對位標(biāo)記、襯底和掩膜板的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及光刻領(lǐng)域，特別是涉及一種對位標(biāo)記。
[0002]本實用新型還涉及一種包含上述對位標(biāo)記的襯底。
[0003]本實用新型還涉及一種包含上述對位標(biāo)記的掩膜板。
【背景技術(shù)】
[0004]在光刻技術(shù)中，目前采用的對位標(biāo)記一般都是“十”字、反“十”字、“回”字等標(biāo)記。
[0005]然而，在某些光刻技術(shù)的應(yīng)用場合，例如柔性顯示器的制作過程中，光刻一般采用塑料作為柔性襯底，但是由于塑料的熱膨脹系數(shù)比較大，經(jīng)過多次光刻過后，柔性襯底會發(fā)生形變，從而導(dǎo)致對位標(biāo)記發(fā)生漂移。由于襯底上的對位標(biāo)記的漂移，在后續(xù)的光刻過程中，如圖1所示，實線所示的對位標(biāo)記為掩膜板上的對位標(biāo)記，虛線所示的對位標(biāo)記為襯底上的對位標(biāo)記；現(xiàn)有的對位標(biāo)記無法快速準(zhǔn)確找到對位的基準(zhǔn)，給對位造成困難，從而導(dǎo)致套刻精度降低。
【實用新型內(nèi)容】
[0006]基于此，有必要針對對位標(biāo)記對位困難的問題，提供一種對位準(zhǔn)確的對位標(biāo)記。
[0007]一種對位標(biāo)記，其包括:
[0008]沿橫向方向延伸的第一對位部，
[0009]以及沿縱向方向延伸的第二對位部，
[0010]所述對位標(biāo)記還包括沿第三方向延伸的第三對位部，
[0011 ] 所述第三方向與所述橫向方向之間的夾角為銳角或鈍角。
[0012]上述對位標(biāo)記，可以實現(xiàn)三個方向的對位，特別是在橫縱兩個方向不易對位或者無法對位時，例如易變行的襯底時，第三對位部可以快速簡單的對位，從而提高對位精度。
[0013]在其中一個實施例中，所述對位標(biāo)記呈米字型。
[0014]在其中一個實施例中，所述對位標(biāo)記呈箭頭型。
[0015]在其中一個實施例中，所述夾角的度數(shù)為20-70度。
[0016]本實用新型還提供了一種襯底，其包括襯底基板以及設(shè)置在所述襯底基板上的對位標(biāo)記；所述對位標(biāo)記為本實用新型所提供的對位標(biāo)記。
[0017]上述襯底由于采用本實用新型所提供的對位標(biāo)記，可以實現(xiàn)三個方向的對位，對位精度高。
[0018]在其中一個實施例中，所述第三方向經(jīng)過所述襯底基板的幾何中心。
[0019]在其中一個實施例中，所述對位標(biāo)記的個數(shù)為4個。
[0020]在其中一個實施例中，所述對位標(biāo)記分布于所述襯底的邊緣。在其中一個實施例中，所述對位標(biāo)記呈箭頭型。
[0021]本實用新型還提供了一種掩膜板，其包括掩膜基板以及設(shè)置在所述掩膜基板上的對位標(biāo)記；所述對位標(biāo)記為本實用新型所提供的對位標(biāo)記。
[0022]上述掩膜板由于采用本實用新型所提供的對位標(biāo)記，可以實現(xiàn)三個方向的對位，對位精度高。
[0023]在其中一個實施例中，所述第三方向經(jīng)過所述掩膜基板的幾何中心。
【附圖說明】
[0024]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中對位標(biāo)記的對位示意圖。
[0025]圖2為本實用新型第一優(yōu)選實施例的對位標(biāo)記的示意圖。
[0026]圖3為本實用新型第二優(yōu)選實施例的對位標(biāo)記的示意圖。
[0027]圖4為本實用新型一優(yōu)選實施例的襯底的示意圖。
[0028]圖5為圖4中的襯底在對位時的示意圖。
【具體實施方式】
[0029]為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。
[0030]除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語與屬于本實用新型的技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在本實用新型的說明書中所使用的術(shù)語只是為了描述具體的實施例的目的，不是旨在于限制本實用新型。本文所使用的術(shù)語“及/或”包括一個或多個相關(guān)的所列項目的任意的和所有的組合。
[0031]參見圖2，圖2為本實用新型第一優(yōu)選實施例的對位標(biāo)記的示意圖。
[0032]—種對位標(biāo)記100，包括沿橫向方向延伸的第一對位部110，沿縱向方向延伸的第二對位部120，以及沿第三方向延伸的第三對位部130，
[0033]其中，由于第一對位部110和第二對位部120的延伸方向分別沿橫向方向和縱向方向，故第一對位部110和第二對位部120垂直。而第三對位部130沿第三方向延伸，與所述橫向方向之間的夾角為銳角或鈍角。也就是說，第三方向為斜向方向。
[0034]結(jié)合參見圖5，圖5為對位示意圖，其中實線所示的對位標(biāo)記為掩膜板的對位標(biāo)記，虛線所示的對位標(biāo)記為襯底的對位標(biāo)記。當(dāng)襯底收縮形變時，襯底的第一對位部以及第二對位部與掩膜板的第一對位部以及第二對位部的偏離較大，無法對準(zhǔn)；但是由于第三方向為斜向方向，襯底的第三對位部與掩膜板的第三對位部的偏離較小，還有部分重疊在一起，從而可以快速準(zhǔn)確的對位。
[0035]優(yōu)選地，第三方向與橫向方向之間的夾角取值范圍為20-70度，這樣可以進一步提高對位精度。
[0036]在本實施例中，第三方向與橫向方向之間的夾角為45度。
[0037]在本實施例中，第一對位部110、第二對位部120以及第三對位部130的一端連接在一起，另外一端相互獨立分開。
[0038]更具體地，對位標(biāo)記100呈箭頭型。也就是說，第一對位部110以及第二對位部構(gòu)成箭頭的兩個刃部，而第三對位部構(gòu)130構(gòu)成箭頭的箭柄部分。
[0039]當(dāng)然，本實用新型對第一對部位、第二對位部以及第三對位部它們兩兩之間是否連接沒有限制，可以是相互獨立分開的，還可以相互連接的。例如，第一對位部的一端連接第二對位部的一端，第二對位部的另一端連接第三對位部的一端。還例如，第一對位部的一端連接第三對位部的一端，第三對位部的另一端連接第二對位部的一端。又例如，第一、第二、第三對位部相互獨立分開。