一種用于光刻機(jī)楔板斜面加工的夾具工裝的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及光刻機(jī)楔板技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種光刻機(jī)楔板斜面的加工方法及 其夾具工裝，能高效率的對(duì)楔板進(jìn)行調(diào)試加工，保證其精度要求。
【背景技術(shù)】
[0002] 目前我國(guó)對(duì)外形80mm*80mm，中心厚度為3mm，材料為肖特BK7的楔板加工工藝存 在一定的不足，特別是針對(duì)斜面精度保證在10"以內(nèi)的精度一般很難保證，成功率很低， 遠(yuǎn)不能滿足90nm光刻機(jī)裝機(jī)的要求 【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003] 本實(shí)用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種光刻機(jī)楔板斜面的加 工方法及其夾具工裝，有效保證斜面的精度要求，成功率可以保持在90 %以上，滿足國(guó)內(nèi) 90nm光刻機(jī)的設(shè)計(jì)需要。
[0004] 本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案是：
[0005] 一種用于加工楔板斜面的裝夾方法，該方法包括如下步驟：
[0006] 步驟1、準(zhǔn)備處理步驟，具體包括：
[0007] I. 1選取待加工楔板的一大平面作為基準(zhǔn)面，利用三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x測(cè)出該平面四個(gè) 角落點(diǎn)的面形趨勢(shì)，并做記錄；
[0008] 1. 2建立超凈工作室和超凈工作臺(tái)，室內(nèi)溫度為20~26°C ±0. 1°C，濕度為50~ 70 %，標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下在超凈工作臺(tái)上，工作人員帶上潔凈手套和口罩，對(duì)待加工楔板和玻 璃墊板用光學(xué)玻璃擦拭布蘸上酒精進(jìn)行擦拭，在擦拭過(guò)程中把楔形板放在IOOw的燈光下 仔細(xì)觀看表面灰塵，直到無(wú)肉眼可見(jiàn)灰塵，擦拭完畢，把擦拭好的楔板放在玻璃器皿中，防 止再次污染；
[0009] 步驟2、粘接處理步驟，具體包括：
[0010] 2. 1用高純度蠟將楔板的基準(zhǔn)面粘接在玻璃墊板上，粘接時(shí)使蠟充滿整個(gè)楔板和 玻璃墊板的接觸面，確保楔板和玻璃墊板之間無(wú)氣泡；
[0011] 2. 2把粘接好的楔板和玻璃墊塊放在楔板粘接平臺(tái)上進(jìn)行第二次蠟粘接，使楔板 處于最上方，玻璃墊板在中間，楔板粘接平臺(tái)處于最下方；
[0012] 2. 3將粘接好的楔板、玻璃墊塊和楔板粘接平臺(tái)一起放置在工裝定位平臺(tái)上，并 通過(guò)螺母、螺柱、小壓板和墊塊壓緊固定；
[0013] 步驟3、將工裝定位平臺(tái)與機(jī)床固定，利用機(jī)床探頭探測(cè)楔板的四個(gè)角點(diǎn)的面形趨 勢(shì)作好記錄，并和步驟1. 1中記錄的面形趨勢(shì)進(jìn)行對(duì)比，調(diào)節(jié)工裝定位平臺(tái)的位置，使二者 面形趨勢(shì)一致；
[0014] 步驟4、斜面加工步驟，具體包括：
[0015] 4. 1用直徑IlOmm的銅基金剛石粗顆粒磨頭對(duì)斜面進(jìn)行粗磨，轉(zhuǎn)速3000，進(jìn)給量 300mm/mim,吃刀量0· 05mm,留0· Imm進(jìn)行下道工序；
[0016] 4. 2用直徑IlOmm的銅基金剛石細(xì)顆粒磨頭對(duì)斜面進(jìn)行細(xì)磨，轉(zhuǎn)速4000，進(jìn)給量 10Omm/mim,吃刀量 0· Olmm ;
[0017] 4. 3機(jī)床探頭進(jìn)行自測(cè)，使基準(zhǔn)面與斜面對(duì)齊的夾角）測(cè)量其斜度值
[0018] 4. 4對(duì)斜面的斜度值進(jìn)行三坐標(biāo)精確測(cè)量：
[0019] 如果檢測(cè)結(jié)果符合圖紙要求則完成加工，否則返回步驟4. 2進(jìn)行細(xì)磨。
[0020] 一種實(shí)施所述的光刻機(jī)楔板斜面的加工方法的夾具工裝，其特點(diǎn)在于，包括凸臺(tái) 狀的楔板粘接平臺(tái)、具有螺孔的工裝定位平臺(tái)、具有螺孔的小壓板、圓柱形第一墊塊、T形 M6滑塊、M6雙頭螺柱、彈性波浪墊圈和第二墊塊；
[0021] 所述的楔板粘接平臺(tái)通過(guò)第一螺母、穿過(guò)螺柱的小壓板與工裝定位平臺(tái)固定連 接，所述的第二墊塊設(shè)置在所述的小壓板和工裝定位平臺(tái)之間；
[0022] 所述的工裝定位平臺(tái)通過(guò)所述的M6雙頭螺柱與彈性波浪墊圈、圓柱形第一墊塊 和T形M6滑塊依次連接。
[0023] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是題：
[0024] ?能有效的保證斜面的精度要求；
[0025] ?能有效的保證斜面的中心厚度；
[0026] 魯使產(chǎn)品的報(bào)廢率大大降低，成功率保持在90%以上。
【附圖說(shuō)明】
[0027] 圖1楔板和墊板以及工裝夾具的裝配位置關(guān)系示意圖；
[0028] 圖2為楔板的外形大小，斜面精度和中心厚度，單位mm，其中，a為主視圖，b為側(cè) 視圖。
[0029] 其中，玻璃墊板9和工件粘接平臺(tái)6為黃蠟粘接，其余部分為壓板和螺桿連接。
【具體實(shí)施方式】
[0030] 下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明，但不應(yīng)以此限制本實(shí)用新型 的保護(hù)范圍。
[0031] ①先以楔板的一大平面為基準(zhǔn)上三坐標(biāo)測(cè)出楔板的四個(gè)角落點(diǎn)的面形趨勢(shì)，并 做記錄.
[0032] ②建立超凈工作室和超凈工作臺(tái)，室內(nèi)溫度為20~26°C ±0. 1°C，濕度為50~ 70%，標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下超凈工作臺(tái)上進(jìn)行零件和同種材料工裝的粘合工作；
[0033] ③在超凈工作臺(tái)，工作人員帶上潔凈手套和口罩，對(duì)待用且符合要求的楔形板和 用于粘接楔板的同種材料的工裝玻璃墊板用光學(xué)玻璃擦拭布蘸上酒精進(jìn)行擦拭，在擦拭 過(guò)程中把楔形板放在IOOw的燈光下仔細(xì)觀看表面灰塵，直到無(wú)肉眼可見(jiàn)灰塵，擦拭完畢， 把擦拭好的楔形板放在玻璃器皿中，防止再次污染；
[0034] ④將楔板用高純度蠟粘接在玻璃墊板上，把玻璃墊板板面和楔板面用蠟進(jìn)行粘 合，粘合時(shí)使蠟充滿整個(gè)楔板和玻璃墊板底部確保之間無(wú)氣泡這樣可以確保加工時(shí)切削穩(wěn) 定高.
[0035] ⑤把步驟④所粘接好的楔板和玻璃墊板放上楔板粘接平臺(tái)6進(jìn)行第二次蠟粘接， 其中楔板在最上位置，玻璃墊板在中間，楔板粘接平臺(tái)在最下位置，如圖1所示；
[0036] ⑥將粘接好的楔板、玻璃墊板、楔板粘接平臺(tái)一起放置在工裝定位平臺(tái)5上，并用 小壓板8套入螺桿12,墊上墊塊10,用第一螺母7擰入進(jìn)行壓緊固定，構(gòu)成中間組件；
[0037] ⑦將四個(gè)T形M6滑塊1插入機(jī)床的T形槽中；
[0038] ⑧將M6雙頭螺柱2與T形M6滑塊1連接；
[0039] ⑨在機(jī)床工作臺(tái)擦拭干凈后，將圓柱形第一墊塊3穿過(guò)M6雙頭螺柱2放置在機(jī)床 工作臺(tái)上；
[0040] ⑩將彈性波浪墊圈4穿過(guò)M6雙頭螺柱2放置在圓柱形第一墊塊3上；
[0041] ?)If步驟⑥得到的中間組件，通過(guò)工裝定位平臺(tái)5上的四個(gè)IOmm的螺孔穿過(guò)M6 雙頭螺柱2放置在彈性波浪墊圈4上；
[0042] ?用第二螺母11壓緊工裝定位平臺(tái)5 ;
[0043] ?用機(jī)床探頭探測(cè)楔板的四個(gè)角點(diǎn)觀察其面形趨勢(shì)作好記錄并和步驟①的面形 趨勢(shì)進(jìn)行對(duì)比；
[0044] ?用扳手調(diào)節(jié)工裝定位平臺(tái)上的四個(gè)第二螺母11，使其有微小的位移，調(diào)節(jié)至 與步驟①的面形趨勢(shì)基本保持一致（〇. 〇〇2_以內(nèi)）；
[0045] ?對(duì)楔板進(jìn)行斜面加工，具體如下：
[0046] 第一步：用直徑IlOmm的銅基金剛石粗顆粒磨頭對(duì)斜面進(jìn)行粗磨，轉(zhuǎn)速3000，進(jìn) 給量300mm/mim,吃刀量0. 05mm,留0.1 mm進(jìn)行下道工序；
[0047] 第二步：用直徑IlOmm的銅基金剛石細(xì)顆粒磨頭對(duì)斜面進(jìn)行細(xì)磨，轉(zhuǎn)速4000,進(jìn) 給量 lOOmm/mim,吃刀量 0· Olmm ;
[0048] 第三步：機(jī)床探頭進(jìn)行自測(cè)，用平面對(duì)齊的方式（即基準(zhǔn)面與斜面對(duì)齊的夾角） 測(cè)量其斜度值
[0049] 第四步：對(duì)斜面斜度值進(jìn)行三坐標(biāo)精確測(cè)量：
[0050] 如果檢測(cè)符合圖紙要求則產(chǎn)品完成；
[0051] 檢測(cè)不符合圖紙要求則返回第二步進(jìn)行修磨。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種用于光刻機(jī)模板斜面加工的夾具工裝，其特征在于，包括凸臺(tái)狀的模板粘接平 臺(tái)（1)、具有螺孔的工裝定位平臺(tái)巧）、具有螺孔的小壓板（8)和圓柱形第一墊塊（3)、T形 M6滑塊（1)、M6雙頭螺柱（2)、彈性波浪墊圈（4)和第二墊塊（10); 所述的模板粘接平臺(tái)（6)通過(guò)第一螺母（7)、穿過(guò)螺柱（12)的小壓板（8)與工裝定位 平臺(tái)（5)固定連接，所述的第二墊塊（10)設(shè)置在所述的小壓板（8)和工裝定位平臺(tái)（5)之 間； 所述的工裝定位平臺(tái)（5)通過(guò)所述的M6雙頭螺柱（2)與彈性波浪墊圈（4)、圓柱形第 一墊塊做和T形M6滑塊（1)依次連接。
【專利摘要】一種用于光刻機(jī)楔板斜面加工的夾具工裝，包括凸臺(tái)狀的楔板粘接平臺(tái)、具有螺孔的工裝定位平臺(tái)、具有螺孔的小壓板、圓柱形第一墊塊、T形M6滑塊、M6雙頭螺柱、彈性波浪墊圈和第二墊塊；所述的楔板粘接平臺(tái)通過(guò)第一螺母、穿過(guò)螺柱的小壓板與工裝定位平臺(tái)固定連接，所述的第二墊塊設(shè)置在所述的小壓板和工裝定位平臺(tái)之間；所述的工裝定位平臺(tái)通過(guò)所述的M6雙頭螺柱與彈性波浪墊圈、圓柱形第一墊塊和T形M6滑塊依次連接。本實(shí)用新型有效的保證斜面的精度、中心厚度要求，使產(chǎn)品的報(bào)廢率大大降低，成功率保持在90％以上。
【IPC分類】G03F7-20
【公開號(hào)】CN204374610
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420868460
【發(fā)明人】笪永康, 黃晨浩, 劉天豪, 韓慶, 陳靜
【申請(qǐng)人】上?，F(xiàn)代先進(jìn)超精密制造中心有限公司
【公開日】2015年6月3日
【申請(qǐng)日】2014年12月31日