一種光刻膠供應(yīng)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種光刻膠供應(yīng)裝置，一種具有提高光刻膠利用率的光刻膠供應(yīng)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]提高產(chǎn)品品質(zhì)、降低生產(chǎn)成本是每個(gè)半導(dǎo)體制造企業(yè)維持其產(chǎn)品市場競爭力的重要手段之一。在半導(dǎo)體行業(yè)光刻膠是一種大量使用并且價(jià)格昂貴的原材料，目前的光刻膠供應(yīng)系統(tǒng)都是利用液栗在光刻膠液面上產(chǎn)生壓力，將光刻膠通過引流管吸入光刻膠吸取管道內(nèi)，在桶底或桶壁上必然會(huì)有殘留。為了解決上述問題可以通過改變光刻膠桶的結(jié)構(gòu)將平底改為圓形或“V”型，但這些只是解決的桶底的光刻膠殘留，桶壁上殘留的光刻膠一直是被忽視的部分。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]針對上述技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種光刻膠供應(yīng)裝置，通過在光刻膠腔體內(nèi)增加沿桶壁滑動(dòng)的蓋體，將桶壁上的光刻膠刮入桶內(nèi)。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型解決問題的技術(shù)方案如下:
[0005]一種光刻膠供應(yīng)裝置，包括由桶口、桶壁、桶底構(gòu)成的盛裝腔體，引流管，光刻膠吸取裝置，其特征在于，所述盛裝腔體內(nèi)設(shè)置有蓋體，所述蓋體的上方連接有用于帶動(dòng)蓋體沿著腔體內(nèi)壁滑動(dòng)的支撐桿，所述支撐桿和引流管均通過光刻膠管道與所述光刻膠吸取裝置連接。
[0006]進(jìn)一步地，所述蓋體的中心開設(shè)有圓孔，蓋體通過此孔沿著引流管滑動(dòng)。
[0007]再進(jìn)一步地，所述蓋體的形狀與腔體的橫向截面形狀、大小一致，位于桶口下方。
[0008]更進(jìn)一步地，所述支撐桿為伸縮式結(jié)構(gòu)。
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果:
[0010](I)本實(shí)用新型在光刻膠盛裝腔體內(nèi)設(shè)置沿腔體內(nèi)壁滑動(dòng)的蓋體，當(dāng)光刻膠吸取裝置的啟動(dòng)時(shí)在光刻膠液面上產(chǎn)生壓強(qiáng)，液面和蓋板一起向下移動(dòng)，蓋板與內(nèi)壁接觸，將內(nèi)壁上的光刻膠“刮入”桶內(nèi)。
[0011](2)本實(shí)用新型的蓋體設(shè)置，在光刻膠未啟封前可以起到二次密封的作用，便于光刻膠的運(yùn)輸。
[0012](3)本實(shí)用新型在蓋體上設(shè)置有可伸縮的支撐桿，保證了蓋體向下移動(dòng)過程中的穩(wěn)定性。
[0013](4)本實(shí)用新型在蓋板上開設(shè)便于貫穿引流管的孔，保證了蓋體在移動(dòng)過程不會(huì)對引流管的工作產(chǎn)沖突。
【附圖說明】
[0014]圖1為本實(shí)用新型的光刻膠供應(yīng)裝置的整體示意圖。
[0015]其中，附圖中的零部件名稱為:
[0016]1-桶口，2-桶壁，3-桶底，4-引流管，5-光刻膠吸取裝置，6_蓋板，7_支撐桿，8-圓孔，9-光刻膠管道。
【具體實(shí)施方式】
[0017]如圖1所示，一種光刻膠供應(yīng)裝置，包括由桶口、桶壁、桶底構(gòu)成的盛裝腔體，引流管，光刻膠吸取裝置，所述盛裝腔體內(nèi)設(shè)置有蓋體，所述蓋體的上方連接有用于帶動(dòng)蓋體沿著腔體內(nèi)壁滑動(dòng)的支撐桿，所述支撐桿和引流管均通過光刻膠管道與所述光刻膠吸取裝置連接。本實(shí)施例中在蓋體的兩側(cè)各設(shè)置一根支撐桿，當(dāng)光刻膠吸取裝置啟動(dòng)后，在光刻膠盛裝腔體內(nèi)產(chǎn)生壓強(qiáng)，該壓強(qiáng)使光刻膠通過引流管被吸進(jìn)光刻膠管道。隨著光刻膠流入光刻膠管道，光刻膠盛裝腔體內(nèi)的液位下降，同時(shí)蓋板在壓力作用下與液位一起下降，蓋板大小與腔體一致，在下降過程中必將腔體內(nèi)壁上的光刻膠一起刮下匯入桶內(nèi)，如此直至液位和蓋板下降至桶底，整個(gè)桶壁上的光刻膠均被刮入桶內(nèi)被利用。
[0018]為了便于蓋體的移動(dòng)，在蓋體的中心開設(shè)有圓孔，引流管穿過該孔，蓋體就能沿著引流管滑動(dòng)。
[0019]為了更好的與桶壁接觸，蓋體的形狀與腔體的橫向截面形狀、大小一致，位于桶口下方，如果腔體是圓形，蓋板就為圓形，且面積與腔體圓形界面一致。
[0020]為了便于蓋體的穩(wěn)定滑動(dòng)，蓋體上方的支撐桿為伸縮式結(jié)構(gòu)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種光刻膠供應(yīng)裝置，包括由桶口、桶壁、桶底構(gòu)成的盛裝腔體，引流管，光刻膠吸取裝置，其特征在于，所述盛裝腔體內(nèi)設(shè)置有蓋體，所述蓋體的上方連接有用于帶動(dòng)蓋體沿著腔體內(nèi)壁滑動(dòng)的支撐桿，所述支撐桿和引流管均通過光刻膠管道與所述光刻膠吸取裝置連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻膠供應(yīng)裝置，其特征在于，所述蓋體的中心開設(shè)有圓孔，蓋體通過此孔沿著引流管滑動(dòng)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種光刻膠供應(yīng)裝置，其特征在于，所述蓋體的形狀與腔體的橫向截面形狀、大小一致，位于桶口下方。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種光刻膠供應(yīng)裝置，其特征在于，所述支撐桿為伸縮式結(jié)構(gòu)。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種光刻膠供應(yīng)裝置，包括由桶口、桶壁、桶底構(gòu)成的盛裝腔體，引流管，光刻膠吸取裝置，其特征在于，所述盛裝腔體內(nèi)設(shè)置有蓋體，所述蓋體的上方連接有用于帶動(dòng)蓋體沿著腔體內(nèi)壁滑動(dòng)的支撐桿，所述伸縮桿和引流管同時(shí)與所述光刻膠吸取裝置連接。本實(shí)用新型通過對腔體內(nèi)壁上的光刻膠進(jìn)行刮取，大大提高了光刻膠的利用率。
【IPC分類】G03F7/16
【公開號】CN205210509
【申請?zhí)枴緾N201520865846
【發(fā)明人】劉幸
【申請人】劉幸
【公開日】2016年5月4日
【申請日】2015年11月3日