曝光用的定位夾具及其曝光機的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及曝光設(shè)備，尤其涉及一種曝光用的定位夾具及其曝光機。
【背景技術(shù)】
[0002]目前行業(yè)基本使用手動曝光機或半自動曝光機，使用手動曝光機時，人工對片對位精度不穩(wěn)定。采用一般攝像頭對位裝置的半自動曝光機對位精度偏差大(多±0.02mm)。采用高精度攝像頭對位裝置±0.0lmm)的自動曝光機價格又太高。此瓶頸在很大程度上制約了國內(nèi)精密產(chǎn)品的批量制作。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的在于為克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，而提供一種曝光用的定位夾具及其曝光機，以提供低成本而精度高的對位方式。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案:
[0005]曝光用的定位夾具，包括上玻璃和下玻璃，上玻璃設(shè)有上菲林，下玻璃設(shè)有下菲林，上菲林與下菲林圖案一致，上玻璃上固定有多于一個母銷釘，下玻璃固定有對應(yīng)母銷釘?shù)墓N釘，公銷釘?shù)耐鈴降扔谀镐N釘?shù)目變?nèi)徑；進行曝光時，公銷釘插入母銷釘?shù)目變?nèi)，上菲林與下菲林重合，上玻璃與下玻璃將工件夾緊固定，工件位于上菲林與下菲林之間。
[0006]本實用新型還公開了一種曝光機，包括機臺以及上述的定位夾具，上玻璃放置于一上框上，上框固定于機臺上，機臺內(nèi)設(shè)有承載組件，下玻璃放置于承載組件上；機臺內(nèi)還設(shè)有用于驅(qū)動下玻璃在上玻璃下方上下運動的垂直驅(qū)動組件。
[0007]進一步地，承載組件包括下框和支撐板，下框兩側(cè)固定有支撐條，支撐條和下框可相對支撐板上下運動，下玻璃放置于下框上。
[0008]進一步地，下框上設(shè)有內(nèi)密封環(huán)和外密封環(huán)，下玻璃下表面與內(nèi)密封環(huán)接觸，下框的外密封環(huán)與內(nèi)密封環(huán)之間設(shè)有與外部真空泵連通的用于抽真空的氣孔；在進行曝光時，外密封環(huán)與上玻璃下表面接觸，上玻璃、下玻璃、內(nèi)密封環(huán)、下框和外密封環(huán)之間圍成一空腔，空腔被抽真空而形成負壓，上玻璃與下玻璃在外界大氣壓力的作用下夾緊工件。
[0009]進一步地，下玻璃下方設(shè)有用于固定下玻璃的真空吸盤。
[0010]進一步地，垂直驅(qū)動組件包括絲杠、用于驅(qū)動絲杠轉(zhuǎn)動的絲杠電機以及用于驅(qū)動下玻璃上下運動的頂桿，頂桿下端固定在一水平板上，絲杠的螺母固定在水平板上；絲杠電機帶動絲杠轉(zhuǎn)動時，絲杠的螺母帶動水平板和頂桿上下運動。
[0011]進一步地，垂直驅(qū)動組件還包括固定在機臺內(nèi)的頂板，頂板上固定有導(dǎo)桿，導(dǎo)桿貫穿水平板，頂桿貫穿頂板。
[0012]進一步地，絲杠多于I個，絲杠電機通過一同步帶驅(qū)動不同的絲杠同步轉(zhuǎn)動。
[0013]進一步地，曝光機還包括用于承載組件和下玻璃在水平方向往復(fù)運動的水平驅(qū)動組件，水平驅(qū)動組件包括水平電機和皮帶，皮帶套在兩個皮帶輪上，其中一個皮帶輪與水平電機輸出軸同步轉(zhuǎn)動，承載組件通過一連接臂固定連接皮帶。
[0014]本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的有益效果是:
[0015]本實用新型通過公銷釘和母銷釘實現(xiàn)對位，公銷釘與母銷釘準(zhǔn)確插合時上下菲林則準(zhǔn)確對位，整個對位結(jié)構(gòu)不需要昂貴的攝像機，達到了成本低精度高的效果。
【附圖說明】
[0016]圖1為上玻璃與下玻璃立體圖；
[0017]圖2為下玻璃相對于上玻璃的移動示意圖；
[0018]圖3為上玻璃、母銷釘、下玻璃、公銷釘?shù)难b配剖視圖；
[0019]圖4為上玻璃與下玻璃夾緊時局部剖視圖；
[0020]圖5為下玻璃與承載組件的裝配立體圖；
[0021]圖6為垂直驅(qū)動組件的絲杠與頂桿連接示意圖；
[0022]圖7為垂直驅(qū)動組件的絲杠電機與絲杠連接示意圖；
[0023]圖8為水平驅(qū)動組件俯視示意圖。
【具體實施方式】
[0024]為了更充分理解本實用新型的技術(shù)內(nèi)容，下面結(jié)合具體實施例對本實用新型的技術(shù)方案作進一步介紹和說明。
[0025]本實用新型實施例的具體結(jié)構(gòu)如圖1至圖8所示。
[0026]曝光用的定位夾具包括上玻璃10和下玻璃20。上玻璃10設(shè)有上菲林11，下玻璃20設(shè)有下菲林21。上菲林11與下菲林21圖案一致，上玻璃10上固定有2個母銷釘12，下玻璃20固定有對應(yīng)母銷釘12的公銷釘22，公銷釘22的外徑等于母銷釘12的孔內(nèi)徑。
[0027]在制作公銷釘22和母銷釘12時，公銷釘22與母銷釘12的定位精度控制在±0.005mm之內(nèi)。進行曝光時，公銷釘22插入母銷釘12的孔內(nèi)，上菲林11與下菲林21重合(重合精度控制在±0.0lmm之內(nèi))，上玻璃10與下玻璃20將工件夾緊固定，工件位于上菲林11與下菲林21之間。
[0028]本實施例的曝光機包括機臺以及上述的定位夾具。上玻璃10放置于上框30上，而上框30固定于機臺上。機臺內(nèi)設(shè)有承載組件40，下玻璃20放置于承載組件40上。機臺內(nèi)還設(shè)有用于驅(qū)動下玻璃20在上玻璃10下方上下運動的垂直驅(qū)動組件。
[0029]承載組件40包括下框41和支撐板43。下框41兩側(cè)固定有支撐條42，支撐條42和下框41可相對支撐板43上下運動。下玻璃20放置于下框41上。下框41上設(shè)有內(nèi)密封環(huán)45和外密封環(huán)44。下玻璃20下表面與內(nèi)密封環(huán)45接觸，下框41的外密封環(huán)44與內(nèi)密封環(huán)45之間設(shè)有與外部真空泵連通的用于抽真空的氣孔411。在進行曝光時，外密封環(huán)44與上玻璃10下表面接觸，上玻璃10、下玻璃20、內(nèi)密封環(huán)45、下框41和外密封環(huán)44之間圍成空腔47，空腔47被抽真空而形成負壓，上玻璃10與下玻璃20在外界大氣壓力的作用下夾緊工件。
[0030]此外，下玻璃20下方設(shè)有用于固定下玻璃20的真空吸盤46。
[0031]垂直驅(qū)動組件包括絲杠53、用于驅(qū)動絲杠53轉(zhuǎn)動的絲杠電機56、用于驅(qū)動下玻璃20上下運動的頂桿51以及固定在機臺內(nèi)的頂板52。頂桿51下端固定在水平板55上，絲杠53的螺母531固定在水平板55上。頂板52上固定有導(dǎo)桿54，導(dǎo)桿54貫穿水平板55，頂桿51貫穿頂板52。絲杠電機56帶動絲杠53轉(zhuǎn)動時，絲杠53的螺母531帶動水平板55和頂桿51上下運動。頂桿51頂起的是支撐條42，支撐條42抬起下框41和下玻璃20，而頂桿51是貫穿支撐板43的，頂桿51的上下移動不會帶動支撐板43運動。本實施例中，如圖7所示，絲杠53有4個，絲杠電機56通過同步帶57驅(qū)動不同的絲杠53同步轉(zhuǎn)動。
[0032]曝光機還包括用于承載組件40和下玻璃20在水平方向往復(fù)運動的水平驅(qū)動組件。水平驅(qū)動組件包括水平電機和皮帶62，皮帶62套在兩個皮帶輪61上，其中一個皮帶輪61與水平電機輸出軸同步轉(zhuǎn)動，承載組件40的支撐板43通過連接臂431固定連接皮帶
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[0033]以上陳述僅以實施例來進一步說明本實用新型的技術(shù)內(nèi)容，以便于讀者更容易理解，但不代表本實用新型的實施方式僅限于此，任何依本實用新型所做的技術(shù)延伸或再創(chuàng)造，均受本實用新型的保護。
【主權(quán)項】
1.曝光用的定位夾具，包括上玻璃和下玻璃，上玻璃設(shè)有上菲林，下玻璃設(shè)有下菲林，上菲林與下菲林大小一致，其特征在于，所述上玻璃上固定有多于一個母銷釘，下玻璃固定有對應(yīng)所述母銷釘?shù)墓N釘，公銷釘?shù)耐鈴降扔谀镐N釘?shù)目變?nèi)徑；進行曝光時，公銷釘插入母銷釘?shù)目變?nèi)，上菲林與下菲林重合，上玻璃與下玻璃將工件夾緊固定，工件位于上菲林與下菲林之間。
2.—種曝光機，包括機臺，其特征在于，還包括權(quán)利要求1所述的定位夾具，上玻璃放置于一上框上，上框固定于機臺上，機臺內(nèi)設(shè)有承載組件，下玻璃放置于承載組件上；機臺內(nèi)還設(shè)有用于驅(qū)動下玻璃在上玻璃下方上下運動的垂直驅(qū)動組件。
3.如權(quán)利要求2所述的曝光機，其特征在于，所述承載組件包括下框和支撐板，下框兩側(cè)固定有支撐條，支撐條和下框可相對支撐板上下運動，所述下玻璃放置于下框上。
4.如權(quán)利要求3所述的曝光機，其特征在于，所述下框上設(shè)有內(nèi)密封環(huán)和外密封環(huán)，下玻璃下表面與內(nèi)密封環(huán)接觸，下框的外密封環(huán)與內(nèi)密封環(huán)之間設(shè)有與外部真空泵連通的用于抽真空的氣孔；在進行曝光時，外密封環(huán)與上玻璃下表面接觸，上玻璃、下玻璃、內(nèi)密封環(huán)、下框和外密封環(huán)之間圍成一空腔，空腔被抽真空而形成負壓，上玻璃與下玻璃在外界大氣壓力的作用下夾緊工件。
5.如權(quán)利要求3所述的曝光機，其特征在于，所述下玻璃下方設(shè)有用于固定下玻璃的真空吸盤。
6.如權(quán)利要求2所述的曝光機，其特征在于，所述垂直驅(qū)動組件包括絲杠、用于驅(qū)動絲杠轉(zhuǎn)動的絲杠電機以及用于驅(qū)動下玻璃上下運動的頂桿，頂桿下端固定在一水平板上，絲杠的螺母固定在水平板上；絲杠電機帶動絲杠轉(zhuǎn)動時，絲杠的螺母帶動水平板和頂桿上下運動。
7.如權(quán)利要求6所述的曝光機，其特征在于，所述垂直驅(qū)動組件還包括固定在機臺內(nèi)的頂板，頂板上固定有導(dǎo)桿，導(dǎo)桿貫穿水平板，頂桿貫穿頂板。
8.如權(quán)利要求6所述的曝光機，其特征在于，所述絲杠多于I個，絲杠電機通過一同步帶驅(qū)動不同的絲杠同步轉(zhuǎn)動。
9.如權(quán)利要求2所述的曝光機，其特征在于，還包括用于承載組件和下玻璃在水平方向往復(fù)運動的水平驅(qū)動組件，所述水平驅(qū)動組件包括水平電機和皮帶，皮帶套在兩個皮帶輪上，其中一個皮帶輪與水平電機輸出軸同步轉(zhuǎn)動，承載組件通過一連接臂固定連接皮帶。
【專利摘要】本實用新型涉及一種曝光用的定位夾具及其曝光機。定位夾具包括上玻璃和下玻璃。上玻璃設(shè)有上菲林，下玻璃設(shè)有下菲林，上菲林與下菲林圖案一致。上玻璃上固定有多于一個母銷釘，下玻璃固定有對應(yīng)母銷釘?shù)墓N釘，公銷釘?shù)耐鈴降扔谀镐N釘?shù)目變?nèi)徑。進行曝光時，公銷釘插入母銷釘?shù)目變?nèi)，上菲林與下菲林重合，上玻璃與下玻璃將工件夾緊固定，工件位于上菲林與下菲林之間。曝光機包括機臺和定位夾具。本實用新型通過公銷釘和母銷釘實現(xiàn)對位，公銷釘與母銷釘準(zhǔn)確插合時上下菲林則準(zhǔn)確對位，整個對位結(jié)構(gòu)不需要昂貴的攝像機，達到了成本低精度高的效果。
【IPC分類】G03F7-20, G03F9-00
【公開號】CN204462638
【申請?zhí)枴緾N201520065300
【發(fā)明人】連大學(xué)
【申請人】深圳市卓力達電子有限公司
【公開日】2015年7月8日
【申請日】2015年1月29日