光罩盒的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種光罩盒，其包括上蓋以及底座。底座位于上蓋的相對(duì)側(cè)且包括多個(gè)支撐架與多個(gè)限位件。限位件位于光罩盒的三側(cè)。支撐架適于支撐光罩，且光罩位于支撐架與上蓋之間。光罩適于以第一擺設(shè)方向或由第一擺設(shè)方向轉(zhuǎn)90度的第二擺設(shè)方向配置于支撐架上。在第一擺設(shè)方向以及第二擺設(shè)方向下，支撐架皆位于光罩的多個(gè)周邊區(qū)的下方，且支撐架的邊緣不超出周邊區(qū)。本實(shí)用新型提供的光罩盒具有改良的支撐架配置，可避免因光罩的擺設(shè)方向不同而損害光罩。
【專利說明】
光罩盒
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型是有關(guān)于一種光罩盒，且特別是有關(guān)于一種具有改良的支撐架配置的光罩盒。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著科技的進(jìn)步，微電子工業(yè)的制造技術(shù)一日千里，其中微影制程(lithographyprocess)扮演著十分重要的角色。微影制程包括形成光阻層、曝光(exposure)與顯影(development)等步驟。簡(jiǎn)言之，微影制程是將設(shè)計(jì)好的線路圖案，完整且精確地復(fù)制到基板(例如為晶圓或具有銅箔層的電路板)上。設(shè)計(jì)好的圖案會(huì)先制作成光罩(photo mask),再應(yīng)用光學(xué)成像的原理，將圖案投影至基板上。因此，光罩的保護(hù)及清潔會(huì)影響微影制程的優(yōu)劣。
[0003]光罩通常存放在光罩盒中。光罩盒通常設(shè)置有支撐座以支撐光罩。光罩通常需以單一特定的擺設(shè)方向擺放于光罩盒中，以避免支撐座損傷光罩中用以保護(hù)光罩圖案的薄膜。然而，在微影制程前，光罩需進(jìn)行保養(yǎng)、清洗及檢查。在多次取放光罩的過程中，若以錯(cuò)誤的擺設(shè)方向?qū)⒐庹謹(jǐn)[放于光罩盒，會(huì)造成薄膜立即性的損傷，嚴(yán)重者可能導(dǎo)致光罩整個(gè)報(bào)廢。因此，如何避免因光罩的擺設(shè)方向不同而損害光罩，實(shí)為研發(fā)人員亟欲解決的問題之
O
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型提供一種光罩盒，其具有改良的支撐架配置，可避免因光罩的擺設(shè)方向不同而損害光罩。
[0005]本實(shí)用新型的一種光罩盒，其包括上蓋以及底座。底座位于上蓋的相對(duì)側(cè)且包括多個(gè)支撐架與多個(gè)限位件。限位件位于光罩盒的三側(cè)。支撐架適于支撐光罩，且光罩位于支撐架與上蓋之間。光罩適于以第一擺設(shè)方向或由第一擺設(shè)方向轉(zhuǎn)90度的第二擺設(shè)方向配置于支撐架上。在第一擺設(shè)方向以及第二擺設(shè)方向下，支撐架皆位于光罩的多個(gè)周邊區(qū)的下方，且支撐架的邊緣不超出周邊區(qū)。
[0006]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，各支撐架于光罩上的正投影的延伸方向與各周邊區(qū)的延伸方向平行或垂直，且各支撐架于光罩上的正投影長(zhǎng)度小于或等于各周邊區(qū)的寬度。
[0007]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，上述的各支撐架于光罩上的正投影的延伸方向與各周邊區(qū)的延伸方向所夾的銳角為cua大于O度且小于90度。各支撐架于光罩上的正投影長(zhǎng)度為L(zhǎng)，且Lsina小于或等于各周邊區(qū)的寬度。
[0008]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，上述的各支撐架包括兩柱體以及連接部。柱體的頂面位于相同水平面上。連接部連接柱體。
[0009]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，上述的柱體、連接部以及光罩圍設(shè)出開口。
[0010]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，上述的各支撐架的形狀為H或U形。
[0011]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，位于光罩盒兩對(duì)側(cè)的限位件的延伸方向與支撐架于光罩上的正投影的延伸方向平行，且各支撐架與相鄰的限位件之間的最短距離大于機(jī)械手臂的寬度。
[0012]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，位于光罩盒兩對(duì)側(cè)的限位件的延伸方向與支撐架于光罩上的正投影的延伸方向垂直。各支撐架包括兩柱體以及連接部。連接部連接柱體，且柱體、連接部以及光罩圍設(shè)出開口。各開口的寬度為D，且D大于機(jī)械手臂的寬度。
[0013]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，位于光罩盒兩對(duì)側(cè)的限位件的延伸方向與支撐架于光罩上的正投影的延伸方向所夾的銳角為Κβ大于O度且小于90度。各支撐架包括兩柱體以及連接部。連接部連接柱體，且柱體、連接部以及光罩圍設(shè)出開口。各開口的對(duì)角線長(zhǎng)度為X，各開口的對(duì)角線與第一方向所夾的銳角為Y，且Xsiny大于機(jī)械手臂的寬度。
[0014]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，位于光罩盒兩對(duì)側(cè)的限位件的延伸方向與支撐架于光罩上的正投影的延伸方向所夾的銳角為Κβ大于O度且小于90度。各支撐架與相鄰的限位件之間的最短距離大于機(jī)械手臂的寬度。
[0015]基于上述，由于無(wú)論光罩如何擺設(shè)于光罩盒中，支撐架皆位于光罩的周邊區(qū)的下方且支撐架的邊緣不超出周邊區(qū)，亦即，無(wú)論光罩如何擺設(shè)于光罩盒中，支撐架皆不會(huì)與光罩上的薄膜碰觸，因此本實(shí)用新型實(shí)施例的光罩盒可避免因擺設(shè)方向不同(例如轉(zhuǎn)90度)而損害光罩。
[0016]為讓本實(shí)用新型的上述特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉實(shí)施例，并配合附圖作詳細(xì)說明如下。
【附圖說明】
[0017]圖1A是依照本實(shí)用新型的第一實(shí)施例的一種光罩盒的剖面示意圖；
[0018]圖1B及圖1C分別是光罩以第一擺設(shè)方向及第二擺設(shè)方向配置于本實(shí)用新型的第一實(shí)施例的光罩盒中的上視示意圖；
[0019]圖1D是機(jī)械手臂欲于本實(shí)用新型的第一實(shí)施例的光罩盒中夾取光罩的一種示意圖；
[0020]圖2Α是依照本實(shí)用新型的第二實(shí)施例的一種光罩盒的剖面示意圖；
[0021]圖2Β及圖2C分別是光罩以第一擺設(shè)方向及第二擺設(shè)方向配置于本實(shí)用新型的第二實(shí)施例的光罩盒中的上視示意圖；
[0022]圖2D是機(jī)械手臂欲于本實(shí)用新型的第二實(shí)施例的光罩盒中夾取光罩的一種示意圖；
[0023]圖3Α是依照本實(shí)用新型的第三實(shí)施例的一種光罩盒的剖面示意圖；
[0024]圖3Β是機(jī)械手臂欲于本實(shí)用新型的第三實(shí)施例的光罩盒中夾取光罩的一種示意圖；
[0025]圖4Α及圖4Β分別是光罩以第一擺設(shè)方向及第二擺設(shè)方向配置于本實(shí)用新型的第四實(shí)施例的光罩盒中的上視示意圖。
[0026]附圖標(biāo)記說明:
[0027]10:光罩；
[0028]12:基板；
[0029]14:薄膜；
[0030]100、200、300、400:光罩盒；
[0031]110:上蓋；
[0032]120、220、320、420:底座；
[0033]122、222、322、422:支撐架；
[0034]124:限位件；
[0035]126:下蓋體；
[0036]222A:柱體；
[0037]222B:連接部；
[0038]Al:周邊區(qū)；
[0039]A2:薄膜區(qū)；
[0040]D、WA1、WMH:寬度；
[0041]Dl:第一方向；
[0042]D2:第二方向；
[0043]DMIN:最短距離；
[0044]HL:水平面；
[0045]1:交界；
[0046]L、L122、L222:正投影長(zhǎng)度；
[0047]MH:機(jī)械手臂；
[0048]O:開口；
[0049]Ρ122、Ρ222、Ρ422:正投影；
[0050]S:空間；
[0051 ] S122、S222A:頂面；
[0052]X:對(duì)角線長(zhǎng)度；
[0053]α、β、γ:銳角。
【具體實(shí)施方式】
[0054]圖1A是依照本實(shí)用新型的第一實(shí)施例的一種光罩盒的剖面示意圖。圖1B及圖1C分別是光罩以第一擺設(shè)方向及第二擺設(shè)方向配置于本實(shí)用新型的第一實(shí)施例的光罩盒中的上視示意圖。圖1D是機(jī)械手臂欲于本實(shí)用新型的第一實(shí)施例的光罩盒中夾取光罩的一種示意圖。圖1B至圖1D省略繪示光罩盒的上蓋，且圖1D還省略底座的下蓋體。
[0055]請(qǐng)參照?qǐng)D1A至圖1D，光罩盒100包括上蓋110以及底座120。底座120位于上蓋110的相對(duì)側(cè)，且上蓋110與底座120可組合，以形成容納光罩10的空間S。底座120包括多個(gè)支撐架122。支撐架122適于支撐光罩10，且光罩10位于支撐架122與上蓋110之間。
[0056]光罩10包括基板12以及配置于基板12上的薄膜14?；?2可具有周邊區(qū)Al與薄膜區(qū)Α2，周邊區(qū)Al與薄膜區(qū)Α2之間具有交界I。薄膜14覆蓋薄膜區(qū)Α2且暴露出周邊區(qū)Al。周邊區(qū)Al例如分別位于薄膜區(qū)Α2的兩對(duì)側(cè)。光罩10適于以第一擺設(shè)方向(參照?qǐng)D1Β)或由第一擺設(shè)方向轉(zhuǎn)90度的第二擺設(shè)方向(參照?qǐng)D1C)配置于支撐架122上。其中，第一擺設(shè)方向?yàn)闄C(jī)械手臂操作方向。在第一擺設(shè)方向(參照?qǐng)D1Β)下，周邊區(qū)Al各自沿第一方向Dl延伸且沿與第一方向Dl垂直的第二方向D2排列。在第二擺設(shè)方向(參照?qǐng)D1C)下，周邊區(qū)Al各自沿第二方向D2延伸且沿第一方向Dl排列。
[0057]支撐架122設(shè)置在光罩盒100的四個(gè)角落。各支撐架122的頂面S122為平坦表面，且頂面S122皆位于相同水平面HL上，各支撐架122可整體配置在光罩10的下方，如此，有助于縮減配置光罩10以外的空間，從而有助于縮減光罩盒100的面積(或體積)。于本實(shí)用新型中，不論以第一擺設(shè)方向或第二擺設(shè)方向擺設(shè)光罩10，支撐架122皆位于光罩10的多個(gè)周邊區(qū)Al的下方，且支撐架122不接觸薄膜14。
[0058]在本實(shí)施例中，各支撐架122的形狀例如為條狀，且各支撐架122于光罩10上的正投影P122例如分別沿第一方向Dl延伸。在第一擺設(shè)方向下，各支撐架122于光罩10上的正投影P122以及各周邊區(qū)Al皆沿第一方向Dl延伸，因此各支撐架122于光罩10上的正投影P122的延伸方向與各周邊區(qū)Al的延伸方向平行。另一方面，在第二擺設(shè)方向下，各支撐架122于光罩10上的正投影P122沿第一方向Dl延伸，而各周邊區(qū)Al沿第二方向D2延伸，因此各支撐架122于光罩10上的正投影P122的延伸方向與各周邊區(qū)Al的延伸方向垂直。
[0059]在第一擺設(shè)方向及第二擺設(shè)方向下，各支撐架122于光罩10上的正投影長(zhǎng)度L122小于或等于各周邊區(qū)Al的寬度WA1。因此，即便光罩10轉(zhuǎn)90度擺設(shè)于光罩盒100中(即圖1C所示的第二擺設(shè)方向)，支撐架122的邊緣亦不會(huì)超出周邊區(qū)Al而碰觸到薄膜區(qū)A2的薄膜14。亦即，支撐架122皆不會(huì)與薄膜14碰觸，因此操作員可將以第二擺設(shè)方向的光罩10轉(zhuǎn)向?yàn)榈谝粩[設(shè)方向，以進(jìn)行后續(xù)以機(jī)械手臂MH取出光罩10的操作。
[0060]依據(jù)不同的需求，底座120或上蓋110可各自包括其他元件。舉例而言，底座120可進(jìn)一步包括多個(gè)限位件124，以定位光罩10，避免光罩10在光罩盒100運(yùn)送的過程中因碰撞而損壞。限位件124可位于光罩盒100的三側(cè)，但不以此為限。在本實(shí)施例中，位于光罩盒100兩對(duì)側(cè)(如圖1B及圖1C的左右兩側(cè))的限位件124的延伸方向與支撐架122于光罩10上的正投影P122的延伸方向平行(皆沿第一方向Dl延伸)。各支撐架122與相鄰的限位件124之間的最短距離DMIN可大于機(jī)械手臂MH的寬度WMH，以利機(jī)械手臂MH夾取光罩10。具體地，機(jī)械手臂MH可沿第一方向Dl伸入支撐架122與相鄰的限位件124之間的縫隙，并將光罩10抬起，如此便可將光罩1自底座120取出。舉例而言，若機(jī)械手臂MH的寬度WMH為6mm，各支撐架122與相鄰的限位件124之間的最短距離DMIN可大于6mm，以利機(jī)械手臂MH夾取光罩10。
[0061]另外，底座120可進(jìn)一步包括下蓋體126。支撐架122以及限位件124配置于下蓋體126上且位于上蓋110與下蓋體126之間。在一實(shí)施例中，支撐架122、限位件124以及下蓋體126可一體成型，而上蓋110額外制作后再與底座120組裝在一起。
[0062]以下以圖2A至圖4B說明本實(shí)用新型的光罩盒的其他實(shí)施型態(tài)，其中相同的原件以相同的標(biāo)號(hào)表示，于此不再贅述。應(yīng)說明的是，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本實(shí)用新型的光罩盒不以此圖1A至圖4B所繪示者為限。
[0063]圖2A是依照本實(shí)用新型的第二實(shí)施例的一種光罩盒的剖面示意圖。圖2B及圖2C分別是光罩以第一擺設(shè)方向及第二擺設(shè)方向配置于本實(shí)用新型的第二實(shí)施例的光罩盒中的上視示意圖。圖2D是機(jī)械手臂欲于本實(shí)用新型的第二實(shí)施例的光罩盒中夾取光罩的一種示意圖。圖2B至圖2D省略繪示光罩盒的上蓋，且圖2D還省略底座的下蓋體。
[0064]請(qǐng)參照?qǐng)D2A至圖2D，光罩盒200與圖1A至圖1D的光罩盒100的主要差異在于底座220的各支撐架222于光罩10上的正投影P222例如分別沿第二方向D2延伸。因此，在第一擺設(shè)方向下(如圖2B所示)，各支撐架222于光罩10上的正投影P222的延伸方向(第二方向D2)與各周邊區(qū)Al的延伸方向垂直(第一方向Dl)。另一方面，在第二擺設(shè)方向下(如圖2C所示)，各支撐架222于光罩10上的正投影P222的延伸方向與各周邊區(qū)Al的延伸方向平行(皆沿第二方向D2延伸)。
[0065]在第一擺設(shè)方向及第二擺設(shè)方向下，各支撐架222于光罩10上的正投影長(zhǎng)度L222小于或等于各周邊區(qū)Al的寬度WA1。因此，即便光罩10轉(zhuǎn)90度擺設(shè)于光罩盒200中，支撐架222皆不會(huì)碰觸到薄膜14，因此光罩盒200可避免因光罩的擺設(shè)方向不同(例如轉(zhuǎn)90度)而損害光罩10
[0066]在本實(shí)施例中，位于光罩盒200兩對(duì)側(cè)(如圖2B及圖2C的左右兩側(cè))的限位件124的延伸方向與支撐架222的延伸方向垂直。支撐架222可具有讓機(jī)械手臂MH通過的開口 0，如此各支撐架222與相鄰的限位件124之間可以不用空出讓機(jī)械手臂MH通過的距離。從而可以不用額外擴(kuò)張光罩盒200中配置光罩10以外的空間，使光罩盒200維持理想的面積(或體積)。
[0067]進(jìn)一步而言，各支撐架222包括兩柱體222A以及連接部222B。柱體222A的頂面S222A為平坦表面，且頂面S222A皆位于相同水平面HL上，各支撐架222可整體配置在光罩10的下方。如此，有助于縮減配置光罩10以外的空間，從而有助于縮減光罩盒200的面積(或體積)。連接部222B連接柱體222A，且柱體222A、連接部222B以及光罩10圍設(shè)出開口 O。各開口 O的寬度為D，且D大于機(jī)械手臂MH的寬度。
[0068]在本實(shí)施例中，各支撐架222的形狀為U形，但本實(shí)用新型不以此為限。圖3A是依照本實(shí)用新型的第三實(shí)施例的一種光罩盒的剖面示意圖。圖3B是機(jī)械手臂欲于本實(shí)用新型的第三實(shí)施例的光罩盒中夾取光罩的一種示意圖。圖3B省略繪示光罩盒的上蓋以及底座的下蓋體。請(qǐng)參照?qǐng)D3A及圖3B，光罩盒300與圖2A至圖2D的光罩盒200的主要差異在于各支撐架322的連接部222B例如連接于兩柱體222A的中間，使得底座320的各支撐架322的形狀為H形。
[0069]圖4A及圖4B分別是光罩以第一擺設(shè)方向及第二擺設(shè)方向配置于本實(shí)用新型的第四實(shí)施例的光罩盒中的上視示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D4A及圖4B，光罩盒400與圖2A至圖2D的光罩盒200的主要差異在于底座420的各支撐架422是斜向配置在下蓋體126上，且各支撐架422于光罩10上的正投影P422的延伸方向與各周邊區(qū)Al的延伸方向所夾的銳角為cua大于O度且小于90度。
[0070]在第一擺設(shè)方向及第二擺設(shè)方向下，支撐架422的Lsina(L為各支撐架422于光罩10上的正投影長(zhǎng)度)小于或等于各周邊區(qū)Al的寬度WA1。如此，無(wú)論光罩10如何擺設(shè)于光罩盒400中(如第一擺設(shè)方向及第二擺設(shè)方向)，支撐架422皆不會(huì)與薄膜14碰觸，因此光罩盒400可避免因光罩的擺設(shè)方向不同(例如轉(zhuǎn)90度)而損害光罩10。
[0071]在本實(shí)施例中，位于光罩盒400兩對(duì)側(cè)(如圖4A及圖4B的左右兩側(cè))的限位件124的延伸方向與支撐架422于光罩10上的正投影P422的延伸方向所夾的銳角為Κβ大于O度且小于90度。在第一擺設(shè)方向下，銳角β等于銳角a，而在第二擺設(shè)方向下，銳角β與銳角a互為余角。支撐架422可具有讓機(jī)械手臂MH通過的開口 0(參照?qǐng)D2D或圖3B)。具體地，各支撐架422的形狀可以是圖2D所示的U形或圖3B所示的H形。如此，各支撐架422與相鄰的限位件124之間可以不用空出讓機(jī)械手臂MH通過的距離。從而可以不用額外擴(kuò)張配置光罩10以外的空間，使光罩盒400維持理想的面積(或體積)ο在本實(shí)施例中，Xsin γ (X為各開口 O的對(duì)角線長(zhǎng)度，Y為各開口O的對(duì)角線與第一方向Dl所夾的銳角)大于機(jī)械手臂MH的寬度(如大于6mm)，以讓機(jī)械手臂MH通過。然而，本實(shí)用新型不限于上述。在另一實(shí)施例中，機(jī)械手臂MH也可由支撐架422的外側(cè)夾取光罩10(如圖1D所示)。具體地，各支撐架422與相鄰的限位件124之間的最短距離可大于機(jī)械手臂MH的寬度，以利機(jī)械手臂MH夾取光罩10。
[0072]綜上所述，由于無(wú)論光罩如何擺設(shè)于光罩盒中，支撐架皆不會(huì)接觸光罩上的薄膜，因此本實(shí)用新型實(shí)施例的光罩盒可避免因光罩的擺設(shè)方向不同(例如轉(zhuǎn)90度)而損害光罩。
[0073]最后應(yīng)說明的是:以上各實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制;盡管參照前述各實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分或者全部技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù)方案的范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種光罩盒，其特征在于，包括: 上蓋；以及 底座，位于所述上蓋的相對(duì)側(cè)且包括多個(gè)支撐架與多個(gè)限位件，所述多個(gè)限位件位于所述光罩盒的三側(cè)，所述多個(gè)支撐架適于支撐光罩，且所述光罩位于所述多個(gè)支撐架與所述上蓋之間，其中所述光罩適于以第一擺設(shè)方向或由所述第一擺設(shè)方向轉(zhuǎn)90度的第二擺設(shè)方向配置于所述多個(gè)支撐架上，在所述第一擺設(shè)方向以及所述第二擺設(shè)方向下，所述多個(gè)支撐架皆位于所述光罩的多個(gè)周邊區(qū)的下方，且所述多個(gè)支撐架的邊緣不超出所述多個(gè)周邊區(qū)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩盒，其特征在于，各所述支撐架于所述光罩上的正投影的延伸方向與各所述周邊區(qū)的延伸方向平行或垂直，且各所述支撐架于所述光罩上的正投影長(zhǎng)度小于或等于各所述周邊區(qū)的寬度。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩盒，其特征在于，各所述支撐架于所述光罩上的正投影的延伸方向與各所述周邊區(qū)的延伸方向所夾的銳角為α，α大于O度且小于90度，各所述支撐架于所述光罩上的正投影長(zhǎng)度為L(zhǎng)，且Lsina小于或等于各所述周邊區(qū)的寬度。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩盒，其特征在于，各所述支撐架包括兩柱體以及連接部，所述兩柱體的頂面位于相同水平面上，所述連接部連接所述兩柱體。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光罩盒，其特征在于，所述兩柱體、所述連接部以及所述光罩圍設(shè)出開口。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩盒，其特征在于，各所述支撐架的形狀為H或U形。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光罩盒，其特征在于，位于所述光罩盒兩對(duì)側(cè)的所述多個(gè)限位件的延伸方向與所述多個(gè)支撐架于所述光罩上的正投影的延伸方向平行，且各所述支撐架與相鄰的所述限位件之間的最短距離大于機(jī)械手臂的寬度。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光罩盒，其特征在于，位于所述光罩盒兩對(duì)側(cè)的所述多個(gè)限位件的延伸方向與所述多個(gè)支撐架于所述光罩上的正投影的延伸方向垂直，各所述支撐架包括兩柱體以及連接部，所述連接部連接所述兩柱體，且所述兩柱體、所述連接部以及所述光罩圍設(shè)出開口，各所述開口的寬度為D，且D大于機(jī)械手臂的寬度。9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光罩盒，其特征在于，位于所述光罩盒兩對(duì)側(cè)的所述多個(gè)限位件的延伸方向與所述多個(gè)支撐架于所述光罩上的正投影的延伸方向所夾的銳角為β，β大于O度且小于90度，各所述支撐架包括兩柱體以及連接部，所述連接部連接所述兩柱體，且所述兩柱體、所述連接部以及所述光罩圍設(shè)出開口，各所述開口的對(duì)角線長(zhǎng)度為X，各所述開口的對(duì)角線與第一方向所夾的銳角為Y，且Xsin γ大于機(jī)械手臂的寬度。10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光罩盒，其特征在于，位于所述光罩盒兩對(duì)側(cè)的所述多個(gè)限位件的延伸方向與所述多個(gè)支撐架于所述光罩上的正投影的延伸方向所夾的銳角為β，β大于O度且小于90度，各所述支撐架與相鄰的所述限位件之間的最短距離大于機(jī)械手臂的寬度。
【文檔編號(hào)】G03F1/66GK205539917SQ201620064742
【公開日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年1月22日
【發(fā)明人】鄭宸雅, 蕭芝岳
【申請(qǐng)人】華邦電子股份有限公司