Oled屏體解析用顯微裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種觀察OLED屏體上TFT是否異常的OLED屏體解析用顯微裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]為了觀察OLED屏體上某個(gè)不良點(diǎn)其背面相同位置的TFT是否異常，常用的不良解析手法為在不良點(diǎn)的背面使用mark筆標(biāo)記，然后再放到顯微鏡下尋找；然而通常的缺陷大小可能是幾個(gè)微米，而mark筆的標(biāo)記誤差一般大于2000微米，因此效率很低且誤差較大。
[0003]雖然金相顯微鏡是一種已經(jīng)很成熟的技術(shù)，但是鑒于OLED屏體自發(fā)光的特點(diǎn)，沒有專用的顯微鏡技術(shù)可同時(shí)觀察OLED屏體發(fā)光側(cè)和背光側(cè)，從而導(dǎo)致不良解析的過程效率低下，誤差較大。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]基于此，有必要提供一種不良解析時(shí)可在顯微鏡下同時(shí)觀察OLED屏體同一位置的兩側(cè)的顯微裝置。
[0005]一種OLED屏體解析用顯微裝置，包括具有鏤空的載物臺(tái)、彼此獨(dú)立的分置于所述載物臺(tái)兩側(cè)的第一成像系統(tǒng)和第二成像系統(tǒng)，其中所述第一成像系統(tǒng)包括第一物鏡和置于所述第一物鏡的光學(xué)路徑上的第一圖像傳感單元，所述第二成像系統(tǒng)包括第二物鏡和置于所述第二物鏡的光學(xué)路徑上的第二圖像傳感單元，第一物鏡與第二物鏡共軸設(shè)置，分置于所述載物臺(tái)兩側(cè)，且第一物鏡與第二物鏡之間由于所述鏤空無遮擋，所述OLED屏體解析用顯微裝置還包括分別與所述第一圖像傳感單元和第二圖像傳感單元連接的顯示器。
[0006]上述OLED屏體解析用顯微裝置，載物臺(tái)兩側(cè)分別設(shè)置獨(dú)立的成像系統(tǒng)，兩套成像系統(tǒng)的兩個(gè)物鏡之間無遮擋，且兩個(gè)物鏡共軸設(shè)置，從而能同時(shí)從兩側(cè)對(duì)屏體的同一位置進(jìn)行觀察，從而顯著提高解析效率，縮短異常反饋時(shí)間，降低生產(chǎn)成本。
[0007]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一成像系統(tǒng)具有第一光學(xué)單元，所述第一光學(xué)單元包括第一照明光源和UV光源；所述第二成像系統(tǒng)具有第二光學(xué)單元，所述第二光學(xué)單元包括第二照明光源。
[0008]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一照明光源為鹵素?zé)艋騆ED燈，所述UV光源為汞燈。
[0009]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一光學(xué)單元還包括控制所述第一照明光源與UV光源的開啟與切換的光源切換裝置。
[0010]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第二照明光源為鹵素?zé)艋騆ED燈。
[0011 ] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一圖像傳感單元和第二圖像傳感單元均通過數(shù)據(jù)線與所述顯示器連接。
[0012]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一成像系統(tǒng)還包括與第一物鏡之間具有光學(xué)路徑的第一目鏡，所述第二成像系統(tǒng)還包括與第二物鏡之間具有光學(xué)路徑的第二目鏡。
[0013]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述OLED屏體解析用顯微裝置還包括支架，所述載物臺(tái)安裝于所述支架上且所述載物臺(tái)可以沿X、Y及Z軸方向移動(dòng)。
【附圖說明】
[0014]圖1為本實(shí)用新型的OLED屏體解析用顯微裝置的系統(tǒng)組成圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】做詳細(xì)的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本實(shí)用新型。但是本實(shí)用新型能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實(shí)用新型內(nèi)涵的情況下做類似改進(jìn)，因此本實(shí)用新型不受下面公開的具體實(shí)施例的限制。
[0016]需要說明的是，當(dāng)元件被稱為“固定于”另一個(gè)元件，它可以直接在另一個(gè)元件上或者也可以存在居中的元件。當(dāng)一個(gè)元件被認(rèn)為是“連接”另一個(gè)元件，它可以是直接連接到另一個(gè)元件或者可能同時(shí)存在居中元件。
[0017]除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語與屬于本實(shí)用新型的技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在本實(shí)用新型的說明書中所使用的術(shù)語只是為了描述具體的實(shí)施例的目的，不是旨在于限制本實(shí)用新型。本文所使用的術(shù)語“及/或”包括一個(gè)或多個(gè)相關(guān)的所列項(xiàng)目的任意的和所有的組合。
[0018]下面結(jié)合附圖，說明本實(shí)用新型的較佳實(shí)施方式。
[0019]請(qǐng)參考圖1，本實(shí)用新型的OLED屏體解析用顯微裝置100，包括支架110、安裝于支架110上的載物臺(tái)120、分置于載物臺(tái)120兩側(cè)的第一成像系統(tǒng)和第二成像系統(tǒng)。進(jìn)行OLED屏體不良解析時(shí)，第一成像系統(tǒng)和第二成像系統(tǒng)可分別從OLED屏體的兩側(cè)對(duì)同一位置進(jìn)行觀察。下面詳細(xì)描述。
[0020]支架110用來支撐載物臺(tái)120，其亦作為第一成像系統(tǒng)和第二成像系統(tǒng)的支架。如此，OLED屏體解析用顯微裝置100可構(gòu)成一個(gè)整體性的裝置，能夠根據(jù)需要方便地轉(zhuǎn)移作業(yè)地點(diǎn)。
[0021]載物臺(tái)120安裝于支架110上，且能夠沿X、Y及Z軸方向移動(dòng)。沿Χ、Υ軸移動(dòng)，能夠方便對(duì)OLED屏體上的不同位置進(jìn)行檢測(cè)。沿Z軸移動(dòng)，則可以方便第一成像系統(tǒng)的物鏡和第二成像系統(tǒng)的物鏡的焦距的調(diào)節(jié)。載物臺(tái)120上設(shè)有鏤空122。當(dāng)OLED屏體放置于載物臺(tái)120上，使需要觀察的部位位于鏤空122上方。
[0022]第一成像系統(tǒng)和第二成像系統(tǒng)彼此獨(dú)立。即二者擁有各自獨(dú)立的光源和鏡頭，且可實(shí)現(xiàn)獨(dú)立控制，不依賴于對(duì)方的變化即可對(duì)OLED屏體獨(dú)立地進(jìn)行觀察。
[0023]第一成像系統(tǒng)包括第一物鏡132和第一光學(xué)單元134。第二成像系統(tǒng)包括第二物鏡142和第二光學(xué)單元144。第一物鏡132和第二物鏡142分置于載物臺(tái)120兩側(cè)，二者之間借助鏤空122無遮擋，且第一物鏡132和第二物鏡142共軸設(shè)置。即第一物鏡132的中心到其焦點(diǎn)的連線，與第二物鏡142的中心到其焦點(diǎn)的連線是重合的。如此，進(jìn)行OLED屏體不良解析時(shí)，第一物鏡132和第二物鏡142能夠從正反兩側(cè)對(duì)OLED屏體的同一位置進(jìn)行觀察。
[0024]第一成像系統(tǒng)還配置有置于第一物鏡132的光學(xué)路徑上的第一圖像傳感單元138。第二成像系統(tǒng)還配置有置于第二物鏡142的光學(xué)路徑上的第二圖像傳感單元148。OLED屏體解析用顯微裝置100還包括顯示器150。顯示器150分別與第一圖像傳感單元138和第二圖像傳感單元148連接。例如可以采用高速數(shù)據(jù)傳輸線160將第一圖像傳感單元138和第二圖像傳感單元148分別連接到顯示器150。
[0025]進(jìn)行OLED屏體不良解析時(shí)，利用第一物鏡132和第二物