一種曝光機(jī)用升降對(duì)位裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于印制線路板行業(yè)曝光制程設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種曝光機(jī)用升降對(duì)位裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在印制線路板曝光制程中，是將底片上的線路圖像移印到基板上，圖像移印一個(gè)非常重要的問(wèn)題是，如何快速準(zhǔn)確的將底片與基板上的靶位對(duì)準(zhǔn)。現(xiàn)有的雙工位曝光機(jī)上通常設(shè)置有兩個(gè)不同高度的臺(tái)框，每個(gè)臺(tái)框內(nèi)上下裝夾底片和基板，再由對(duì)位機(jī)構(gòu)調(diào)整下方基板的平面位置使其與上方底片對(duì)準(zhǔn)。但是，對(duì)于兩個(gè)臺(tái)框，在對(duì)位機(jī)構(gòu)對(duì)接不同高度的基板時(shí)，都需要人工手動(dòng)操作調(diào)整對(duì)位機(jī)構(gòu)的高度，才能使對(duì)位機(jī)構(gòu)上的對(duì)接板與基板的底面緊密貼合，上述操作過(guò)程費(fèi)時(shí)費(fèi)力，導(dǎo)致曝光機(jī)生產(chǎn)效率低下，工作穩(wěn)定性差，加工精度低。
[0003]鑒于此，如何設(shè)計(jì)一種可以在不同高度位置完成對(duì)位動(dòng)作的升降對(duì)位裝置，是業(yè)界亟待解決的問(wèn)題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]為解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型是提出一種可以在不同高度位置完成對(duì)位動(dòng)作的升降對(duì)位裝置，以實(shí)現(xiàn)在不同高度位置的基板與底片的對(duì)位動(dòng)作。
[0005]本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問(wèn)題采用的技術(shù)方案是:一種曝光機(jī)用升降對(duì)位裝置，包括:升降機(jī)構(gòu)及設(shè)于升降機(jī)構(gòu)上平面運(yùn)動(dòng)的對(duì)位機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)部分和減重部分;所述傳動(dòng)部分由伺服電機(jī)通過(guò)同步帶輪驅(qū)動(dòng)絲杠上的滾珠花鍵上下運(yùn)動(dòng)，所述滾珠花鍵固定插接在下固定板上，所述絲杠頂端與上固定板固定連接;所述減重部分包括至少一個(gè)配重氣缸，所述配重氣缸的缸筒固定插接在下固定板上，配重氣缸的活塞桿頂端與上固定板固定連接。
[0006]作為優(yōu)選方案，所述上固定板上方設(shè)有對(duì)接板，所述對(duì)位機(jī)構(gòu)設(shè)于上固定板和對(duì)接板之間，對(duì)位機(jī)構(gòu)包括四組同一平面上能夠沿兩個(gè)垂直方向滑動(dòng)并且能旋轉(zhuǎn)的滑臺(tái)，由三個(gè)電機(jī)通過(guò)絲杠驅(qū)動(dòng)滑臺(tái)中的兩組帶動(dòng)對(duì)接板同步平面運(yùn)動(dòng)。
[0007]作為優(yōu)選方案，所述對(duì)接板頂面設(shè)有用于配合連接基板底面的基板卡槽。
[0008]作為優(yōu)選方案，所述升降機(jī)構(gòu)還包括插固在下固定板上的直線軸承以及與直線軸承配合的導(dǎo)桿，所述導(dǎo)桿一端與上固定板固定連接，另一端與直線軸承活動(dòng)連接。
[0009]作為優(yōu)選方案，所述同步帶輪的傳動(dòng)比為5:3。
[0010]作為優(yōu)選方案，所述配重氣缸為四個(gè)，且四個(gè)配重氣缸以絲杠為中心對(duì)稱布置，四個(gè)配重氣缸的氣路并聯(lián)連接液壓控制閥。
[0011 ]作為優(yōu)選方案，所述液壓控制閥與0.5-0.6MPa的氣源相連接。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果:本實(shí)用新型設(shè)置有升降機(jī)構(gòu)，升降機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)部分由伺服電機(jī)通過(guò)同步帶輪驅(qū)動(dòng)絲杠上的滾珠花鍵上下直線運(yùn)動(dòng)，從而使得對(duì)位機(jī)構(gòu)能夠處于不同高度的位置。對(duì)位機(jī)構(gòu)在平面上運(yùn)動(dòng)，與升降機(jī)構(gòu)配合實(shí)現(xiàn)在不同高度位置的基板與底片的對(duì)位動(dòng)作。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了雙工位曝光機(jī)在不同高度完成對(duì)位的動(dòng)作，具有響應(yīng)速度快，精度高，結(jié)構(gòu)緊湊等特點(diǎn)。同時(shí)，本實(shí)用新型的出現(xiàn)還能夠?qū)崿F(xiàn)通過(guò)工控控制完成對(duì)位動(dòng)作，以達(dá)到高效穩(wěn)定的生產(chǎn)。
【附圖說(shuō)明】
[0013]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，其中:
[0014]圖1為本實(shí)用新型升降對(duì)位裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2為本實(shí)用新型升降對(duì)位裝置的結(jié)構(gòu)示意圖二；
[0016]圖3為本實(shí)用新型升降機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖4為本實(shí)用新型四支配重氣缸的氣動(dòng)原理圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面將結(jié)合附圖以及【具體實(shí)施方式】，對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步描述。下述實(shí)施例中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等用語(yǔ)，僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的范圍，其相對(duì)關(guān)系的改變或調(diào)整，在無(wú)實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實(shí)用新型可實(shí)施的范疇。
[0019]如圖1至3所示，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)的一種曝光機(jī)用升降對(duì)位裝置，其具體包括:一個(gè)升降機(jī)構(gòu)和一個(gè)平面運(yùn)動(dòng)的對(duì)位機(jī)構(gòu)(圖中未標(biāo)不)，升降機(jī)構(gòu)位于對(duì)位機(jī)構(gòu)的下方，由升降機(jī)構(gòu)帶動(dòng)對(duì)位機(jī)構(gòu)上下運(yùn)動(dòng)，從而使對(duì)位機(jī)構(gòu)處于不同高度的位置，完成對(duì)位動(dòng)作。
[0020]其中，升降機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)部分和減重部分。傳動(dòng)部分是由伺服電機(jī)I通過(guò)同步帶輪2驅(qū)動(dòng)絲杠3上的滾珠花鍵4上下直線運(yùn)動(dòng)，滾珠花鍵4固定插接在下固定板5上，絲杠3的頂端與上固定板6固定連接，以此使得上固定板6能夠相對(duì)下固定板5上下運(yùn)動(dòng)。同時(shí)滾珠花鍵4確保了上下直線運(yùn)動(dòng)的精度，并且不會(huì)回轉(zhuǎn)。減重部分包括多個(gè)配重氣缸7，配重氣缸7的缸筒固定插接在下固定板5上，配重氣缸7的活塞桿頂端與上固定板6固定連接，當(dāng)升降機(jī)構(gòu)上升時(shí)，配重氣缸7充氣，當(dāng)升降機(jī)構(gòu)下降時(shí)，配重氣缸7排氣，通過(guò)配重氣缸7平衡傳動(dòng)部分的重力，增加升降機(jī)構(gòu)的響應(yīng)速度。
[0021]配重氣缸7優(yōu)選設(shè)置有四個(gè)，且四個(gè)配重氣缸7以絲杠3為中心對(duì)稱布置，四個(gè)配重氣缸7的氣路并聯(lián)連接液壓控制閥，該液壓控制閥與0.5-0.6MPa的氣源相連接。四個(gè)配重氣缸7的氣動(dòng)設(shè)計(jì)如圖4所示，當(dāng)升降機(jī)構(gòu)上升時(shí)，氣缸7充氣，當(dāng)機(jī)構(gòu)下降時(shí)，氣缸7排氣，通過(guò)氣缸7平衡傳動(dòng)部分的重力，增加升降機(jī)構(gòu)的響應(yīng)速度。
[0022]升降機(jī)構(gòu)還包括插固在下固定板5上的直線軸承8及與直線軸承8配合的導(dǎo)桿9，導(dǎo)桿9的一端與上固定板6固定連接，另一端與直線軸承8活動(dòng)連接，直線軸承8與導(dǎo)桿9的配合能夠增強(qiáng)結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性。
[0023]上固定板6的上方設(shè)置有對(duì)接板10，對(duì)位機(jī)構(gòu)安裝在上固定板6和對(duì)接板10之間，由對(duì)位機(jī)構(gòu)帶動(dòng)對(duì)接板10同步運(yùn)動(dòng)，對(duì)接板10用于貼合相接于基板底面。對(duì)位機(jī)構(gòu)包括四組在同一平面上能夠沿兩個(gè)垂直方向滑動(dòng)并且旋轉(zhuǎn)的滑臺(tái)，由三個(gè)電機(jī)通過(guò)絲杠驅(qū)動(dòng)滑臺(tái)中的兩組在一定范圍內(nèi)運(yùn)動(dòng)，以達(dá)到控制對(duì)接板10運(yùn)動(dòng)的目的，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)位動(dòng)作。
[0024]為了便于與基板對(duì)接，在對(duì)接板10的頂面還設(shè)置有兩條對(duì)稱的基板卡槽11，基板卡槽11與基板底面上的凸扣相對(duì)應(yīng)連接，使得對(duì)位機(jī)構(gòu)能夠帶動(dòng)基板運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)位動(dòng)作。
[0025]本實(shí)用新型的工作原理為:升降機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)部分由伺服電機(jī)I通過(guò)一對(duì)傳動(dòng)比為5: 3的同步帶輪2帶動(dòng)絲杠3上的滾珠花鍵4上下運(yùn)動(dòng)，以此使得上固定板6能夠相對(duì)下固定板5上下直線運(yùn)動(dòng)，對(duì)位機(jī)構(gòu)隨著上固定板6處于不同高度位置，此時(shí)對(duì)位機(jī)構(gòu)上的對(duì)接板10就可以與不同高度的基板底面緊密貼合，實(shí)現(xiàn)基板與底片的對(duì)位動(dòng)作。
[0026]以上所述，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本實(shí)用新型作任何形式上的限制，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)介修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種曝光機(jī)用升降對(duì)位裝置，其特征在于，包括:升降機(jī)構(gòu)及設(shè)于升降機(jī)構(gòu)上平面運(yùn)動(dòng)的對(duì)位機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)部分和減重部分;所述傳動(dòng)部分由伺服電機(jī)(I)通過(guò)同步帶輪(2)驅(qū)動(dòng)絲杠(3)上的滾珠花鍵(4)上下運(yùn)動(dòng)，所述滾珠花鍵固定插接在下固定板(5)上，所述絲杠頂端與上固定板(6)固定連接;所述減重部分包括至少一個(gè)配重氣缸(7)，所述配重氣缸的缸筒固定插接在下固定板上，配重氣缸的活塞桿頂端與上固定板固定連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)用升降對(duì)位裝置，其特征在于，所述上固定板(6)上方設(shè)有對(duì)接板(10)，所述對(duì)位機(jī)構(gòu)設(shè)于上固定板和對(duì)接板之間，對(duì)位機(jī)構(gòu)包括四組同一平面上能夠沿兩個(gè)垂直方向滑動(dòng)并且能旋轉(zhuǎn)的滑臺(tái)，由三個(gè)電機(jī)通過(guò)絲杠驅(qū)動(dòng)滑臺(tái)中的兩組帶動(dòng)對(duì)接板同步平面運(yùn)動(dòng)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)用升降對(duì)位裝置，其特征在于，所述對(duì)接板(10)頂面設(shè)有用于配合連接基板底面的基板卡槽(11)。4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的曝光機(jī)用升降對(duì)位裝置，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)還包括插固在下固定板(5)上的直線軸承(8)以及與直線軸承配合的導(dǎo)桿(9)，所述導(dǎo)桿一端與上固定板(6)固定連接，另一端與直線軸承活動(dòng)連接。5.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的曝光機(jī)用升降對(duì)位裝置，其特征在于，所述同步帶輪(2)的傳動(dòng)比為5:3。6.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的曝光機(jī)用升降對(duì)位裝置，其特征在于，所述配重氣缸(7)為四個(gè)，且四個(gè)配重氣缸以絲杠(3)為中心對(duì)稱布置，四個(gè)配重氣缸的氣路并聯(lián)連接液壓控制閥。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的曝光機(jī)用升降對(duì)位裝置，其特征在于，所述液壓控制閥與0.5-.0.6MPa的氣源相連接。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種曝光機(jī)用升降對(duì)位裝置，包括：升降機(jī)構(gòu)及設(shè)于升降機(jī)構(gòu)上平面運(yùn)動(dòng)的對(duì)位機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)部分和減重部分；所述傳動(dòng)部分由伺服電機(jī)通過(guò)同步帶輪驅(qū)動(dòng)絲杠上的滾珠花鍵上下運(yùn)動(dòng)，所述滾珠花鍵固定插接在下固定板上，所述絲杠頂端與上固定板固定連接；所述減重部分包括至少一個(gè)配重氣缸，所述配重氣缸的缸筒固定插接在下固定板上，配重氣缸的活塞桿頂端與上固定板固定連接。本實(shí)用新型的升降機(jī)構(gòu)帶動(dòng)上固定板相對(duì)于下固定板上下運(yùn)動(dòng)，從而使得對(duì)位機(jī)構(gòu)能夠處于不同高度的位置，對(duì)位機(jī)構(gòu)在平面上運(yùn)動(dòng)，與升降機(jī)構(gòu)配合實(shí)現(xiàn)在不同高度位置的基板與底片的對(duì)位動(dòng)作。
【IPC分類】G03F9/00
【公開(kāi)號(hào)】CN205353575
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201521129413
【發(fā)明人】陳寧
【申請(qǐng)人】深圳市鑫富寶科技有限公司
【公開(kāi)日】2016年6月29日
【申請(qǐng)日】2015年12月30日