一種光掩膜烘烤板架的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備，特別是涉及一種光掩膜烘烤板架。
【背景技術(shù)】
[0002]設(shè)計(jì)與工藝制造之間的接口是版圖。版圖是一組相互套合的圖形，各層版圖相應(yīng)于不同的工藝步驟，每一層版圖用不同的圖案來表示。版圖與所采用的制備工藝緊密相關(guān)。在計(jì)算機(jī)及其超大規(guī)模集成電路(Very Large Scale INTEGRATED Circuits，VLSI)設(shè)計(jì)系統(tǒng)上設(shè)計(jì)完成的集成電路版圖只是一些圖像和數(shù)據(jù)，當(dāng)將設(shè)計(jì)結(jié)果送到工藝線上實(shí)驗(yàn)時(shí)，還必須經(jīng)過一個(gè)重要的中間環(huán)節(jié)，即制版。
[0003]制版是通過圖形發(fā)生器完成圖形的縮小和重復(fù)。在設(shè)計(jì)完成集成電路的版圖以后，設(shè)計(jì)者得到的是一組標(biāo)準(zhǔn)的制版數(shù)據(jù)，將這組數(shù)據(jù)傳送給圖形發(fā)生器(一種制版設(shè)備)，圖形發(fā)生器(Pattern Generator, PG)根據(jù)數(shù)據(jù)，將設(shè)計(jì)的版圖結(jié)果分層轉(zhuǎn)移到光掩膜上。制版的目的就是產(chǎn)生一套分層的版圖掩膜，為將來進(jìn)行圖形轉(zhuǎn)移(即光刻)做準(zhǔn)備。
[0004]光掩膜(Photo Mask)包含了整個(gè)硅片的芯片圖形特征，其質(zhì)量的高低直接影響著半導(dǎo)體產(chǎn)品的最終性能，因此，在生產(chǎn)過程中，必須保證光刻光掩膜的質(zhì)量。
[0005]隨著新型光刻膠的使用，對(duì)曝光后烘烤的溫度均勻性要求很高。在傳統(tǒng)的熱風(fēng)型烘箱內(nèi)，光掩模烘烤板架一般包括平行于熱風(fēng)出口的兩根固定軸，光掩膜則由這兩根進(jìn)行固定，使光掩膜具有圖案的一面面向熱風(fēng)出口，以便于烘烤。
[0006]然而，這種針對(duì)熱風(fēng)型烘烤箱的烘烤架，在實(shí)際的使用過程中，不能完全滿足整塊掩模版的溫度均勻性要求。
[0007]鑒于以上所述，提供一種能有效提高光掩膜溫度均勻性的新型烘烤板架實(shí)屬必要。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0008]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種光掩膜烘烤板架，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中針對(duì)熱風(fēng)型烘烤箱的烘烤架，在實(shí)際的使用過程中，不能滿足整塊掩模板的溫度均勻性要求的問題。
[0009]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種光掩膜烘烤板架，所述光掩膜烘烤板架包括:
[0010]底座；
[0011]旋轉(zhuǎn)裝置，所述旋轉(zhuǎn)裝置將所述底座固定于烘烤設(shè)備底部，并通過所述旋轉(zhuǎn)裝置實(shí)現(xiàn)所述底座的旋轉(zhuǎn)；
[0012]支架，至少包括一與所述底座固定連接的傾斜面板；以及
[0013]加熱板，固定于所述支架的傾斜面板上。
[0014]作為本實(shí)用新型的光掩膜烘烤板架的一種優(yōu)選方案，所述支架包括支撐板及傾斜面板，且所述支撐板、傾斜面板及底座間形成三角固定結(jié)構(gòu)。
[0015]作為本實(shí)用新型的光掩膜烘烤板架的一種優(yōu)選方案，所述旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)角度范圍為30?90度。
[0016]作為本實(shí)用新型的光掩膜烘烤板架的一種優(yōu)選方案，所述加熱板兩側(cè)設(shè)置有固定件，所述加熱板以夾持的方式固定于所述傾斜面板。
[0017]進(jìn)一步地，所述固定件上設(shè)置有把手，通過該把手實(shí)現(xiàn)所述底座的旋轉(zhuǎn)。
[0018]作為本實(shí)用新型的光掩膜烘烤板架的一種優(yōu)選方案，所述加熱板的形狀為矩形。
[0019]進(jìn)一步地，所述加熱板的兩側(cè)設(shè)置有凹槽，以便于采用夾具實(shí)現(xiàn)光掩膜的放置及取出。
[0020]作為本實(shí)用新型的光掩膜烘烤板架的一種優(yōu)選方案，所述加熱板為不銹鋼板。
[0021]如上所述，本實(shí)用新型提供一種光掩膜烘烤板架，所述光掩膜烘烤板架包括:底座；旋轉(zhuǎn)裝置，所述旋轉(zhuǎn)裝置將所述底座固定于烘烤設(shè)備底部，并通過所述旋轉(zhuǎn)裝置實(shí)現(xiàn)所述底座的旋轉(zhuǎn)；支架，至少包括一與所述底座固定連接的傾斜面板；以及加熱板，固定于所述支架的傾斜面板上。本實(shí)用新型由于采用了預(yù)熱鋼板，保證了掩模版剛放置時(shí)的初期溫度，同時(shí)保證了在加熱過程中整片掩模版的均勻受熱。另外，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了轉(zhuǎn)動(dòng)托架，保證了光掩膜裝卸的便利性。
【附圖說明】
[0022]圖1顯示為本實(shí)用新型的光掩膜烘烤板架的主視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖2顯示為本實(shí)用新型的光掩膜烘烤板架的下視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]元件標(biāo)號(hào)說明
[0025]10底座
[0026]50旋轉(zhuǎn)裝置
[0027]20支架
[0028]201 支撐板
[0029]202 傾斜面板
[0030]30加熱板
[0031]40固定件
[0032]401把手
【具體實(shí)施方式】
[0033]以下通過特定的具體實(shí)例說明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本實(shí)用新型還可以通過另外不同的【具體實(shí)施方式】加以實(shí)施或應(yīng)用，本說明書中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒有背離本實(shí)用新型的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。
[0034]請(qǐng)參閱圖1?圖2。需要說明的是，本實(shí)施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本實(shí)用新型的基本構(gòu)想，遂圖式中僅顯示與本實(shí)用新型中有關(guān)的組件而非按照實(shí)際實(shí)施時(shí)的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實(shí)際實(shí)施時(shí)各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復(fù)雜。
[0035]如圖1?圖2所示，本實(shí)施例提供一種光掩膜烘烤板架，所述光掩膜烘烤板架包括:
[0036]底座10 ；
[0037]旋轉(zhuǎn)裝置50，所述旋轉(zhuǎn)裝置50將所述底座10固定于烘烤設(shè)備底部，并通過所述旋轉(zhuǎn)裝置50實(shí)現(xiàn)所述底座10的旋轉(zhuǎn)；
[0038]支架20，至少包括一與所述底座10固定連接的傾斜面板202 ;以及
[0039]加熱板30，固定于所述支架20的傾斜面板202上。
[0040]所述底座10可以采用如不銹鋼、陶瓷等耐熱材質(zhì)的剛性材料制成，所述底座10的形狀可以為如十字形、矩形、圓形等形狀，且不限于此處所列舉的幾種示例。
[0041]如圖2所示，所述選裝裝置可以與所述烘烤設(shè)備固定連接，也可以直接放置于所述烘烤設(shè)備底部，所述選裝裝置的可旋轉(zhuǎn)角度范圍為30?90度。在本實(shí)施例中，所述旋轉(zhuǎn)裝置50的旋轉(zhuǎn)角度為45度。
[0042]如圖1所示，所述支架20包括支撐板201及傾斜面板202，且所述支撐板201、傾斜面板202及底座10間形成三角固定結(jié)構(gòu)。所述支架20的材質(zhì)可以采用如不銹鋼板等剛性材料制成，其與地板的連接可以采用焊接或者采用螺絲等連接件進(jìn)行連接。
[0043]如圖1所示，所述加熱板30兩側(cè)設(shè)置有固定件40，所述加熱板30以夾持的方式固定于所述傾斜面板202。作為示例，所述固定件40上設(shè)置有把手401，通過該把手401實(shí)現(xiàn)所述底座10的旋轉(zhuǎn)。
[0044]作為示例，所述加熱板30為不銹鋼板，所述加熱板30的形狀為矩形。進(jìn)一步地，所述加熱板30的兩側(cè)設(shè)置有凹槽，以便于采用夾具實(shí)現(xiàn)光掩膜的放置及取出。所述加熱板30作為預(yù)熱鋼板，保證了掩模版剛放置時(shí)的初期溫度，同時(shí)保證了在加熱過程中整片掩模版的均勻受熱。
[0045]本實(shí)施例的光掩膜烘烤板架的使用步驟如下:
[0046]第一步，通過所述把手401和旋轉(zhuǎn)裝置50將所述加熱板30旋轉(zhuǎn)至朝向烘烤箱一面(如與所述烘烤箱一面呈45度角)后，通過專用夾具將光掩膜放置于所述加熱板30上，放置時(shí)注意夾具與加熱板30兩側(cè)的凹槽相對(duì)應(yīng)，以便于放置，當(dāng)然，放置前可以先對(duì)所述加熱板30進(jìn)行預(yù)熱，以提高加熱的均勻性；另外，如果先進(jìn)性了預(yù)熱，可以采用如小棍等工具插入所述把手401的孔內(nèi)，再進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，以免燙傷。
[0047]第二步，光掩膜放置完成后，通過所述把手401及選裝裝置將所述加熱板30旋轉(zhuǎn)至朝向烘烤箱的出風(fēng)口一面，以提高加熱的效率。
[0048]第三步，烘烤完成后，如第一步的操作將所述光掩膜取出。
[0049]可見，本實(shí)用新型由于采用了預(yù)熱鋼板，保證了掩模版剛放置時(shí)的初期溫度，同時(shí)保證了在加熱過程中整片掩模版的均勻受熱。另外，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了轉(zhuǎn)動(dòng)托架，保證了光掩膜裝卸的便利性。
[0050]如上所述，本實(shí)用新型提供一種光掩膜烘烤板架，所述光掩膜烘烤板架包括:底座10 ;旋轉(zhuǎn)裝置50，所述旋轉(zhuǎn)裝置50將所述底座10固定于烘烤設(shè)備底部，并通過所述旋轉(zhuǎn)裝置50實(shí)現(xiàn)所述底座10的旋轉(zhuǎn)；支架20，至少包括一與所述底座10固定連接的傾斜面板202 ;以及加熱板30，固定于所述支架20的傾斜面板202上。本實(shí)用新型由于采用了預(yù)熱鋼板，保證了掩模版剛放置時(shí)的初期溫度，同時(shí)保證了在加熱過程中整片掩模版的均勻受熱。另外，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了轉(zhuǎn)動(dòng)托架，保證了光掩膜裝卸的便利性。所以，本實(shí)用新型有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。
[0051]上述實(shí)施例僅例示性說明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種光掩膜烘烤板架，其特征在于，所述光掩膜烘烤板架包括: 底座； 旋轉(zhuǎn)裝置，所述旋轉(zhuǎn)裝置將所述底座固定于烘烤設(shè)備底部，并通過所述旋轉(zhuǎn)裝置實(shí)現(xiàn)所述底座的旋轉(zhuǎn)； 支架，至少包括一與所述底座固定連接的傾斜面板；以及 加熱板，固定于所述支架的傾斜面板上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掩膜烘烤板架，其特征在于:所述支架包括支撐板及傾斜面板，且所述支撐板、傾斜面板及底座間形成三角固定結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掩膜烘烤板架，其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)角度范圍為30?90度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掩膜烘烤板架，其特征在于:所述加熱板兩側(cè)設(shè)置有固定件，所述加熱板以夾持的方式固定于所述傾斜面板。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光掩膜烘烤板架，其特征在于:所述固定件上設(shè)置有把手，通過該把手實(shí)現(xiàn)所述底座的旋轉(zhuǎn)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掩膜烘烤板架，其特征在于:所述加熱板的形狀為矩形。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光掩膜烘烤板架，其特征在于:所述加熱板的兩側(cè)設(shè)置有凹槽，以便于采用夾具實(shí)現(xiàn)光掩膜的放置及取出。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掩膜烘烤板架，其特征在于:所述加熱板為不銹鋼板。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種光掩膜烘烤板架，所述光掩膜烘烤板架包括：底座；旋轉(zhuǎn)裝置，所述旋轉(zhuǎn)裝置將所述底座固定于烘烤設(shè)備底部，并通過所述旋轉(zhuǎn)裝置實(shí)現(xiàn)所述底座的旋轉(zhuǎn)；支架，至少包括一與所述底座固定連接的傾斜面板；以及 加熱板，固定于所述支架的傾斜面板上。本實(shí)用新型由于采用了預(yù)熱鋼板，保證了掩模版剛放置時(shí)的初期溫度，同時(shí)保證了在加熱過程中整片掩模版的均勻受熱。另外，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了轉(zhuǎn)動(dòng)托架，保證了光掩膜裝卸的便利性。
【IPC分類】G03F1-82
【公開號(hào)】CN204270008
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420761811
【發(fā)明人】李勇, 鄭宏
【申請(qǐng)人】上海凸版光掩模有限公司
【公開日】2015年4月15日
【申請(qǐng)日】2014年12月5日