冷熱一體式加熱盤的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及大功率精確溫度控制領域，尤其涉及一種冷熱一體式加熱盤。
【背景技術】
[0002]冷熱一體式加熱盤是微電子行業(yè)制造投影光刻機的重要組成部分。
[0003]國內(nèi)生產(chǎn)的加熱盤只能單純地實現(xiàn)加熱功能，無法正常完成冷卻過程，達不到市場上應用的標準。
[0004]因此，中國投影光刻機廠家對加熱盤的使用幾乎全部依賴進口，生產(chǎn)周期長，價格高，對廠家?guī)硪欢ǖ慕?jīng)濟負擔。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]為了解決現(xiàn)有技術中的問題，本實用新型的目的是提供一種在短時間內(nèi)快速加熱和快速降溫的一體式加熱盤。
[0006]本實用新型的技術方案:冷熱一體式加熱盤，其特征在于，包括處于上平面的加熱盤體和處于下平面的冷卻盤體，所述的加熱盤體內(nèi)設置有放絲槽，所述的放絲槽在加熱盤體內(nèi)呈等間距排布，所述的放絲槽內(nèi)安裝有加熱絲；所述的冷卻盤體內(nèi)設置有冷卻槽，所述的冷卻槽在冷卻盤體內(nèi)呈等間距排布，所述的冷卻槽內(nèi)安裝水管，所述的水管內(nèi)填充有冷卻油；所述的加熱盤體上還設置有控溫槽，所述的控溫槽內(nèi)安裝有溫度傳感器，所述的溫度傳感器用于感應加熱盤體的溫度，并將感應信號傳遞給控制中心；所述的控制中心連接并控制加熱絲，溫度傳感器和冷卻盤體，協(xié)同各部件實現(xiàn)冷熱一體式加熱盤的加熱和冷卻過程。
[0007]其中，所述的放絲槽最里端連接并設置有引線槽，所述的引線槽用于實現(xiàn)加熱絲的加熱過程。
[0008]其中，所述的加熱盤體近似為圓形，所述的加熱盤體一側(cè)設置有V形口，所述的V形口用于實現(xiàn)加熱盤體在加工過程中的定位效果。所述的冷卻盤體近似為圓形，所述的冷卻盤體在加熱盤體同側(cè)設置有尺寸相同的V形口。
[0009]其中，所述的加熱盤體和冷卻盤體的尺寸大小相等。
[0010]作為優(yōu)選，所述的加熱絲為礦物絕緣電纜。
[0011]其中，所述的溫度傳感器為熱電偶。
[0012]其中，所述的加熱盤體和冷卻盤體通過真空釬焊和氬弧焊封焊在一起。
[0013]其中，所述的加熱盤體和冷卻盤體的平行度、粗糙度和平面度采用CNC加工中心進行加工。
[0014]其中，所述的冷熱一體式加熱盤還包括加熱絲接頭和水管接頭。
[0015]與現(xiàn)有技術相比，本實用新型實現(xiàn)的有益效果:本實用新型的冷熱一體式加熱盤同時設置有加熱盤體和冷卻盤體，以實現(xiàn)加熱和冷卻的過程，避免了傳統(tǒng)加熱盤受單純的加熱功能所限，擴大了加熱盤的使用范圍；本實用新型的冷熱一體式加熱盤在加熱盤體內(nèi)等距離盤繞有礦物絕緣電纜，功率大并且溫度均勻，同時加熱盤體上設置有控溫槽，控溫槽中安裝有溫度傳感器，溫度傳感器感應加熱盤體溫度，在短時間內(nèi)實現(xiàn)快速升溫和精確控溫的效果；本發(fā)明的冷熱一體式加熱盤在冷卻盤體內(nèi)設置有冷卻槽，冷卻槽中安裝有水管，水管里填充冷卻油，冷卻油循環(huán)流動，實現(xiàn)快速降溫的效果；同時，本實用新型的冷熱一體式加熱盤將真空釬焊和氬弧焊結(jié)合，對加熱盤體和冷卻盤體進行焊接，焊接牢固，保證加熱絲的正常使用；本實用新型的冷熱一體式加熱盤采用CNC加工中心進行加熱盤體和冷卻盤體的平行度、粗糙度和平面度加工，避免了加熱盤體和冷卻盤體不平整對產(chǎn)品帶來的破損。
【附圖說明】
[0016]以下結(jié)合附圖和【具體實施方式】來進一步詳細說明本實用新型:
[0017]圖1為本實用新型的冷熱一體式加熱盤的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為本實用新型的冷熱一體式加熱盤中加熱盤體的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖3為本實用新型的冷熱一體式加熱盤中冷卻盤體的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0020]如圖1，2，3所示，冷熱一體式加熱盤，其特征在于，包括處于上平面的加熱盤體I和處于下平面的冷卻盤體2，所述的加熱盤體I內(nèi)設置有放絲槽3，所述的放絲槽3在加熱盤體I內(nèi)呈等間距排布，所述的放絲槽3內(nèi)安裝有加熱絲；所述的冷卻盤體2內(nèi)設置有冷卻槽4，所述的冷卻槽4在冷卻盤體2內(nèi)呈等間距排布，所述的冷卻槽4內(nèi)安裝水管，所述的水管內(nèi)填充有冷卻油；所述的加熱盤體I上還設置有控溫槽5，所述的控溫槽5內(nèi)安裝有溫度傳感器，所述的溫度傳感器用于感應加熱盤體I的溫度，并將感應信號傳遞給控制中心；所述的控制中心連接并控制加熱絲，溫度傳感器和冷卻盤體2，協(xié)同各部件實現(xiàn)冷熱一體式加熱盤的加熱和冷卻過程。
[0021]所述的放絲槽3最里端連接并設置有引線槽8，所述的引線槽8用于實現(xiàn)加熱絲的加熱過程。
[0022]所述的冷熱一體式加熱盤還包括加熱絲接頭6和水管接頭7。
[0023]所述的加熱盤體I近似為圓形，所述的加熱盤體I 一側(cè)設置有V形口，所述的冷卻盤體2在加熱盤體I同側(cè)設置有相同大小的V形口，所述的V形口用于加熱盤體I和冷卻盤體2在加工過程中的定位效果，避免帶來誤差。
[0024]所述的加熱盤體I中的加熱絲為礦物絕緣電纜。
[0025]所述的加熱盤體I和冷卻盤體2的尺寸大小相等。
[0026]接通電源，礦物絕緣電纜對被加熱部件進行加熱，礦物絕緣電纜功率大，快速加熱，溫度傳感器感應加熱盤體溫度，當?shù)竭_設定溫度時，控制中心控制礦物絕緣電纜結(jié)束加熱，實現(xiàn)精確控溫的效果；當需要降溫時，接通冷卻油，冷卻油在水管中循環(huán)流動，實現(xiàn)快速降溫。
[0027]所述的冷熱一體式加熱盤的制作方法，包括如下步驟:
[0028]S1:線切割和車床加工加熱盤體和冷卻盤體，實現(xiàn)兩盤體尺寸相等，偏差均在±0.1 ；
[0029]S2:線切割相同位置的加熱盤體和冷卻盤體，獲得尺寸相等的V形口；
[0030]S3:采用CNC加工中心在加熱盤體上加工出等距離盤繞的放絲槽，在放絲槽的最里端加工出引線槽；
[0031]S4:采用CNC加工中心在加熱盤體上設置控溫槽；
[0032]S5:采用CNC加工中心在冷卻盤體上加工出等距離盤繞的冷卻槽；
[0033]S6:在放絲槽和引線槽中分別安裝加熱絲，在控溫槽中安裝溫度傳感器保護管，在冷卻槽中安裝水管；
[0034]S7:在加熱盤體和冷卻盤體上分別涂上焊劑，將加熱盤體和冷卻盤體粘合在一起，在縫隙處用氬弧焊封焊，最后用真空釬焊爐進行焊接；
[0035]S8:采用CNC加工中心進行加熱盤體和冷卻盤體的平行度、粗糙度和平面度加工；
[0036]S9:在粘合后的加熱盤體和冷卻盤體上安裝加熱絲接頭和水管接頭。
[0037]本實用新型的冷熱一體式加熱盤同時設置有加熱盤體和冷卻盤體，以實現(xiàn)加熱和冷卻的過程，避免了傳統(tǒng)加熱盤受單純的加熱功能所限，擴大了加熱盤的使用范圍；本實用新型的冷熱一體式加熱盤在加熱盤體內(nèi)等距離盤繞有礦物絕緣電纜，功率大并且溫度均勻，同時，加熱盤體上設置有控溫槽，控溫槽中安裝有溫度傳感器，溫度傳感器感應加熱盤體溫度，在短時間內(nèi)實現(xiàn)快速升溫和精確控溫的效果；本實用新型的冷熱一體式加熱盤在冷卻盤體內(nèi)設置有冷卻槽，冷卻槽中安裝有水管，水管里填充冷卻油，冷卻油循環(huán)流動，實現(xiàn)快速降溫的效果；同時，本實用新型的冷熱一體式加熱盤將真空釬焊和氬弧焊結(jié)合，對加熱盤體和冷卻盤體進行焊接，焊接牢固，保證加熱絲的正常使用；本實用新型的冷熱一體式加熱盤采用CNC加工中心進行加熱盤體和冷卻盤體的平行度、粗糙度和平面度加工，避免了加熱盤體和冷卻盤體不平整對產(chǎn)品帶來的破損。
[0038]上述的【具體實施方式】只是示例性的，是為了更好地使本領域技術人員能夠理解本專利，不能理解為是對本專利包括范圍的限制；只要是根據(jù)本專利所揭示精神的所作的任何等同變更或修飾，均落入本專利包括的范圍。
【主權項】
1.冷熱一體式加熱盤，其特征在于，包括處于上平面的加熱盤體(I)和處于下平面的冷卻盤體(2)，所述的加熱盤體(I)內(nèi)設置有放絲槽(3)，所述的放絲槽(3)在加熱盤體(I)內(nèi)呈等間距排布，所述的放絲槽(3)內(nèi)安裝有加熱絲；所述的冷卻盤體(2)內(nèi)設置有冷卻槽(4)，所述的冷卻槽(4)在冷卻盤體(2)內(nèi)呈等間距排布，所述的冷卻槽(4)內(nèi)安裝水管，所述的水管內(nèi)填充有冷卻油；所述的加熱盤體(I)上還設置有控溫槽(5)，所述的控溫槽(5)內(nèi)安裝有溫度傳感器，所述的溫度傳感器用于感應加熱盤體(I)的溫度，并將感應信號傳遞給控制中心；所述的控制中心連接并控制加熱絲，溫度傳感器和冷卻盤體(2)，協(xié)同各部件實現(xiàn)冷熱一體式加熱盤的加熱和冷卻過程。2.如權利要求1所述的冷熱一體式加熱盤，其特征在于，所述的放絲槽(3)最里端連接并設置有引線槽(8)，所述的引線槽(8)用于實現(xiàn)加熱絲的加熱過程。3.如權利要求1所述的冷熱一體式加熱盤，其特征在于，所述的加熱盤體(I)近似為圓形，所述的加熱盤體(I) 一側(cè)設置有V形口，所述的V形口用于實現(xiàn)加熱盤體(I)在加工過程中的定位效果，所述的冷卻盤體(2)近似為圓形，所述的冷卻盤體(2)在加熱盤體(I)同側(cè)相同位置設置有大小相同的V形口。4.如權利要求1所述的冷熱一體式加熱盤，其特征在于，所述的加熱盤體(I)和冷卻盤體(2)的尺寸大小相等。5.如權利要求1所述的冷熱一體式加熱盤，其特征在于，所述的加熱絲為礦物絕緣電纜。6.如權利要求1所述的冷熱一體式加熱盤，其特征在于，所述的溫度傳感器為熱電偶。7.如權利要求1所述的冷熱一體式加熱盤，其特征在于，所述的加熱盤體(I)和冷卻盤體(2)通過氬弧焊和真空釬焊封焊在一起。8.如權利要求1所述的冷熱一體式加熱盤，其特征在于，所述的加熱盤體(I)和冷卻盤體(2)的平行度、粗糙度和平面度采用CNC加工中心進行加工。9.如權利要求1所述的冷熱一體式加熱盤，其特征在于，所述的冷熱一體式加熱盤還包括加熱絲接頭(6 )和水管接頭(7 )。
【專利摘要】本實用新型公開了一種冷熱一體式加熱盤，其特征在于，包括加熱盤體和冷卻盤體，加熱盤體內(nèi)設置有放絲槽，放絲槽在加熱盤體內(nèi)呈等間距排布，放絲槽內(nèi)安裝有加熱絲；冷卻盤體內(nèi)設置有冷卻槽，冷卻槽在冷卻盤體內(nèi)呈等間距排布，冷卻槽內(nèi)安裝水管，水管內(nèi)填充有冷卻油；加熱盤體上還設置有控溫槽，控溫槽內(nèi)安裝有溫度傳感器，溫度傳感器用于感應加熱盤體的溫度，并將感應信號傳遞給控制中心，控制中心協(xié)同各部件實現(xiàn)冷熱一體式加熱盤的加熱和冷卻過程。本實用新型的冷熱一體式加熱盤同時實現(xiàn)快速升溫和快速降溫的效果。
【IPC分類】G03F7/16
【公開號】CN204925615
【申請?zhí)枴緾N201520491670
【發(fā)明人】趙波, 孫貽勝
【申請人】上海鎧裝儀表有限公司
【公開日】2015年12月30日
【申請日】2015年7月9日