感光性樹脂組合物及其應(yīng)用
【專利摘要】本發(fā)明有關(guān)于一種感光性樹脂組合物及其應(yīng)用。上述感光性樹脂組合物包含堿可溶性樹脂(A)、具有乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)、鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)及溶劑(E)。此感光性樹脂組合物可用于制作間隙體或保護(hù)膜,且此感光性樹脂組合物具有較高的解析度及較少的殘?jiān)?br>【專利說明】
感光性樹脂組合物及其應(yīng)用
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明是有關(guān)一種感光性樹脂組合物及其所形成的間隙體及保護(hù)膜,特別是提供 一種具有良好解析度且較少殘?jiān)母泄庑詷渲M合物。
【背景技術(shù)】
[0002] -般而言,印刷于彩色濾光層表面上的像素與黑色矩陣會(huì)產(chǎn)生凹凸不平之處。一 般是于彩色濾光層的表面形成保護(hù)膜,以隱藏不平之處,進(jìn)而達(dá)到平坦化的要求。
[0003] 其次,制造液晶顯示元件或固態(tài)成像裝置等光學(xué)元件包含具有嚴(yán)苛條件的處理程 序,例如以浸泡酸性溶劑或堿性溶液的處理方式或以濺鍍(Sputtering)的處理方式形成配 線電極層時(shí),基板表面會(huì)造成局部腐蝕或產(chǎn)生高溫。
[0004] 因此,為了防止元件表面的元件受損,元件的表面須鋪設(shè)保護(hù)膜。保護(hù)膜須與基板 具有優(yōu)異的附著力,且須具有高透明度、高表面硬度與平滑的表面。具有高耐熱性與耐光性 的保護(hù)膜于長期使用下亦不會(huì)有變色、黃化或白化等變質(zhì)情況發(fā)生。此外,該保護(hù)膜還需具 有良好的耐水性、耐化性、耐溶劑性、耐酸性及耐堿性等特性。
[0005] 另一方面,在已知的彩色液晶顯示元件中,為了維持兩個(gè)基板間固定的層間距離 (細(xì)胞間隙),已知的彩色液晶顯示元件是于整個(gè)基板上隨機(jī)噴灑如聚苯乙烯珠或硅珠,其 中該聚苯乙烯珠或硅珠的直徑為兩基板間的間距。然而,此已知方式因噴珠的位置及密度 分布并不均勻,造成背光源的光線受噴珠影響而散射,進(jìn)一步使得顯示元件的對(duì)比度降低。 因此,以光刻制程(photolithography)方式所開發(fā)出的間隙體用感光性組合物逐漸成為業(yè) 界的主流。
[0006] 該間隙體的形成方式是將該間隙體用的感光性組合物先涂布至基板,并于基板與 曝光源間放入具有指定圖案的掩模,而經(jīng)曝光顯影形成間隙體。依據(jù)此方法,可于R、G、B像 素外的指定位置上形成間隙體,以解決已知技術(shù)的問題。其中,細(xì)胞間隙也可利用感光性成 分形成的涂膜厚度來控制,使細(xì)胞間隙的距離變得容易控制,而具有精度高的優(yōu)點(diǎn)。
[0007] 由于該保護(hù)膜或間隙體是形成于彩色濾光片或是基板上,對(duì)透明度的要求極高。 當(dāng)應(yīng)用于液晶顯示元件時(shí),透明度不佳的保護(hù)膜或間隙體將造成液晶顯示元件的亮度不 足,而影響液晶顯示元件的顯示品質(zhì)。
[0008] 為提高保護(hù)膜或間隙體的透明度,日本專利特開第2010-054561號(hào)專利揭示一種 保護(hù)膜用的感光性樹脂組合物,其包含堿可溶性粘結(jié)樹脂、乙烯性不飽和基的化合物、光起 始劑及溶劑,其中乙烯性不飽和基的化合物中不飽和鍵的結(jié)合當(dāng)量為90g/ep至450g/eq,且 乙烯性不飽和基的化合物中的單一化合物的不飽和雙鍵為2個(gè)至4個(gè),且堿可溶性粘結(jié)樹脂 的重量平均分子量為10, 〇〇〇至20,000。
[0009]其次,日本專利特開第2004-240241號(hào)專利揭示一種感光性樹脂組合物,其包含共 聚合物、具有乙烯性不飽合基的聚合物及光起始劑,其中,該共聚物是由乙烯性不飽合羧酸 (酐)、具環(huán)氧基的乙烯性不飽合基的化合物及其它乙烯性不飽合基的化合物所共聚合而 得,且光起始劑可為2-丁二酮-[4-甲硫基苯]-2-(0-肟醋酸鹽)、1,2_ 丁二酮-1-(4-嗎啉基 苯基)-2-(0_苯甲酰肟)、1,2_辛二酮-1-[4-苯硫基苯]-2-[0-(4-甲基苯甲酰)肟]或其類似 物。然而,此感光性樹脂組合物雖可制得高透明性的保護(hù)膜或間隙體,但卻具具有較低的解 析度及較多殘?jiān)娜秉c(diǎn)。
[0010] 有鑒于此,目前亟需發(fā)展一種解析度較高且殘?jiān)^少的間隙體或保護(hù)膜用感光性 樹脂組合物,以克服已知保護(hù)膜或間隙體的上述種種問題。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0011] 因此,本發(fā)明的一個(gè)方面在于提供一種感光性樹脂組合物,此感光性樹脂組合物 包含堿可溶性樹脂(A)、具有乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)、鄰萘醌二疊氮磺 酸酯(D)及溶劑(E),且此感光性樹脂組合物具有良好的解析度及較少的殘?jiān)?br>[0012] 本發(fā)明的另一方面在于提供一種間隙體或保護(hù)膜,其均是利用上述的感光性樹脂 組合物所形成。
[0013] 本發(fā)明的又一方面在于提供一種液晶顯示元件,其包含前述的間隙體或保護(hù)膜。
[0014] 根據(jù)本發(fā)明的上述方面,提出一種感光性樹脂組合物。此感光性樹脂組合物包含 堿可溶性樹脂(A)、具有乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)、鄰萘醌二疊氮磺酸酯 (D)及溶劑(E),以下析述之。
[0015]堿可溶性樹脂(A)
[0016]本發(fā)明的堿可溶性樹脂(A)是指可溶于堿性水溶液中的樹脂,其構(gòu)造并無特別限 制。較佳地,堿可溶性樹脂(A)可為具有羧酸基的樹脂或苯酚-酚醛清漆(phenol-novolac) 樹脂等。更佳地,堿可溶性樹脂(A)可由一混合物于適當(dāng)?shù)木酆掀鹗紕┐嬖谙滤簿酆隙?得。
[0017]該混合物可包含不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(al )、具有環(huán)氧基的不飽和化 合物(a2)及/或其它不飽和化合物(a3)。
[0018] 不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(al)
[0019] 該不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(al)可為包含羧酸基或羧酸酐結(jié)構(gòu),以及用 以聚合鍵結(jié)的不飽和鍵的化合物。該不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(al)的結(jié)構(gòu)并無特 別限制,且該不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(al)可包含但不限于不飽和單羧酸化合 物、不飽和二羧酸化合物、不飽和酸酐化合物、多環(huán)型不飽和羧酸化合物、多環(huán)型不飽和二 羧酸化合物或多環(huán)型不飽和酸酐化合物等。
[0020] 前述不飽和單羧酸化合物的具體例可包含但不限于(甲基)丙烯酸、丁烯酸、a-氯 丙烯酸、乙基丙烯酸、肉桂酸、2-(甲基)丙烯酰乙氧基丁二酸酯[2-(meth) acryloyloxyethyl succinate monoester]、2_(甲基)丙稀酰乙氧基六氫化苯二甲酸酯、2-(甲基)丙烯酰乙氧基苯二甲酸酯或omega-羧基聚己內(nèi)酯多元醇單丙烯酸酯(其可為東亞合 成制造的商品,且其型號(hào)為AR0NIX M-5300)等。
[0021] 前述不飽和二羧酸化合物的具體例可包含但不限于馬來酸、富馬酸、甲基富馬酸、 衣康酸或檸康酸等。
[0022] 前述的不飽和酸酐化合物可為該不飽和二羧酸化合物的酸酐化合物。
[0023] 前述多環(huán)型不飽和羧酸化合物的具體例可包含但不限于5-羧基雙環(huán)[2.2.1 ]庚_ 2_稀、5_駿基_5_甲基雙環(huán)[2.2.1 ]庚_2_稀、5_駿基_5_乙基雙環(huán)[2.2.1 ]庚_2_稀、5_駿基- 6-甲基雙環(huán)[2.2.1 ]庚-2-烯或5-羧基-6-乙基雙環(huán)[2.2.1 ]庚-2-烯。
[0024] 前述多環(huán)型不飽和二羧酸化合物的具體例可包含但不限于5,6-二羧酸二環(huán) [2.2.1]庚-2-烯。
[0025] 前述多環(huán)型不飽和酸酐化合物可為該多環(huán)型不飽和二羧酸化合物的酸酐化合物。
[0026] 前述不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(al)可單獨(dú)一種使用或混合多種使用。
[0027] 較佳地,該不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(al)的具體例可為丙烯酸、甲基丙 烯酸、馬來酸酐、2-甲基丙烯酰乙氧基丁二酸酯或2-甲基丙烯?;已趸鶜浠蕉姿帷?br>[0028] 基于不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(al),以及后述具有環(huán)氧基的不飽和化合 物(a2)與其它不飽和化合物(a3)的總使用量為100重量份,該不飽和羧酸或不飽和羧酸酐 化合物(al)的使用量可為5重量份至50重量份,較佳為5重量份至35重量份,且更佳可為15 重量份至35重量份。
[0029]具有環(huán)氧基的不飽和化合物(a2)
[0030] 該具有環(huán)氧基的不飽和化合物(a2)可包含具有環(huán)氧基的(甲基)丙烯酸酯化合物、 具有環(huán)氧基的烷基丙烯酸酯化合物或環(huán)氧丙醚化合物等。
[0031] 前述具有環(huán)氧基的(甲基)丙烯酸酯化合物的具體可包含但不限于(甲基)丙烯酸 環(huán)氧丙酯、(甲基)丙烯酸2-甲基環(huán)氧丙酯、(甲基)丙烯酸3,4_環(huán)氧丁酯、(甲基)丙烯酸6,7_ 環(huán)氧庚酯、(甲基)丙烯酸3,4_環(huán)氧環(huán)己酯或(甲基)丙烯酸3,4_環(huán)氧環(huán)己基甲酯等。
[0032] 前述具有環(huán)氧基的a-烷基丙烯酸酯化合物的具體例可包含但不限于a-乙基丙烯 酸環(huán)氧丙酯、a-正丙基丙烯酸環(huán)氧丙酯、a-正丁基丙烯酸環(huán)氧丙酯或a-乙基丙烯酸6,7_環(huán) 氧庚酯等。
[0033]前述環(huán)氧丙醚化合物的具體例可包含但不限于鄰-乙烯基苯甲基環(huán)氧丙醚(〇_ vinylbenzylglycidylether)、間-乙烯基苯甲基環(huán)氧丙釀(m-vinylbenzylglycidylether) 或?qū)?乙烯基苯甲基環(huán)氧丙醚(p -vinylbenzylglycidylether)等。
[0034] 前述具有環(huán)氧基的不飽和化合物(a2)可單獨(dú)一種使用或混合多種使用。
[0035] 較佳地,該具有環(huán)氧基的不飽和化合物(a2)的具體例可為甲基丙烯酸環(huán)氧丙酯、 (甲基)丙烯酸3,4_環(huán)氧環(huán)己基甲酯、甲基丙烯酸6,7_環(huán)氧庚酯、鄰-乙烯基苯甲基環(huán)氧丙 醚、間-乙烯基苯甲基環(huán)氧丙醚或?qū)?乙烯基苯甲基環(huán)氧丙醚。
[0036] 基于前述不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(al)與該具有環(huán)氧基的不飽和化合 物(a2),以及其它不飽和化合物(a3)的總使用量為100重量份,具有環(huán)氧基的不飽和化合物 (a2)的使用量可為5重量份至30重量份,較佳為5重量份至20重量份,且更佳可為10重量份 至20重量份。
[0037] 其它不飽和化合物(a3)
[0038] 該其它不飽和化合物(a3)可為(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸脂環(huán)族酯、(甲 基)丙烯酸芳基酯、不飽和二羧酸二酯、(甲基)丙烯酸羥烷酯、(甲基)丙烯酸酯的聚醚、芳香 乙烯化合物,或者前述化合物以外的其它不飽和化合物。
[0039] 前述(甲基)丙烯酸烷基酯的具體例可包含但不限于(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙 烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯 酸異丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯或(甲基)丙烯酸叔丁酯等。
[0040] 前述(甲基)丙烯酸脂環(huán)族酯的具體例可包含但不限于(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲 基)丙烯酸-2-甲基環(huán)己酯、三環(huán)[5.2.1.02,6]癸-8-基(甲基)丙烯酸酯[亦可稱的為(甲基) 丙烯酸雙環(huán)戊酯]、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊氧基乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯或(甲基)丙烯酸 四氫呋喃酯等。
[0041]前述(甲基)丙烯酸芳基酯的具體例可包含但不限于(甲基)丙烯酸苯基酯或甲基 丙烯酸苯甲酯等。
[0042]前述不飽和二羧酸二酯的具體例可包含但不限于馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯或 衣康酸二乙酯等。
[0043]前述(甲基)丙烯酸羥烷酯的具體例可包含但不限于(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯或 (甲基)丙烯酸-2-羥基丙酯等。
[0044]前述(甲基)丙烯酸酯的聚醚的具體例可包含但不限于聚乙二醇單(甲基)丙烯酸 酯或聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯等。
[0045]前述芳香乙烯化合物的具體例可包含但不限于苯乙烯、a-甲基苯乙烯、間-甲基苯 乙稀,對(duì)-甲基苯乙稀或?qū)?甲氧基苯乙稀等。
[0046]前述化合物以外的其它不飽和化合物的具體例可包含但不限于丙烯腈、甲基丙烯 腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、乙烯乙酯、1,3_丁二烯、異戊二烯、2,3_ 二甲基1,3_ 丁二烯、N-環(huán)己基馬來酰亞胺、N-苯基馬來酰亞胺、N-芐基馬來酰亞胺、N-丁二 酰亞胺基-3-馬來酰亞胺苯甲酸酯、N-丁二酰亞胺基-4-馬來酰亞胺丁酸酯、N-丁二酰亞胺 基-6-馬來酰亞胺己酸酯、N-丁二酰亞胺基-3-馬來酰亞胺丙酸酯或N-(9-吖啶基)馬來酰亞 胺等。
[0047]該其它不飽和化合物可單獨(dú)一種使用或混合多種使用。
[0048] 前述其它不飽和化合物(a3)的具體例較佳可為(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸 丁酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯、(甲基)丙烯 酸雙環(huán)戊酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊氧基乙酯、苯乙烯或?qū)?甲氧基苯乙烯。
[0049] 基于前述不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(al)與具有環(huán)氧基的不飽和化合物 (a2),以及該其它不飽和化合物(a3)的總使用量為100重量份,其它不飽和化合物(a3)的使 用量可為20重量份至90重量份,較佳為45重量份至90重量份,且更佳為45重量份至75重量 份。
[0050] 本發(fā)明的堿可溶性樹脂(A)在制造時(shí)所使用的溶劑可為醇類、醚類、二醇醚、乙二 醇烷基醚乙酸醋酸酯、二乙二醇、二丙二醇、丙二醇單烷基醚、丙二醇烷基醚乙酸醋酸酯、丙 二醇烷基醚丙酸酯、芳香烴、酮類或酯類等。
[0051 ] 前述醇類溶劑的具體例可包含甲醇、乙醇、苯甲醇、2-苯乙醇或3-苯基-1-丙醇等。 [0052]前述醚類溶劑的具體例可包含四氫呋喃等。
[0053] 前述二醇醚的具體例可包含乙二醇單丙醚、乙二醇單甲醚或乙二醇單乙醚等。 [0054] 前述乙二醇烷基醚醋酸酯的具體例可包含乙二醇丁醚醋酸酯、乙二醇乙醚醋酸酯 或乙二醇甲醚醋酸酯等。
[0055] 前述二乙二醇的具體例可包含二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁 醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚或二乙二醇甲乙醚等。
[0056] 前述二丙二醇的具體例可包含二丙二醇單甲醚、二丙二醇單乙醚、二丙二醇二甲 醚、二丙二醇二乙醚或二丙二醇甲乙醚等。
[0057] 前述丙二醇單烷基醚的具體例可包含丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單丙 醚或丙二醇單丁醚等。
[0058] 前述丙二醇烷基醚醋酸酯的具體例可包含丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇乙醚醋酸 酯、丙二醇丙醚醋酸酯或丙二醇丁醚醋酸酯等。
[0059]前述丙二醇烷基醚丙酸酯的具體例可包含丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸 酯、丙二醇丙醚丙酸酯或丙二醇丁醚丙酸酯等。
[0060]前述芳香烴的具體例可包含甲苯或二甲苯等。
[0061 ] 前述酮類的具體例可包含甲乙酮、環(huán)己酮或二丙酮醇等。
[0062] 前述酯類的具體例可包含乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2-羥基丙酸 乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、羥乙酸甲酯、羥乙酸乙酯、羥乙酸 丁酯、乳酸甲酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-羥基丙酸甲酯、3-羥基丙酸乙酯、3-羥基丙酸丙酯、 3-羥基丙酸丁酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸 丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲 酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙 酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基 丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、 2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基 丙酸乙酯、2-丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、 3_甲氧基丙酸丙酯、3-甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基 丙酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸甲酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、 3_丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯或3-丁氧基 丙酸丁酯等。
[0063] 該溶劑可單獨(dú)一種使用或混合多種使用。
[0064] 較佳地,前述溶劑的具體例可為二乙二醇二甲醚或丙二醇甲醚醋酸酯。
[0065] 前述聚合起始劑的具體例可為偶氮化合物或過氧化物等。
[0066] 該偶氮化合物的具體例可包含但不限于2,2'_偶氮二異丁腈、2,2'_偶氮二(2,4_ 二甲基戊臆)、2,2' -偶?xì)舛?4-甲氧基-2,4-二甲基戊臆)、2,2' -偶?xì)舛?-甲基丁臆)、4, 4'_偶氮二(4-氰基戊酸)或2,2'_偶氮二(二甲基-2-甲基丙酸酯)等。
[0067]該過氧化物的具體例可包含但不限于過氧化二苯甲酰、過氧化二月桂酰 (dilauroyl peroxide)、叔丁基過氧化新戊酸酯(tert-butyl peroxypivalate)、1,1-二 (叔丁基過氧化)環(huán)己燒[1,l-di(tert-butylperoxy)cyclohexane]或過氧化氫等。
[0068]該聚合起始劑可單獨(dú)一種使用或混合多種使用。
[0069]具有乙烯性不飽和基的化合物(B)
[0070] 本案具有乙烯性不飽和基的化合物(B)可包含具有如下式(II)所示的結(jié)構(gòu)的第一 化合物(B-1)及其它具有乙烯性不飽和基的化合物(B-2)。
[0071] 具有如式(II)所示的結(jié)構(gòu)的第一化合物(B-1)
[0072] 前述的第一化合物(B-1)可具有如下式(II)所示的結(jié)構(gòu):
[0074] 于式(II)中,R3分別可獨(dú)立地代表氫原子或甲基。R4分別可獨(dú)立地代表氫原子、丙 烯酰基或甲基丙烯?;?。n代表2至4的整數(shù)。
[0075] 該具有如式(II)所示的結(jié)構(gòu)的第一化合物(B-1)的具體例可包含但不限于三季戊 四醇七(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、四季戊四醇九(甲基)丙烯酸酯、四 季戊四醇十(甲基)丙烯酸酯、五季戊四醇十一(甲基)丙烯酸酯、五季戊四醇十二(甲基)丙 烯酸酯或上述化合物的任意組合。
[0076] 基于堿可溶性樹脂(A)的總使用量為100重量份,該具有如式(II)所示的結(jié)構(gòu)的第 一化合物(B-1)的使用量為30重量份至300重量份,較佳為40重量份至250重量份,且更佳為 50重量份至200重量份。
[0077] 當(dāng)本發(fā)明具有乙烯性不飽和基的化合物(B)包含具有如式(II)所示的結(jié)構(gòu)的第一 化合物(B-1)時(shí),所制得的感光性樹脂組合物可具有更佳的解析度。
[0078]其它具有乙烯性不飽和基的化合物(B-2)
[0079]該其它具有乙烯性不飽和基的化合物(B-2)可包含具有一個(gè)乙烯性不飽和基的化 合物或具有至少兩個(gè)乙烯性不飽和基的化合物。
[0080] 該具有一個(gè)乙烯性不飽和基的化合物的具體例可包含但不限于(甲基)丙烯酰胺 [(11161:11)3(^7131111(16]、(甲基)丙稀酰嗎啉、(甲基)丙稀酸-7-氨基-3,7-二甲基辛酯、異丁氧 基甲基(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸異冰片基氧乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙 烯酸-2-乙基己酯、乙基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、叔辛基(甲基)丙烯酰胺、二丙酮(甲基) 丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊 烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯酯、氮,氮-二甲基(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸四氯 苯酯、(甲基)丙稀酸-2-四氯苯氧基乙酯、(甲基)丙稀酸四氫糠酯[tetrahydrofurfuryl (meth)a Crylate]、(甲基)丙烯酸四溴苯酯、(甲基)丙烯酸-2-四溴苯氧基乙酯、(甲基)丙烯 酸-2-三氯苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸三溴苯酯、(甲基)丙烯酸-2-三溴苯氧基乙酯、2-羥 基_(甲基)丙烯酸乙酯、2-羥基_(甲基)丙烯酸丙酯、乙烯基己內(nèi)酰胺、氮-乙烯基吡咯烷酮、 (甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸五氯苯酯、(甲基)丙烯酸五溴苯酯、聚單(甲基)丙 烯酸乙二酯、聚單(甲基)丙烯酸丙二酯或(甲基)丙烯酸冰片酯等。
[0081] 該具有一個(gè)乙烯性不飽和基的化合物可單獨(dú)一種使用或混合多種使用。
[0082]前述具有至少兩個(gè)乙烯性不飽和基的化合物的具體例可包含但不限于乙二醇二 (甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二 (甲基)丙烯酸酯、三(2-羥基乙基)異氰酸二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羥基乙基)異氰酸三(甲 基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改質(zhì)的三(2-羥基乙基)異氰酸三(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸三 羥甲基丙酯、環(huán)氧乙烷(ethylene oxide;以下簡稱為E0)改質(zhì)的三(甲基)丙烯酸三羥甲基 丙酯、環(huán)氧丙烷(propylene oxide;以下簡稱為P0)改質(zhì)的三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、 三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4_ 丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、 1,6_己二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、 聚酯二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季 戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改質(zhì)的二季戊四醇六(甲 基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改質(zhì)的二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、四(甲基)丙烯酸二三羥甲基丙 酯[di (trimethylolpropane)tetra(meth)acrylate]、E0改質(zhì)的雙酸A二(甲基)丙稀酸酯、 P0改質(zhì)的雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、E0改質(zhì)的氫化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、P0改質(zhì)的氫化 雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、P0改質(zhì)的甘油三(甲基)丙烯酸酯、E0改質(zhì)的雙酚F二(甲基)丙烯 酸酯或酚醛清漆聚縮水甘油醚(甲基)丙烯酸酯等。
[0083]該具有至少兩個(gè)乙烯性不飽和基的化合物可單獨(dú)一種使用或混合多種使用。
[0084]基于前述堿可溶性樹脂(A)的總使用量為100重量份,該具有乙烯性不飽和基的化 合物(B)的使用量為30重量份至350重量份,較佳為40重量份至300重量份,且更佳為50重量 份至250重量份。
[0085]光起始劑(C)
[0086] 本發(fā)明的光起始劑(C)無特別的限制。該光起始劑(C)可包含0-?;肯倒馄鹗?劑、三氮雜苯系光起始劑、苯乙烷酮類化合物、二咪唑類化合物、二苯甲酮類化合物、二酮 類化合物、酮醇類化合物、酮醇醚類化合物、酰膦氧化物類化合物、醌類化合物、含鹵素類化 合物或過氧化物等。
[0087] 前述0-?;肯倒馄鹗紕┑木唧w例可包含但不限于1-[4_(苯基硫代)苯基]-庚 烷-1,2_二酮2_(0_苯?;浚?、1-[4_(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2_二酮2_(0_苯?;浚?、1_ [4-(苯?;┍交鵠-庚烷-1,2-二酮2-(0_苯?;浚?、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯酰 基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(0-乙?;浚?、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(3-甲基苯?;?-9H-咔 唑-3-取代基]-1-(0-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-苯酰基-9H-咔唑-3-取代基]-1-(0-乙?;浚⒁彝橥?1_[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃基苯?;?-9H-咔唑-3-取代基]-1-(0-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫吡喃基苯?;?9H-咔唑-3-取代 基]-1-(0-乙?;浚⒁彝橥?1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫呋喃基苯?;?-9H-咔唑-3-取代基]-1-(〇_乙?;浚⒁彝橥?1_[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫吡喃基苯?;?9H-咔 唑-3-取代基]-1-(0-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃基甲氧基苯酰 基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(0-乙?;浚⒁彝橥?1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫吡喃基 甲氧基苯?;?-9H-咔唑-3-取代基]-1-(0-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫呋喃基甲氧基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(0-乙?;浚?、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫吡喃基甲氧基苯?;?-9H-咔唑-3-取代基]-1-(0-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧雜戊環(huán)基)苯?;鶀-9H-咔唑-3-取代基]-1-(0-乙酰基肟)或乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧雜戊環(huán)基)甲氧 基苯?;鶀-9H-咔唑-3-取代基]-1-(0-乙?;?等。該0-?;肯倒馄鹗紕┛蓡为?dú)一種使 用或混合多種使用。
[0088] 較佳地,該0-酰基肟系光起始劑的具體例可為1-[4_(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2_ 二酮2-(0_苯?;浚⒁彝橥?1-[9-乙基-6-(2-甲基苯?;?-9H-咔唑-3-取代基]-1-(0-乙?;浚?、乙烷酮-1_[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃甲氧基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代 基]-1-(0-乙?;?或乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧雜戊環(huán) 基)甲氧基苯酰基} -9H-咔唑-3-取代基]-1 -(0-乙?;?等。
[0089]前述三氮雜苯系光起始劑的具體例可包含但不限于乙烯基-鹵代甲基-s-三氮雜 苯化合物、2_(萘并-1-取代基)-4,6-雙-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物或4-(對(duì)-氨基苯基)-2,6-二-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物等。
[0090]該乙烯基-鹵代甲基-S-三氮雜苯化合物的具體例可包含2,4_雙(三氯甲基)-6-對(duì)-甲氧基苯乙烯基-s-二氣雜苯、2,4 -雙(二氣甲基)-3-( I-對(duì)-二甲基氣基苯基_1,3-丁 _. 烯基)-s-三氮雜苯或2-三氯甲基-3-氨基-6-對(duì)-甲氧基苯乙烯基-s-三氮雜苯等。
[0091] 該2-(萘并-1-取代基)-4,6_雙-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物的具體例可包含2-(萘并-1-取代基)_4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4_甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4_乙氧基-萘并-1-取代基)-4,6_雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4-丁氧基-萘并-1-取代基)-4,6_雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-[4-(2_甲氧基乙基)-萘并- 1-取代基]-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-[4-(2_乙氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-[4-(2_ 丁氧基乙基)-萘并-1-取代基]_4,6_雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(2_甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6_雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(6_甲氧基-5-甲基-萘并-2-取代基)_4,6_雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(6_甲氧基-萘并-2-取代基)-4, 6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-( 5-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜 苯、2-(4,7_二甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6_雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(6_乙氧基-萘 并-2-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯或2-(4,5-二甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙 -二氣甲基-s-二氣雜苯等。
[0092]該4_(對(duì)-氨基苯基)_2,6_二-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物的具體例可包含4_ [對(duì)-N,N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-S-三氮雜苯、4-[鄰-甲基-對(duì)-N,N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[對(duì)-N,N-二 (氣乙基)氛基苯基] _2,6_二(二氣甲基)_s_二氣雜苯、4_[鄰-甲基-對(duì)_N,N_二(氣乙基)氛 基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(對(duì)-N-氯乙基氨基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(對(duì)-N-乙氧基羰基甲基氨基苯基)-2,6_二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[對(duì)-N,N_二(苯基)氛基苯基]_2,6_二(二氣甲基)_s_二氣雜苯、4_(對(duì)-N-氣乙基幾基氛基苯 基)-2,6_二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[對(duì)-N-(對(duì)-甲氧基苯基)羰基氨基苯基]_2,6_二 (三氯甲基)-s_三氮雜苯、4-[間-N,N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基]_2,6_二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-溴-對(duì)-N,N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三 氣雜苯、4_ [間-氣-對(duì)_N,N_二(乙氧基幾基甲基)氛基苯基]_2,6_二(二氣甲基)_s_二氣雜 苯、4_ [間-氣-對(duì)_N,N_二(乙氧基幾基甲基)氛基苯基]_2,6_二(二氣甲基)_s_二氣雜苯、4_ [鄰-溴-對(duì)-N,N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氣 -對(duì)-N,N-二(乙氧基幾基甲基)氛基苯基_2,6_二(二氣甲基)-s-二氣雜苯、4_ [鄰-氣-對(duì)-叱^二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-8-三氮雜苯、4-[鄰-溴-對(duì)-^ 二(氣乙基)氛基苯基] _2,6_二(二氣甲基)_s_二氣雜苯、4_[鄰-氣-對(duì)_N,N_二(氣乙基)氛 基苯基],6-二(二氯甲基)_s_二氮雜苯、4-[鄰-氣-對(duì)-N,N_二(氯乙基)氨基苯基]-2,6_ 二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-溴-對(duì)-N,N-二(氯乙基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s_二氣雜苯、4_ [間-氣-對(duì)_N,N_二(氣乙基)氛基苯基]_2,6_二(二氣甲基)_s_二氣雜苯、4_ [間-氟-對(duì)-N,N-二(氯乙基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-溴-對(duì)-N-乙氧基幾基甲基氛基苯基) _2,6_二(二氣甲基)_s_二氣雜苯、4_(間-氣-對(duì)-N-乙氧基幾基 甲基氨基苯基)-2,6_二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氟-對(duì)-N-乙氧基羰基甲基氨基苯 基)-2,6_二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-溴-對(duì)-N-乙氧基羰基甲基氨基苯基)-2,6_二 (三氯甲基)-s_三氮雜苯、4-(鄰-氯-對(duì)-N-乙氧基羰基甲基氨基苯基)-2,6_二(三氯甲基)-s _二氣雜苯、4_(鄰-氣-對(duì)-N-乙氧基幾基甲基氛基苯基)_2,6_二(二氣甲基)_s_二氣雜苯、 4_(間-溴-對(duì)-N-氯乙基氨基苯基)-2,6_二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氯-對(duì)-N-氯乙 基氨基苯基) _2,6-二(二氯甲基)_s_二氮雜苯、4_(間-氣-對(duì)-N-氯乙基氨基苯基)_2,6_二 (三氯甲基)-s_三氮雜苯、4-(鄰-溴-對(duì)-N-氯乙基氨基苯基)-2,6_二(三氯甲基)-s-三氮雜 苯、4_ (鄰-氣-對(duì)-N-氣乙基氛基苯基)_2,6_二(二氣甲基)-s-二氣雜苯、4_ (鄰-氣-對(duì)-N-氣 乙基氨基苯基)-2,6_二(三氯甲基)-s-三氮雜苯或2,4-雙(三氯甲基)-6-{3-溴-4-[叱^雙 (乙氧基羰基甲基)氨基]苯基}-1,3,5_三氮雜苯等。
[0093]該三氮雜苯系光起始劑可單獨(dú)一種使用或混合多種使用。
[0094]較佳地,該三氮雜苯系光起始劑可為4-[間-溴-對(duì)-N,N_二(乙氧基羰基甲基)氨基 苯基]-2,6_二(三氯甲基)-s-三氮雜苯或2,4_雙(三氯甲基)-6_對(duì)-甲氧基苯乙烯基-s-三 氮雜苯等。
[0095]前述苯乙烷酮類化合物的具體例可包含但不限于對(duì)二甲氨苯乙烷酮、a,a'-二甲 氧基氧化偶氮苯乙燒酮、2,2二甲基_2_苯基苯乙燒酮、對(duì)-甲氧基苯乙燒酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎福啉代-1-丙酮或2-芐基-2-N,N-二甲氨-1-(4-嗎啉代苯基)-1_ 丁 酮等。該苯乙烷酮類化合物可單獨(dú)一種使用或混合多種使用。
[0096] 較佳地,該苯乙烷酮類化合物可包含2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎福啉代- 1-丙酮或2-芐基-2-N,N-二甲氨-1-(4-嗎啉代苯基)-1_ 丁酮。
[0097] 前述二咪唑類化合物的具體例可包含但不限于2,2'_雙(鄰-氯苯基)_4,4',5,5'_ 四苯基二咪唑、2,2'_雙(鄰-氟苯基)-4,4',5,5'_四苯基二咪唑、2,2'_雙(鄰-甲基苯基)-4,4',5,5'_四苯基二咪唑、2,2'_雙(鄰-甲氧基苯基)-4,4',5,5'_四苯基二咪唑、2,2'_雙 (鄰-乙基苯基)-4,4',5,5'_四苯基二咪唑、2,2'_雙(對(duì)-甲氧基苯基)-4,4',5,5'_四苯基 二咪唑、2,2'_雙(2,2',4,4'_四甲氧基苯基)-4,4',5,5'_四苯基二咪唑、2,2'_雙(2-氯苯 基)-4,4',5,5'_四苯基二咪唑或2,2'_雙(2,4_二氯苯基)-4,4',5,5'_四苯基二咪唑等。該 二咪唑類化合物可單獨(dú)一種使用或混合多種使用。
[0098] 較佳地,該二咪唑類化合物可包含2,2'_雙(2,4_二氯苯基)_4,4',5,5'_四苯基二 咪唑。
[0099] 前述二苯甲酮類化合物的具體例可包含但不限于噻噸酮、2,4_二乙基噻噸酮、噻 噸酮-4-砜、二苯甲酮、4,4'_雙(二甲氨)二苯甲酮或4,4'_雙(二乙氨)二苯甲酮等。該二苯 甲酮類化合物可單獨(dú)一種使用或混合多種使用。
[0100] 較佳地,該二苯甲酮類化合物可包含4,4'_雙(二乙氨)二苯甲酮。
[0101] 前述a-二酮類化合物的具體例可包含但不限于苯偶?;蛞阴;?。
[0102] 前述酮醇類化合物的具體例可包含但不限于二苯乙醇酮等。
[0103] 前述酮醇醚類化合物的具體例可包含但不限于二苯乙醇酮甲醚、二苯乙醇酮乙醚 或二苯乙醇酮異丙醚等。
[0104] 前述酰膦氧化物類化合物的具體例可包含但不限于2,4,6_三甲基苯酰二苯基膦 氧化物或雙_(2,6-二甲氧基苯酰)-2,4,4-三甲基苯基膦氧化物等。
[0105] 前述醌類化合物的具體例可包含但不限于蒽醌或1,4_萘醌等。
[0106]前述含鹵素類化合物的具體例可包含但不限于苯酰甲基氯、三溴甲基苯砜或三 (二氯甲基)_s_二氣雜苯等。
[0107] 前述過氧化物的具體例可包含但不限于二-叔丁基過氧化物。
[0108] 前述的光起始劑(C)可單獨(dú)一種使用或混合多種使用。
[0109] 基于堿可溶性樹脂(A)的總使用量為100重量份,光起始劑(C)的使用量為15重量 份至100重量份,較佳為17重量份至90重量份,且更佳為20重量份至80重量份。
[0110] 鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)
[0111] 本發(fā)明的鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)可包含具有如下式(I)所示的結(jié)構(gòu)的鄰萘醌二 疊氮磺酸酯(D-1)。其次,該鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)可選擇性地包含其它鄰萘醌二疊氮磺 酸酯(D-2):
[0112] 鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D-1)
[0113]該鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D-1)具有如下式(I)所示的結(jié)構(gòu):
[0115] 于式(I)中,心分別獨(dú)立地代表氫原子、經(jīng)取代或未取代的烷基、芳香基或烯基。R2 分別獨(dú)立地代表氫原子或具有醌二疊氮結(jié)構(gòu)的官能基。a、b、d及e分別代表大于或等于0的 整數(shù),且f?及g的總和為大于或等于1的整數(shù)。當(dāng)a、b、d及e的總和大于1時(shí),多個(gè)h分別可為相 同或不同;當(dāng)f及g的總和大于1時(shí),多個(gè)R 2的至少一者具有醌二疊氮結(jié)構(gòu)的官能基。
[0116] 具有如式(I)所示的結(jié)構(gòu)的鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D-1)可利用具有羥基的莽化合 物來合成,或者藉由芴酮與苯酚、鄰苯二酚或鄰苯三酚于硫代乙酸及酸性催化劑的存在下 進(jìn)行反應(yīng)制得。
[0117] 具有如式(I)所示的結(jié)構(gòu)的鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D-1)是可為完全酯化或部份酯 化的酯化物,較佳是由鄰萘醌二疊氮磺酸或其鹽類與具有羥基的II化合物反應(yīng)所制得,更 佳是由鄰萘醌二疊氮磺酸或其鹽類與具有多元羥基的II化合物反應(yīng)所制得。
[0118] 前述具有羥基的莽化合物的具體例可包含JFE化學(xué)株式會(huì)社制造的產(chǎn)品,且其型 號(hào)為BPF[如下式(1-1)所示]或BCF[如下式(1-2)所示];本州化學(xué)株式會(huì)社制造的產(chǎn)品,且 其型號(hào)為BisP-FL[如下式(1-1)所示];或者如下式(1-3)至式(1-5)所示的化合物:
[0120]該鄰萘醌二疊氮磺酸可包含但不限于鄰萘醌二疊氮-4-磺酸、鄰萘醌二疊氮-5-磺 酸或鄰萘醌二疊氮-6-磺酸等。該鄰萘醌二疊氮磺酸的鹽類可包含但不限于鄰萘醌二疊氮 磺酸齒鹽,具體例可包含鄰萘醌二疊氮-4-磺酸氯或鄰萘醌二疊氮-5-磺酸氯。
[0121]該鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D-1)的使用量沒有特別的限制,基于堿可溶性樹脂(A)的 總使用量為100重量份,該具有如式(I)所示的結(jié)構(gòu)的鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D-1)的使用量 為1重量份至15重量份,較佳為1.5重量份至13重量份,且更佳為2重量份至10重量份。
[0122] 此外,當(dāng)本案的鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)不包含具有如式(I)所示的結(jié)構(gòu)的鄰萘醌 二疊氮磺酸酯(D-1)時(shí),所制得的感光性樹脂組合物的解析度不佳及具有很多殘?jiān)?br>[0123] 當(dāng)本案的如式(I)所示的結(jié)構(gòu)的鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D-1)的使用量介于1重量份 至15重量份,則所制得的感光性樹脂組合物的解析度最佳,且殘?jiān)F(xiàn)象最少。
[0124] 其它鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D-2)
[0125] 該鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)可選擇性地具有其它鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D-2)。
[0126] 在本發(fā)明的一實(shí)施例中,該鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D-2)是可為完全酯化或部份酯 化的酯化物。該鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D-2)較佳是由鄰萘醌二疊氮磺酸或其鹽類與羥基化 合物反應(yīng)所制得,更佳是由鄰萘醌二疊氮磺酸或其鹽類與多元羥基化合物反應(yīng)所制得。
[0127] 該鄰萘醌二疊氮磺酸可包含但不限于鄰萘醌二疊氮-4-磺酸、鄰萘醌二疊氮-5-磺 酸或鄰萘醌二疊氮-6-磺酸等。該鄰萘醌二疊氮磺酸的鹽類可包含但不限于鄰萘醌二疊氮 磺酸鹵鹽。
[0128] 該羥基化合物可包含但不限于羥基二苯甲酮類化合物、羥基芳基類化合物、(羥基 苯基)烴類化合物或其它芳香族羥基類化合物。該羥基化合物可單獨(dú)一種或混合多種使用。
[0129] 前述的羥基二苯甲酮類化合物可包含但不限于2,3,4_三羥基二苯甲酮、2,4,4'_ 三羥基二苯甲酮、2,4,6_三羥基二苯甲酮、2,3,4,4'_四羥基二苯甲酮、2,4,2',4'_四羥基 二苯甲酮、2,4,6,3',4'_五羥基二苯甲酮、2,3,4,2',4'_五羥基二苯甲酮、2,3,4,2',5'_五 羥基二苯甲酮、2,4,5,3',5'_五羥基二苯甲酮或2,3,4,3',4',5'_六羥基二苯甲酮等。
[0130]前述的羥基芳基類化合物可具有如下式(III-1)所示的結(jié)構(gòu):
[0132] 于式(III-1)中,21至&表示氫原子或碳數(shù)為1至6的烷基;Z 4至Z9表示氫原子、鹵素 原子、碳數(shù)為1至6的烷基、碳數(shù)為1至6的烷氧基(alkoxy)、碳數(shù)為1至6的脂烯基(alkenyl), 或者環(huán)烷基(cycloalkyl); Zio及Zn表示氫原子、鹵素原子及碳數(shù)為1至6的烷基;j、k及m表 示1至3的整數(shù);h表示0或1。
[0133] 如式(III-1)所示的羥基芳基類化合物可包含但不限于三(4-羥基苯基)甲烷、雙 (4-羥基-3,5-二甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-3-羥基苯基甲 烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-4-羥基 苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)- 2-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二 甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-2,4-二羥基苯基甲烷、雙 (4-羥基-2,5-二甲基苯基)-2,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基苯基)-3-甲氧基-4-羥基苯基 甲烷、雙(3-環(huán)己基-4-羥基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-4-羥基苯基)-2-羥基苯 基甲烷、雙(3-環(huán)己基-4-羥基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-4-羥基-6-甲基苯基)- 2-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-4-羥基-6-甲基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-4-羥 基-6-甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-4-羥基-6-甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲 烷、雙(3-環(huán)己基-6-羥基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-6-羥基苯基)-4-羥基苯基 甲烷、雙(3-環(huán)己基-6-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-6-羥基-4-甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-6-羥基-4-甲基苯基)-4_羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-6-羥 基-4-甲基苯基)-3,4_二羥基苯基甲烷、1-[1-(4_羥基苯基)異丙基]-4-[l,l-雙(4-羥基苯 基)乙基]苯、1-[1-(3_甲基-4-羥基苯基)異丙基]-4-[l,l-雙(3-甲基-4-羥基苯基)乙基] 苯或4,4'-[1-[4[-1-(4_羥基苯基)-1_甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚等。
[0134] 前述的(羥基苯基)烴類化合物可具有如下式(III-2)所示的結(jié)構(gòu):
[0136] 于式(III-2)中,Z12及Z13表示氫原子或碳數(shù)為1至6的烷基,且p及q表示1至3的整 數(shù)。
[0137] 如式(III-2)所示的(羥基苯基)烴類化合物可包含但不限于2-(2,3,4-三羥基苯 基)-2-(2',3',4'_三羥基苯基)丙烷、2-(2,4_二羥基苯基)-2-(2',4'_二羥基苯基)丙烷、 2-(4_羥基苯基)-2-(4'_羥基苯基)丙烷、雙(2,3,4_三羥基苯基)甲烷或雙(2,4_二羥基苯 基)甲燒等。
[0138] 前述的其它芳香族羥基類化合物可包含但不限于苯酚、對(duì)-甲氧基苯酚、二甲基苯 酚、對(duì)苯二酚、雙酸A、萘酚、鄰苯二酚、1,2,3-苯三酚甲醚、1,2,3-苯三酚-1,3-二甲基醚、3, 4,5-三羥基苯甲酸,或者部份酯化或部份醚化的3,4,5-三羥基苯甲酸等。
[0139] 上述的羥基化合物較佳是選自于1-[1-(4_羥基苯基)異丙基]-4-[1,1_雙(4-羥基 苯基)乙基]苯、2,3,4_三羥基二苯甲酮、2,3,4,4'-四羥基二苯甲酮或上述材料的任意組 合。
[0140] 該鄰萘醌二疊氮磺酸或其鹽類與羥基化合物的反應(yīng)通常在二氧雜環(huán)己烷 (dioxane)、N_吡略燒酮(N-pyrrolidone)或乙酰胺(acetamide)等有機(jī)溶媒中進(jìn)行。前述的 反應(yīng)更佳是添加三乙醇胺、堿金屬碳酸鹽或堿金屬碳酸氫鹽等堿性縮合劑。
[0141] 該鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)的酯化度較佳在50%以上,亦即以該羥基化合物中的 羥基總量為100摩爾百分比計(jì),該羥基化合物中有50摩爾百分比以上的羥基與鄰萘醌二疊 氮磺酸或其鹽類進(jìn)行酯化反應(yīng)。該鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)的酯化度更佳在60%以上。
[0142] 基于該堿可溶性樹脂(A)的總使用量為100重量份,該鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)的 使用量可為1重量份至16重量份,較佳為1.5重量份至14重量份,且更佳為2重量份至12重量 份。
[0143]溶劑(E)
[0144] 本發(fā)明的溶劑(E)以可與其它有機(jī)成分完全溶解,且其揮發(fā)性必須高到在常壓下 只需少許熱量便可使其從分散液中蒸發(fā)者為宜。因此,常壓下沸點(diǎn)低于150°C的溶劑最常被 使用。
[0145] 本發(fā)明適用的溶劑(E)可包含苯、甲苯或二甲苯等的芳香族溶劑;甲醇或乙醇等的 醇類溶劑;乙二醇單丙醚、二乙二醇二甲醚、四氫呋喃、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、二乙 二醇甲醚、二乙二醇乙醚或二乙二醇丁醚等的醚類溶劑;乙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇乙醚醋 酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇丙醚醋酸酯或3-乙氧基丙酸乙酯等的 酯類溶劑;甲乙酮或丙酮等的酮類溶劑。
[0146] 較佳地,該溶劑(E)可為二乙二醇二甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯或3-乙氧基丙酸乙酯 的單獨(dú)一種或并用兩者。
[0147] 基于堿可溶性樹脂(A)的總使用量為100重量份,溶劑(E)的使用量為200重量份至 1500重量份,較佳為250重量份至1200重量份,且更佳可為300重量份至1000重量份。
[0148] 酚醛清漆樹脂(F)
[0149] 本發(fā)明的感光性樹脂組合物可選擇性地包含酚醛清漆樹脂(F),該酚醛清漆樹脂 (F)可藉由甲酚類芳香族羥基化合物及醛類化合物進(jìn)行聚縮合而得。
[0150] 前述甲酚類芳香族羥基化合物的具體例可包含但不限于間-甲酚(m-cresol)、對(duì)-甲酚(p-cresol)或鄰-甲酚(o-cresol)等的甲酚類化合物;2,3_二甲苯酚、2,5_二甲苯酚、 3,5-二甲苯酚或3,4-二甲苯酚等的二甲酚類化合物。該甲酚類芳香族羥基化合物可單獨(dú)一 種使用或混合多種使用。
[0151 ] 前述醛類化合物的具體例可包含但不限于甲醛、多聚甲醛(paraformaldehyde)、 三聚甲醛(trioxane)、乙醛、丙醛、丁醛、三甲基乙醛、丙烯醛(acrolein)、丁烯醛 (crotonaldehyde)、環(huán)己酸(eyelo hexanealdehyde)、咲喃甲酸(furfural )、咲喃基丙稀酸 (furylacrolein)、苯甲酸、對(duì)苯二甲酸(terephthal aldehyde)、苯乙酸、a-苯基丙酸、{3-苯 基丙醛、鄰-羥基苯甲醛、間-羥基苯甲醛、對(duì)-羥基苯甲醛、鄰-甲基苯甲醛、間-甲基苯甲醛、 對(duì)-甲基苯甲醛、鄰-氯苯甲醛、間-氯苯甲醛、對(duì)-氯苯甲醛或肉桂醛等。該醛類化合物可單 獨(dú)一種或混合多種使用。
[0152] 較佳地,前述的醛類化合物可為甲醛。
[0153] 在不影響本發(fā)明的感光性樹脂組合物的物性下,該酚醛清漆樹脂(F)亦可由其它 種類的芳香族羥基化合物與醛類化合物進(jìn)行聚縮合而得。
[0154] 前述其它種類的芳香族羥基化合物的具體例可包含但不限于苯酚(phenol );間_ 乙基苯酚、對(duì)-乙基苯酚、鄰-乙基苯酚、2,3,5_三甲基苯酚、2,3,5_三乙基苯酚、4-叔丁基苯 酚、3-叔丁基苯酚、2-叔丁基苯酚、2-叔丁基-4-甲基苯酚、2-叔丁基-5-甲基苯酚或6-叔丁 基-3-甲基苯酚等的烷基苯酚(alkyl phenol)化合物;對(duì)-甲氧基苯酚、間-甲氧基苯酚、對(duì)_ 乙氧基苯酚、間-乙氧基苯酚、對(duì)丙氧基苯酚或間-丙氧基苯酚等的烷氧基苯酚(alkoxy phenol)化合物;鄰-異丙烯基苯酚、對(duì)-異丙烯基苯酚、2-甲基-4-異丙烯基苯酚或2-乙基-4_異丙烯基苯酸等的異丙烯基苯酸(isopropenyl phenol)化合物;苯基苯酸(phenyl phenol)等的芳基苯酸(aryl phenol)化合物;4,4 二羥基聯(lián)苯、雙酸A、間-苯二酸 (resorcinol)、對(duì)-苯二酸(hydroquinone)或1,2,3_苯三酸(pyrogallol)等的多羥基苯酸 (po lyhy droxypheno 1)化合物。
[0155] 更佳地,該酚醛清漆樹脂(F)亦可藉由下述的方法制得:在催化劑存在且常壓下, 進(jìn)行縮合反應(yīng),并藉由脫水處理去除未反應(yīng)的單體。其中,該催化劑可包含鹽酸、硫酸、甲 酸、醋酸、草酸或?qū)妆交撬岬鹊挠袡C(jī)酸或無機(jī)酸。
[0156] 基于堿可溶性樹脂(A)的總使用量為100重量份,酚醛清漆樹脂(F)的使用量可為2 重量份至12重量份,較佳為2.5重量份至11重量份,且更佳為3重量份至10重量份。
[0157] 當(dāng)本發(fā)明的感光性樹脂組合物包含酚醛清漆樹脂(F)時(shí),所制得的感光性樹脂組 合物可具有較少的殘?jiān)?br>[0158] 前述酚醛清漆樹脂(F)的重量平均分子量可為500至3000。
[0159] 當(dāng)本發(fā)明包含酚醛清漆樹脂(F),且其重量平均分子量為前述的范圍時(shí),所制得的 感光性樹脂組合物可進(jìn)一步改善殘?jiān)F(xiàn)象。
[0160] 添加劑(G)
[0161] 根據(jù)所需的物性及化性,感光性樹脂組合物可進(jìn)一步包含添加劑。該添加劑的選 擇為本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具通常知識(shí)者所熟知。
[0162] 本發(fā)明的添加劑(G)的具體例可包含填充劑、堿可溶性樹脂(A)以外的高分子化合 物、紫外線吸收劑、防凝集劑、界面活性劑、密著促進(jìn)劑、保存安定劑或耐熱性促進(jìn)劑等。
[0163] 前述填充劑的具體例可包含但不限于玻璃或鋁等。
[0164] 前述堿可溶性樹脂(A)以外的高分子化合物的具體例可包含但不限于聚乙烯醇、 聚乙二醇單烷基醚或聚氟丙烯酸烷酯等。
[0165] 前述紫外線吸收劑的具體例可包含但不限于2_(3_叔丁基-5-甲基-2-羥基苯基)_ 5-氯苯基疊氮或烷氧基苯酮等。
[0166] 前述防凝集劑的具體例可包含但不限于聚丙烯酸鈉等。
[0167] 前述的界面活性劑可促進(jìn)感光性樹脂組合物的涂布性,且其具體例可包含但不限 于含氟界面活性劑或有機(jī)硅界面活性劑等。
[0168] 該含氟界面活性劑可為于末端、主鏈或側(cè)鏈至少包含氟烷基或氟烯基,且其具體 例可包含1,1,2,2_四氟辛基(1,1,2,2_四氟丙基)醚、1,1,2,2_四氟辛基己基醚、八乙二醇 二(1,1,2,2_四氟丁基)醚、六乙二醇(1,1,2,2,3,3-六氟戊基)醚、八丙二醇二(1,1,2,2_四 氟丁基)醚、六丙二醇(1,1,2,2,3,3_六氟戊基)醚、全氟十二烷基硫酸鈉、1,1,2,2,8,8,9, 9,10,10-十氟十二烷、1,1,2,2,3,3-六氟癸烷、氟烷苯磺酸鈉、氟烷磷酸鈉、氟烷羧酸鈉、氟 烷聚氧乙烯醚、二丙三醇四(氟烷聚氧乙烯醚)、氟烷銨碘、氟烷甜菜堿、氟烷聚氧乙烯醚、全 氟烷聚氧乙烯醚或全氟烷基烷醇等。
[0169] 該含氟界面活性劑亦可為市售商品,例如:BM CHEMIE制造的產(chǎn)品,且其型號(hào)可為 BM-1000或BM-1100等;大日本墨水及化學(xué)工業(yè)制造的產(chǎn)品,且其型號(hào)可為Megafac F142D、 Megafac F172、Megafac F173、Megafac F183、Megafac F178、Megafac F191、Megafac F471 或Megafac F476等;住友化學(xué)制造的產(chǎn)品,且其型號(hào)可為Fluorad FC 170C、Fluorad FC-171、Fluorad FC-430或Fluorad FC-431等;旭硝子制造的產(chǎn)品,且其型號(hào)可為氯氟碳S-112、氣氣碳S-113、氣氣碳S-131、氣氣碳S-141、氣氣碳S-145、氣氣碳S-382、氣氣碳SC-101、 氣氣碳SC-102、氣氣碳SC-103、氣氣碳SC-104、氣氣碳SC-105或氣氣碳SC-106等;新秋田化 成制造的產(chǎn)品,且其型號(hào)可為F Top EF301、F Top 303或F Top 352等;NE0SU制造的產(chǎn)品, 且其型號(hào)可為Ftergent FT_100、Ftergent FT_110、Ftergent FT_140A、Ftergent FT-150、 Ftergent FT_250、Ftergent FT_251、Ftergent FTX_251、Ftergent FTX_218、Ftergent FT_300、Ftergent FT-310或Ftergent FT-400S等。
[0170] 該有機(jī)娃界面活性劑的具體例可包含Dow Corning Toray Silicone制造的有機(jī) 硅,且其型號(hào)可為DC 3Paint Additive(DC 3PA)、DC 7 PA、SH 11 PA、SH 21 PA、SH 28 PA、 SH 29 PA、SH 30 PA、SH 190、SH 193、SZ 6032、SF-8427、SF-8428、DC 57或DC 190等; Momentive Performance Materials Inc ?制造的產(chǎn)品,且其型號(hào)可為TSF-4440、TSF_4300、 TSF-4445、TSF-4446、TSF-4460或TSF-4452等。
[0171]該界面活性劑亦可使用前述含氟界面活性劑或有機(jī)硅界面活性劑以外的界面活 性劑。
[0172] 該含氟界面活性劑或有機(jī)硅界面活性劑以外的界面活性劑可包含但不限于月桂 醇聚氧乙烯醚、聚氧乙烯硬脂酸醚或聚氧乙烯油基醚等的聚氧乙烯烷基醚;聚氧乙烯正辛 基苯醚或聚氧乙烯正壬基苯酚醚等的聚氧乙烯芳基醚;聚氧乙烯二月桂酸或聚氧乙烯二硬 脂酸等的聚氧乙烯二烷基酯;信越化學(xué)制造的非離子界面活性劑,且其型號(hào)可為KP341等; 共榮社油脂化學(xué)工業(yè)制造的非離子界面活性劑,且其型號(hào)可為poly flow No.57或poly flow No .95等。
[0173] 該界面活性劑可單獨(dú)一種使用或混合多種使用。
[0174]前述的密著促進(jìn)劑可用以提升基材的粘著力,且其較佳可為具有羧基、烯基、異氰 酸酯基、環(huán)氧基、氨基、巰基或鹵素等的官能性硅烷交聯(lián)劑。
[0175]該密著促進(jìn)劑的具體例可包含對(duì)-羥基苯基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙 基三甲氧基硅烷、乙烯三乙酰氧基硅烷、乙烯三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基 三(2-甲氧乙氧基)硅烷、y -異氰酸酯丙基三乙氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅 烷、2-( 3,4-環(huán)氧環(huán)己烷基)乙基三甲氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基二甲基甲氧基硅烷、3-氨丙基 二甲氧基硅烷、N_(2_氛基乙基)_3_氛基丙基二甲氧基硅烷、N_(2_氛基乙基)_3_氛基丙基 甲基二甲氧基硅烷、3-巰丙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷或3-氯丙基甲基二甲 氧基硅烷等。該密著促進(jìn)劑可單獨(dú)一種使用或混合多種使用。
[0176] 前述的保存安定劑可具有硫基、醌基、氫醌基、氨基、亞硝基或硝基等的官能基,且 該保存安定劑可包含但不限于聚氧化物。該保存安定劑的具體例可包含4-甲氧基苯酚、(N-亞硝基-N-苯基)羥氨鋁、2,2-硫代雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)或2,6-二-叔丁基苯酚等。
[0177] 前述耐熱性促進(jìn)劑的具體例可包含但不限于N-(烷氧基甲基)甘脲化合物或N-(烷 氧基甲基)三聚氰胺等。
[0178] 該N-(烷氧基甲基)甘脲化合物的具體例可包含N,N,N',N'_四(甲氧基甲基)甘脲、 N,N,N',N'_四(乙氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'_四(正丙氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'_四(異丙 氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'_四(正丁氧基甲基)甘脲或N,N,N',N'_四(叔丁氧基甲基)甘脲 等。該N-(烷氧基甲基)甘脲化合物較佳可為叱叱礦,礦-四(甲氧基甲基)甘脲。
[0179] 該N-(烷氧基甲基)三聚氰胺的具體例可包含叱叱心少',礦,^'-六(甲氧基甲基) 三聚氰胺、N,N,N',N',N",N"_六(乙氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N",N"_六(正丙氧基甲 基)三聚氰胺、N,N,N',N',N",N"_六(異丙氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N",N"_六(正丁 氧基甲基)三聚氰胺或N,N,N',N',N",N"_六(叔丁氧基甲基)三聚氰胺等。該N-(烷氧基甲 基)三聚氰胺較佳可為N,N,N',N',N",N"_六(甲氧基甲基)三聚氰胺。
[0180]該N-(烷氧基甲基)三聚氰胺亦可為三和化學(xué)制造的產(chǎn)品,且其型號(hào)可為 NIKARAKKU N-2702或NIKARAKKU MW-30M等。
[0181] 基于堿可性樹脂(A)的總使用量為100重量份,該添加劑(G)的使用量可為0重量份 至10重量份,較佳為0重量份至6重量份,且更佳為0重量份至3重量份。感光性樹脂組合物的 制備方法
[0182] 本發(fā)明的感光性樹脂組合物的制備方法是將上述堿可溶性樹脂(A)、具有乙烯性 不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)、鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)及溶劑(E)放置于攪拌器中 攪拌,使其均勻混合成溶液狀態(tài),必要時(shí)可添加酚醛清漆樹脂(F),或者填充劑、堿可溶性樹 月旨(A)以外的高分子化合物、紫外線吸收劑、防凝集劑、界面活性劑、密著促進(jìn)劑、保存安定 劑或耐熱性促進(jìn)劑等的添加劑(G)。
[0183] 間隙體或保護(hù)膜的制造方法
[0184] 于本發(fā)明的一具體例中,間隙體或保護(hù)膜的制造方法至少包含下列步驟:(a)將本 發(fā)明的感光性樹脂組合物涂布于一基板上,而形成薄膜;(b)以放射線照射膜的至少一部 份;(c)于放射線照射后進(jìn)行顯影;以及(d)于顯影后進(jìn)行加熱,以下析述之。
[0185] 步驟(a)是將本發(fā)明的感光性樹脂組合物于基板上形成薄膜。于形成保護(hù)膜時(shí),先 將由紅色、綠色及藍(lán)色著色層組成的像素層形成于透明基板上,再將本發(fā)明的感光性樹脂 組合物形成于該像素層上。于形成間隙體時(shí),在已形成有保護(hù)膜及像素層的透明基板上,形 成透明導(dǎo)電膜,并于該透明導(dǎo)電膜上形成利用本發(fā)明的感光性樹脂組合物制得的薄膜。
[0186] 于本發(fā)明的具體例中,前述的透明基板可為玻璃基板或樹脂基板等,且較佳為玻 璃基板,例如:鈉鈣玻璃或無堿玻璃。該樹脂基板的具體例可為聚對(duì)苯二甲酸乙二酯、聚丁 烯對(duì)苯二甲酸酯、聚醚砜、聚碳酸酯或聚酰亞胺。
[0187] 前述的透明導(dǎo)電基板可為于透明基板的全部表面上具有氧化錫(Sn02)所形成的 NESA膜(美國PPG?)或具有氧化銦-氧化錫(In2〇3-Sn02)所形成的IT0膜等。
[0188] 前述薄膜的形成方法可使用涂布法或干膜法。
[0189] 以涂布法形成薄膜的方法是將本發(fā)明的感光性樹脂組合物的溶液涂布于前述的 透明導(dǎo)電膜上,且該透明導(dǎo)電膜較佳是先將涂布面加熱(預(yù)烤)。應(yīng)用于涂布法的感光性樹 脂組合物的溶液的固形物濃度為5重量百分比至50重量百分比,較佳為10重量百分比至40 重量百分比,且更佳為15重量百分比至35重量百分比。該涂布法可包含但不限于噴涂法、輥 涂法、旋涂法、縫模涂布法、棒涂布法或噴墨涂布法,且較佳可為旋涂法或縫模涂布法。 [0190]其次,以干膜法形成薄膜的方法是將包含本發(fā)明的感光性樹脂組合物的感光干膜 堆疊于一基膜上。
[0191]前述的感光干膜可堆疊并于移除溶劑后形成感光膜。進(jìn)行干膜法時(shí),本發(fā)明的感 光性樹脂組合物的固形物濃度可為5重量百分比至50重量百分比,較佳為10重量百分比至 50重量百分比,更佳為20重量百分比至50重量百分比,且特佳為30重量百分比至50重量百 分比。該感光干膜的基膜的具體例可為聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚乙烯、聚丙烯或聚 碳酸酯或聚氯乙稀。該感光干膜的基膜的厚度較佳為15mi至125wii,且更佳為lym至30ym。
[0192] 當(dāng)感光干膜不使用時(shí),該感光干膜亦可堆疊并以覆蓋膜覆蓋保存。本發(fā)明的覆蓋 膜較佳是具有離型性,以使感光干膜不使用時(shí),感光干膜與覆蓋膜不分離,但感光干膜欲使 用時(shí),感光干膜與覆蓋膜可輕易分離。
[0193] 具有前述特性的覆蓋膜的具體例可將有機(jī)硅脫模劑涂布或印刷于合成樹脂薄膜 上,例如PET薄膜、聚丙烯薄膜、聚乙烯薄膜、聚氯乙烯薄膜或聚胺酯薄膜。該覆蓋膜的厚度 較佳為約5wii至30wii。前述的覆蓋膜亦可為積層二層或三層的覆蓋膜。
[0194] 以干膜法堆疊該薄膜的具體方法是在透明基膜上熱壓粘合透明感光性干膜。
[0195] 于前述的方法中,該薄膜較佳是以涂布法制造,其次是藉由干膜法制造,且較佳可 對(duì)該薄膜進(jìn)行預(yù)烤處理。該預(yù)烤處理的條件可依成分及混合比例而有所不同,較佳是于70 °C至120 °C下加熱1分鐘至15分鐘。
[0196] 于預(yù)烤處理后,膜的厚度較佳為0.5mi至lOym,且更佳為1 .Oym至7 .Oym。
[0197] 步驟(b)是以放射線照射該薄膜的至少一部份。當(dāng)照射該薄膜的一部分時(shí),可使用 具有預(yù)定圖案的掩模覆蓋。
[0198] 前述用以曝光的放射線的具體例可為可見光、紫外光或遠(yuǎn)紅外光。其中該放射線 的波長較佳為250nm至550nm,且更佳為365nm〇
[0199] 曝光量是以照度計(jì)(Optical Associates公司制造的商品,且其型號(hào)為OAI model 356)量測波長為365nm的放射線的強(qiáng)度。曝光量較佳為100J/m2至5,000J/m2,且更佳為200J/ m2至 3,000J/m2。
[0200]步驟(c)是于放射線照射后進(jìn)行顯影,以去除不需要的部分并形成一預(yù)定的圖案。 [0201]顯影用的顯影液的具體例可包含氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、娃酸鈉、偏娃酸酸 鈉或氨等的無機(jī)堿;乙胺或正丙胺等的一級(jí)脂肪胺;二乙胺或正丙胺等的二級(jí)脂肪胺;三甲 胺、二乙胺甲基、二甲基乙基胺或三乙胺等的三級(jí)脂肪胺;吡咯、哌啶、N-甲基哌啶、N-甲基 1,8_二氮雜雙環(huán)[5.4.0]-7_十一碳烯或1,5_二氮雜雙環(huán)[4.3.0]-5_壬烯等的三級(jí)脂肪環(huán) 酸;吡啶、甲基嘧啶、二甲基吡啶或喹啉等的三級(jí)芳香胺;四甲基氫氧化銨或四乙基氫氧化 銨的水溶液等的四級(jí)銨鹽堿性化合物。水溶性有機(jī)溶劑及/或表面活性劑,例如甲醇或乙 醇,亦可視需要添加至上述顯影液中。
[0202] 該顯影的方法,例如浸漬法、含浸法或淋浴法,較佳是于室溫至180°C顯影約10秒。 [0203]所得的圖案于顯影后進(jìn)行蒸氣清洗30秒至90秒,并藉由壓縮空氣或氮?dú)怙L(fēng)干。
[0204]步驟(d)是于顯影后進(jìn)行加熱,將所制得具有圖案的薄膜以適當(dāng)?shù)募訜崞?例如: 加熱板或烘箱)加熱至l〇〇°C至250°C,并進(jìn)行30分至180分(后烤)。
[0205]前述所制得的具有所欲圖案的間隙體或保護(hù)膜具有優(yōu)異的性質(zhì),例如抗壓強(qiáng)度、 液晶配向膜的耐磨強(qiáng)度及基板的粘著力。
[0206]液晶顯示元件的制造方法
[0207] 本發(fā)明的液晶顯示元件包含前述的薄膜。本發(fā)明的液晶顯示元件較佳是將感光性 樹脂組合物形成間隙體,并于至少一側(cè)形成保護(hù)膜,較佳是于間隙體的兩側(cè)形成保護(hù)膜。
[0208] 本發(fā)明的液晶顯示元件可藉由下述的兩種方法制造,以下析述之。
[0209] 第一種方法是將前述的感光性樹脂組合物藉由前述的方法形成于至少一側(cè)具有 透明導(dǎo)電膜的第一(電極)透明基板的一側(cè)或兩側(cè)上。然后,將具有液晶配向性的配向膜形 成于具有間隙體及/或保護(hù)膜的透明導(dǎo)電膜上。
[0210] 于前述的基材中,配向膜所形成的一側(cè)稱為內(nèi)側(cè)面,以使各種配向膜的液晶排列 方向成反方向并通過一定間隙(細(xì)胞間隙)反向配置。接著,在藉由基材表面(配向膜)及間 隔所區(qū)劃的細(xì)胞間隙內(nèi)填充液晶化合物,并封裝充填孔,以形成液晶單元。因此,內(nèi)外的液 晶單元可利用粘接垂直偏光板或排列于一個(gè)基板表面的液晶偏振方向,形成內(nèi)外表面的配 向方向一致的液晶顯示元件。
[0211] 第二種方法是將本發(fā)明的感光性樹脂組合物利用前述的第一種方法形成保護(hù)膜 或間隙體于至少一側(cè)具有透明導(dǎo)電膜的第一透明基板的一側(cè)或兩側(cè)上。然后,沿基板的邊 緣涂布紫外光硬化型的粘著劑。接著,利用液晶分配器將液晶化合物滴于基板上,并于真空 下堆疊基板。接著,在紫外光的照射下封裝,并貼合液晶內(nèi)外的偏光板即可制得液晶顯示元 件。
[0212] 前述液晶化合物的具體例可為向列型液晶或?qū)恿行鸵壕?,且較佳可為向列型液 晶,例如:Shiff喊型液晶、氧化偶?xì)庑鸵壕?、?lián)苯型液晶、苯基環(huán)乙燒型液晶、酯型液晶、二 聯(lián)苯型液晶、聯(lián)苯環(huán)己烷型液晶、嘧啶型液晶、二惡烷聚環(huán)辛烷型液晶、二環(huán)辛烷型液晶、五 環(huán)辛烷型液晶、氯化物型液晶、膽固醇碳酸鹽或膽留液晶的膽固醇型液晶。前述的液晶化合 物亦可包含手性劑(chiral agent),例如:p-癸氧基苯亞甲基-p-氨基-2-甲基丁基肉桂酸 酯(默克公司制造的產(chǎn)品,且其型號(hào)可為C-15或CB-15)的強(qiáng)誘電型液晶。
[0213]于液晶顯示元件的外側(cè)可使用偏光板或聚乙烯醇等的配向延伸膜、可吸收碘的「H 膜」或設(shè)置于纖維醋酸保護(hù)膜及偏光板間的「H膜」。
[0214]以下利用數(shù)個(gè)實(shí)施方式以說明本發(fā)明的應(yīng)用,然其并非用以限定本發(fā)明,本發(fā)明
技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者,在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi),當(dāng)可作各種的更動(dòng)與潤飾。
【具體實(shí)施方式】
[0215]制備堿可溶性樹脂(A)
[0216]以下是根據(jù)表1制備合成例A-1至合成例A-5的堿可溶性樹脂(A)。
[0217]合成例A-1
[0218] 在一容積1000毫升的四頸錐瓶上設(shè)置氮?dú)馊肟?、攪拌器、加熱器、冷凝管及溫?計(jì)。導(dǎo)入氮?dú)夂螅砑?重量份的甲基丙烯酸(以下簡稱為MAA)、5重量份的甲基丙烯酸環(huán)氧 丙酯(以下簡稱為GMA)、10重量份的甲基丙烯酸2-羥基乙酯(以下簡稱為HEMA)、30重量份的 甲基丙烯酸二環(huán)戊烯氧基乙酯(以下簡稱為FA-513M)、30重量份的甲基丙烯酸苯甲酯(以下 簡稱為BzMA)、20重量份的苯乙稀(以下簡稱為SM)、2.4重量份的2,2'-偶氮二(2-甲基丁腈) (以下簡稱為AMBN)及240重量份的二乙二醇二甲醚(以下簡稱為Diglyme)至反應(yīng)瓶中。接 著,緩慢攪拌上述成份,并將溶液加熱至85°C。進(jìn)行聚縮合反應(yīng)5小時(shí)后,將溶劑脫揮,即可 制得合成例A-1的堿可溶性樹脂(A-1)。
[0219] 合成例A-2至合成例A-5
[0220] 合成例A-2至合成例A-5是使用與合成例A-1的堿可溶性樹脂的制作方法相同的制 備方法,不同之處在于合成例A-2至合成例A-5是改變堿可溶性樹脂中原料的種類與使用量 及其聚合條件,且其配方及聚合條件如表1所示,在此不另贅述。
[0221] 制備具有如式(I)所示的結(jié)構(gòu)的鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D-1)
[0222] 合成例 D-1-1
[0223] 于干燥的氮?dú)猸h(huán)境中,將0.1摩爾前述式(1-1)所示具有羥基的莽化合物及0.13摩 爾的鄰萘醌二疊氮-5-磺酸氯加至450g的y -丁內(nèi)酯中。
[0224]然后,將0.14摩爾的三乙胺溶解于50g的1,4_二惡烷中,以配置成一混合溶液。將 該混合溶液滴加至前述的y -丁內(nèi)酯溶液中,并避免溶液的溫度超過35°C。
[0225] 于30 °C攪拌2小時(shí)后,過濾沉淀析出的三乙胺鹽,并將濾液倒入水中。
[0226] 然后,過濾收集沉淀物,并利用真空干燥機(jī)烘干沉淀物,即可制得具有如下式(I-1-1)所示的結(jié)構(gòu)的合成例D-1-1的鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D-1-1),且其酯化率為65%:
[0228] 于式(1-1-1)中
或氫原子,且兩者的比值為1.3:0.7。
[0229] 合成例 D-1-2
[0230] 于干燥的氮?dú)猸h(huán)境中,將0.1摩爾前述式(1-2)所示具有羥基的莽化合物及0.14摩 爾的鄰萘醌二疊氮-5-磺酸氯加至450g的y -丁內(nèi)酯中。
[0231] 然后,將0.154摩爾的三乙胺溶解于50g的1,4_二惡烷中,以配置成一混合溶液。將 該混合溶液滴加至前述的y -丁內(nèi)酯溶液中,并避免溶液的溫度超過35°C。
[0232] 于30 °C攪拌2小時(shí)后,過濾沉淀析出的三乙胺鹽,并將濾液倒入水中。
[0233 ]然后,過濾收集沉淀物,并利用真空干燥機(jī)烘干沉淀物,即可制得具有如下式(I - 2- 1)所示的結(jié)構(gòu)的合成例D-1-2的鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D-1-2),且其酯化率為70% :
[0235] 于式(1-2-1)中,或氫原子,且兩者的比值為1.4:0.6。
[0236] 合成例 D-1-3
[0237] 于干燥的氮?dú)猸h(huán)境中,將0.1摩爾前述式(1-3)所示具有羥基的莽化合物及0.26摩 爾的鄰萘醌二疊氮-5-磺酸氯加至450g的y -丁內(nèi)酯中。
[0238]然后,將0.28摩爾的三乙胺溶解于50g的1,4_二惡烷中,以配置成一混合溶液。將 該混合溶液滴加至前述的y -丁內(nèi)酯溶液中,并避免溶液的溫度超過35°C。
[0239] 于30 °C攪拌2小時(shí)后,過濾沉淀析出的三乙胺鹽,并將濾液倒入水中。
[0240] 然后,過濾收集沉淀物,并利用真空干燥機(jī)烘干沉淀物,即可制得具有如下式(I- 3- 1)所示的結(jié)構(gòu)的合成例D-1-3的鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D-1-3),且其酯化率為65% :
[0242] 于式(1-3-1)中,
或氫原子,且兩者的比值為1.3:0.7。
[0243] 合成例 D-1-4
[0244] 于干燥的氮?dú)猸h(huán)境中,將0.1摩爾前述式(1-3)所示具有羥基的莽化合物及0.28摩 爾的鄰萘醌二疊氮-5-磺酸氯加至450g的y -丁內(nèi)酯中。
[0245] 然后,將0.33摩爾的三乙胺溶解于50g的1,4_二惡烷中,以配置成一混合溶液。將 該混合溶液滴加至前述的y -丁內(nèi)酯溶液中,并避免溶液的溫度超過35°C。
[0246] 于30°C攪拌2小時(shí)后,過濾沉淀析出的三乙胺鹽,并將濾液倒入水中。
[0247] 然后,過濾收集沉淀物,并利用真空干燥機(jī)烘干沉淀物,即可制得具有如下式(I- 4- 1)所示的結(jié)構(gòu)的合成例D-1-4的鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D-1-4),且其酯化率為70% :
[0249] 于式(1-4-1)中,
或氫原子,且兩者的比值為1.4:0.6。
[0250]制備酚醛清漆樹脂(F)
[0251 ]以下是根據(jù)表2制備合成例F-1至合成例F-4的酚醛清漆樹脂(F)。
[0252] 合成例F-1
[0253] 在容積為1000毫升的四頸反應(yīng)瓶上設(shè)置氮?dú)鈱?dǎo)入口、攪拌器、加熱器、冷凝管及溫 度計(jì)。導(dǎo)入氮?dú)夂?,?.7摩爾的間-甲酚、0.3摩爾的對(duì)-甲酚、0.65摩爾的甲醛與0.01摩爾 的草酸加至反應(yīng)瓶中。然后,緩慢攪拌上述成分,并將溶液加熱至l〇〇°C。進(jìn)行聚縮合反應(yīng)6 小時(shí)后,將溶液加熱至180°C,并以lOmmHg的壓力進(jìn)行減壓干燥。溶劑去除后,即可制到合成 例F-1的酚醛清漆樹脂(F-1)。所得酚醛清漆樹脂的重量平均分子量是以本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng) 域具有通常知識(shí)者所熟知的方法量測,其結(jié)果如表2所示。
[0254] 合成例F-2至合成例F-4
[0255] 合成例F-2至合成例F-4是使用與合成例F-1的酚醛清漆樹脂的制作方法相同的制 備方法,不同之處在于合成例F-2至合成例F-4是改變酚醛清漆樹脂中原料的種類與使用量 及其聚合條件,且其配方、聚合條件及重量平均分子量如表2所示,在此不另贅述。
[0256] 制備感光性樹脂組合物
[0257] 以下是根據(jù)表3制備實(shí)施例1至實(shí)施例12及比較例1至比較例3的感光性樹脂組合 物。
[0258] 實(shí)施例1
[0259]將100重量份前述合成例A-1所制得的堿可溶性樹脂(A_l)、30重量份的三季戊四 醇七丙烯酸酯(以下簡稱為B-1-l)、15重量份的1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(0-苯酰基肟)(以下簡稱為C-l)、l重量份前述合成例D-1-1所制得的鄰萘醌二疊氮磺酸酯 (D-1-1)及2重量份前述合成例F-1所制得的酚醛清漆樹脂(F-1)加至200重量份的丙二醇甲 醚醋酸酯(以下簡稱為E-1)中,攪拌溶解后即可制得實(shí)施例1的感光性樹脂組合物。所得的 感光性樹脂組合物以下列的評(píng)價(jià)方式進(jìn)行評(píng)價(jià),其結(jié)果如表3所示,其中解析度及殘?jiān)臋z 測方法容后再述。
[0260] 實(shí)施例2至實(shí)施例12及比較例1至比較例3
[0261] 實(shí)施例2至實(shí)施例12及比較例1至比較例3是使用與實(shí)施例1的感光性樹脂組合物 的制作方法相同的制備方法,不同之處在于實(shí)施例2至實(shí)施例12及比較例1至比較例3是改 變感光性樹脂組合物中原料的種類及使用量,且其配方及評(píng)價(jià)結(jié)果如表3所示,在此不另贅 述。
[0262]評(píng)價(jià)方式 [0263] 1.解析度
[0264] 將前述實(shí)施例1至實(shí)施例10及比較例1至比較例3所制得的感光性樹脂組合物,以 旋轉(zhuǎn)涂布的方式分別涂布在1〇〇111111\10〇111111\0.7111111的素玻璃基板上,并在90°(:下預(yù)烤150 秒,即可制到約4wii的預(yù)烤涂膜。
[0265] 然后,將此預(yù)烤涂膜置于所指定的掩模圖案下,并利用能量為60mJ/cm2的紫外光 (曝光機(jī)型號(hào)為AG500-4N,且其為M&R Nano Technology制)照射,以進(jìn)行曝光制程。
[0266] 接著,將曝光后的涂膜浸于濃度為0.0438%的氫氧化鉀(K0H)水溶液中,以除去未 曝光的部分。經(jīng)過75秒后,以純水洗凈,并以235°C后烤30分鐘,即可于素玻璃基板上形成具 有指定圖案的圓柱。
[0267] 之后,以Hitachi制造,型號(hào)為S-3000N的掃描式電子顯微鏡(SEM)觀察間隙體膜或 保護(hù)膜的圓柱的可成形最小直徑,并根據(jù)以下的基準(zhǔn)進(jìn)行評(píng)價(jià):
[0268] ◎:圓柱的可成形最小直徑S lOym
[0269] 〇:lOymC圓柱的可成形最小直徑S 15ym。
[0270] A: 15ym<圓柱的可成形最小直徑S20iim。
[0271] )( :20mi<圓柱的可成形最小直徑。
[0272] 2.殘?jiān)?br>[0273] 將前述實(shí)施例1至實(shí)施例10及比較例1至比較例3所制得的預(yù)烤涂膜置于具有指定 圖案的掩模(mask)下,并利用曝光機(jī)(Canon制造,且其型號(hào)為PLA-501F)以能量為60mJ/cm 2 的紫外光照射。然后,將曝光后的預(yù)烤涂膜浸漬于23°C且濃度為0.0438%的氫氧化鉀水溶 液中,以去除基板上尚未曝光的部分。經(jīng)過75秒后,以純水洗凈,并以235°C的溫度后烤30分 鐘,即可在玻璃基板上形成所要的感光性樹脂圖案。接著,以顯微鏡觀察感光性樹脂圖案, 確定未曝光的部分是否有殘?jiān)嬖冢⒁罁?jù)下述基準(zhǔn)進(jìn)行評(píng)價(jià):
[0274] ◎:無殘?jiān)?br>[0275] 〇:輕微殘?jiān)?br>[0276] A :少許殘?jiān)?br>[0277] X:殘?jiān)芏唷?br>[0278] 由表3的結(jié)果可知,當(dāng)本發(fā)明的具有乙烯性不飽和基的化合物(B)包含具有如式 (II)所示的結(jié)構(gòu)的第一化合物(B-1)時(shí),所制得的感光性樹脂組合物具有更佳的解析度。
[0279] 其次,當(dāng)該鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)包含具有如式(I)所示的結(jié)構(gòu)的鄰萘醌二疊氮 磺酸酯(D-1)時(shí),所制得的感光性樹脂組合物具有較高的解析度及較少的殘?jiān)?br>[0280] 此外,當(dāng)本發(fā)明的感光性樹脂組合物進(jìn)一步地包含酚醛清漆樹脂(F)時(shí),感光性樹 脂組合物可具有較少的殘?jiān)?。其中,?dāng)該酚醛清漆樹脂(F)的重量平均分子量為前述的范圍 時(shí),感光性樹脂組合物可具有更少的殘?jiān)?br>[0281] 需補(bǔ)充的是,本發(fā)明雖以特定的化合物、組成、反應(yīng)條件、制程、分析方法或特定儀 器作為例示,說明本發(fā)明的感光性樹脂組合物及其應(yīng)用,惟本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中任何具 有通常知識(shí)者可知,本發(fā)明并不限于此,在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi),本發(fā)明的感光性 樹脂組合物及其應(yīng)用亦可使用其它的化合物、組成、反應(yīng)條件、制程、分析方法或儀器進(jìn)行。
[0282] 雖然本發(fā)明已以實(shí)施方式揭露如上,然其并非用以限定本發(fā)明,在本發(fā)明所屬技 術(shù)領(lǐng)域中任何具有通常知識(shí)者,在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi),當(dāng)可作各種的更動(dòng)與潤 飾,因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視后附的權(quán)利要求書所界定的范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種感光性樹脂組合物,其特征在于,所述感光性樹脂組合物包含: 堿可溶性樹脂(A); 具有乙烯性不飽和基的化合物(B); 光起始劑(C); 鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D),包含具有如下式(I)所示的結(jié)構(gòu)的鄰萘醌二疊氮磺酸酯化合 物(D-1):于式(I)中,心分別獨(dú)立地代表氫原子、經(jīng)取代或未取代的烷基、芳香基或烯基;R2分別 獨(dú)立地代表氫原子或具有醌二疊氮結(jié)構(gòu)的官能基;a、b、d及e分別代表大于或等于0的整數(shù), 且f及g的總和為大于或等于1的整數(shù);當(dāng)a、b、d及e的總和大于1時(shí),多個(gè)心分別為相同或不 同,當(dāng)f及g的總和大于1時(shí),多個(gè)R 2的至少一者具有醌二疊氮結(jié)構(gòu)的官能基;以及 溶劑(E)。2. 如權(quán)利要求1所載的感光性樹脂組合物,其特征在于,所述堿可溶性樹脂(A)是由不 飽和羧酸單體(al)、具有環(huán)氧基的不飽和單體(a2)及其它不飽和單體(a3)所共聚合而得。3. 如權(quán)利要求1所載的感光性樹脂組合物,其特征在于,所述具有乙烯性不飽和基的化 合物(B)包含具有如下式(II)所示的結(jié)構(gòu)的化合物(B-1):于式(II)中,R3分別獨(dú)立地代表氫原子或甲基;R4分別獨(dú)立地代表氫原子、丙烯酰基或 甲基丙烯?;?且n代表2至4的整數(shù)。4. 如權(quán)利要求1所載的感光性樹脂組合物,其特征在于,所述感光性樹脂組合物更包含 酚醛清漆樹脂(F)。5. 如權(quán)利要求4所載的感光性樹脂組合物,其特征在于,所述酚醛清漆樹脂(F)的重量 平均分子量為500至3000。6. 如權(quán)利要求1所載的感光性樹脂組合物,其特征在于,基于所述堿可溶性樹脂(A)的 總使用量為100重量份,所述具有乙烯性不飽和基的化合物(B)的使用量為30重量份至350 重量份,所述光起始劑(C)的使用量為15重量份至100重量份,所述鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D) 的使用量為1重量份至16重量份,所述具有如式(I)所示的結(jié)構(gòu)的鄰萘醌二疊氮磺酸酯化合 物(D-1)的使用量為1重量份至15重量份,且所述溶劑(E)的使用量為200重量份至1500重量 份。7. 如權(quán)利要求3所載的感光性樹脂組合物,其特征在于,基于所述堿可溶性樹脂(A)的 總使用量為100重量份,所述具有如式(II)所示的結(jié)構(gòu)的化合物(B-1)的使用量為30重量份 至300重量份。8. 如權(quán)利要求4所載的感光性樹脂組合物,其特征在于,基于所述堿可溶性樹脂(A)的 總使用量為100重量份,所述酚醛清漆樹脂(F)的使用量為2重量份至12重量份。9. 一種間隙體,其特征在于,所述間隙體是對(duì)如權(quán)利要求1至8中的任一項(xiàng)所述的感光 性樹脂組合物,依序施予預(yù)烤處理、曝光處理、顯影處理及后烤處理,而制得具有圖案的間 隙體。10. -種保護(hù)膜,其特征在于,所述保護(hù)膜是對(duì)如權(quán)利要求1至8中的任一項(xiàng)所述的感光 性樹脂組合物,依序施予預(yù)烤處理、曝光處理、顯影處理及后烤處理,而制得具有圖案的保 護(hù)膜。11. 一種液晶顯示元件,其特征在于,所述液晶顯示元件包含如權(quán)利要求9所述的間隙 體。12. -種液晶顯示元件,其特征在于,所述液晶顯示元件包含如權(quán)利要求10所述的保護(hù) 膜。
【文檔編號(hào)】G03F7/004GK106054527SQ201610213140
【公開日】2016年10月26日
【申請(qǐng)日】2016年4月7日 公開號(hào)201610213140.6, CN 106054527 A, CN 106054527A, CN 201610213140, CN-A-106054527, CN106054527 A, CN106054527A, CN201610213140, CN201610213140.6
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