光阻剝離裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種光阻剝離裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]一般的批處理方式光阻剝離裝置都通過(guò)剝離液循環(huán)、產(chǎn)品慢速抖動(dòng)、氮?dú)夤呐莸确绞皆黾右后w在產(chǎn)品表面的交換速度，達(dá)到剝離能力提升的效果，但由于銅柱結(jié)構(gòu)側(cè)壁和底部的殘膠很難通過(guò)藥液浸泡的方式去除，而長(zhǎng)時(shí)間的浸泡會(huì)造成剝離液對(duì)底材的攻擊。
[0003]通過(guò)一般的噴淋方式可以快速去除光阻，但只能單片作業(yè)，對(duì)產(chǎn)能的損失較大，剝離效率也比較低。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]在下文中給出關(guān)于本實(shí)用新型的簡(jiǎn)要概述，以便提供關(guān)于本實(shí)用新型的某些方面的基本理解。應(yīng)當(dāng)理解，這個(gè)概述并不是關(guān)于本實(shí)用新型的窮舉性概述。它并不是意圖確定本實(shí)用新型的關(guān)鍵或重要部分，也不是意圖限定本實(shí)用新型的范圍。其目的僅僅是以簡(jiǎn)化的形式給出某些概念，以此作為稍后論述的更詳細(xì)描述的前序。
[0005]本實(shí)用新型提供一種光阻剝離裝置，包括剝離槽、所述剝離槽的上方設(shè)置有治具架，所述治具架上設(shè)置有多個(gè)用于固定圓片的圓片治具，至少所述圓片治具的下部位于所述剝離槽中，靠近每一所述圓片治具用于固定圓片的一側(cè)均設(shè)置有一個(gè)攪拌柵板，所述攪拌柵板沿豎直方向滑動(dòng)設(shè)置于所述剝離槽內(nèi)。
[0006]本實(shí)用新型提供的光阻剝離裝置，在使用時(shí)，通過(guò)攪拌柵板上下運(yùn)動(dòng)，以攪動(dòng)圓片表面剝離液的流動(dòng)速度，既能避免長(zhǎng)時(shí)間浸泡剝離液對(duì)底材的攻擊，又能提高去除光阻的效率。
【附圖說(shuō)明】
[0007]參照下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例的說(shuō)明，會(huì)更加容易地理解本實(shí)用新型的以上和其它目的、特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)。附圖中的部件只是為了示出本實(shí)用新型的原理。在附圖中，相同的或類似的技術(shù)特征或部件將采用相同或類似的附圖標(biāo)記來(lái)表示。
[0008]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的圓片治具結(jié)構(gòu)示意圖；
[0009]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的攪拌柵板結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的使用狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]附圖標(biāo)記說(shuō)明:
[0012]剝離槽-1;圓片治具-2;治具架-3;
[0013]攪拌柵板-4 ；固定桿-5 ；線性電機(jī)-6 ；
[0014]圓片-7 ;剝尚液-8;載片板-21;
[0015]固定螺檢-22;平板主體_41 ;柵格-42。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面參照附圖來(lái)說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施例。在本實(shí)用新型的一個(gè)附圖或一種實(shí)施方式中描述的元素和特征可以與一個(gè)或更多個(gè)其它附圖或?qū)嵤┓绞街惺境龅脑睾吞卣飨嘟Y(jié)合。應(yīng)當(dāng)注意，為了清楚的目的，附圖和說(shuō)明中省略了與本實(shí)用新型無(wú)關(guān)的、本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的部件和處理的表示和描述。
[0017]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的圓片治具結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的攪拌柵板結(jié)構(gòu)示意圖，圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的使用狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]下面參照附圖來(lái)說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施例。
[0019]如圖1-圖3所示，本實(shí)施例提供一種光阻剝離裝置，包括剝離槽1、所述剝離槽I的上方設(shè)置有治具架3，所述治具架3上設(shè)置有多個(gè)用于固定圓片7的圓片治具2，至少所述圓片治具的下部位于所述剝離槽中1，其特征在于，靠近每一所述圓片治具2用于固定圓片7的一側(cè)均設(shè)置有一個(gè)攪拌柵板4，所述攪拌柵板4沿豎直方向滑動(dòng)設(shè)置于所述剝離槽I內(nèi)。
[0020]被固定的多個(gè)圓片治具2，可以隨治具架3—同放入剝離槽中I。這樣的結(jié)構(gòu)可以完成批量處理，增加了操作的效率，降低了操作成本。每一個(gè)圓片治具的一側(cè)都有一個(gè)攪拌柵板4，可以保證進(jìn)行批量處理的每一個(gè)圓片7表面的剝離液都得到合適的攪拌處理。不但增加了操作的效果，而且保證了操作的效率，減少了因剝離液長(zhǎng)時(shí)間浸泡所產(chǎn)生的對(duì)產(chǎn)品底材的攻擊。
[0021]進(jìn)一步的，所述攪拌柵板4包括平板主體41，所述平板主體上并排設(shè)置有多條水平延伸的柵格42。
[0022]并排設(shè)置的多條水平延伸的柵格42，起到增大阻力，進(jìn)而增加攪拌效果的作用。
[0023]進(jìn)一步的，所述剝離槽I上固定連接有直線電機(jī)6，所述直線電機(jī)6驅(qū)動(dòng)連接豎直運(yùn)動(dòng)的固定桿5，所述固定桿5的下部與所述攪拌柵板4固定連接。
[0024]當(dāng)直線電機(jī)啟動(dòng)后帶動(dòng)固定桿5，固定桿5帶動(dòng)與其相連的攪拌柵板4，攪拌柵板4隨固定桿一起在剝離槽中做上下的往復(fù)運(yùn)動(dòng)，在不斷做運(yùn)動(dòng)的同時(shí)攪拌柵板4帶動(dòng)周圍的剝離液8進(jìn)行快速運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)了與其相鄰圓片治具2表面的剝離液8進(jìn)行快速運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而達(dá)到拉扯圓片7表面剝離液8的作用。圓片表面的剝離液8進(jìn)行快速運(yùn)動(dòng)，能夠加速光阻剝離的速度，增加操作效率及效果。
[0025]進(jìn)一步的，所述圓片治具2包括平板狀的載片板21，所述載片板上設(shè)置有用于壓裝所述圓片的固定件。
[0026]固定件用于固定圓片，當(dāng)開始進(jìn)行剝離作業(yè)時(shí)，將需要進(jìn)行光阻剝離的圓片固定9到圓片治具2上；當(dāng)剝離作業(yè)完成后，將圓片7從圓片治具2上卸下。
[0027]進(jìn)一步的，所述固定件為固定螺栓22。
[0028]進(jìn)一步的，所述載片板21豎直設(shè)置。
[0029]載片版21豎直設(shè)置可以順利放入剝離槽I中，不但節(jié)省空間，還能較大程度的與剝離液8進(jìn)行接觸，增加相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)周圍剝離液8的效果。
[0030]進(jìn)一步的，多個(gè)所述載片板21相互平行設(shè)置。
[0031]豎直設(shè)置的載片板21互相平行設(shè)置可以與穿插著放入剝離槽內(nèi)的攪拌柵板之間，操作便捷，還能保證每一片載片板21都能完整的浸入剝離液中，并與一側(cè)的攪拌柵板4保持相同的距離，有利于攪拌柵板4帶動(dòng)周圍的剝離液8進(jìn)行光阻的剝離作業(yè)。
[0032]本實(shí)用新型提供的光阻剝離裝置，可以避免長(zhǎng)時(shí)間浸泡剝離液對(duì)底材的攻擊，不但能提高去除光阻的效率，降低產(chǎn)能損失，還能以批處理的方式提高作業(yè)效率，降低作業(yè)成本。
[0033]最后應(yīng)說(shuō)明的是:以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種光阻剝離裝置，包括剝離槽、所述剝離槽的上方設(shè)置有治具架，所述治具架上設(shè)置有多個(gè)用于固定圓片的圓片治具，至少所述圓片治具的下部位于所述剝離槽中，其特征在于，靠近每一所述圓片治具用于固定圓片的一側(cè)均設(shè)置有一個(gè)攪拌柵板，所述攪拌柵板沿豎直方向滑動(dòng)設(shè)置于所述剝離槽內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光阻剝離裝置，其特征在于，所述攪拌柵板包括平板主體，所述平板主體上并排設(shè)置有多條水平延伸的柵格。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光阻剝離裝置，其特征在于，所述剝離槽上固定連接有直線電機(jī)，所述直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)連接豎直運(yùn)動(dòng)的固定桿，所述固定桿的下部與所述攪拌柵板固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光阻剝離裝置，其特征在于，所述圓片治具包括平板狀的載片板，所述載片板上設(shè)置有用于壓裝所述圓片的固定件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光阻剝離裝置，其特征在于，所述固定件為固定螺栓。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光阻剝離裝置，其特征在于，所述載片板豎直設(shè)置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光阻剝離裝置，其特征在于，多個(gè)所述載片板相互平行設(shè)置。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種光阻剝離裝置，包括剝離槽、所述剝離槽的上方設(shè)置有治具架，所述治具架上設(shè)置有多個(gè)用于固定圓片的圓片治具，至少所述圓片治具的下部位于所述剝離槽中，靠近每一所述圓片治具用于固定圓片的一側(cè)均設(shè)置有一個(gè)攪拌柵板，所述攪拌柵板沿豎直方向滑動(dòng)設(shè)置于所述剝離槽內(nèi)。該光阻剝離裝置既能避免長(zhǎng)時(shí)間浸泡剝離液對(duì)底材的攻擊，又能提高去除光阻的效率。
【IPC分類】G03F7-42
【公開號(hào)】CN204314609
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420677509
【發(fā)明人】徐小鋒
【申請(qǐng)人】南通富士通微電子股份有限公司
【公開日】2015年5月6日
【申請(qǐng)日】2014年11月13日