一種用于回收涂布機管道內光刻膠的裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體制造領域，具體而言涉及半導體制備過程中的光刻膠涂布及回收利用裝置。
【背景技術】
[0002]在面板制造工藝中，光刻膠涂布是一道關鍵的工藝技術，進行這道工序的主要設備是涂布機，光刻膠抽取裝置是涂布機的一個輔助設備，主要負責將光刻膠容器里的光刻膠抽取到光刻膠管道再傳輸?shù)酵坎紮C管道，最終通過涂布刮刀的運動在玻璃基板上均勻的涂覆一層光刻膠。由于涂布刮刀與玻璃基板的寬度一致，為保證均勻涂布，涂布刮刀上設置有很多涂布機管道，正常情況下各個管道內都需要充滿光刻膠。
[0003]為了提高設備稼動率，涂布機需要定期進行清潔和維護，包括對涂布機眾多的涂布機管道進行清理。對涂布機進行清潔和維護之前，需要將涂布機管道內的光刻膠排除，通常是在幾張測試玻璃基板上涂布光刻膠且不進行曝光和烘烤，然后經(jīng)過顯影液再將玻璃基板上的光刻膠去除的方式進行。當涂布機維護結束恢復設備時，需要預先將管道里充滿光刻膠，再進行玻璃基板涂膠測試，直至確認涂布機涂布均勻度恢復才能恢復生產(chǎn)。
[0004]涂布機在進行維護前后的準備過程中，其涂布機管道內的光刻膠都被浪費掉了，同時也浪費了一定量的顯影液，這些對于制造行業(yè)來講都是很嚴重的成本浪費。
【實用新型內容】
[0005]針對上述問題，本實用新型提供了一種用于回收涂布機管道內光刻膠的裝置，解決了涂布機維護前后其管道內光刻膠的浪費問題。
[0006]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術方案如下:
[0007]—種用于回收涂布機管道內光刻膠的裝置，包括光刻膠容器，光刻膠管道，光刻膠抽取裝置，涂布刮刀，以及涂布機管道，還包括光刻膠回收容器，所述光刻膠回收容器通過光刻膠回收管道與光刻膠抽取裝置相連，所述光刻膠收回管道上設置有過濾器和流量計，所述光刻膠抽取裝置開設三個端口，第一端口與光刻膠管道連接，第二端口與涂布機管道連接，第三端口與光刻膠回收管道連接。
[0008]進一步地，所述光刻膠抽取裝的第一端口和第三端口分別設置有第一門閥和第二門閥。
[0009]再進一步地，所述光刻膠抽取裝置抽取光刻膠的方式為雙向抽取式。
[0010]與現(xiàn)有技術相比，本實用新型具有以下有益效果:
[0011 ] (I)本實用新型結構簡單，易于操作。
[0012](2)本實用新型通過可雙向抽取的光刻膠抽取裝置將涂布刮刀、涂布機管道中殘留的光刻膠吸入擠壓回光刻膠回收容器中，達到了減少光刻膠的浪費及提高光刻膠的利用率的目的，大大的節(jié)約企業(yè)的制造成本，有力的增強了企業(yè)的競爭力，為企業(yè)的發(fā)展做出了突出的貢獻。
[0013](3)本實用新型通過在光刻膠抽取裝置的兩個端口設置門閥，可以根據(jù)實際生產(chǎn)情況靈活選取兩個容器內的光刻膠。
【附圖說明】
[0014]圖1為本實用新型的整體示意圖。
[0015]附圖中的部分零部件名稱如下:
[0016]1-光刻膠容器，2-光刻膠管道，3-光刻膠抽取裝置，4-涂布刮刀，5-涂布機管道，6_光刻膠回收容器，7-光刻膠回收管道，8-過濾器，9-流量計，10-第一端口，11-第二端口，12-第三端口，13-第一門閥，14-第二門閥。
【具體實施方式】
[0017]下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明，本實用新型的實施方式包括但不限于下列實施例。
[0018]如圖1所示，一種用于回收涂布機管道內光刻膠的裝置，包括光刻膠容器，光刻膠管道，光刻膠抽取裝置，涂布刮刀，以及涂布機管道，還包括光刻膠回收容器，所述光刻膠回收容器通過光刻膠回收管道與光刻膠抽取裝置相連，所述光刻膠收回管道上設置有過濾器和流量計，所述光刻膠抽取裝置開設三個端口，第一端口與光刻膠管道連接，第二端口與涂布機管道連接，第三端口與光刻膠回收管道連接，所述光刻膠抽取裝的第一端口和第三端口分別設置有第一門閥和第二門閥，所述光刻膠抽取裝置抽取光刻膠的方式為雙向抽取式。
[0019]正常生產(chǎn)情況下，光刻膠抽取裝置上的第一門閥打開，第二門閥關閉，且光刻膠抽取裝置選為正向抽取模式，如此就保證了光刻膠容器內的光刻膠向涂布機供給。
[0020]當涂布機要進行定期維護時，將光刻膠抽取裝置上的第一門閥關閉，第二門閥打開，然后將光刻膠抽取裝置選為逆向抽取模式，此種模式下就可以完成將涂布刮刀和涂布機管道內的光刻膠抽取至光刻膠回收容器內，并且光刻膠回收管道上的計量器會記錄收回的光刻膠量。
[0021]當涂布機維護結束后，先利用光刻膠回收容器內的光刻膠填充涂布機管道，此時仍然保持第一門閥關閉，第二門閥打開，將光刻膠抽取裝置再次調整為正向抽取模式即可；此時光刻膠回收管道上的過率器可以進一步對回收的光刻膠進行過濾，當流量計的計數(shù)到達設定數(shù)值后發(fā)出警報提醒工作人員轉換為正常工作模式。
[0022]通過以上操作，對涂布刮刀和涂布機管道內的光刻膠進行了充分、合理的利用。
【主權項】
1.一種用于回收涂布機管道內光刻膠的裝置，包括光刻膠容器(1)，光刻膠管道(2)，光刻膠抽取裝置(3)，涂布刮刀(4)，以及涂布機管道(5)，其特征在于，還包括光刻膠回收容器(6)，所述光刻膠回收容器(6)通過光刻膠回收管道(7)與光刻膠抽取裝置(4)相連，所述光刻膠收回管道(7)上設置有過濾器(8)和流量計(9)，所述光刻膠抽取裝置開設三個端口，第一端口(10)與光刻膠管道(2)連接，第二端口(11)與涂布機管道(5)連接，第三端口(12)與光刻膠回收管道(7)連接。2.根據(jù)權利要求1所述的一種用于回收涂布機管道內光刻膠的裝置，其特征在于，所述光刻膠抽取裝的第一端口(10)和第三端口(12)分別設置有第一門閥(13)和第二門閥(14)。3.根據(jù)權利要求2所述的一種用于回收涂布機管道內光刻膠的裝置，其特征在于，所述光刻膠抽取裝置抽取光刻膠的方式為雙向抽取式。
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于回收涂布機管道內光刻膠的裝置，包括光刻膠容器，光刻膠管道，光刻膠抽取裝置，涂布刮刀，以及涂布機管道，還包括光刻膠回收容器，所述光刻膠回收容器通過光刻膠回收管道與光刻膠抽取裝置相連，所述光刻膠收回管道上設置有過濾器和流量計，所述光刻膠抽取裝置開設三個端口，第一端口與光刻膠管道連接，第二端口與涂布機管道連接，第三端口與光刻膠回收管道連接。本實用新型在涂布機定期維護階段對涂布刮刀和涂布機管道內的光刻膠進行了充分、合理的利用。
【IPC分類】G03F7/26
【公開號】CN205210514
【申請?zhí)枴緾N201520873578
【發(fā)明人】劉幸
【申請人】劉幸
【公開日】2016年5月4日
【申請日】2015年11月5日