一種光刻機(jī)光源的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本實(shí)用新型涉及硅片曝光技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種光刻機(jī)光源。
【背景技術(shù)】
[0002]曝光機(jī)在對(duì)硅片進(jìn)行曝光時(shí)需要紫外線，現(xiàn)有紫外線光源均采用高壓汞燈通過鏡面折射法和直接照射法對(duì)硅片進(jìn)行曝光，曝光后線條容易發(fā)虛，硅片與光刻版粘在一起，產(chǎn)生斷片，造成不必要的浪費(fèi)和生產(chǎn)效率的降低，主要原因就是現(xiàn)有的光源光強(qiáng)弱、曝光時(shí)間長(zhǎng)、熱量高，因此易粘片且光源壽命短，此外汞燈產(chǎn)生的臭氧較多，對(duì)人體傷害大，汞燈損壞后有劇毒，不環(huán)保且不利于工作人員的身體健康，因此如何提高光照強(qiáng)度，降低熱量，提高光源壽命，降低功率，更加環(huán)保以及減少粘片及斷片現(xiàn)象是本實(shí)用新型需要解決的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的就是針對(duì)上述存在的缺陷而提供一種光刻機(jī)光源。本實(shí)用新型的光刻機(jī)光源光強(qiáng)度高、熱量小、壽命長(zhǎng)、功率小僅有現(xiàn)有技術(shù)的10%、環(huán)保無污染、使用壽命長(zhǎng)、報(bào)廢少，提尚效率200%，曝光時(shí)間短，曝光后線條整齊，能夠有效減少熱源解決粘片現(xiàn)象。
[0004]本實(shí)用新型的一種光刻機(jī)光源技術(shù)方案為，包括10顆以上的紫外線燈珠均勻分布在光源板正面，紫外線燈珠通過導(dǎo)線連接到發(fā)生器上，發(fā)生器調(diào)節(jié)光源強(qiáng)度。
[0005]紫外線燈珠直徑為0.l-10mm。
[0006]光源板背面沿紫外線燈珠分布方向設(shè)置有循環(huán)水管，循環(huán)水管連接冷水循環(huán)栗，冷水循環(huán)栗安裝于發(fā)生器內(nèi)。冷水經(jīng)過發(fā)光源后循環(huán)回冷水循環(huán)栗，經(jīng)制冷后繼續(xù)循環(huán)使用。
[0007]光源板為邊長(zhǎng)I 1mm的正方形板，50顆直徑為3mm的紫外線燈珠呈4個(gè)同心圓均勾分布在光源板正面，相鄰兩個(gè)同心圓之間的半徑差為50-60mm。
[0008]每個(gè)紫外線燈珠的功率為2w，共100w。
[0009]使用所述的光刻機(jī)光源進(jìn)行硅片曝光的方法，將硅片放置在版架之間，開啟開關(guān)，紫外光照射在硅片上面，距離硅片80mm，紫外線強(qiáng)度12-20uW/cm2，曝光時(shí)間為5-8秒，達(dá)到曝光要求后自動(dòng)停止光源，版架升起取下硅片。
[0010]本實(shí)用新型的一種光刻機(jī)光源有益效果為:本實(shí)用新型的光刻機(jī)光源光強(qiáng)度高、熱量小、壽命長(zhǎng)、功率小僅有現(xiàn)有技術(shù)的10%、環(huán)保無污染、使用壽命長(zhǎng)、報(bào)廢少，提高效率200%，曝光時(shí)間短(原來曝光時(shí)間為15秒-20秒，現(xiàn)在時(shí)間為5-8秒)，曝光后線條整齊，能夠有效減少熱源解決粘片現(xiàn)象。
[0011]【附圖說明】:
[0012]圖1所示為本實(shí)用新型光刻機(jī)光源結(jié)構(gòu)；
[0013]圖2所示為現(xiàn)有光刻機(jī)光源結(jié)構(gòu)。
[0014]其中，1-紫外線燈珠，2-光源板，3-冷水循環(huán)栗，4-發(fā)生器，5-高壓汞燈，6_鏡面。
[0015]【具體實(shí)施方式】:
[0016]為了更好地理解本實(shí)用新型，下面用具體實(shí)例來詳細(xì)說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，但是本實(shí)用新型并不局限于此。
[0017]實(shí)施例1
[0018]現(xiàn)有技術(shù)中，用于硅片曝光的光刻機(jī)光源，采用高壓汞燈5通過鏡面6折射或直接照射對(duì)硅片進(jìn)行曝光，高壓汞燈5長(zhǎng)度150mm，功率1000?，距離硅片高度140mm，紫外線強(qiáng)度約3_5uw/cm 2o
[0019]本實(shí)用新型光源板2為邊長(zhǎng)IlOmm的正方形板，50顆直徑為3mm的紫外線燈珠I呈4個(gè)同心圓均勻分布在光源板2正面，紫外線燈珠I通過導(dǎo)線連接到發(fā)生器4上，發(fā)生器4調(diào)節(jié)光源強(qiáng)度，相鄰兩個(gè)同心圓之間的半徑差為50-60mm。
[0020]光源板2背面沿紫外線燈珠I分布方向設(shè)置有循環(huán)水管，循環(huán)水管連接冷水循環(huán)栗3，冷水循環(huán)栗3安裝于發(fā)生器4內(nèi)。冷水經(jīng)過發(fā)光源后循環(huán)回冷水循環(huán)栗3，經(jīng)制冷后繼續(xù)循環(huán)使用。
[0021]每個(gè)紫外線燈珠I的功率為2w，共100w。
[0022]使用本實(shí)用新型所述的光刻機(jī)光源進(jìn)行硅片曝光的方法，將硅片放置在版架之間，開啟開關(guān)，紫外光照射在硅片上面，距離硅片80mm，紫外線強(qiáng)度12-20uW/cm2，曝光時(shí)間為5-8秒，達(dá)到曝光要求后自動(dòng)停止光源，版架升起取下硅片。
[0023]本實(shí)用新型的光刻機(jī)光源光強(qiáng)度高、熱量小、壽命長(zhǎng)、功率小僅有現(xiàn)有技術(shù)的10%、環(huán)保無污染、使用壽命長(zhǎng)、報(bào)廢少，提高效率200%，曝光時(shí)間短(原來曝光時(shí)間為15秒-20秒，現(xiàn)在時(shí)間為5-8秒)，曝光后線條整齊，能夠有效減少熱源解決粘片現(xiàn)象。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種光刻機(jī)光源，其特征在于，包括10顆以上的紫外線燈珠均勻分布在光源板正面，紫外線燈珠通過導(dǎo)線連接到發(fā)生器上，發(fā)生器調(diào)節(jié)光源強(qiáng)度。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻機(jī)光源，其特征在于，紫外線燈珠直徑為0.l-10mm。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻機(jī)光源，其特征在于，光源板背面沿紫外線燈珠分布方向設(shè)置有循環(huán)水管，循環(huán)水管連接冷水循環(huán)栗，冷水循環(huán)栗安裝于發(fā)生器內(nèi)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種光刻機(jī)光源，其特征在于，光源板為邊長(zhǎng)IlOmm的正方形板，50顆直徑為3mm的紫外線燈珠呈4個(gè)同心圓均勻分布在光源板正面，相鄰兩個(gè)同心圓之間的半徑差為50_60mm。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種光刻機(jī)光源，其特征在于，每個(gè)紫外線燈珠的功率為2w，共 10w06.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種光刻機(jī)光源，其特征在于，所述光刻機(jī)光源，距離硅片80mm，紫外線強(qiáng)度12-20uw/cm2，曝光時(shí)間為5-8秒。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種光刻機(jī)光源，該光刻機(jī)光源包括10顆以上的紫外線燈珠均勻分布在光源板正面，紫外線燈珠通過導(dǎo)線連接到發(fā)生器上，發(fā)生器調(diào)節(jié)光源強(qiáng)度。本實(shí)用新型的光刻機(jī)光源光強(qiáng)度高、熱量小、壽命長(zhǎng)、功率小僅有現(xiàn)有技術(shù)的10%、環(huán)保無污染、使用壽命長(zhǎng)、報(bào)廢少，提高效率200%，曝光時(shí)間短，曝光后線條整齊，能夠有效減少熱源解決粘片現(xiàn)象。
【IPC分類】G03F7/20
【公開號(hào)】CN205210510
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520880906
【發(fā)明人】孫者利, 張運(yùn)
【申請(qǐng)人】濟(jì)南卓微電子有限公司
【公開日】2016年5月4日
【申請(qǐng)日】2015年11月9日