專利名稱：用于觸發(fā)超聲傳感器的方法以及超聲傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于觸發(fā)超聲傳感器的方法以及一種超聲傳感器。
背景技術(shù)：
數(shù)十年來，超聲傳感器用在車輛中以進行周圍環(huán)境探測。測量系統(tǒng)在此基于回波方法，其中發(fā)射信號由障礙物反射并且以回波信號的形式反射至車輛。隨后根據(jù)所測量的回波傳播時間確定障礙物與車輛的距離。所述信息隨后用于各種駕駛員輔助系統(tǒng)，如泊車輔助以及死角監(jiān)控。超聲傳感器在此通常以超聲轉(zhuǎn)換器的形式實現(xiàn)，其能夠?qū)崿F(xiàn)發(fā)射運行與接收運行之間的切換。傳統(tǒng)的超聲傳感器包括膜片和電機械轉(zhuǎn)換器，所述膜片在發(fā)射運行中將超聲范圍內(nèi)的機械振動轉(zhuǎn)換成圍繞車輛的空氣的壓力波動，所述電機械轉(zhuǎn)換器例如是壓電振蕩器的 形式，其例如借助于粘合連接耦合到膜片上并且在發(fā)射運行中將電信號轉(zhuǎn)換成超聲范圍中的振動。為了給膜片輻射提供方向，通常將其固定到底架上，所述底架具有與膜片相比可忽略的振動幅度。超聲傳感器通常在其相應(yīng)的諧振頻率的范圍內(nèi)運行，因為在所述范圍內(nèi)存在電振動功率至機械振動功率(和相反)的特別有效的轉(zhuǎn)換，其中所述諧振頻率由相應(yīng)的膜片和相應(yīng)的轉(zhuǎn)換器的諧振特性得出。由DE 10 2006 021 492A1公開了一種用于調(diào)節(jié)超聲傳感器的殼體的振動區(qū)段的諧振頻率的方法，其中測量所述振動區(qū)段的諧振頻率并且將其與額定諧振頻率的事先確定的閾值進行比較。根據(jù)比較，通過相應(yīng)的材料去除或材料施加來調(diào)節(jié)所述振動區(qū)段的諧振頻率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提出了一種超聲傳感器，其具有膜片，所述膜片具有至少兩個子區(qū)域，用于發(fā)射和/或接收超聲信號，其中所述兩個子區(qū)域具有不同的諧振特性，并且所述超聲傳感器具有至少一個與所述膜片耦合的電機械轉(zhuǎn)換器，具有至少兩個不同的控制信號頻率的控制信號可被施加到所述電機械轉(zhuǎn)換器上。在此，第一控制信號頻率位于所述膜片的第一子區(qū)域的諧振頻率的范圍內(nèi)而第二控制信號頻率位于所述膜片的第二子區(qū)域的諧振頻率的范圍內(nèi)。在此，有利地通過膜片在子區(qū)域中的不同厚度實現(xiàn)不同的諧振特性。此外，本發(fā)明提出了一種用于觸發(fā)超聲傳感器的方法，所述超聲傳感器具有膜片，所述膜片具有至少兩個子區(qū)域，所述子區(qū)域具有不同的諧振特性，并且所述超聲傳感器具有至少一個與所述膜片耦合的電機械轉(zhuǎn)換器，其中將具有兩個不同的控制信號頻率的控制信號施加到所述電機械轉(zhuǎn)換器上。在此，第一控制信號頻率位于所述膜片的第一子區(qū)域的諧振頻率的范圍內(nèi)而第二控制信號頻率位于所述膜片的第二子區(qū)域的諧振頻率的范圍內(nèi)。表述“子區(qū)域的諧振頻率”在此和以下表示由膜片的諧振特性和一個或多個與其耦合的電機械轉(zhuǎn)換器的諧振特性得到的諧振頻率。
本發(fā)明基于如下基本構(gòu)思如此構(gòu)造和布置超聲轉(zhuǎn)換器的膜片和一個或多個電機械轉(zhuǎn)換器以及如此觸發(fā)所述一個或多個電機械轉(zhuǎn)換器，使得超聲傳感器具有多于一個諧振頻率，在所述諧振頻率處電振動功率被特別有效地轉(zhuǎn)換成聲學(xué)振動功率，或者相反。通過使用具有不同頻率的超聲信號能夠在其可靠性、有效范圍和/或反應(yīng)快速性方面改善車輛的基于超聲的周圍環(huán)境探測?？梢越柚诙囝l調(diào)制或?qū)拵д{(diào)制將例如基于在較長時間之前發(fā)射的發(fā)射信號的回波信號(長距回波)和/或外來信號或干擾信號明顯更可靠地與作為不久之前發(fā)射的信號的結(jié)果的回波進行區(qū)分。在此，不僅可以考慮自己車輛的信號而且可以考慮其他車輛和/或設(shè)置在車輛周圍中的設(shè)備的信號。根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式，膜片可以被如此構(gòu)造，使得膜片厚度跳躍式地改變。替代地，也可以設(shè)置膜片厚度的連續(xù)改變，這導(dǎo)致可用的信號頻率的寬頻譜。根據(jù)具體應(yīng)用情況和具體任務(wù)可以將膜片對稱或非對稱地構(gòu)造，從而與此相應(yīng)地得到對稱的或者非對稱的發(fā)射方向和/或接收方向。
根據(jù)本發(fā)明的多頻率超聲傳感器的構(gòu)思也可以通過如下超聲傳感器來實現(xiàn)所述超聲傳感器具有膜片，所述膜片具有至少兩個用于發(fā)射和/或接收超聲信號的子區(qū)域，并且所述超聲傳感器具有至少兩個與所述膜片耦合的電機械轉(zhuǎn)換器，所述電機械轉(zhuǎn)換器具有不同的諧振特性，這例如可以通過轉(zhuǎn)換器的不同的幾何尺寸來實現(xiàn)。在此，控制信號可被分別施加到轉(zhuǎn)換器上，其中控制信號是彼此獨立的并且分別包括至少一個控制信號頻率，所述控制信號頻率位于膜片的相應(yīng)子區(qū)域的諧振頻率的范圍內(nèi)。為了實現(xiàn)對稱的或非對稱的發(fā)射方向和/或接收方向，所述轉(zhuǎn)換器可以相應(yīng)對稱地或者非對稱地耦合到膜片上。與這種超聲傳感器相應(yīng)地，本發(fā)明也提出了一種用于觸發(fā)超聲傳感器的方法，所述超聲傳感器具有膜片，所述膜片具有至少兩個用于發(fā)射和/或接收超聲信號的子區(qū)域，并且所述超聲傳感器具有至少兩個分別在子區(qū)域之一中與膜片耦合的電機械轉(zhuǎn)換器，所述電機械轉(zhuǎn)換器具有不同的諧振特性。根據(jù)本發(fā)明，分別將一個控制信號施加到轉(zhuǎn)換器上，其中控制信號是彼此獨立的并且分別包括至少一個控制信號頻率，所述控制信號頻率位于膜片的相應(yīng)子區(qū)域的諧振頻率的范圍內(nèi)。具有一個膜片和至少一個與膜片耦合的具有至少三個電極的電機械轉(zhuǎn)換器的超聲傳感器也適于實現(xiàn)基本發(fā)明構(gòu)思，其中所述轉(zhuǎn)換器根據(jù)電極的觸發(fā)具有不同的諧振特性。所述構(gòu)型具有如下優(yōu)點唯一的電機械轉(zhuǎn)換器結(jié)合“經(jīng)典的”膜片已經(jīng)足以實現(xiàn)多頻率超聲傳感器。與此相應(yīng)地，本發(fā)明也提出了一種觸發(fā)超聲傳感器的方法，所述超聲傳感器具有一個膜片和至少一個與膜片耦合的電機械轉(zhuǎn)換器，其中所述轉(zhuǎn)換器具有至少三個電極，觸發(fā)第一電極對以便發(fā)射具有第一發(fā)射信號頻率的超聲信號，以及觸發(fā)第二電極對以便發(fā)射具有第二發(fā)射信號頻率的超聲信號。本發(fā)明的另一實施方式提出，借助于轉(zhuǎn)換器的控制信號的控制信號頻率確定超聲信號的優(yōu)選的傳輸方向。為此，如此確定信號頻率，使得或者在諧振頻率處并且(因此)特別有效地進行電振動功率至聲學(xué)振動功率的轉(zhuǎn)換(發(fā)射運行)，或者在諧振頻率處并且(因此)特別有效地進行聲學(xué)振動功率至電振動功率的轉(zhuǎn)換(接收運行)。發(fā)射頻率和接收頻率例如由于多普勒效應(yīng)可以彼此不同。
本發(fā)明的實施方式的其他特征和優(yōu)點由以下參照附圖的描述得出。


附圖示出圖I :根據(jù)本發(fā)明的第一實施方式的超聲傳感器的示意性截面圖，圖2 :根據(jù)本發(fā)明的第二實施方式的超聲傳感器的示意性截面圖，圖3 :根據(jù)本發(fā)明的第三實施方式的超聲傳感器的示意性截面圖，圖4 :根據(jù)本發(fā)明的第四實施方式的超聲傳感器的示意性截面圖，
圖5 :根據(jù)本發(fā)明的第五實施方式的超聲傳感器的示意性截面圖，
圖6 :根據(jù)本發(fā)明的具有三個電極的電機械轉(zhuǎn)換器的示意性截面圖，圖7 :根據(jù)本發(fā)明的具有三個電極的電機械轉(zhuǎn)換器的示意性俯視圖，圖8 :根據(jù)本發(fā)明的第六實施方式的超聲傳感器的示意性圖。
具體實施例方式在附圖中，相同或功能相同的部件分別設(shè)有相同的附圖標記。圖I示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第一實施方式的超聲傳感器I。壓電振蕩器3形式的電機械轉(zhuǎn)換器借助于粘合層4固定在膜片2上并且以此方式與膜片2耦合。通過電端子5，控制信號由控制單元6施加到壓電振蕩器3上，因此使壓電振蕩器3機械振動。所述振動通過粘合層4傳導(dǎo)至膜片2。所述膜片2在位于其前方的空氣中產(chǎn)生壓力波動，由此發(fā)出聲波。為了給所發(fā)出的聲波提供方向，膜片固定在底架7上，所述底架具有與膜片相比可忽略的振動幅度。在接收聲波時，信號路徑相應(yīng)相反，即到達的聲學(xué)聲波最終被轉(zhuǎn)換成電信號。膜片2包括兩個子區(qū)域2-1和2-2，它們具有不同的厚度或者材料厚度，由此建立兩個子區(qū)域的不同諧振特性。兩個子區(qū)域2-1和2-2之間的過渡在所示實施方式中是跳躍式地實施的，從而在兩個子區(qū)域2-1和2-2中分別得到一個諧振頻率，在所述諧振頻率處特別有效地進行電振動功率至聲學(xué)振動功率(或相反)的轉(zhuǎn)換。通過施加至少包括所述兩個諧振頻率或所述諧振頻率的范圍內(nèi)的至少兩個頻率的控制信號，可以同時在兩個諧振頻率上運行超聲傳感器。在此，可以借助于控制信號的信號頻率確定超聲傳感器I的優(yōu)選的傳輸方向，即發(fā)射和接收。為此，或者與諧振頻率相同地選擇信號頻率，使得電振動功率至機械振動功率的轉(zhuǎn)換和(因此)發(fā)射運行是最佳的，或者選擇諧振頻率的范圍內(nèi)的信號頻率，其導(dǎo)致可能的回波信號恰好具有諧振頻率并且因此導(dǎo)致機械振動功率至電振動功率(接收運行)的最佳轉(zhuǎn)換。發(fā)射信號與回波信號之間的頻率差在此例如可以基于多普勒效應(yīng)。在所示的實施例中，壓電振蕩器3設(shè)置在膜片2的子區(qū)域2-1與2-2之間的過渡區(qū)域下方。但這對于本發(fā)明的應(yīng)用而言不是強制必需的。當膜片的具有不同諧振特性的子區(qū)域設(shè)置在電機械轉(zhuǎn)換器周圍的區(qū)域中時，也是足夠的。在圖2中示出了這種實施方式。所述實施方式與在圖I中示出的實施方式的不同主要在于膜片2'在壓電振蕩器3上方的第一子區(qū)域2-1'中具有恒定的厚度，但在壓電振蕩器3的兩側(cè)上設(shè)置有具有更大的厚度或材料厚度和(因此)改變的諧振特性的第二子區(qū)域2-2'。在第三子區(qū)域2-3'中，膜片又具有第一子區(qū)域2-1'的厚度或替代地也具有任意的其他厚度，其中膜片2'通過所述第三子區(qū)域2-3'固定在底架7上。為了實現(xiàn)膜片2與底架7之間的盡可能良好的去耦合，有利地盡可能薄地構(gòu)造膜片2，的與底架7緊鄰的邊緣區(qū)域。所述規(guī)則也可應(yīng)用于其他實施例，使得在這些實施方式中也可以設(shè)有膜片2的“經(jīng)減薄”的邊緣區(qū)域。但應(yīng)指出的是，如此構(gòu)造的邊緣區(qū)域不用于發(fā)射或接收超聲信號，而僅僅用于與底架7的去耦合。根據(jù)圖2的實施方式與圖2的實施方式不同在于各個子區(qū)域之間跳躍式地實施的過渡對稱地設(shè)置并且膜片2'由此是對稱地構(gòu)造的。通過對稱布置或非對稱布置，可以相應(yīng)地實現(xiàn)對稱或者非對稱的發(fā)射方向或接收方向。圖3和圖4示出根據(jù)本發(fā)明的超聲傳感器的其他實施方式。它們與在圖I中示出的實施方式的不同在于膜片2"(參見圖3)和2"，(參見圖4)的厚度不是跳躍式地而是連續(xù)地改變。具體而言，根據(jù)圖3的膜片2"凸地實施而根據(jù)圖4的膜片2"，凹地實施。通過所述方式形成膜片2"、2"，的具有不同機械特性的多個子區(qū)域，這導(dǎo)致可用的諧振 頻率的寬頻譜。在圖5中示出了根據(jù)本發(fā)明的超聲傳感器I""的一個替代實施方式。在此，在具有恒定厚度的“傳統(tǒng)”膜片2""上，壓電振蕩器3-1""和3-2""形式的兩個電機械轉(zhuǎn)換器借助于粘合層4-1""或4-2""固定在膜片2""的子區(qū)域上并且以此方式與膜片2""耦合。兩個壓電振蕩器3-1""和3-2""在此具有不同幾何尺寸并且由此也視情況而定地具有不同的諧振特性。通過相應(yīng)地施加控制信號，通過所述布置也實現(xiàn)可在兩個諧振頻率處運行的超聲傳感器，其中兩個壓電振蕩器3-1""和3-2""的控制信號是彼此獨立的并且分別包括至少一個控制信號頻率，所述至少一個控制信號頻率位于膜片的相應(yīng)子區(qū)域的諧振頻率的范圍內(nèi)。在所示的實施方式中，兩個控制信號由兩個單獨的控制單元6-1""和6-2""產(chǎn)生并且通過電端子5-1""或5-2""施加到壓電振蕩器3_1""或3-2""上。但替代地，控制信號也可以通過一個共同的控制單元來產(chǎn)生。基于非對稱的布置，通過簡單的方式實現(xiàn)非對稱的發(fā)射特征和/或接收特征。當然，也可以設(shè)置多于兩個的壓電振蕩器，其在需要的情況下也可以對稱地布置。本發(fā)明的另一實施方式(參見圖6和7)提出具有三個電極30-1、30_2和30_3的壓電振蕩器3""'的應(yīng)用。在此，第一電極30-1設(shè)置在壓電振蕩器3"'的中央上部區(qū)域中，第二電極30-2設(shè)置在壓電振蕩器3""'的上側(cè)的邊緣區(qū)域中，而第三電極30-3設(shè)置在壓電振蕩器3""'的下側(cè)上。所有三個電極30-1、30-2和30-3可以通過控制單元6""'經(jīng)由相應(yīng)的電端子5來觸發(fā)?；陔姌O30-1、30-2和30-3的布置和構(gòu)造，在觸發(fā)由電極30-1和30-3構(gòu)成的第一電極對時得到不同于在觸發(fā)由電極30-2和30_3構(gòu)成的第二電極對時的諧振特性以及方向特征。如果這種壓電振蕩器3""'耦合到膜片上，則即使在具有恒定厚度的“傳統(tǒng)”膜片的情況下也可以以不同的諧振頻率運行超聲傳感器。圖8示出本發(fā)明的另一實施方式，其中設(shè)有膜片2"""，所述膜片包括四個子區(qū)域2-1" " " ,2-2" " "、2-3"""和2-4"""。這些子區(qū)域如此構(gòu)造，使得具有第二厚度的第二子區(qū)域2-2""筆直地連接在固定在底架7的左側(cè)部分上并且具有第一厚度的第一子區(qū)域2-1""上。具有第三厚度的第三子區(qū)域2-3""以一個預(yù)給定的角度連接到第二子區(qū)域2-2""上，具有第四厚度的第四子區(qū)域2-4""最后以另一預(yù)給定的角度連接到第三子區(qū)域2-3""上，所述第四子區(qū)域固定在底架7的右側(cè)部分上。在第三子區(qū)域2-3""的區(qū)域中，壓電振蕩器3借助粘合層4固定在膜片2""上并且由此與其耦合。膜片2""的各個子區(qū)域的不同厚度在所述實施方式中也導(dǎo)致不同的諧振特性，其可以通過合適的觸發(fā)用于實現(xiàn)多頻超聲傳感器。此外，通過膜片2"""的三維構(gòu)型也可以實現(xiàn)發(fā)射信號或接收信號的不同優(yōu)選取向。
除所示出的和所描述的實施方式以外，可考慮很多尤其由所提及的實施方式的組合得到的其他實施方式。
權(quán)利要求
1.超聲傳感器(I)，其具有 一個膜片(2;2' ;2" ;2"，;2""")，所述膜片具有至少兩個用于發(fā)射和/或接收超聲信號的子區(qū)域(2-1，2-2 ;2-1'，2-2' ;2-1" " " , 2-2" " " , 2-3" " " , 2-4""")，其中，所述兩個子區(qū)域(2-1，2-2 ;2-1 ' ,2-2 ; ;2-1" " "，2-2 " " "，2-3 ""2-4""")具有不同的諧振特性； 至少ー個與所述膜片(2 ;2' ;2" ;2"，;2""")耦合的電機械轉(zhuǎn)換器(3)，具有至少兩個不同的控制信號頻率的控制信號能夠被施加到所述電機械轉(zhuǎn)換器上， 其中，第一控制信號頻率位于所述膜片(2 ;2' ;2" ;2"，;2""")的第一子區(qū)域(2-1 ；2-r -,2-1""")的諧振頻率的范圍內(nèi)，而第二控制信號頻率位于所述膜片(2 ;2'；2" ;2" ' ;2""")的第二子區(qū)域(2-2 ;2-2' ;2""")的諧振頻率的范圍內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的超聲傳感器，其中，所述不同的諧振特性通過所述膜片(2； 2' ;2" ;2" ' ;2""")在所述子區(qū)域(2-1，2-2;2-1' ,2-2' ;2_1" " "，2_2"""， 2-3" " " ,2-4""")中厚度不同來實現(xiàn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的超聲傳感器，其中，所述膜片(2;2' ;2" ;2" ' ;2""")的厚度跳躍式地改變。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的超聲傳感器，其中，所述膜片(2;2' ;2" ;2"，;2""")的厚度連續(xù)地改變。
5.根據(jù)以上所述權(quán)利要求中任一項所述的超聲傳感器，其中，所述膜片(2;2' ;2"；2" ' ;2""")對稱地構(gòu)造。
6.根據(jù)以上所述權(quán)利要求中任一項所述的超聲傳感器，其中，所述膜片(2;2' ;2"；2" ' ;2""")非対稱地構(gòu)造。
7.用于觸發(fā)超聲傳感器(I)的方法，所述超聲傳感器具有一個膜片(2;2' ;2" ;2"'；2""")，所述膜片具有至少兩個子區(qū)域(2-1，2-2 ;2-1' ,2-2' ;2_1" " " ,2-2"""，2-3"" "，2-4""")，所述至少兩個子區(qū)域具有不同的諧振特性，所述超聲傳感器具有至少ー個與所述膜片(2 ;2' ;2" ;2" ' ;2""")耦合的電機械轉(zhuǎn)換器(3)，其中，將具有至少兩個不同的控制信號頻率的控制信號施加到所述電機械轉(zhuǎn)換器上，其中，第一控制信號頻率位于所述膜片(2 ;2' ;2" ;2" ' ;2""")的第一子區(qū)域(2-1 ;2-1' ;2_1""")的諧振頻率的范圍內(nèi)，而第二控制信號頻率在所述膜片(2 ;2' ;2" ;2" ' ;2""")的第ニ子區(qū)域(2-2 ;2-2' '2-2” "")的諧振頻率的范圍內(nèi)。
8.超聲傳感器(I"")，其具有一個膜片(2〃")和至少兩個與所述膜片(2〃 ")耦合的、具有不同諧振特性的電機械轉(zhuǎn)換器(3-1" "，3-2"")，所述膜片具有至少兩個用于發(fā)射/接收超聲信號的子區(qū)域，其中，控制信號能夠被分別施加到所述轉(zhuǎn)換器(3-1""，3-2"")上，其中，控制信號是彼此獨立的并且分別包括至少ー個控制信號頻率，所述至少一個控制信號頻率位于所述膜片(2"")的相應(yīng)子區(qū)域的諧振頻率的范圍內(nèi)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的超聲傳感器，其中，所述轉(zhuǎn)換器(3-1""，3-2"")具有不同幾何尺寸。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9中任一項所述的超聲傳感器，其中，所述轉(zhuǎn)換器(3-1""，3-2"")對稱地耦合到所述膜片(2〃 ")上。
11.根據(jù)權(quán)利要求8或9中任一項所述的超聲傳感器，其中，所述轉(zhuǎn)換器(3-1""，3-2"")非対稱地耦合到所述膜片(2"")上。
12.用于觸發(fā)超聲傳感器(I"")的方法，所述超聲傳感器具有一個膜片(2"")，所述膜片具有至少兩個用于發(fā)射/接收超聲信號的子區(qū)域，所述超聲傳感器具有至少兩個分別在所迷子區(qū)域之一中與所述膜片(2"")耦合的、具有不同的諧振特性的電機械轉(zhuǎn)換器(3-1〃 "，3-2"")，其中，分別將控制信號施加到所述轉(zhuǎn)換器(3-1〃 "，3-2"")上，其中，控制信號是彼此獨立的并且分別包括至少ー個控制信號頻率，所述至少一個控制信號頻率位于所述膜片(2"")的相應(yīng)子區(qū)域的諧振頻率的范圍內(nèi)。
13.超聲傳感器，具有 ー個膜片， 至少ー個耦合到所述膜片上的壓電振蕩器(3""')，所述壓電振蕩器具有至少三個 電極(30-1，30-2，30-3)， 其中，所述壓電振蕩器(3〃 "')根據(jù)所述電極(30-1，30-2，30-3)的觸發(fā)而具有不同的諧振特性。
14.用于觸發(fā)超聲傳感器的方法，所述超聲傳感器具有一個膜片和至少ー個與所述膜片耦合的壓電振蕩器(3""')，其中，所述壓電振蕩器(3""')具有至少三個電極(30-1，30-2，30-3),觸發(fā)第一電極對(30-1，30-3)以便發(fā)射具有第一發(fā)射信號頻率的超聲信號，以及觸發(fā)第二電極對(30-2，30-3)以便發(fā)射具有第二發(fā)射信號頻率的超聲信號。
15.根據(jù)權(quán)利要求7、12或14中任一項所述的方法，其中，借助于所述轉(zhuǎn)換器(3；3-1" " ;3-2" " ;3""")的控制信號的信號頻率確定超聲信號的優(yōu)選的傳輸方向。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種超聲傳感器(1)，其具有一個膜片(2；2′；2″；2″′；2″″″)，所述膜片具有至少兩個用于發(fā)射和/或接收超聲信號的子區(qū)域(2-1，2-2；2-1′，2-2′；2-1″″″，2-2″″″，2-3″″″，2-4″″″)，其中所述兩個子區(qū)域(2-1，2-2；2-1′，2-2′；2-1″″″，2-2″″″，2-3″″″，2-4″″″)具有不同的諧振特性；至少一個與所述膜片(2；2′；2″；2″′；2″″″)耦合的電機械轉(zhuǎn)換器(3)，具有至少兩個不同的控制信號頻率的控制信號能夠被施加到所述電機械轉(zhuǎn)換器上。在此，第一控制信號頻率位于所述膜片(2；2′；2″；2″′；2″″″)的第一子區(qū)域(2-1；2-1′；2-1″″″)的諧振頻率的范圍內(nèi)，而第二控制信號頻率位于所述膜片(2；2′；2″；2″′；2″″″)的第二子區(qū)域(2-2；2-2′；2″″″)的諧振頻率的范圍內(nèi)。替代地，也可以使用兩個與一個膜片(2″″)耦合的、具有不同諧振特性的電機械轉(zhuǎn)換器(3-1″″，3-2″″)。
文檔編號G10K9/122GK102859580SQ201180018672
公開日2013年1月2日 申請日期2011年4月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月15日
發(fā)明者M·卡爾 申請人:羅伯特·博世有限公司