一種透射光柵的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種透射光柵，包括：不透光薄膜及N個透光對稱多邊形孔；其中，N個透光對稱多邊形孔在不透光薄膜上呈斜方格子分布，且斜方格子的周期與對稱多邊形孔的大小之間具有預設的比例；如此，因N個透光對稱多邊形孔在不透光薄膜上呈斜方格子分布，完全抑制了背景噪聲，提高了信噪比；且斜方格子的周期與所述對稱多邊形孔的大小之間按照預設的比例取值，使得所述光柵完全抑制了2級、3級、4級衍射，從而消除了諧波污染，提高了分辨率，進而確保分析結果的準確性，提高了攝譜精度；并且，該光柵能夠實現(xiàn)自支撐，因此可以消除襯底帶來的損耗；另外，由于該光柵結構上只存在透光和不透光兩種區(qū)域，這種二值化的結構易于加工。
【專利說明】
_種透射光柵
技術領域
[0001] 本發(fā)明屬于光學技術領域，尤其涉及一種透射光柵。
【背景技術】
[0002] 眾所周知，幾乎所有的材料甚至空氣都能夠吸收10納米到121納米的極端遠紫外 光，簡稱極紫外光，因此在這個波段，無法采用一般的透鏡光學系統(tǒng)控制光束，而是采用衍 射光柵和反射鏡來實現(xiàn)極紫外光的光束控制。
[0003] 目前，極紫外分光系統(tǒng)主要采用衍射光柵進行分光。傳統(tǒng)的二元光柵包含多級衍 射，通常情況下分光只需要1級衍射，但是在寬光譜情況下，高級衍射與1級衍射產(chǎn)生交疊， 擾亂分析結果，帶來不容易消除的誤差，制約攝譜精度，降低光學系統(tǒng)的性能。雖然正弦振 幅光柵只有〇級和+/-1級衍射，具有較好的衍射效率，但是利用已知材料和現(xiàn)有的加工工 藝，制作極紫外波段的正弦光柵幾乎不可能。另外，雖然減小光柵周期能夠抑制高級衍射， 例如光柵的周期D大于光波長λ并小于2λ時，只有〇級和+/-1級衍射，但是利用現(xiàn)有的加工工 藝，制作特征尺寸與極紫外波長相當?shù)慕Y構，十分困難;并且此類光柵有效的波長范圍被限 制在了（D，D/2)之間，因此并不適用于寬光譜的分光系統(tǒng)。
[0004] 基于此，目前亟需一種能夠抑制高級衍射的極紫外透射光柵，以解決上述技術問 題。

【發(fā)明內容】

[0005] 針對現(xiàn)有技術存在的問題，本發(fā)明實施例提供了一種透射光柵，用于解決現(xiàn)有技 術中，極端遠紫外光分光系統(tǒng)進行分光時，高級衍射與1級衍射產(chǎn)生交疊，帶來誤差，導致分 析結果不準確，攝譜精度降低的技術問題。
[0006] 本發(fā)明提供了 一種透射光柵，所述透射光柵包括:不透光薄膜及N個透光對稱多邊 形孔;其中，
[0007] 所述N個透光對稱多邊形孔在所述不透光薄膜上呈斜方格子分布，且所述斜方格 子的周期與所述對稱多邊形孔的大小之間具有預設的比例。
[0008] 上述方案中，所述斜方格子沿X軸方向的周期為Px，所述斜方格子沿y軸方向的周 期為Py。
[0009] 上述方案中，所述對稱多邊形孔具體包括:對稱四邊形孔、對稱五邊形孔或對稱六 邊形孔。
[0010] 上述方案中，當所述對稱多邊形孔為對稱六邊形孔時，所述對稱六邊形孔平行于X 軸的對角線長度2a與所述Px之間的比例關系為2a = 5Px/6。
[0011] 上述方案中，所述對稱六邊形孔平行于X軸的邊長2ai與所述Px之間的比例關系為 2ai = Px/6。
[0012] 上述方案中，所述對稱六邊形孔平行于y軸的對稱軸長度2b與所述Py之間的關系 為 2b<Py。
[0013] 上述方案中，所述透射光柵在ξ方向的的相對衍射效率I ( m )根據(jù)公式
計算得出；其中，所述m為衍射級次。
[0014] 上述方案中，所述不透光薄膜的材料具體包括：金、銀、錯、絡、娃、氮化娃或碳化 娃。
[0015]上述方案中，所述不透光薄膜的厚度為50~300nm。
[0016]上述方案中，所述不透光薄膜的優(yōu)選厚度為70~150nm。
[0017] 本發(fā)明提供了 一種透射光柵，所述透射光柵包括:不透光薄膜及N個透光對稱多邊 形孔;其中，所述N個透光對稱多邊形孔在所述不透光薄膜上呈斜方格子分布，且所述斜方 格子的周期與所述對稱多邊形孔的大小之間具有預設的比例;如此，因 N個透光對稱多邊形 孔在所述不透光薄膜上呈斜方格子分布，完全抑制了背景噪聲，提高了信噪比;且所述斜方 格子的周期與所述對稱多邊形孔的大小之間按照預設的比例取值，使得所述光柵完全抑制 了 2級、3級、4級衍射，從而消除了諧波污染，提高了分辨率，進而確保分析結果的準確性，提 高了攝譜精度;并且，該光柵能夠實現(xiàn)自支撐，因此可以消除襯底帶來的損耗;另外，由于該 光柵結構上只存在透光和不透光兩種區(qū)域，這種二值化的結構易于加工。
【附圖說明】
[0018] 圖1為本發(fā)明實施例一提供的透射光柵的局部結構示意圖；
[0019] 圖2為本發(fā)明實施例二提供的透射光柵的遠場衍射特性圖；
[0020] 圖3為本發(fā)明實施例二提供的透射光柵ξ方向的衍射特性圖；
[0021] 圖4為本發(fā)明實施例二提供的透射光柵以對數(shù)表示的ξ方向的衍射特性圖；
[0022]圖5為本發(fā)明實施例三提供的透射光柵的遠場衍射特性圖；
[0023] 圖6為本發(fā)明實施例三提供的透射光柵ξ方向的衍射特性圖；
[0024] 圖7為本發(fā)明實施例四提供的透射光柵的遠場衍射特性圖；
[0025] 圖8為本發(fā)明實施例四提供的透射光柵ξ方向的衍射特性圖。
【具體實施方式】
[0026] 在極端遠紫外光分光系統(tǒng)進行分光時，為了抑制高級衍射，減小誤差，提高攝譜精 度，本發(fā)明提供了 一種透射光柵，所述透射光柵包括:不透光薄膜及Ν個透光對稱多邊形孔； 其中，所述Ν個透光對稱多邊形孔在所述不透光薄膜上呈斜方格子分布，且所述斜方格子的 周期與所述對稱多邊形孔的大小之間具有預設的比例。
[0027] 下面通過附圖及具體實施例對本發(fā)明的技術方案做進一步的詳細說明。
[0028] 實施例一
[0029]本實施例提供一種透射光柵，如圖1所示，所述透射光柵包括:不透光薄膜及Ν個透 光對稱多邊形孔;其中，所述Ν個透光對稱多邊形孔在所述不透光薄膜上呈斜方格子分布， 且所述斜方格子的周期與所述對稱多邊形孔的大小之間具有預設的比例。其中，所述斜方 格子具體包括:正方格子、長方格子、三角格子、有心長方格子及普通的斜方格子。本實施例 中，優(yōu)選地為長方格子。
[0030] 具體地，所述長方格子分布具體為:任一個對稱多邊形孔的對稱中心與其相鄰的 三個對稱多邊形的對稱中心相連為一個長方形。所述長方格子沿X軸方向的周期為p x，即相 鄰對稱多邊形孔的對稱中心沿X軸方向之間的距離具體為px;所述長方格子沿y軸方向的周 期為P y，即相鄰對稱多邊形孔的對稱中心之間沿y軸方向之間的距離具體為Py。
[0031] 所述N取值可以從幾百到幾萬，一般根據(jù)不透光薄膜的尺寸和透光孔的分布周期 Px、Py的大小來確定，以ΙΟμπι X ΙΟμπι不透光薄膜和Px= 100nm，Py= 100nm來說，所述N值是 10000。這里，所述對稱多邊形孔具體可以包括:對稱四邊形孔、對稱五邊形孔或對稱六邊形 孔等，本實施例中，優(yōu)選地為對稱六邊形孔。
[0032] 進一步地，當所述對稱多邊形為對稱六邊形孔時，為了可以消除諧波污染，提高分 辨度，所述對稱六邊形孔平行于X軸的對角線長度2a與所述P x之間的關系可以根據(jù)公式（1) 確定出：
[0033] 2a = 5Px/6 (1)
[0034] 所述對稱六邊形孔平行于X軸的邊長2ai與所述Px之間的關系可以根據(jù)公式(2)確 定出：
[0035] 2ai = Px/6 (2)
[0036] 所述對稱六邊形孔平行于y軸的對稱軸長度(六邊形的高度)2b與所述Py之間的關 系可以根據(jù)公式(3)確定出：
[0037] 2b^Py (3)
[0038] 這樣，就確定了對稱六邊形孔的大小與長方格子周期之間的比例關系。
[0039] 這里，所述不透光薄膜的材料具體包括:金、銀、鋁、鉻、硅、氮化硅或碳化硅等可以 吸收極紫外光的材料;所述不透光薄膜的厚度為50~300nm;優(yōu)選厚度為70~150nm〇
[0040] 當透射光柵制作好之后，在實際應用中，可以根據(jù)夫瑯禾費衍射的理論進行推導， 得出透射光柵的相對衍射效率I(m)，具體可由公式(4)得出；
[0041]
[0042]其中，在公式⑷中，所述m為衍射級次。
[0043] 本實施例提供的透射光柵，因 N個透光對稱多邊形孔在所述不透光薄膜上呈長方 格子分布，完全抑制了背景噪聲，提高了信噪比;且所述長方格子的周期與所述對稱多邊形 孔的大小之間按照預設的比例取值，使得所述光柵完全抑制了 2級、3級、4級衍射，從而消除 了諧波污染，提高了分辨率，進而確保分析結果的準確性，提高了攝譜精度;并且，該光柵能 夠實現(xiàn)自支撐，因此可以消除襯底帶來的損耗;另外，由于該光柵結構上只存在透光和不透 光兩種區(qū)域，這種二值化的結構易于加工。
[0044] 實施例二
[0045] 相對于實施例一，本實施例還提供一種透射光柵，所述透射光柵包括:不透光薄膜 及N個透光對稱多邊形孔;其中，所述N個透光對稱多邊形孔在所述不透光薄膜上呈斜方格 子分布，且所述斜方格子的周期與所述對稱多邊形孔的大小之間具有預設的比例。其中，所 述斜方格子具體包括:正方格子、長方格子、三角格子、有心長方格子及普通的斜方格子。本 實施例中，優(yōu)選地為長方格子。
[0046] 具體地，所述長方格子分布具體為:任一個對稱多邊形孔的對稱中心與其相鄰的 三個對稱多邊形的對稱中心相連為一個長方形。所述長方格子沿X軸方向的周期為Ρχ，即相 鄰對稱多邊形孔的對稱中心沿X軸方向之間的距離具體為P x;所述長方格子沿y軸方向的周 期為Py，即相鄰對稱多邊形孔的對稱中心之間沿y軸方向之間的具體為P y。
[0047] 本實施例中的不透光薄膜尺寸為30以111\3(^111幾=60〇11111而=60〇11111，因此所述1'1值 是2500。且本實施例中的對稱多邊形孔為對稱六邊形孔。
[0048] 進一步地，當所述對稱多邊形為對稱六邊形孔時，為了可以消除諧波污染，提高分 辨度，所述對稱六邊形孔平行于X軸的對角線長度2a與所述P x之間的關系可以根據(jù)公式（1) 確定出：
[0049] 2a = 5Px/6 (1)
[0050] 其中，本實施例中，所述長方格子沿X軸方向的周期為Px為600nm，因此，所述對稱 六邊形孔平行于X軸的對角線長度根據(jù)公式（1)計算得出為500nm。
[0051] 所述對稱六邊形孔平行于X軸的邊長2ai與所述Px之間的關系可以根據(jù)公式(2)確 定出：
[0052] 2ai = Px/6 (2)
[0053] 其中，所述對稱六邊形孔平行于X軸的邊長根據(jù)公式(2)計算得出為100nm。
[0054] 所述對稱六邊形孔平行于y軸的對稱軸長度(六邊形的高度)2b與所述Py之間的關 系可以根據(jù)公式(3)確定出：
[0055] 2b^Py (3)
[0056] 其中，所述長方格子沿y軸方向的周期為Py為600nm，本實施例根據(jù)公式(3)確定出 對稱六邊形孔平行于y軸的對稱軸長度為600nm。
[0057] 這樣，就確定了對稱六邊形孔的大小與長方格子周期之間的比例關系。
[0058]這里，所述不透光薄膜的材料具體包括鉻;所述不透光薄膜的厚度為lOOnm。
[0059] 實際應用中，利用波長為13.5nm的極紫外光對本實施例中的透射光柵進行照射 時，參見圖2,可以看出該光柵的遠場衍射特性，從圖中可以明顯看出，在ξ方向存在明顯的0 級和+1/-1級衍射，相對于普通光柵的多級衍射，該透射光柵能夠抑制有效抑制高級衍射。
[0060] 進一步地，可以根據(jù)公式(4)計算透射光柵的相對衍射效率：
[0061]
[0062] 其中，在公式(4)中，所述m為衍射級次。本實施例中，該光柵1級相對0級的衍射效 率為27.72%，大于正弦光柵25%的1級相對衍射效率。2級、3級和4級衍射效率為零(參見圖 3和圖4)。該光柵偶數(shù)級次衍射為零。5級和7級的相對0級的衍射效率分別為0.044349 %和 0.011544%，相對1級的衍射效率分別為0.16%和0.041647%。
[0063] 本實施例提供的透射光柵，因多個透光對稱多邊形孔在所述不透光薄膜上呈長方 格子分布，完全抑制了背景噪聲，提高了信噪比;且所述長方格子的周期與所述對稱多邊形 孔的大小之間按照預設的比例取值，使得所述光柵完全抑制了 2級、3級、4級衍射，從而消除 了諧波污染，提高了分辨率，進而確保分析結果的準確性，提高了攝譜精度;并且，該光柵能 夠實現(xiàn)自支撐，因此可以消除襯底帶來的損耗;另外，由于該光柵結構上只存在透光和不透 光兩種區(qū)域，這種二值化的結構易于加工。
[0064] 實施例三
[0065] 相對于實施例二，本實施例還提供一種透射光柵，所述透射光柵包括:不透光薄膜 及N個透光對稱多邊形孔;其中，所述N個透光對稱多邊形孔在所述不透光薄膜上呈斜方格 子分布，且所述斜方格子的周期與所述對稱多邊形孔的大小之間具有預設的比例。其中，所 述斜方格子具體包括:正方格子、長方格子、三角格子、有心長方格子及普通的斜方格子。本 實施例中，優(yōu)選地為長方格子。
[0066] 具體地，所述長方格子分布具體為:任一個對稱多邊形孔的對稱中心與其相鄰的 三個對稱多邊形的對稱中心相連為一個長方形。所述長方格子沿X軸方向的周期為Ρχ，即相 鄰對稱多邊形孔的對稱中心沿X軸方向之間的距離具體為P x;所述長方格子沿y軸方向的周 期為Py，即相鄰對稱多邊形孔的對稱中心之間沿y軸方向之間的具體為P y。
[0067] 本實施例中的不透光薄膜尺寸為3(^111\3(^111，？\ = 30〇11111，？丫 = 30〇11111，因此所述1'1值 是10000。且本實施例中的對稱多邊形孔為對稱六邊形孔。
[0068] 進一步地，當所述對稱多邊形為對稱六邊形孔時，為了可以消除諧波污染，提高分 辨度，所述對稱六邊形孔平行于X軸的對角線長度2a與所述P x之間的關系可以根據(jù)公式（1) 確定出：
[0069] 2a = 5Px/6 (1)
[0070] 其中，本實施例中，所述長方格子沿X軸方向的周期為Px為300nm，因此，所述對稱 六邊形孔平行于X軸的對角線長度根據(jù)公式（1)計算得出為250nm。
[0071] 所述對稱六邊形孔平行于X軸的邊長2ai與所述Px之間的關系可以根據(jù)公式(2)確 定出：
[0072] 2ai = Px/6 (2)
[0073] 其中，所述對稱六邊形孔平行于X軸的邊長根據(jù)公式(2)計算得出為50nm。
[0074] 所述對稱六邊形孔平行于y軸的對稱軸長度(六邊形的高度)2b與所述Py之間的關 系可以根據(jù)公式(3)確定出：
[0075] 2b^Py (3)
[0076] 其中，所述長方格子沿y軸方向的周期為Py為300nm，本實施例根據(jù)公式(3)確定出 對稱六邊形孔平行于y軸的對稱軸長度為200nm。
[0077] 這樣，就確定了對稱六邊形孔的大小與長方格子周期之間的比例關系。
[0078]這里，所述不透光薄膜的材料具體包括金屬硅;所述不透光薄膜的厚度為150nm。
[0079] 實際應用中，利用波長為13.5nm的極紫外光對本實施例中的透射光柵進行照射 時，參見圖5,可以看出該光柵的遠場衍射特性，從圖中可以明顯看出，在ξ方向存在明顯的0 級和+1/-1級衍射，相對于普通光柵的多級衍射，該透射光柵能夠抑制有效抑制高級衍射。
[0080] 進一步地，可以根據(jù)公式(4)計算透射光柵的相對衍射效率：
[0081]
[0082]其中，在公式(4)中，所述m為衍射級次。本實施例中，該光柵1級相對0級的衍射效 率為27.72%，大于正弦光柵25%的1級相對衍射效率。2級、3級和4級衍射效率為零(參見圖 6)。該光柵偶數(shù)級次衍射為零。5級和7級的相對0級、相對1級的衍射非常小。
[0083] 本實施例提供的透射光柵，因多個透光對稱多邊形孔在所述不透光薄膜上呈長方 格子分布，完全抑制了背景噪聲，提高了信噪比;且所述長方格子的周期與所述對稱多邊形 孔的大小之間按照預設的比例取值，使得所述光柵完全抑制了 2級、3級、4級衍射，從而消除 了諧波污染，提高了分辨率，進而確保分析結果的準確性，提高了攝譜精度;并且，該光柵能 夠實現(xiàn)自支撐，因此可以消除襯底帶來的損耗;另外，由于該光柵結構上只存在透光和不透 光兩種區(qū)域，這種二值化的結構易于加工。
[0084] 實施例四
[0085] 相對于實施例二，本實施例還提供一種透射光柵，所述透射光柵包括:不透光薄膜 及N個透光對稱多邊形孔;其中，所述N個透光對稱多邊形孔在所述不透光薄膜上呈斜方格 子分布，且所述斜方格子的周期與所述對稱多邊形孔的大小之間具有預設的比例。其中，所 述斜方格子具體包括:正方格子、長方格子、三角格子、有心長方格子及普通的斜方格子。本 實施例中，優(yōu)選地為長方格子。
[0086] 具體地，所述長方格子分布具體為:任一個對稱多邊形孔的對稱中心與其相鄰的 三個對稱多邊形的對稱中心相連為一個長方形。所述長方格子沿X軸方向的周期為Ρχ，即相 鄰對稱多邊形孔的對稱中心沿X軸方向之間的距離具體為p x;所述長方格子沿y軸方向的周 期為Py，即相鄰對稱多邊形孔的對稱中心之間沿y軸方向之間的具體為P y。
[0087] 本實施例中的不透光薄膜尺寸為180μηιΧ 180μηι，Ρχ= 1200nm，Py= 1200nm，因此所 述N值是22500。
[0088] 進一步地，當所述對稱多邊形為對稱六邊形孔時，為了可以消除諧波污染，提高分 辨度，所述對稱六邊形孔平行于X軸的對角線長度2a與所述P x之間的關系可以根據(jù)公式（1) 確定出：
[0089] 2a = 5Px/6 (1)
[0090] 其中，本實施例中，所述長方格子沿X軸方向的周期為Px為1200nm，因此，所述對稱 六邊形孔平行于X軸的對角線長度根據(jù)公式(1)計算得出為lOOOnm。
[0091] 所述對稱六邊形孔平行于X軸的邊長2ai與所述Px之間的關系可以根據(jù)公式(2)確 定出：
[0092] 2ai = Px/6 (2)
[0093] 其中，所述對稱六邊形孔平行于X軸的邊長根據(jù)公式(2)計算得出為200nm。
[0094] 所述對稱六邊形孔平行于y軸的對稱軸長度(六邊形的高度)2b與所述Py之間的關 系可以根據(jù)公式(3)確定出：
[0095] 2b^Py (3)
[0096] 其中，所述長方格子沿y軸方向的周期為Py為1200nm，本實施例根據(jù)公式(3)確定 出對稱六邊形孔平行于y軸的對稱軸長度為l〇〇〇nm。
[0097] 這樣，就確定了對稱六邊形孔的大小與長方格子周期之間的比例關系。
[0098]這里，所述不透光薄膜的材料具體包括金屬銀;所述不透光薄膜的厚度為210nm。
[0099]實際應用中，利用波長為13.5nm的極紫外光對本實施例中的透射光柵進行照射 時，參見圖7,可以看出該光柵的遠場衍射特性，從圖中可以明顯看出，在ξ方向存在明顯的0 級和+1/-1級衍射，相對于普通光柵的多級衍射，該透射光柵能夠抑制有效抑制高級衍射。
[0100] 進一步地，可以根據(jù)公式(4)計算透射光柵的相對衍射效率：
[0101]
[0102] 其中，在公式(4)中，所述m為衍射級次。本實施例中，該光柵1級相對0級的衍射效 率為27.72%，大于正弦光柵25%的1級相對衍射效率。2級、3級和4級衍射效率為零(參見圖 8)。該光柵偶數(shù)級次衍射為零。5級和7級的相對0級、相對1級的衍射非常小。
[0103] 本實施例提供的透射光柵，因多個透光對稱多邊形孔在所述不透光薄膜上呈長方 格子分布，完全抑制了背景噪聲，提高了信噪比;且所述長方格子的周期與所述對稱多邊形 孔的大小之間按照預設的比例取值，使得所述光柵完全抑制了 2級、3級、4級衍射，從而消除 了諧波污染，提高了分辨率，進而確保分析結果的準確性，提高了攝譜精度;并且，該光柵能 夠實現(xiàn)自支撐，因此可以消除襯底帶來的損耗;另外，由于該光柵結構上只存在透光和不透 光兩種區(qū)域，這種二值化的結構易于加工。
[0104] 以上所述，僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并非用于限定本發(fā)明的保護范圍，凡在 本發(fā)明的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本發(fā)明的保護 范圍之內。
【主權項】
1. 一種透射光柵，其特征在于，所述透射光柵包括:不透光薄膜及N個透光對稱多邊形 孔;其中， 所述N個透光對稱多邊形孔在所述不透光薄膜上呈斜方格子分布，且所述斜方格子的 周期與所述對稱多邊形孔的大小之間具有預設的比例。2. 如權利要求1所述的透射光柵，其特征在于，所述斜方格子沿X軸方向的周期為Px，所 述斜方格子沿y軸方向的周期為Py。3. 如權利要求2所述的透射光柵，其特征在于，所述對稱多邊形孔具體包括:對稱四邊 形孔、對稱五邊形孔或對稱六邊形孔。4. 如權利要求3所述的透射光柵，其特征在于，當所述對稱多邊形孔為對稱六邊形孔 時，所述對稱六邊形孔平行于X軸的對角線長度2a與所述Px之間的比例關系為2a = 5Px/6。5. 如權利要求4所述的透射光柵，其特征在于，所述對稱六邊形孔平行于X軸的邊長2ai 與所述Ρχ之間的比例關系為2ai = Px/6。6. 如權利要求5所述的透射光柵，其特征在于，所述對稱六邊形孔平行于y軸的對稱軸 長度化與所述Py之間的關系為化《Py。7. 如權利要求5所述的透射光柵，其特征在于，所述透射光柵在ξ方向的的相對衍射效 率Km)根據(jù)公式計算得出；其中，所述m為 衍射級次。8. 如權利要求1所述的透射光柵，其特征在于，所述不透光薄膜的材料具體包括：金、 銀、侶、銘、娃、氮化娃或碳化娃。9. 如權利要求8所述的透射光柵，其特征在于，所述不透光薄膜的厚度為50~300nm。10. 如權利要求9所述的透射光柵，其特征在于，所述不透光薄膜的優(yōu)選厚度為70~ 150nm〇
【文檔編號】G02B5/18GK106094086SQ201610624132
【公開日】2016年11月9日
【申請日】2016年8月2日 公開號201610624132.0, CN 106094086 A, CN 106094086A, CN 201610624132, CN-A-106094086, CN106094086 A, CN106094086A, CN201610624132, CN201610624132.0
【發(fā)明人】史麗娜, 劉子維, 浦探超, 李海亮, 牛潔斌, 謝常青, 劉明
【申請人】中國科學院微電子研究所