一過孔和所述第二過孔內(nèi)填充導(dǎo)電填充材料形成導(dǎo)電填充層的具體操作為:采用噴墨打印的方法將所述有機(jī)導(dǎo)電材料填充在所述第一過孔和所述第二過孔內(nèi)。
[0033]在本發(fā)明COA基板的制作方法中，所述在所述第一過孔和所述第二過孔內(nèi)填充導(dǎo)電填充材料形成導(dǎo)電填充層的具體操作為:在所述第一過孔和所述第二過孔內(nèi)涂覆所述有機(jī)導(dǎo)電材料，再涂覆光刻膠，然后經(jīng)光刻工藝獲得。
[0034]在本發(fā)明COA基板的制作方法中，在填充導(dǎo)電填充材料之后，對所述導(dǎo)電填充層進(jìn)行平坦化處理，以使所述導(dǎo)電填充層的表面與所述第二鈍化層的表面齊平。
[0035]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明通過利用導(dǎo)電填充材料填充過孔的方法，使接觸過孔內(nèi)部填滿導(dǎo)電填充材料，減小了地形斷差，防止液晶倒向錯亂，進(jìn)一步增大像素開口率;更重要的是，減小了接觸過孔內(nèi)藏匿氣體的可能，降低了后期出現(xiàn)Bubble不良的風(fēng)險；同時，也防止了像素電極爬坡斷線的問題，提高了液晶面板的顯示品質(zhì)。
[0036]本發(fā)明實施例的優(yōu)點將會在下面的說明書中部分闡明，一部分根據(jù)說明書是顯而易見的，或者可以通過本發(fā)明實施例的實施而獲知。
【附圖說明】
[0037]圖1為現(xiàn)有技術(shù)的COA基板的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0038]圖2為本發(fā)明COA基板的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0039]圖3為本發(fā)明COA基板的制作方法流程圖。
【具體實施方式】
[0040]以下所述是本發(fā)明實施例的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明實施例原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也視為本發(fā)明實施例的保護(hù)范圍。
[0041 ]請參閱圖1，圖1為現(xiàn)有技術(shù)的COA基板的結(jié)構(gòu)不意圖。如圖1所不，現(xiàn)有技術(shù)的COA基板包括襯底基板11、柵極12、柵絕緣層13、有源層14、源極和漏極15、第一鈍化層16、色阻層17、第二鈍化層18、以及透明導(dǎo)電層19。
[0042]請參閱圖2，圖2為本發(fā)明COA基板的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，本發(fā)明COA基板包括襯底基板21、柵極22、柵絕緣層23、有源層24、源極和漏極25、第一鈍化層26、色阻層27、第二鈍化層28、導(dǎo)電填充層29、以及透明導(dǎo)電層30。
[0043]所述柵極22，設(shè)于所述襯底基板21上；
[0044]所述柵絕緣層23，設(shè)于所述柵極22和襯底基板21上，覆蓋所述襯底基板21和柵極22；
[0045]所述有源層24，位于所述柵極22上方設(shè)于所述柵絕緣層23上，用于形成溝道；
[0046]所述源極和漏極25，設(shè)于所述柵絕緣層23上并分別與有源層24的兩端相接觸；
[0047]所述第一鈍化層26，覆蓋所述源極和漏極25、柵絕緣層23以及有源層24;
[0048]所述色阻層27，設(shè)于所述第一鈍化層26上，色阻層27設(shè)置有貫通的第一過孔30，以使所述第一鈍化層26暴露；
[0049]所述第二鈍化層28，設(shè)于所述色阻層27上和所述第一過孔201內(nèi)，所述第一過孔201內(nèi)設(shè)有貫通所述第二鈍化層28和所述第一鈍化層26的第二過孔202，以使所述源極和漏極25暴露；
[0050]所述導(dǎo)電填充層29，所述導(dǎo)電填充層29充滿所述第一過孔201和所述第二過孔202，所述導(dǎo)電填充層29的導(dǎo)電填充材料包括有機(jī)導(dǎo)電材料；
[0051]所述透明導(dǎo)電層30，設(shè)于所述第二鈍化層28及所述導(dǎo)電填充層29上。
[0052]本發(fā)明實施方式中，所述導(dǎo)電填充層29的有機(jī)導(dǎo)電材料可以為聚對苯(PPP)、聚吡咯(PPY)、聚噻吩(PTH)、聚苯基乙炔(PPV)、聚苯胺(PANI)中的一種或多種。
[0053]本發(fā)明一實施方式中，所述導(dǎo)電填充層通過采用噴墨打印的方法獲得。
[0054]本發(fā)明另一實施方式中，所述導(dǎo)電填充層通過涂覆所述有機(jī)導(dǎo)電材料，再涂覆光刻膠，然后經(jīng)正常的光刻工藝:曝光、顯影、刻蝕、strip完后形成過孔填充圖案。所述光刻膠可為本領(lǐng)域內(nèi)光刻工藝常用種類。
[0055]本發(fā)明實施方式中，所述第一過孔201和所述第二過孔202內(nèi)都填滿導(dǎo)電填充材料，并與所述源極和漏極25(8卩SD電極)有電連接。在本發(fā)明一優(yōu)選實施方式中，所述導(dǎo)電填充層29的表面與所述第二鈍化層28的表面齊平。
[0056]本發(fā)明實施方式中，襯底基板21