一種掩膜裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及有機(jī)發(fā)光二極管顯示器制造領(lǐng)域，特別涉及一種顯示器過程中蒸鍍使用的掩膜裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]金屬掩膜板(mask)作為AMOLED蒸鍍中的重要治具起到了關(guān)鍵作用。請(qǐng)參見圖1，其示出了現(xiàn)有技術(shù)中的一種掩膜板的主視圖。如圖1所示，掩膜板包括框架I’、掩膜主體2’以及掩膜孔3’。其中，掩膜主體2’張網(wǎng)后設(shè)置于框架I’內(nèi)，掩膜主體2’上設(shè)有掩膜孔3’。隨著待蒸鍍產(chǎn)品的不斷增大，掩膜板所需求尺寸也越來越大。
[0003]然而，隨著掩膜板需求的尺寸越來越大，掩膜板制作過程中對(duì)張網(wǎng)的難度也越來越大，因此，掩膜板的制作良率越來越小。具體來說，由于張網(wǎng)過程中精度不好卡控，容易出現(xiàn)掩膜主體局部破損的情況，而現(xiàn)有技術(shù)中的掩膜主體維修難度較大，通常掩膜主體局部破損則整個(gè)掩膜主體就要報(bào)廢。由于現(xiàn)有掩膜板對(duì)來料要求很高，而掩膜板良率不高，因此，大大增加了掩膜板的制作和維修成本。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本實(shí)用新型的目的是提供一種掩膜裝置，大大減低了掩膜裝置的制作和維修的費(fèi)用。
[0005]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面提供一種掩膜裝置，其特征在于，所述掩膜裝置包括:第一框架；多個(gè)掩膜單元，多個(gè)所述掩膜單元可拆卸地設(shè)置于所述第一框架中，每個(gè)所述掩膜單元包括:第二框架，可拆卸地連接所述第一框架；掩膜主體，設(shè)置于所述第二框架中，所述掩膜主體設(shè)有多個(gè)掩膜孔。
[0006]優(yōu)選地，所述第一框架包括一個(gè)或多個(gè)橫向設(shè)置的開口，多個(gè)所述掩膜單元可拆卸地連接于所述開口中。
[0007]優(yōu)選地，多個(gè)所述開口之間相互平行。
[0008]優(yōu)選地，所述第二框架與所述第一框架通過螺絲固定或者黏貼的方式可拆卸地連接。
[0009]優(yōu)選地，相鄰的兩個(gè)所述掩膜單元的第二框架之間通過螺絲固定或者黏貼的方式可拆卸地連接。
[0010]優(yōu)選地，所述掩膜單元的尺寸小于590mm*860mm。
[0011 ] 優(yōu)選地，所述掩膜主體由高強(qiáng)度陶瓷材料制成。
[0012]本實(shí)用新型的掩膜裝置將現(xiàn)有技術(shù)中的掩膜板模組化，其由第一框架和多個(gè)掩膜單元組成，每個(gè)掩膜單元可小型化，降低了每個(gè)掩膜單元中掩膜主體的張網(wǎng)難度，提高了掩膜裝置的制作良率。同時(shí)多個(gè)掩膜單元與第一框架可拆卸地連接，因此，即使掩膜裝置發(fā)生局部破損，只需拆卸破損部分的掩膜單元，重新制作后與第一框架連接后即可。因此，本實(shí)用新型的掩膜裝置大大降低了其制作和維修的費(fèi)用。
【附圖說明】
[0013]通過閱讀參照以下附圖對(duì)非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型的其它特征、目的和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更明顯:
[0014]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的一種掩膜板的主視圖；
[0015]圖2為本實(shí)用新型的第一實(shí)施例的掩膜裝置的主視圖；
[0016]圖3為本實(shí)用新型的第一實(shí)施例的掩膜裝置的后視圖；
[0017]圖4為本實(shí)用新型的掩膜裝置的第一框架的主視圖；
[0018]圖5為本實(shí)用新型的掩膜裝置的掩膜單元的主視圖；
[0019]圖6為本實(shí)用新型的掩膜裝置的掩膜單元的后視圖；
[0020]圖7為本實(shí)用新型的掩膜裝置的掩膜單元與第一框架的連接結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖8為本實(shí)用新型的掩膜裝置的多個(gè)掩膜單元拼接后的主視圖；
[0022]圖9為本實(shí)用新型的掩膜裝置的制造方法的流程圖；以及
[0023]圖10為本實(shí)用新型的第二實(shí)施例的掩膜裝置的主視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0024]依據(jù)本實(shí)用新型主旨構(gòu)思，所述掩膜裝置包括:第一框架；多個(gè)掩膜單元，多個(gè)所述掩膜單元可拆卸設(shè)置于所述第一框架中，每個(gè)所述掩膜單元包括:第二框架，可拆卸地連接所述第一框架；掩膜主體，設(shè)置于所述第二框架中，所述掩膜主體設(shè)有多個(gè)掩膜孔。該掩膜裝置尤其適用于大尺寸、高精度的制成工藝中。
[0025]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容進(jìn)行進(jìn)一步地說明。本實(shí)用新型的實(shí)施例中所述的橫向是指圖2中沿X軸的方向，縱向是指圖2中沿Y軸的方向。
[0026]第一實(shí)施例
[0027]請(qǐng)一并參見圖2至圖8，其分別示出了本實(shí)用新型的第一實(shí)施例的掩膜裝置的主視圖和后視圖、該掩膜裝置的第一框架的主視圖、該掩膜裝置的掩膜單元的主視圖和后視圖、掩膜單元與第一框架的連接結(jié)構(gòu)示意圖以及多個(gè)掩膜單元拼接后的主視圖。如圖2和圖3所示，在本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例中，所述掩膜裝置包括:第一框架1、八個(gè)相同的掩膜單元 21、22、23、24、25、26、27 以及 28。
[0028]第一框架I包括多個(gè)橫向(圖2和圖3中沿X軸方向)排列設(shè)置的開口，所述開口用于容置掩膜單元。在圖4所示的優(yōu)選實(shí)施例中，第一框架I包括兩個(gè)開口 11、12。開口11和12之間相互平行。第一框架I由invar36材料或者高強(qiáng)度陶瓷材料制成。其中，由于invar36材料的密度為8.055g/cm3，高強(qiáng)度陶瓷材料的密度為2.1?2.9g/cm3，因此，當(dāng)使用高強(qiáng)度陶瓷材料時(shí)可以使第一框架I在保證強(qiáng)度的情況下減輕所述掩膜裝置的重量。
[0029]多個(gè)所述掩膜單元可拆卸地設(shè)置于第一框架I中。具體來說，多個(gè)所述掩膜單元可拆卸地連接于所述開口中。在圖2和圖3所示的實(shí)施例中，四個(gè)掩膜單元21、22、23、24可拆卸地連接至第一框架I的開口 11 ;掩膜單元25、26、27、28可拆卸地連接至第一框架的開口 12。下面以掩膜單元21為例進(jìn)行說明。
[0030]如圖5和圖6所示，掩膜單元21包括第二框架211以及掩膜主體212。掩膜主體212設(shè)置于第二框架211中，掩膜主體212設(shè)有多個(gè)掩膜孔213。為了降低掩膜主體212張網(wǎng)的難度，掩膜單元212的尺寸優(yōu)選地小于590mm*860mm，其中，590mm指掩膜單元212橫向(沿X軸方向)的長(zhǎng)度，860mm指掩膜單元212縱向(沿Y軸方向)的寬度。掩膜主體212上的掩膜孔213的排列方式可以根據(jù)產(chǎn)品的實(shí)際尺寸進(jìn)行調(diào)整，圖5和圖6所述的實(shí)施例中，掩膜孔213的排列方式為3行3列的排列方式。掩膜主體212優(yōu)選地由invar36材料制成。
[0031]第二框架211由invar36材料或者高強(qiáng)度陶瓷材料制成，其中，由于invar36材料的密度為8.055g/cm3，高強(qiáng)度陶瓷材料的密度為2.1?2.9g/cm3，因此，當(dāng)使用高強(qiáng)度陶瓷材料時(shí)可以使第二框架211在保證強(qiáng)度的情況下減輕所述掩膜裝置的重量。第二框架211優(yōu)選地通過螺絲固定或者黏