一種光刻膠吹涂裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于光刻膠涂覆領(lǐng)域，具體涉及一種光刻膠吹涂裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在光刻膠涂覆領(lǐng)域，普遍采取甩膠機進(jìn)行光刻膠涂覆，該類裝置需將基底裝夾在甩膠機的旋轉(zhuǎn)主軸上，并在基底上放入適量光刻膠，開啟甩膠機后產(chǎn)生繞中心的高速旋轉(zhuǎn)，利用旋轉(zhuǎn)軸產(chǎn)生的離心力在基底上均勻涂覆一層光刻膠。這種傳統(tǒng)的甩膠設(shè)備適用于平面工藝，針對具有復(fù)雜曲面結(jié)構(gòu)的三維基底，由于基底各處膠層所受力的大小、方向不一致，傳統(tǒng)的甩膠機不能實現(xiàn)光刻膠的均勻涂覆，限制了光刻工藝在具有復(fù)雜曲面三維結(jié)構(gòu)方面的使用。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了實現(xiàn)具有復(fù)雜曲面結(jié)構(gòu)三維基底的均勻涂膠，同時也適用于平面基底的光刻膠涂覆，本實用新型提供一種光刻膠吹涂裝置。
[0004]本實用新型解決其技術(shù)問題所采取的技術(shù)方案是:
[0005]本實用新型的光刻膠吹涂裝置，其特點是，所述的裝置含有滴膠平臺二維直線驅(qū)動機組、滴膠平臺水平方向直線運動軸、滴膠平臺垂直方向直線運動軸、旋轉(zhuǎn)電機、擠膠機構(gòu)、滴膠器、吹氣平臺二維直線驅(qū)動機組、吹氣平臺水平方向直線運動軸、吹氣平臺垂直方向直線運動軸、氣管、減壓閥、壓縮空氣噴嘴、偏轉(zhuǎn)電機、空壓機組、容膠池、底座，其中，擠膠機構(gòu)包括拉桿、應(yīng)變片。其連接關(guān)系是，所述的底座外形為凹狀，底座兩方凸出的部分對稱設(shè)置。底座凸出的一方依次設(shè)置有與底座底面平行的滴膠平臺水平方向直線運動軸、滴膠平臺垂直方向直線運動軸，所述的滴膠平臺水平方向直線運動軸、滴膠平臺垂直方向直線運動軸外側(cè)與滴膠平臺二維直線驅(qū)動機組的齒輪連接，其中滴膠平臺二維直線驅(qū)動機組由電機、軸承和齒輪組成，滴膠平臺水平方向直線運動軸的中心軸設(shè)置有拉桿，拉桿的頂端連接有應(yīng)變片，滴膠器嵌入在滴膠平臺水平方向直線運動軸的內(nèi)側(cè)端頭。在滴膠平臺水平方向直線運動軸上設(shè)置有用于驅(qū)動拉桿的旋轉(zhuǎn)電機。底座凸出的另一方依次設(shè)置有與底座底面平行的吹氣平臺水平方向直線運動軸、吹氣平臺垂直方向直線運動軸，吹氣平臺水平方向直線運動軸、吹氣平臺垂直方向直線運動軸的外側(cè)與吹氣平臺二維直線驅(qū)動機組的齒輪連接，其中吹氣平臺二維直線驅(qū)動機組由電機、軸承和齒輪組成，吹氣平臺水平方向直線運動軸的內(nèi)側(cè)端頭設(shè)有壓縮空氣噴嘴，壓縮空氣噴嘴的上方與偏轉(zhuǎn)電機固定連接，下方設(shè)置有減壓閥。所述的吹氣平臺水平方向直線運動軸與滴膠平臺水平方向直線運動軸對應(yīng)設(shè)置，端頭相對。所述的空壓機組設(shè)置在底座內(nèi)，空壓機組通過氣管與壓縮空氣噴嘴連接。在底座的凹處設(shè)置有容膠池，容膠池為“W”型結(jié)構(gòu)，容膠池中心設(shè)置有用于安裝工件的凸起部分，容膠池內(nèi)四周設(shè)置有用于收集散落光刻膠的凹陷處。
[0006]所述的滴膠平臺水平方向直線運動軸、吹氣平臺水平方向直線運動軸、拉桿為同軸心設(shè)置。
[0007]本實用新型中的滴膠器向工件表面滴涂光刻膠，壓縮空氣噴嘴向光刻膠表面吹送壓縮空氣，控制膠層厚度。滴膠平臺二維直線驅(qū)動機組驅(qū)動其帶動滴膠器運動至目標(biāo)位置。旋轉(zhuǎn)電機驅(qū)動擠膠機構(gòu)沿水平方向運動，帶動擠膠機構(gòu)末端擠壓滴膠器外部，擠出儲存在滴膠器內(nèi)部的光刻膠，滴落在工件表面。吹氣平臺二維直線驅(qū)動機組驅(qū)動其帶動壓縮空氣噴嘴運動至目標(biāo)位置。偏轉(zhuǎn)電機驅(qū)動壓縮空氣噴嘴轉(zhuǎn)動，調(diào)節(jié)出風(fēng)口的方向。氣管連接空壓機組和壓縮空氣噴嘴，設(shè)置在壓縮空氣噴嘴上的減壓閥調(diào)節(jié)出風(fēng)口的空氣壓力。
[0008]本實用新型中的滴膠器進(jìn)行工件表面的滴膠，其中滴膠平臺二維直線驅(qū)動機組驅(qū)動滴膠平臺水平方向直線運行軸、滴膠平臺垂直方向直線運動軸在兩個方向上運動，帶動滴膠器到達(dá)指定區(qū)域，滴膠器由軟材料制成，內(nèi)部儲存光刻膠，頂部加蓋密封，下部開孔，擠膠機構(gòu)壓縮滴膠器外部，光刻膠沿滴膠器下部通孔處滴落，使工件表面覆蓋一層光刻膠。通過滴膠器涂覆在工件表面的光刻膠厚度存在不均勻分布，厚度的不均勻分布通過向膠層表面吹送壓縮空氣進(jìn)行解決。由吹氣平臺二維直線驅(qū)動機組驅(qū)動吹氣平臺水平方向直線運動軸、吹氣平臺垂直方向直線運動軸，帶動壓縮空氣噴嘴到指定區(qū)域，通過氣管將空壓機組產(chǎn)生的壓縮氣體導(dǎo)入到壓縮空氣噴嘴，實現(xiàn)指定區(qū)域的壓縮氣體吹送，并設(shè)置偏轉(zhuǎn)電機轉(zhuǎn)動壓縮空氣噴口調(diào)整氣流方向，設(shè)置與氣路連接的減壓閥調(diào)節(jié)出氣口的氣體壓力。
[0009]本實用新型能夠?qū)崿F(xiàn)平面、復(fù)雜曲面結(jié)構(gòu)三維基底的均勻涂膠，具有功能強、應(yīng)用范圍廣等特點。
【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型的光刻膠吹涂裝置的主視圖；
[0011]圖中，1.滴膠平臺二維直線驅(qū)動機組2.滴膠平臺水平方向直線運動軸3.滴膠平臺垂直方向直線運動軸4.旋轉(zhuǎn)電機5.拉桿6.滴膠器7.吹氣平臺二維直線驅(qū)動機組8.吹氣平臺水平方向直線運動軸9.吹氣平臺垂直方向直線運動軸10.氣管11.減壓閥12.壓縮空氣噴嘴13.偏轉(zhuǎn)電機14.空壓機組15.容膠池16.底座17.應(yīng)變片18.工件。
【具體實施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖對本實用新型作具體描述。
[0013]實施例1
[0014]圖1為本實用新型的光刻膠吹涂裝置的主視圖。在圖1中，本實用新型的光刻膠吹涂裝置，含有滴膠平臺二維直線驅(qū)動機組1、滴膠平臺水平方向直線運動軸2、滴膠平臺垂直方向直線運動軸3、旋轉(zhuǎn)電機4、擠膠機構(gòu)、滴膠器6、吹氣平臺二維直線驅(qū)動機組7、吹氣平臺水平方向直線運動軸8、吹氣平臺垂直方向直線運動軸9、氣管10、減壓閥11、壓縮空氣噴嘴12、偏轉(zhuǎn)電機13、空壓機組14、容膠池15、底座16，其中，擠膠機構(gòu)包括拉桿5、應(yīng)變片17。其連接關(guān)系是，所述的底座16外形為凹狀，底座16兩方凸出的部分對稱設(shè)置。底座16凸出的一方依次設(shè)置有與底座16底面平行的滴膠平臺水平方向直線運動軸2、滴膠平臺垂直方向直線運動軸3，所述的滴膠平臺水平方向直線運動軸2、滴膠平臺垂直方向直線運動軸3外側(cè)與滴膠平臺二維直線驅(qū)動機組1的齒輪連接，滴膠平臺水平方向直線運動軸2的中心軸設(shè)置有拉桿5，拉桿5的頂端連接有應(yīng)變片17，滴膠器6嵌入在滴膠平臺水平方向直線運動軸2的內(nèi)側(cè)端頭。在滴膠平臺水平方向直線運動軸2上設(shè)置有用于驅(qū)動拉桿5的旋轉(zhuǎn)電機4。底座16凸出的另一方依次設(shè)置有與底座1