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一種玻璃光罩針孔類缺陷修補加溫裝置的制造方法

文檔序號:8770698閱讀:499來源:國知局
一種玻璃光罩針孔類缺陷修補加溫裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及熱修補技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種玻璃光罩針孔類缺陷修補加溫
目.0
【背景技術(shù)】
[0002]玻璃光罩,也稱光罩、光掩模版、MASK、光學(xué)玻璃,常見的玻璃光罩有鉻版、干版等,是指用高品質(zhì)石英玻璃或蘇打玻璃作為襯底,在其上面鍍上一層金屬鉻和感光膠,成為一種感光材料,把已設(shè)計好的電路圖形通過激光設(shè)備精密定位曝光在感光膠上,被曝光的區(qū)域會被顯影出來,經(jīng)過蝕刻、脫膜后在金屬鉻上形成電路圖形的產(chǎn)品。
[0003]但是,玻璃光罩在制造生產(chǎn)環(huán)節(jié)中會產(chǎn)生各類缺陷,其中針孔類缺陷很常見,通常用油墨或金屬膠進行修補,修補材料固化需要加溫到一定的溫度,才不容易擦掉或脫落。
[0004]在針孔類缺陷處理過程中通常把玻璃光罩整版放進烤箱進行加熱,這時,常有灰塵和顆粒落在玻璃光罩上,經(jīng)過烤箱加熱后,玻璃光罩上的灰塵和顆粒很難清洗干凈,此夕卜,這種烤箱加熱方法的加熱和散熱時間較長,溫度很難按工藝要求控制,且消耗大量的電會K。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為此,本實用新型所要解決的技術(shù)問題是:提供一種玻璃光罩針孔類缺陷修補加溫裝置,以克服因玻璃光罩上落有灰塵和顆粒整版加熱之后清洗困難的缺點,同時還便于對加溫工藝溫度的控制,提高了修補的質(zhì)量,以及降低了電能大量的消耗。
[0006]于是,本實用新型提供了一種玻璃光罩針孔類缺陷修補加溫裝置,包括:熱風(fēng)槍加溫器、用于固定所述熱風(fēng)槍加溫器并可升降的氣缸裝置、以及用于控制所述熱風(fēng)槍加溫器的溫度控制電路,所述溫度控制電路包括溫度控制器。
[0007]其中,所述氣缸裝置包括氣動電磁閥和氣缸,所述氣缸裝置用于控制所述熱風(fēng)槍加溫器升降。
[0008]所述熱風(fēng)槍加溫器包括電熱絲和溫度探頭,所述電熱絲和所述溫度探頭都與所述溫度控制電路連接。
[0009]上述溫度控制電路還包括一連接于所述溫度控制器與市電之間的聲光報警器,當(dāng)所述熱風(fēng)槍加溫器溫度超過所述溫度控制器預(yù)設(shè)溫度時,所述溫度控制器通知所述聲光報警器報警。
[0010]本實用新型所述一種玻璃光罩針孔類缺陷修補加溫裝置,通過使用熱風(fēng)槍加溫器加溫、溫控電路對加溫溫度按工藝要求進行控制,使得對玻璃光罩針孔類缺陷修補實現(xiàn)了局部的加溫方式,避免了原有生產(chǎn)工藝中所述因局部修補而玻璃光罩整版加溫的缺點,克服了因玻璃光罩整版加溫和散熱時間長以及影響玻璃光罩整版清洗困難的缺點,同時,由于使用了溫度控制電路,使得熱風(fēng)槍加溫器加溫的工藝時間和溫度、以及溫度報警等加溫參數(shù)都能調(diào)節(jié)設(shè)置,實現(xiàn)了玻璃光罩針孔類缺陷修補加溫裝置的智能控制。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型實施例所述一種玻璃光罩針孔類缺陷修補加溫裝置框圖。
[0012]圖2為本實用新型實施例所述一種玻璃光罩針孔類缺陷修補加溫裝置具體實現(xiàn)電路圖。
[0013]圖3為本實用新型實施例所述一種玻璃光罩針孔類缺陷修補加溫裝置氣缸裝置控制圖。
【具體實施方式】
[0014]下面,結(jié)合附圖對本實用新型進行詳細描述。
[0015]如圖1所示,本實施例提供了一種玻璃光罩針孔類缺陷修補加溫裝置,包括:熱風(fēng)槍加溫器60、用于固定所述熱風(fēng)槍加溫器60并可升降的氣缸裝置70、以及用于控制所述熱風(fēng)槍加溫器60的溫度控制電路,所述溫度控制電路包括溫度控制器A80和溫度控制器B90。該玻璃光罩針孔類缺陷修補加溫裝置還包括電源電路30、壓縮空氣壓力開關(guān)40、轉(zhuǎn)換控制電路50和聲光報警器100。其中,電源電路30與壓縮空氣壓力開關(guān)40連接,壓縮空氣壓力開關(guān)40與轉(zhuǎn)換控制電路50連接,轉(zhuǎn)換控制電路50分別與溫度控制器A80、溫度控制器B90、熱風(fēng)槍加溫器60和氣缸裝置70連接,通過轉(zhuǎn)換控制電路50可將熱風(fēng)槍加溫器60和氣缸裝置70切換到溫度控制器A80或溫度控制器B90連接,聲光報警器100分別與溫度控制器A80、溫度控制器B90連接,達到溫度控制器A80或溫度控制器B90設(shè)置條件時聲光報警器100報警。
[0016]如圖2所示,空氣開關(guān)QFl與市電連接,并與壓力開關(guān)41的常開觸點串聯(lián)連接,為后續(xù)電路供電,電源指示燈HLl并聯(lián)連接到電源;停止按鈕SB2與第七繼電器KM7的常開觸點并聯(lián)連接,與第七繼電器KM7的線圈串聯(lián)連接,并且時間繼電器KTl的線圈與第七繼電器KM7的線圈并聯(lián),并最終與時間繼電器KTl的延時斷開觸點并聯(lián)連接到電源上;第一繼電器KMl的線圈、第二繼電器KM2的線圈、第三繼電器KM3的線圈、第四繼電器KM4的線圈互相并聯(lián),并與轉(zhuǎn)換開關(guān)Kl串聯(lián),并最終并聯(lián)到電源上;氣缸下降按鈕SB3與第五繼電器KM5的線圈串聯(lián),并最終并聯(lián)到電源上;氣缸下降按鈕SB4與第六繼電器KM6的線圈串聯(lián),并最終并聯(lián)到電源上;聲光報警器100分別與溫度控制器A80和溫度控制器B90串聯(lián)連接,并最終串聯(lián)到電源上;熱風(fēng)槍加溫器包括電熱絲Rl和溫度探頭TE1,電熱絲Rl與固態(tài)繼電器SSR的輸出端連接,并串聯(lián)到電源上,固態(tài)繼電器SSR的輸入端與第一繼電器KMl的常開觸點串聯(lián)連接到溫度控制器A80,固態(tài)繼電器SSR的輸入端與第二繼電器KM2的常開觸點串聯(lián)連接到溫度控制器B90 ;熱風(fēng)槍加溫器溫度探頭TEl與第一繼電器KMl的常開觸點串聯(lián)連接到溫度控制器A80,熱風(fēng)槍加溫器溫度探頭TEl與第二繼電器KM2的常開觸點串聯(lián)連接到溫度控制器B90 ;啟動按鍵SBl和第七繼電器KM7的常開觸點并聯(lián),啟動按鍵SBl與第三繼電器KM3的常開觸點串聯(lián)并連接到溫度控制器A80,啟動按鍵SBl與第四繼電器KM4的常開觸點串聯(lián)并連接到溫度控制器B90。
[0017]如圖3所示,壓縮空氣分別接通壓力開關(guān)41、流量調(diào)節(jié)閥21和氣動電磁閥71,流量調(diào)節(jié)閥21接通到熱風(fēng)槍加溫器61,氣動電磁閥71接通到氣缸72,氣缸72連接固定支架73帶動熱風(fēng)槍加溫器61升降。
[0018]如圖2所示,本實施例給出了溫度控制電路的具體實現(xiàn)方式,此電路包括兩個溫度控制電路,溫度控制電路由轉(zhuǎn)換開關(guān)Kl進行選擇,每個溫度控制電路控制不同的工藝溫度,適合用于不同的修補材料;其中溫度控制器A80適用于金屬膠類修補劑的加溫,溫度控制器B90適用于油墨類修補劑的加溫。下面以溫度控制器A80所在回路的工作理原進行說明。
[0019]在實際應(yīng)用中,如圖2至圖3所示,合上空氣開關(guān)QFl,當(dāng)壓縮空氣壓力達到設(shè)定值時,壓力開關(guān)41的常開觸點閉合,電路電源接通,電源指示燈HLl點亮;將轉(zhuǎn)換開關(guān)Kl轉(zhuǎn)到位置KlO時,第一繼電器KMl的線圈和第三繼電器KM3的線圈得電,第一繼電器KMl的常開觸點和第三繼電器KM3的常開觸點閉合,此時,溫度控制器A80與固態(tài)繼電器SSR、溫度探頭TEl和啟動按鈕SBl接通;按下氣缸72下降按鈕SB3,第五繼電器KM5的線圈得電,使氣動電磁閥71動作,氣缸72帶動熱風(fēng)槍加溫器61下降接近到玻璃光罩修補點,按下啟動按鈕SBl,溫度控制器A80通過固態(tài)繼電器SSR輸入端控制熱風(fēng)槍加溫器61電熱絲Rl溫度上升,溫度探頭TEl將檢測到的溫度信號實時傳遞給溫度控制器A80,溫度控制器A80根據(jù)預(yù)設(shè)的溫度值,控制電熱絲Rl的通斷電,當(dāng)溫度低于設(shè)定值時,溫度控制器A80控制固態(tài)繼電器SSR輸入端使電熱絲Rl通電加溫,當(dāng)溫度高于設(shè)定值時,溫度控制器A80控制固態(tài)繼電器SSR輸入端使電熱絲Rl斷電停止加溫;同時,壓縮空氣氣流通過流量調(diào)節(jié)閥21到熱風(fēng)槍加溫器61加溫,形成的熱氣流加溫玻璃光罩修補點;當(dāng)加溫溫度超過設(shè)定溫度或者加溫時間超過設(shè)定時間值時,所述溫度控制器A80通知聲光報警器100報警;此時,加溫過程結(jié)束,修補完成;按下氣缸72上升按鈕SB4,第六繼電器KM6的線圈得電,使氣動電磁閥71動作,氣缸72帶動熱風(fēng)槍加溫器61上升。
[0020]溫度控制器B90的連接方式及其工作原理與溫度控制器A80類同,如圖2至圖3所述,在此不再重復(fù)文字和工作原理描述。
[0021]綜上所述,本實用新型所述一種玻璃光罩針孔類缺陷修補加溫裝置,通過使用熱風(fēng)槍加溫器61加溫、溫控電路對加溫溫度按工藝要求進行控制,使得對玻璃光罩針孔類缺陷修補實現(xiàn)了局部的加溫方式,避免了原有生產(chǎn)工藝中所述因局部修補而玻璃光罩整版加溫的缺點,克服了因玻璃光罩整版加溫和散熱時間長以及影響玻璃光罩整版清洗困難的缺點,同時,由于使用了溫度控制電路,使得熱風(fēng)槍加溫器加溫的工藝時間和溫度、以及溫度報警等加溫參數(shù)都能調(diào)節(jié)設(shè)置,實現(xiàn)了玻璃光罩針孔類缺陷修補加溫裝置的智能控制。
[0022]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已,并不用以限制本實用新型,凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進等,均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種玻璃光罩針孔類缺陷修補加溫裝置,其特征在于,包括:熱風(fēng)槍加溫器、用于固定所述熱風(fēng)槍加溫器并可升降的氣缸裝置、以及用于控制所述熱風(fēng)槍加溫器的溫度控制電路,所述溫度控制電路包括溫度控制器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃光罩針孔類缺陷修補加溫裝置,其特征在于,所述氣缸裝置包括氣動電磁閥和氣缸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃光罩針孔類缺陷修補加溫裝置,其特征在于,所述熱風(fēng)槍加溫器包括電熱絲和溫度探頭,所述電熱絲和所述溫度探頭都與所述溫度控制電路連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃光罩針孔類缺陷修補加溫裝置,其特征在于,所述溫度控制電路還包括一連接于所述溫度控制器與市電之間的聲光報警器,當(dāng)所述熱風(fēng)槍加溫器溫度超過所述溫度控制器預(yù)設(shè)溫度時,所述溫度控制器通知所述聲光報警器報警。
【專利摘要】本實用新型提供了一種玻璃光罩針孔類缺陷修補加溫裝置,包括:熱風(fēng)槍加溫器、用于固定熱風(fēng)槍加溫器并可升降的氣缸裝置和用于控制熱風(fēng)槍加溫器的溫度控制電路。本實用新型所述玻璃光罩針孔類缺陷修補加溫裝置,通過使用熱風(fēng)槍加溫器、溫控電路對加溫溫度按工藝要求進行控制,使得對玻璃光罩針孔類缺陷修補實現(xiàn)了局部的加溫方式,避免了原有生產(chǎn)工藝中所述因局部修補而玻璃光罩整版加溫的缺點,克服了因玻璃光罩整版加溫和散熱時間長以及影響玻璃光罩整版清洗困難的缺點,同時,由于使用了溫度控制電路,使得熱風(fēng)槍加溫器加溫的工藝時間和溫度、以及溫度報警等加溫參數(shù)都能調(diào)節(jié)設(shè)置,實現(xiàn)了玻璃光罩針孔類缺陷修補加溫裝置的智能控制。
【IPC分類】G03F1-72
【公開號】CN204479907
【申請?zhí)枴緾N201520198714
【發(fā)明人】不公告發(fā)明人
【申請人】廣州市仕元光電有限公司
【公開日】2015年7月15日
【申請日】2015年4月3日
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