一種移動(dòng)式組合對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的光刻版的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及光刻機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種移動(dòng)式組合對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的光刻版。
【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)的光刻版對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記設(shè)計(jì)是單一的位置，無(wú)法進(jìn)行更改，但在實(shí)際應(yīng)用中，由于機(jī)臺(tái)的具體情況不同，設(shè)計(jì)的出發(fā)點(diǎn)不同，同一套光刻版的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記點(diǎn)可能不同，不同機(jī)器的光刻機(jī)的框架上的標(biāo)記的形狀和位置也可能不同，使光刻版的使用兼容性受到限制，生產(chǎn)時(shí)會(huì)經(jīng)常因?yàn)楣饪贪娴臉?biāo)記點(diǎn)無(wú)法與光刻機(jī)框架上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記點(diǎn)匹配而無(wú)法使用光刻版，這時(shí)就需要重新制作同一套光刻版使新的光刻版的對(duì)準(zhǔn)點(diǎn)與光刻機(jī)框架上的對(duì)準(zhǔn)點(diǎn)相匹配，重新制作光刻版不浪費(fèi)時(shí)間、人力和物力，管理繁瑣，同時(shí)由于對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記小對(duì)準(zhǔn)難度大，往往因?yàn)閷?duì)準(zhǔn)工作費(fèi)時(shí)而降低生產(chǎn)效率。
[0003]如CN 201945799 U公開了一種步進(jìn)式光刻機(jī)的光刻版，其特征在于:A、光刻版套準(zhǔn)標(biāo)記布局于光刻版BLOK區(qū)頂部的劃片線中，位于劃片線的交叉點(diǎn)上，不占用主管芯面積，提高芯片利用率；B、光刻版BLOK區(qū)的頂部具有反處理保護(hù)的疊加區(qū)，布陣列時(shí)不影響主管芯圖形；C、光刻版BLOK區(qū)具有反處理保護(hù)的標(biāo)記疊加區(qū)，布陣列時(shí)與BLOK區(qū)頂部的套準(zhǔn)標(biāo)記重疊，保證為下一次套刻保留完整的套準(zhǔn)標(biāo)記；D、光刻版BLOK區(qū)具有的疊加區(qū)，滿足步進(jìn)光刻機(jī)重疊布陣。由于光刻板上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記固定因而遇到不同機(jī)臺(tái)上標(biāo)記不匹配時(shí)就需要重新制作同一套光刻版使新的光刻版的對(duì)準(zhǔn)點(diǎn)與光刻機(jī)框架上的對(duì)準(zhǔn)點(diǎn)相匹配，重新制作光刻版不浪費(fèi)時(shí)間、人力和物力，管理繁瑣，同時(shí)由于對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記小對(duì)準(zhǔn)難度大，往往因?yàn)閷?duì)準(zhǔn)工作費(fèi)時(shí)而降低生產(chǎn)效率。
[0004]又如CN 103091974 A公開了一種光刻版結(jié)構(gòu)，其特征在于包括:外框區(qū)域以及圖案區(qū)域；其中，所述外框區(qū)域布置在所述圖案區(qū)域外周從而包圍所述圖案區(qū)域；所述圖案區(qū)域用于布置集成電路圖案；并且，所述外框區(qū)域的四個(gè)邊分別布置了一個(gè)或者多個(gè)撥片，而且，所述撥片能夠在其所布置的所述外框區(qū)域的邊的延伸方向上滑動(dòng)；而且，在每個(gè)撥片中在沿其所布置的所述外框區(qū)域的邊的延伸方向上放置了多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記圖案。其雖然能解決不同廠家光刻機(jī)在匹配時(shí)共用光刻版的標(biāo)記沖突問(wèn)題，但是由于對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記小，在滑片滑動(dòng)中對(duì)準(zhǔn)難度大，且費(fèi)時(shí)間不利于生產(chǎn)效率的提高。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]為克服現(xiàn)有技術(shù)中光刻版存在的兼容性差和對(duì)準(zhǔn)效率低的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種移動(dòng)式組合對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的光刻版。其包括光刻版框架1，位于光刻版框架I正面的產(chǎn)品區(qū)域)，在光刻版框架I正面的偏上部開有第一滑槽31，第一滑槽31內(nèi)有與之配套的第一滑塊41，第一滑塊41上有第一標(biāo)記511和第二標(biāo)記512。進(jìn)一步，還包括第二滑槽32，第一滑槽31和第二滑槽32對(duì)稱分布在光刻版框架I正面的偏上部，第二滑槽32內(nèi)有與之配套的第二滑塊42，第二滑塊42上有第三標(biāo)記521和第四標(biāo)記522。
[0006]更進(jìn)一步，第一滑塊41的背面設(shè)置有第一移動(dòng)撥片71，第一移動(dòng)撥片71固定在第一滑塊41的背面，其表面有粗糙的紋路。第二滑塊42的背面設(shè)置有第二移動(dòng)撥片72，第二移動(dòng)撥片72固定在第二滑塊42的背面，其表面有粗糙的紋路。在光刻版框架I背面的偏上部，第一滑槽31的上方開設(shè)有第一卡槽61，第一卡槽61上有卡齒。第二滑槽32的上方開設(shè)有第二卡槽62，第二卡槽62上有卡齒。
[0007]優(yōu)選地，第一滑塊41上有一第一卡塊811，第一卡塊811與第一卡槽61上的卡齒緊扣。第二滑塊42上有一第二卡塊821，第二卡塊821與第二卡槽62上的卡齒緊扣。所述第一滑塊41有多個(gè)第一卡塊811，各卡塊均勻分布在第一滑塊41背面，且每個(gè)卡塊均與第一卡槽61上的卡齒緊扣。所述第二滑塊42有多個(gè)卡塊，各卡塊均勻分布在第二滑塊42背面，且每個(gè)卡塊均與第二卡槽62上的卡齒緊扣。
[0008]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:提出了靈活使用多種對(duì)準(zhǔn)圖形的可行性，可以針對(duì)同一套光刻版，根據(jù)實(shí)際需要切換在不同的光刻機(jī)之間兼容使用，不必因僅改變對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記而要耗費(fèi)成本制作第二套光刻版，達(dá)到降本增效的目的。
【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1為光刻版正面結(jié)構(gòu)示意圖
[0010]圖2為光刻版背面結(jié)構(gòu)示意圖
[0011]圖3為本實(shí)用新型光刻版背面結(jié)構(gòu)中多個(gè)卡塊的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]以下結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
[0013]本實(shí)用新型的第一實(shí)施方式提供了一種移動(dòng)式組合對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的光刻版，參見(jiàn)圖1，該光刻版包括光刻版框架1，位于光刻版框架I正面的產(chǎn)品區(qū)域2，在光刻版框架I正面的偏上部開有第一滑槽31，第一滑槽31內(nèi)有與之配套的第一滑塊41，第一滑塊41上至少有一個(gè)標(biāo)記，附圖1中示出的實(shí)施方案中，滑塊4上有第一標(biāo)記511和第二標(biāo)記512。
[0014]更為優(yōu)選地，上述滑槽3為兩個(gè)，如圖1中所示，包括第一滑槽31和第二滑槽32，第一滑槽31和第二滑槽32對(duì)稱分布在光刻版框架I正面的偏上部，最優(yōu)地，沿光刻版框架I正面的中軸線(圖1中的y軸)對(duì)稱分布。第二滑槽32內(nèi)也有與之配套的第二滑塊42，第二滑塊42上至少有一個(gè)標(biāo)記，附圖1中示出的實(shí)施方案中，滑塊4上有第三標(biāo)記521和第四標(biāo)記522。所述標(biāo)記可以是十字、星形、方格、圓點(diǎn)，及上述圖形的陰文或陽(yáng)文形式。
[0015]此外，可根據(jù)需要，此滑塊上可設(shè)計(jì)一種及多種標(biāo)記圖形，在實(shí)際應(yīng)用中，依照工廠機(jī)臺(tái)的機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)MVS的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記點(diǎn)，進(jìn)行移位。進(jìn)一步參見(jiàn)圖2，附圖2為本實(shí)用新型提供的光刻版的背面結(jié)構(gòu)示意圖。第一滑塊41的背面設(shè)置有第一移動(dòng)撥片71，第一移動(dòng)撥片71固定在第一滑塊41的背面，其表面有粗糙的紋路，使用時(shí)，可按壓在第一移動(dòng)撥片71的表面紋路上，推動(dòng)其左右移動(dòng)。
[0016]在光刻版框架I背面的偏上部，第一滑