專利名稱：碳微管場發(fā)射顯示器及其制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于顯示設(shè)備部件，特別是一種碳微管場發(fā)射顯示器及其制作方法。
傳統(tǒng)FED電子發(fā)射源制作是將鉬金屬制作成微尖端(micro-tip)，但礙于其制程較為繁雜且設(shè)備昂貴，在量產(chǎn)上一直遭遇到很大的困難。近年來，F(xiàn)ED電子發(fā)射源采用具有較佳機械強度及電子發(fā)射性質(zhì)的碳微管(carbonnanotube，CNT)，由于制程簡單且設(shè)備低廉的網(wǎng)印技術(shù)、化學(xué)氣相沉積(chemicalvapor deposition，CVD)技術(shù)均可應(yīng)用在CNT的制作上，使CNT涂布或直接成長在電子發(fā)射區(qū)域中，因此可以提高CNT-FED的量產(chǎn)產(chǎn)能，并增加制作大面積CNT-FED的可能性。
如

圖1所示，習(xí)知的碳微管場發(fā)射顯示器(CNT-FED)10是由兩片平行的陰極板12及陽極板14構(gòu)成，陰極板12與陽極板14之間呈真空狀態(tài)且設(shè)置空間支撐柱(spacer)16，用來維持陰極板12與陽極板14之間的間距并抵抗大氣壓力。陽極板14包含有玻璃面板18、及復(fù)數(shù)個定義形成于玻璃板18表面預(yù)定區(qū)域內(nèi)的熒光層20及覆蓋住熒光層20平坦化的鋁膜22。鋁膜22具有以下幾點作用第一是作為陽極板14的導(dǎo)電層；第二是作為熒光體的反射層；第三是作為熒光層20的保護層，以避免離子的撞擊和電場的吸附效應(yīng)。另外，陰極板12包含玻璃基板24、復(fù)數(shù)定義形成于玻璃基板24表面預(yù)定區(qū)域的陰極層26、長成于每個陰極層26表面電子發(fā)射區(qū)域中的復(fù)數(shù)個碳微管(CNT)結(jié)構(gòu)34、設(shè)置于玻璃基板24邊緣的絕緣層28及以玻璃膠黏著于絕緣層28上的網(wǎng)狀金屬層32。其中，網(wǎng)狀金屬層32的開口32a系暴露出陰極層26的電子發(fā)射區(qū)域，而網(wǎng)狀金屬層32的金屬部分系圍繞在陰極層26周圍，以用來作為閘極層32b。
如圖2所示，習(xí)知電子發(fā)射區(qū)域所有的CNT結(jié)構(gòu)34系填滿整體電子發(fā)射區(qū)域1A，因此位于電子發(fā)射區(qū)域1A周邊的CNT結(jié)構(gòu)34會有邊緣效應(yīng)發(fā)生，導(dǎo)致相對位置的熒光層20在發(fā)光時產(chǎn)生周圍較亮、中間較暗的情形，進而影響CNT-FED10的發(fā)光均勻性。
然而，習(xí)知的CNT-FED10結(jié)構(gòu)設(shè)計與制造上仍遭遇許多問題，以致無法呈現(xiàn)出最佳的顯示品質(zhì)1、利用CNT結(jié)構(gòu)34發(fā)射電子時，位于電子發(fā)射區(qū)域1A周邊的CNT結(jié)構(gòu)34會有邊緣效應(yīng)(edge effect)發(fā)生，導(dǎo)致相對應(yīng)位置的熒光層20在發(fā)光時產(chǎn)生周圍較亮、中間較暗的情形，會使熒光層20的發(fā)光亮度不均勻，進而影響到CNT-FED10的發(fā)光品質(zhì)。
2、習(xí)知制作閘極層32b的方法中，是先在陰極板12周圍制作絕緣層28，再將網(wǎng)狀金屬層32黏著在絕緣層28上，因此僅有網(wǎng)狀金屬層32的邊緣是藉由絕緣層28附著在陰極板12上，而網(wǎng)狀金屬層32的中間區(qū)域則是懸在陰極板12上方。然而，隨著網(wǎng)狀金屬層32的面積變大時，網(wǎng)狀金屬層32的中間區(qū)域易產(chǎn)生下垂或不平整的現(xiàn)象，因此，當(dāng)電子自CNT結(jié)構(gòu)34的尖端釋出時，閘極層32b會因電子的直接撞擊以及電場的不均勻而產(chǎn)生震動，甚至導(dǎo)致網(wǎng)狀金屬層32的剝離現(xiàn)象，進而影響到相對應(yīng)位置熒光層20的發(fā)光均勻性與發(fā)光效率。
3、在高溫(450°～500°)環(huán)境中進行有機物的去除制程時，部分鋁膜22會形成氧化鋁，進而影響鋁膜22的導(dǎo)電性。因此當(dāng)發(fā)射出的電子撞擊到陽極板14時，便會因鋁膜22的導(dǎo)電性不佳而造成電荷累積，而且當(dāng)電荷累積到一定量時，即會以火花放電(arc)的方式排除累積的電荷，進而使陽極板14上的亮點熄滅。此外，累積的電荷會產(chǎn)生排斥電場，使得后續(xù)發(fā)射的電子無法再輕易地撞擊陽極板14，如此一來，陽極板14的電壓無法提高，將導(dǎo)致熒光層20發(fā)出的亮度無法提升。
4、無論是以金屬尖端或是CNT結(jié)構(gòu)34作為電子發(fā)射源，其發(fā)射的電子多會有散開(diverent)的現(xiàn)象，因此容易在陽極板14上產(chǎn)生陽極干擾(crosstalk)的情形。而且，當(dāng)電子的發(fā)射量較大時，過多的電子會直射陽極板14，進而發(fā)生火花放電。
本發(fā)明碳微管場發(fā)射顯示器包括平行的陰極板及陽極板；陰極板包含玻璃基板、定義形成于玻璃基板表面并定義復(fù)數(shù)間隔排列的發(fā)射區(qū)域的陰極層及復(fù)數(shù)分別長成于陰極層表面各間隔排列電子發(fā)射區(qū)域中的碳微管結(jié)構(gòu)；本發(fā)明制作方法中陰極板的制作方法包括提供玻璃基板；于玻璃基板表面預(yù)定區(qū)域上定義形成復(fù)數(shù)個陰極層；于兩相鄰的陰極層的空隙形成的阻隔壁，并令阻隔壁凸出于陰極層表面至預(yù)定高度；利用網(wǎng)印技術(shù)于各阻隔壁表面形成閘極層；對阻隔壁及閘極層進行高溫?zé)咎幚怼?br> 其中間隔排列定義于陰極層的復(fù)數(shù)電子發(fā)射區(qū)域以矩陣方式排列。
相鄰電子發(fā)射區(qū)域的間隔距離為80～150電子發(fā)射區(qū)域的圖形可為四邊形、圓形或其他任何幾何形狀。
碳微管結(jié)構(gòu)以網(wǎng)印方式長成于陰極層表面各間隔排列電子發(fā)射區(qū)域中。
一種碳微管場發(fā)射顯示器，它包括平行的陰極板及陽極板；陽極板包括玻璃面板、定義形成于玻璃面板表面上的復(fù)數(shù)個熒光層、具有平坦表面并覆蓋住復(fù)數(shù)熒光層表面上的鋁金屬膜及覆蓋住鋁膜上方區(qū)域并包含復(fù)數(shù)個與復(fù)數(shù)個熒光層區(qū)域相對應(yīng)的開口的金屬片。
金屬片各開口邊緣分別形成兩個向外折出用來擋住散射電子的金屬接腳。
金屬片系以玻璃膠黏著于玻璃面板上。
一種碳微管場發(fā)射顯示器，它包括平行的陰極板及陽極板；陰極板包含玻璃基板、定義間隔形成于玻璃基板表面且于其表面電子發(fā)射區(qū)域中設(shè)有碳微管結(jié)構(gòu)的復(fù)數(shù)陰極層、形成于相鄰陰極層空隙并凸出于陰極層表面至預(yù)定高度的復(fù)數(shù)阻隔壁、復(fù)數(shù)分別形成于各阻隔壁表面的閘極層及覆蓋住閘極層上方區(qū)域的金屬網(wǎng)板；金屬網(wǎng)板上對應(yīng)于陰極層表面電子發(fā)射區(qū)域位置設(shè)有復(fù)數(shù)個網(wǎng)孔。
金屬網(wǎng)板上網(wǎng)孔的口徑約為300～600μm。
金屬網(wǎng)板的網(wǎng)孔為呈圓形孔。
金屬網(wǎng)板的網(wǎng)孔為呈四邊形孔。
金屬網(wǎng)板的網(wǎng)孔為呈六邊形孔。
金屬網(wǎng)板系以玻璃膠黏著于玻璃基板上。
由于本發(fā)明碳微管場發(fā)射顯示器包括平行的陰極板及陽極板；陰極板包含玻璃基板、定義形成于玻璃基板表面并定義復(fù)數(shù)間隔排列的發(fā)射區(qū)域的陰極層及復(fù)數(shù)分別長成于陰極層表面各間隔排列電子發(fā)射區(qū)域中的碳微管結(jié)構(gòu)；本發(fā)明制作方法中陰極板的制作方法包括提供玻璃基板；于玻璃基板表面預(yù)定區(qū)域上定義形成復(fù)數(shù)個陰極層；于兩相鄰的陰極層的空隙形成的阻隔壁，并令阻隔壁凸出于陰極層表面至預(yù)定高度；利用網(wǎng)印技術(shù)于各阻隔壁表面形成閘極層；對阻隔壁及閘極層進行高溫?zé)咎幚?。本發(fā)明陰極板陰極層表面為與習(xí)知的電子發(fā)射區(qū)域面積相同的復(fù)數(shù)個間隔排列的發(fā)射區(qū)域，并于復(fù)數(shù)個間隔排列的次發(fā)射區(qū)域中分別成長間隔排列的碳微管。如此一來，發(fā)生在習(xí)知陰極層電子發(fā)射區(qū)域的邊緣效應(yīng)會發(fā)生在本發(fā)明每一個發(fā)射區(qū)域的周邊，可以有效改善相對應(yīng)位置熒光層的發(fā)光均勻性，而且隨著復(fù)數(shù)發(fā)射區(qū)域的面積縮小、間隔距離縮短、分布密度增加，越能獲得高均勻度、高亮度的發(fā)光品質(zhì)；本發(fā)明先于兩相鄰陰極層之間制作阻隔壁，再于阻隔壁表面上網(wǎng)印閘極層制作方法，使網(wǎng)狀閘極層系整體附著于每一阻隔壁表面，不易產(chǎn)生下垂或不平整的現(xiàn)象，可以防止電場產(chǎn)生不均勻的現(xiàn)象，進而改善CNT-FED的發(fā)光均勻性及發(fā)光效率。不僅發(fā)光亮度均勻、防止金屬層剝離，而且確保鋁膜的導(dǎo)電性、避免陽極干擾、有效改善顯示品質(zhì)，從而達到本發(fā)明的目的。
圖2、為習(xí)知電子發(fā)射區(qū)域結(jié)構(gòu)示意仰視圖。
圖3、為本發(fā)明實施例一中CNT-FED的陰極板結(jié)構(gòu)示意剖視圖。
圖4、為本發(fā)明實施例一中電子發(fā)射區(qū)域結(jié)構(gòu)示意仰視圖(四邊形次發(fā)射區(qū)域)。
圖5、為本發(fā)明實施例一中電子發(fā)射區(qū)域結(jié)構(gòu)示意仰視圖(圓形次發(fā)射區(qū)域)。
圖6、為本發(fā)明實施例二中CNT-FED閘極層制作方法剖視圖。
圖7、為本發(fā)明實施例二中CNT-FED閘極層制作方法剖視圖。
圖8、為本發(fā)明實施例二中CNT-FED閘極層制作方法剖視圖。
圖9、為本發(fā)明實施例三中CNT-FED陽極板結(jié)構(gòu)示意剖視圖(形成金屬接腳)。
圖10、為本發(fā)明實施例三中CNT-FED陽極板結(jié)構(gòu)示意剖視圖。
圖11、為本發(fā)明實施例四中CNT-FED陰極板結(jié)構(gòu)示意剖視圖。
圖12、為本發(fā)明實施例四中CNT-FED陰極板金屬網(wǎng)結(jié)構(gòu)示意立體圖(網(wǎng)孔為呈圓形孔)。
圖13、為本發(fā)明實施例四中CNT-FED陰極板金屬網(wǎng)結(jié)構(gòu)示意立體圖(網(wǎng)孔為呈四邊形孔)。
圖14、為本發(fā)明實施例四中CNT-FED陰極板金屬網(wǎng)結(jié)構(gòu)示意立體圖(網(wǎng)孔為呈六邊形孔)。
圖15、為本發(fā)明實施例五中CNT-FED結(jié)構(gòu)示意剖視圖。
實施例一如圖3所示，本發(fā)明碳微管場發(fā)射顯示器(CNT-FED)陰極板40包含玻璃基板41、定義形成于玻璃基板41表面預(yù)定區(qū)域上的陰極層42、覆蓋于兩相鄰陰極層42空隙內(nèi)設(shè)有開口45的絕緣層44、定義形成于絕緣層44開口45周圍的網(wǎng)狀閘極層46及長成于陰極層42表面電子發(fā)射區(qū)域中的CNT結(jié)構(gòu)48。開口45貫穿絕緣層46以使陰極層42暴露出來。
其中，CNT結(jié)構(gòu)48系由間隔成長于陰極層42表面電子發(fā)射區(qū)域中的三個次CNT結(jié)構(gòu)481、482、483構(gòu)成，三個次CNT結(jié)構(gòu)481、482、483系以矩陣方式排列于整體電子發(fā)射區(qū)域中。
如圖4、圖5所示，本發(fā)明系碳微管場發(fā)射顯示器(CNT-FED)陰極板40陰極層42表面為與習(xí)知的電子發(fā)射區(qū)域面積1A相同的復(fù)數(shù)個間隔排列的次發(fā)射區(qū)域1A1、1A2、1A3，并于復(fù)數(shù)個間隔排列的次發(fā)射區(qū)域1A1、1A2、1A3中分別成長間隔排列的次CNT結(jié)構(gòu)481、482、483。如此一來，發(fā)生在習(xí)知陰極層26電子發(fā)射區(qū)域1A的邊緣效應(yīng)會發(fā)生在本發(fā)明每一個次發(fā)射區(qū)域1A1、1A2、1A3的周邊，可以有效改善相對應(yīng)位置熒光層的發(fā)光均勻性，而且隨著次發(fā)射區(qū)域1A1、1A2、1A3的面積縮小、間隔距離縮短、分布密度增加，越能獲得高均勻度、高亮度的發(fā)光品質(zhì)。
搭配適當(dāng)制作方式，次發(fā)射區(qū)域1A1、1A2、1A3的圖形可為如圖4所示的四邊形、如圖5所示的圓形或其他任何幾何形狀。
次發(fā)射區(qū)域1A1、1A2、1A3的制作方式可使用網(wǎng)印技術(shù)，即將CNT漿料涂敷在預(yù)定的次發(fā)射區(qū)域1A1、1A2、1A3中，其中較佳的間隔距離為80～150μm，較佳的次發(fā)射區(qū)域1A1、1A2、1A3面積為200×200μm2。
實施例二本發(fā)明碳微管場發(fā)射顯示器(CNT-FED)陰極板50閘極層56的制作方法包括如下步驟步驟一形成陰極層50如圖6所示，以銀(Ag)、銅(Cu)或其他導(dǎo)電金屬材質(zhì)，利用沉積加上微影的方式或是網(wǎng)印制程，于玻璃基板51表面預(yù)定區(qū)域上定義形成復(fù)數(shù)個陰極層52；步驟二形成阻隔壁54如圖7所示，利用沉積加上微影的方式或是網(wǎng)印制程，于兩相鄰的陰極層52之間形成厚度約為30～100μm的阻隔壁(rib)54，并使每一陰極層52上方形成開口57；步驟三形成閘極層56如圖8所示，以銀(Ag)、銅(Cu)或其他導(dǎo)電金屬材質(zhì)，利用網(wǎng)印技術(shù)于每一阻隔壁54表面形成閘極層56；步驟四燒烤對阻隔壁54及閘極層56進行高溫?zé)咎幚怼?br> 與習(xí)知的黏著網(wǎng)狀金屬層的方式相比，本發(fā)明實施例二利用先于兩相鄰陰極層52之間制作阻隔壁54，再于阻隔壁54表面上網(wǎng)印閘極層56，因此網(wǎng)狀閘極層56系整體附著于每一阻隔壁54表面，不易產(chǎn)生下垂或不平整的現(xiàn)象，可以防止電場產(chǎn)生不均勻的現(xiàn)象，進而改善CNT-FED的發(fā)光均勻性及發(fā)光效率。此外，后續(xù)CNT結(jié)構(gòu)的制作方式，可于陰極層52的整個電子發(fā)射區(qū)域上成長CNT，也可以搭配實施例一，將數(shù)個次CNT分別成長在復(fù)數(shù)個間隔設(shè)置的次發(fā)射區(qū)域中。
實施例三如圖9、圖10所示，本發(fā)明碳微管場發(fā)射顯示器(CNT-FED)陽極板60包含玻璃面板61、定義形成于玻璃面板61表面預(yù)定區(qū)域內(nèi)的復(fù)數(shù)個熒光層62、具有平坦表面并覆蓋住熒光層62的鋁膜64及以玻璃膠黏著于玻璃面板61上并覆蓋住鋁膜64外圍并與鋁膜64為等電位的金屬片66。其中，金屬片66包含復(fù)數(shù)個與復(fù)數(shù)個熒光層62區(qū)域相對應(yīng)的開口57，使金屬片66只覆蓋住熒光層62以外的區(qū)域，以使發(fā)射的電子可撞擊到熒光層62。如圖9所示，可于金屬片66各開口67邊緣分別形成兩個向外折出用來擋住散射電子的金屬接腳68，使電子直射而撞擊熒光層62，能夠避免陽極干擾現(xiàn)象。
雖然在高溫(450°～500°)環(huán)境中進行有機物去除制程時，部分鋁膜64會形成氧化鋁，進而影響鋁膜64的導(dǎo)電性，但藉由金屬片66的設(shè)置可補償鋁膜64的導(dǎo)電性，以避免電荷累積而產(chǎn)生火花放電(arc)。而且，增設(shè)的金屬接腳68可以擋住散射的電子，防止陽極干擾現(xiàn)象。
實施例四如圖11所示，本發(fā)明碳微管場發(fā)射顯示器(CNT-FED)陰極板50上罩設(shè)金屬網(wǎng)板58，以有效抵擋斜射的電子，以避免電子散開(diverent)現(xiàn)象在陽極板上產(chǎn)生干擾。在以實施例二閘極層56制作方式制成的陰極板50上制作完成CNT結(jié)構(gòu)后，以金屬網(wǎng)板58罩住陰極板50表面，并使金屬網(wǎng)板58與閘極層56之間保持0.1mm～1mm間距。其中，金屬網(wǎng)板58上對應(yīng)于電子發(fā)射區(qū)域(亦即熒光層)位置設(shè)有復(fù)數(shù)個網(wǎng)孔59(59’、59”)。金屬網(wǎng)板58與閘極層56為等電位，閘極層56的功能是吸收發(fā)射的電子；金屬網(wǎng)板58的主要功能是使電子束聚焦。由于金屬網(wǎng)板58所產(chǎn)生的電場會小于閘極層56所產(chǎn)生的電場，因此，金屬網(wǎng)板58不會因過多的電子撞擊而發(fā)生震動的情形。如此一來，傾斜射出的電子會被金屬網(wǎng)板58擋住，且可藉由網(wǎng)孔59(59’、59”)限制直射電子的發(fā)射空間，可以防止過多的電荷累積在陽極板上，進而消除火花現(xiàn)象。
金屬網(wǎng)板58上網(wǎng)孔59(59’、59”)的開口口徑約為300～600μm，相鄰網(wǎng)孔的間距約為100～200μm。如圖12所示，網(wǎng)孔59為呈圓形孔。如圖13所示，網(wǎng)孔59’為呈四邊形孔。亦如圖14所示，網(wǎng)孔59”為呈六邊形孔。其中，呈六邊形孔的網(wǎng)孔59”開口面積較大，可以使直射的電子流達到較大值。
實施例五如圖15所示，本發(fā)明碳微管場發(fā)射顯示器(CNT-FED)系結(jié)合如圖9、圖10所示的實施例三的陽極板60及如圖11所示的實施例四的陰極板50，可以同時利用金屬片66的金屬接腳68及金屬網(wǎng)板58的網(wǎng)孔59(59’、59”)抵擋散射的電子，以有效防止陽極的干擾現(xiàn)象。
權(quán)利要求
1.一種碳微管場發(fā)射顯示器，它包括平行的陰極板及陽極板；其特征在于所述的陰極板包含玻璃基板、定義形成于玻璃基板表面并定義復(fù)數(shù)間隔排列的發(fā)射區(qū)域的陰極層及復(fù)數(shù)分別長成于陰極層表面各間隔排列電子發(fā)射區(qū)域中的碳微管結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳微管場發(fā)射顯示器，其特征在于所述的間隔排列定義于陰極層的復(fù)數(shù)電子發(fā)射區(qū)域以矩陣方式排列。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的碳微管場發(fā)射顯示器，其特征在于所述的相鄰電子發(fā)射區(qū)域的間隔距離為80～150μm。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的碳微管場發(fā)射顯示器，其特征在于所述的電子發(fā)射區(qū)域的圖形可為四邊形、圓形或其他任何幾何形狀。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳微管場發(fā)射顯示器，其特征在于所述的碳微管結(jié)構(gòu)以網(wǎng)印方式長成于陰極層表面各間隔排列電子發(fā)射區(qū)域中。
6.一種碳微管場發(fā)射顯示器制作方法，其特征在于陰極板的制作方法包括下列步驟提供玻璃基板；于玻璃基板表面預(yù)定區(qū)域上定義形成復(fù)數(shù)個陰極層；于兩相鄰的陰極層的空隙形成的阻隔壁，并令阻隔壁凸出于陰極層表面至預(yù)定高度；利用網(wǎng)印技術(shù)于各阻隔壁表面形成閘極層；對阻隔壁及閘極層進行高溫?zé)咎幚怼?br> 7.一種碳微管場發(fā)射顯示器，它包括平行的陰極板及陽極板；其特征在于所述的陽極板包括玻璃面板、定義形成于玻璃面板表面上的復(fù)數(shù)個熒光層、具有平坦表面并覆蓋住復(fù)數(shù)熒光層表面上的鋁金屬膜及覆蓋住鋁膜上方區(qū)域并包含復(fù)數(shù)個與復(fù)數(shù)個熒光層區(qū)域相對應(yīng)的開口的金屬片。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的碳微管場發(fā)射顯示器，其特征在于所述的金屬片各開口邊緣分別形成兩個向外折出用來擋住散射電子的金屬接腳。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的碳微管場發(fā)射顯示器，其特征在于所述的金屬片系以玻璃膠黏著于玻璃面板上。
10.一種碳微管場發(fā)射顯示器，它包括平行的陰極板及陽極板；其特征在于所述的陰極板包含玻璃基板、定義間隔形成于玻璃基板表面且于其表面電子發(fā)射區(qū)域中設(shè)有碳微管結(jié)構(gòu)的復(fù)數(shù)陰極層、形成于相鄰陰極層空隙并凸出于陰極層表面至預(yù)定高度的復(fù)數(shù)阻隔壁、復(fù)數(shù)分別形成于各阻隔壁表面的閘極層及覆蓋住閘極層上方區(qū)域的金屬網(wǎng)板；金屬網(wǎng)板上對應(yīng)于陰極層表面電子發(fā)射區(qū)域位置設(shè)有復(fù)數(shù)個網(wǎng)孔。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的碳微管場發(fā)射顯示器，其特征在于所述的金屬網(wǎng)板上網(wǎng)孔的口徑約為300～600μm。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的碳微管場發(fā)射顯示器，其特征在于所述的金屬網(wǎng)板的網(wǎng)孔為呈圓形孔。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的碳微管場發(fā)射顯示器，其特征在于所述的金屬網(wǎng)板的網(wǎng)孔為呈四邊形孔。
14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的碳微管場發(fā)射顯示器，其特征在于所述的金屬網(wǎng)板的網(wǎng)孔為呈六邊形孔。
15.根據(jù)權(quán)利要求10所述的碳微管場發(fā)射顯示器，其特征在于所述的金屬網(wǎng)板系以玻璃膠黏著于玻璃基板上。
全文摘要
一種碳微管場發(fā)射顯示器及其制作方法。為提供一種發(fā)光亮度均勻、防止金屬層剝離、確保鋁膜的導(dǎo)電性、避免陽極干擾、有效改善顯示品質(zhì)的顯示設(shè)備及其制作方法，提出本發(fā)明，碳微管場發(fā)射顯示器包括平行的陰極板及陽極板；陰極板包含玻璃基板、定義形成于玻璃基板表面并定義復(fù)數(shù)間隔排列的發(fā)射區(qū)域的陰極層及復(fù)數(shù)分別長成于陰極層表面各間隔排列電子發(fā)射區(qū)域中的碳微管結(jié)構(gòu)；本發(fā)明制作方法中陰極板的制作方法包括提供玻璃基板；于玻璃基板表面預(yù)定區(qū)域上定義形成復(fù)數(shù)個陰極層；于兩相鄰的陰極層的空隙形成的阻隔壁，并令阻隔壁凸出于陰極層表面至預(yù)定高度；利用網(wǎng)印技術(shù)于各阻隔壁表面形成閘極層；對阻隔壁及閘極層進行高溫?zé)咎幚怼?br> 文檔編號H01J29/04GK1405833SQ0114225
公開日2003年3月26日 申請日期2001年9月20日 優(yōu)先權(quán)日2001年9月20日
發(fā)明者樊雨心, 陳來成 申請人:翰立光電股份有限公司