專利名稱：排氣小車式連續(xù)排氣處理中不合格屏板的檢測(cè)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是涉及例如在用排氣小車對(duì)等離子顯示屏板(PDP)等的中空屏板內(nèi)部進(jìn)行連續(xù)排氣時(shí)的不合格屏板的檢測(cè)方法。
背景技術(shù)：
以往，PDP等的屏板內(nèi)真空排氣的方法有間歇處理式和連續(xù)處理式真空排氣的方法。在上述任一方式的真空排氣的方法中，真空排氣處理按下述方法進(jìn)行的使多只屏板大致保持垂直狀態(tài)或水平狀態(tài)位于爐內(nèi)，同時(shí)，將裝配在各屏板上的頂管分別與排氣頭相接，而各排氣頭通過排氣集管與真空排氣裝置(真空泵)相接。另外，在PDP中，對(duì)屏板內(nèi)進(jìn)行真空排氣后，須要封入放電氣體，因此，所述排氣集管上了解有放電氣體供給管。
這樣，由于各屏板的排氣頭通過排氣集管與真空排氣裝置(真空泵)相接，故部份屏板存在頂管與排氣頭連接不良，屏板的密封不良或頂管破損等成為排氣不好原因的缺陷，另外，當(dāng)在排氣處理中發(fā)生上述的缺陷時(shí)，則會(huì)導(dǎo)致所有的屏板排氣不良。
另一方面，上述排氣不良的檢測(cè)，系將真空計(jì)裝在上述排氣集管上，用該真空計(jì)監(jiān)視排氣集管的真空度狀態(tài)進(jìn)行的。例如，當(dāng)排氣處理中頂管發(fā)生破損，則排氣集管的真空度急劇降低。這時(shí)，在間歇處理方式中，操作員手動(dòng)操作各屏板的排氣開關(guān)閥，確定不合格屏板，并將特定屏板的排氣開關(guān)閥調(diào)在關(guān)閉狀態(tài)，由此對(duì)應(yīng)上述情況。在連續(xù)處理方式中，邊使裝載多只屏板的排氣小車在爐內(nèi)移動(dòng)、邊進(jìn)行排氣處理，因此，從作業(yè)安全方面看，與間歇處理方式同樣對(duì)應(yīng)(人工確認(rèn))是困難的。從而，在排氣處理結(jié)束后(從連續(xù)爐搬出后)，用上述真空計(jì)確認(rèn)排氣集管的真空度狀態(tài)來對(duì)應(yīng)。
然而，搭載在排氣小車的多只屏板中即使只有1個(gè)屏板不合格，由于搭載在排氣小車的全部屏板是在排氣不良的狀態(tài)下實(shí)施規(guī)定的排氣處理，所以，在上述連續(xù)處理方式中的所述對(duì)應(yīng)措施會(huì)產(chǎn)生生產(chǎn)效率降低的問題。
本發(fā)明的目的在于提供一種由排氣小車進(jìn)行排氣處理、不合格屏板的檢測(cè)方法，所述檢測(cè)方法檢測(cè)排氣處理中成為排氣不良原因的屏板，對(duì)其余屏板繼續(xù)進(jìn)行排氣處理，由此防止生產(chǎn)效率降低。

發(fā)明內(nèi)容
為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種由排氣小車式連續(xù)排氣處理方法，對(duì)不合格屏板進(jìn)行檢測(cè)的方法，所述方法至少在載持排氣裝置的排氣小車上保持多個(gè)屏板，將各屏板的頂管與排氣小車的排氣頭相接，同時(shí)，用各自裝有開關(guān)閥的排氣管通過排氣集管使上述排氣頭與排氣裝置相接，邊使該排氣小車在爐內(nèi)移動(dòng)邊進(jìn)行排氣處理。此時(shí)，檢測(cè)得知上述多只屏板排氣不良時(shí)，將各屏板的上述開關(guān)閥全部關(guān)閉。然后，依次開關(guān)各屏板的開關(guān)閥測(cè)定各屏板的真空度，將所測(cè)得的其真空度在容許范圍以外屏板作為不合格屏板。
附圖的簡(jiǎn)單說明

圖1是本發(fā)明的玻璃屏板的小車式處理設(shè)備的平面簡(jiǎn)圖。
圖2是圖1密封處理(排氣)區(qū)的放大剖視圖。
圖3是夾著玻璃屏板組裝體的排氣小車的剖面圖。
圖4是玻璃屏板組裝體的說明用部份斜視圖。
圖5是列示排氣工序中不合格屏板的檢測(cè)狀態(tài)的排氣曲線圖。
圖6是排氣小車另一實(shí)施方式的剖視圖。
圖7是圖6中屏板疊放狀態(tài)的平面圖。
圖8是玻璃屏板組裝體垂直狀態(tài)錯(cuò)開保持形式一例的正面圖。
圖9是玻璃屏板組裝體傾斜錯(cuò)開保持形式一例的側(cè)面圖。
圖中，T為排氣小車式連續(xù)式爐，A為密封處理區(qū)，B為排氣區(qū)，C為冷卻區(qū)，Pa為頂管，P1為屏板組裝體，P2為屏板，W1為表面玻璃基板，W2為背面玻璃基板，7為開口部，10為排氣小車，14為真空排氣泵，15為放電氣體泵，16a、16b、20為電磁開關(guān)閥，17為排氣集管，18為排氣頭，19為排氣管，21為真空計(jì)21，22為控制器。
具體實(shí)施例方式
以下，依據(jù)圖1～圖5說明本發(fā)明實(shí)施方式。
本發(fā)明適用的排氣小車式連續(xù)式爐T系在密封處理后繼續(xù)進(jìn)行排氣處理的設(shè)備。如圖1和圖2所示，爐床全長(zhǎng)上設(shè)有開口部7，并且分別由多只爐室組成的密封處理區(qū)A、排氣區(qū)B及冷卻區(qū)C構(gòu)成。
如圖2所示，密封處理區(qū)A和排氣區(qū)B在爐內(nèi)設(shè)置有循環(huán)檔板1的同時(shí)，循環(huán)通路2上配置輻射發(fā)熱管燃燒器或電熱器等熱源3。爐內(nèi)氣氛是用循環(huán)風(fēng)機(jī)4從吸入口5吸入，由上述熱源3進(jìn)行加熱，從輸出口6排出，藉此，在爐內(nèi)循環(huán)，對(duì)下述的玻璃屏板組裝體P1進(jìn)行加熱。
又，冷卻區(qū)C為，除了上述密封處理區(qū)A(排氣區(qū)B)中的熱源3外，還具有外部空氣導(dǎo)入口或冷卻管等的冷卻源(未圖示)，其他結(jié)構(gòu)與上述密封處理區(qū)A(排氣區(qū)B)同樣。
上述玻璃屏板組裝體P1如圖4所示，由表面玻璃基板W1和帶頂管Pa的背面玻璃基板W2構(gòu)成。上述玻璃屏板將融接用玻璃粘接膏組成的密封劑S涂敷在任何一基板對(duì)置的外周邊部，使之疊合，用夾鉗等夾具K固定成一體。
圖4所示夾具K為適用于頂管Pa部份的夾具，在頂管Pa側(cè)的一片a開設(shè)其寬幅較頂管Pa直徑稍大的長(zhǎng)槽b。上述夾具在使頂管Pa位于該長(zhǎng)槽b內(nèi)的狀態(tài)下，使有貫通孔c的保持構(gòu)件d嵌合，藉此支承頂管Pa。又，頂管Pa的支承方法不限于上述保持構(gòu)件d，也可以是其他結(jié)構(gòu)。
用于固定頂管Pa以外部份的夾具上不需上述長(zhǎng)槽b。
排氣小車10如圖2和圖3所示那樣，是藉由在敷設(shè)于上述排氣小車式連續(xù)式爐T的爐床下的導(dǎo)軌R上的推進(jìn)裝置(未圖示)移動(dòng)的小車。排氣小車10上面，配設(shè)多只安裝構(gòu)件11，所述安裝構(gòu)件11由支柱11a和保持構(gòu)件11b所組成，所述支柱11a系貫通上述小車式連續(xù)式爐T的開口部7而位于爐內(nèi)，所述保持構(gòu)件11b將玻璃屏板組裝體P1于大致垂?fàn)顟B(tài)下保持在爐寬方向。又，所述安裝構(gòu)件11的支柱11a上，在排氣小車10的全長(zhǎng)上設(shè)有具備若干與開口部7的間隙、遮蔽開口部7的隔熱構(gòu)件12。
又，長(zhǎng)為排氣小車10上搭載設(shè)有真空排氣泵14的真空排氣系統(tǒng)、和具有放電氣體瓶15的放電氣體供給系統(tǒng)。所述真空排氣系統(tǒng)和放電氣體供給系統(tǒng)通過電磁開關(guān)閥16a、16b接至排氣集管17。排氣集管17頂端通過電磁開關(guān)閥20，連接有具有排氣頭18的多根排氣管19。同時(shí)，并安裝有真空計(jì)21。另外，排氣小車10具備用于下述屏板P2的頂管Pa熔斷的密封電熱器23。
再有，控制器22接于上述真空計(jì)21上。如下所述，上述玻璃屏板P2進(jìn)入排氣工序，在真空計(jì)未表示規(guī)定的真空度時(shí)，上述控制器22檢測(cè)這一情況，使上述電磁開關(guān)閥20一次全部開啟后，再順次開關(guān)，由真空計(jì)21讀取各玻璃屏板P2的真空度，存儲(chǔ)規(guī)定容許范圍外的不合格玻璃屏板P，同時(shí)報(bào)警。與之同時(shí)，關(guān)閉該不合格屏板玻璃屏板的電磁開關(guān)閥20，再順次開關(guān)其他玻璃屏板P1的電磁開關(guān)閥20，檢測(cè)其真空度。上述各玻璃屏板P2的真空度檢測(cè)工序是依照內(nèi)置于上述控制器22內(nèi)的程序進(jìn)行，其數(shù)據(jù)在排氣小車10送出爐外時(shí)可打印。
上述導(dǎo)軌R如圖1所示，貫通排氣小車式連續(xù)爐T，并被設(shè)在爐的側(cè)方(回油管路部)，其兩端用裝入、抽出轉(zhuǎn)送車Tf1、Tf2連接，上述排氣小車10就可循環(huán)使用。在上述冷卻區(qū)C與抽出轉(zhuǎn)送車Tf2之間設(shè)置放電氣體充入、密封區(qū)Zg。
以下，說明本發(fā)明的排氣小車式連續(xù)排氣處理中不合格屏板的檢測(cè)方法。
首先在裝卸區(qū)Z將上述玻璃屏板組裝體P1裝入在排氣小車10。
此時(shí)，如圖2和圖3所示，上述玻璃屏板組裝體P1的頂管Pa插入設(shè)在隔熱構(gòu)件12的貫通孔13，用例如未圖示的夾鉗等適宜手段，將玻璃屏板組裝體P1固定于安裝構(gòu)件11，所述玻璃屏板組裝體P1在大致垂直狀態(tài)下，沿小車寬度方向載置固定于排氣小車10上。上述頂管Pa與上述排氣頭18相連。另外，密封加熱器23裝在頂管Pa部。
如上所述，裝載多只玻璃屏板組裝體P1的排氣小車10用適合的手段搬送到裝入轉(zhuǎn)送車Tf1上，并在這里，被移動(dòng)到排氣小車式連續(xù)式爐T的裝入側(cè)，用推進(jìn)設(shè)備等以連接狀態(tài)依次裝入排氣小車式連續(xù)式爐T內(nèi)，同時(shí)，在爐內(nèi)作間歇搬運(yùn)。從而，上述開口部幾乎由各排氣小車10的隔熱構(gòu)件12而成封閉狀態(tài)。
上述排氣小車10在排氣小車式連續(xù)式爐T內(nèi)移動(dòng)期間，根據(jù)規(guī)定的加熱曲線圖對(duì)玻璃屏板組裝體P1進(jìn)行加熱、冷卻。首先在密封處理區(qū)A，密封劑S熔融，密封兩玻璃基板W1、W2，形成玻璃屏板P2，并密封頂管Pa。當(dāng)移動(dòng)到排氣區(qū)B時(shí)，則關(guān)閉上述電磁開關(guān)閥16a，打開上述各電磁開關(guān)閥20，使各玻璃屏板P2內(nèi)與真空排氣泵14連通。各玻璃屏板P2內(nèi)排氣達(dá)10-4～10-7乇，經(jīng)冷卻區(qū)送出到爐外。當(dāng)移動(dòng)到放電氣體充氣、密封區(qū)Zg，就停止真空排氣泵14的運(yùn)行，并關(guān)閉上述電磁開關(guān)閥16a，打開電磁開關(guān)閥16b。藉此，從放電氣體瓶15中將例如氖(Ne)、氬(Ar)、氙(Xe)等放電氣體向玻璃屏板P2內(nèi)充入，以達(dá)到規(guī)定壓力(3400～760乇)。
上述放電氣體充氣一結(jié)束，密封加熱器23通電，對(duì)頂管Pa密封切斷，制成規(guī)定的PDP。
之后，排氣小車10通過抽出轉(zhuǎn)送車Tf2移動(dòng)到裝卸區(qū)Z。在這里卸下上述處理過的PDP，再裝上新的玻璃屏板組裝體P1，重復(fù)上述工序。
可是，在上述方法中，在排氣小車式連續(xù)爐T內(nèi)，各玻璃屏板組裝體P1被密封成為玻璃屏板P2，而搭載在1臺(tái)排氣小車10的多只玻璃屏板P2是用1臺(tái)排氣裝置(真空泵14)同時(shí)進(jìn)行排氣處理的，因此，當(dāng)有部份玻璃屏板P2密封不好、排氣頭18與頂管Pa接觸不良，或頂管Pa破損等成為排氣不良的原因的缺陷時(shí)，則搭載在該排氣小車10上的所有玻璃屏板P2變得排氣不良。
從而，在上述排氣處理過程中，例如，裝在排氣集管17的真空計(jì)21的真空度急劇降低(見圖5.a點(diǎn))時(shí)，控制器22檢測(cè)到這情況，關(guān)閉上述各電磁開關(guān)閥20，同時(shí)報(bào)警，通知搭載在該排氣小車10上的玻璃屏板P2中存在不合格品。之后，依據(jù)程序依次開關(guān)上述電磁開關(guān)閥20，確定玻璃屏板不合格。
即，待確認(rèn)的玻璃屏板P2是合格品時(shí)，則裝在排氣集管17的真空計(jì)21指示規(guī)定的真空度。若待確認(rèn)的玻璃屏板P2是不合格品，則上述真空計(jì)21不指示規(guī)定的真空度。因此，重復(fù)上述操作，確定玻璃屏板P2的不合格，并記錄其數(shù)據(jù)。另外，在轉(zhuǎn)移對(duì)下一只玻璃屏板P2進(jìn)行真空度檢查時(shí)，已確認(rèn)的玻璃屏板P2的電磁閥20關(guān)閉。
如上所述，各玻璃屏板真空度檢查結(jié)束，不合格的玻璃屏板的電磁開關(guān)閥20處關(guān)閉狀態(tài)，而其他玻璃屏板電磁開關(guān)閥20打開，繼續(xù)進(jìn)行排氣處理。另外，排氣集管17的真空計(jì)21在規(guī)定時(shí)間內(nèi)不指示規(guī)定的真空度時(shí)，也同樣處理。
當(dāng)該排氣小車10經(jīng)過冷卻區(qū)C排出爐外，則從上述數(shù)據(jù)確定玻璃屏板P2不合格，在進(jìn)行實(shí)物確認(rèn)后，最終決定是否作為成品使用，對(duì)合格的玻璃屏板充入放電氣體、在裝卸區(qū)Z卸下，與其他的區(qū)別開來。
在上述實(shí)施方式中，各玻璃屏板組裝體P1是在排氣小車10上保持大致垂直狀態(tài)的形式。但如圖6及圖7所示那樣，可以水平狀態(tài)保持，而且以規(guī)定間隔層疊，并且稍微錯(cuò)開。這時(shí)，可以將頂管Pa的結(jié)構(gòu)作成設(shè)置多處、例如設(shè)置于對(duì)稱位置2處的。另一方面，排氣小車10上設(shè)置2組上述第1實(shí)施方式所示的排氣裝置，通過電磁開關(guān)閥25，將各排氣裝置的各排氣集管18的排氣管19接到切換連接清洗氣體供給管及放電氣體供給管的氣體集管24上。同時(shí)，各排氣集管17的真空計(jì)21、21接于共用控制器22。另外，頂管Pa1、Pa2不限于圖6所示的向上，也可向下。
將各個(gè)玻璃屏板組裝體P1的各頂管Pa1、Pa2連接到各個(gè)排氣裝置的排氣頭18，在玻璃屏板P2內(nèi)進(jìn)行排氣工序的初期，從兩頂管Pa1、Pa2對(duì)玻璃屏板P2排氣。從一方頂管Pa1供給清洗氣體，并從另一頂管Pa2排出。再次對(duì)玻璃屏板P2排氣后，從另一頂管Pa2供給清洗氣體，從頂管Pa1排出，多次重復(fù)該工序。
又，玻璃屏板組裝體P1作稍微錯(cuò)開保持的形式，如圖8所示，可用以大致垂直狀態(tài)保持玻璃屏板組裝體P1的形式，也可適用于如圖9(a)、(b)所示，使玻璃屏板組裝體P1傾南斜的狀態(tài)下保持的形式。這樣采用使玻璃屏板組裝體P1稍微錯(cuò)開保持的形式，則可使玻璃屏板組裝體P1的間隔小至不大于頂管突出尺寸。而且，玻璃屏板組裝體P1稍微錯(cuò)開保持的形式，在玻璃屏板P2內(nèi)排氣初期，也可以進(jìn)行用1根頂管多次重復(fù)清潔氣體的供氣和排氣組成的排氣處理。
在上述各實(shí)施方式中，介紹了對(duì)玻璃屏板組裝體P1進(jìn)行密封、排氣的處理，但上述實(shí)施方式也可適用于頂管Pa預(yù)先被密封的玻璃屏板P2。此時(shí)，可不經(jīng)過密封工序進(jìn)行連續(xù)排氣處理。
又，上述說明中，作為真空排氣的對(duì)象物是列示了玻璃屏板，但本發(fā)明中的作為真空排氣的對(duì)象物并不限于此，也可是合成樹脂屏板、金屬屏板。
上述說明介紹了屏板P2內(nèi)排氣后充氣的情況，但本發(fā)明并不限于此，也可適用于不充氣、對(duì)頂管Pa密封制成隔熱的屏板。
發(fā)明效果正如以上說明所明確的那樣，若采用本發(fā)明，搭載排氣裝置的排氣小車中保持多只屏板，各屏板頂管與排氣小車的排氣頭相接，并且，上述排氣頭和排氣裝置用各自有開關(guān)閥的排氣管經(jīng)過排氣集管相接，使該排氣小車在爐內(nèi)邊移動(dòng)、邊進(jìn)行排氣處理時(shí)，當(dāng)檢出多只屏板的排氣不好，則在驅(qū)動(dòng)排氣裝置狀態(tài)下，一下使各屏板開關(guān)閥全關(guān)閉后，利用依次開關(guān)開關(guān)閥檢測(cè)各屏板的排氣狀態(tài)。
從而，藉由被確認(rèn)為不合格屏板以外的開關(guān)閥的打開，可以繼續(xù)進(jìn)行合格屏板的排氣處理，可將生產(chǎn)效率的降低控制在最小限度。
權(quán)利要求
1.一種用于排氣小車式連續(xù)排氣處理中不合格屏板的檢測(cè)方法，其特在于至少在搭載排氣裝置的排氣小車上保持多只屏板，各屏板的頂管與排氣小車的排氣頭相接，并且，通過排氣集管，使上述排氣頭和排氣裝置由分別具有開關(guān)閥的排氣管相接，使該排氣小車在爐內(nèi)移動(dòng)、邊進(jìn)行排氣處理；其特征在于，在檢測(cè)到上述多只屏板排氣不良的場(chǎng)合，將各屏板的所述開關(guān)閥全關(guān)閉，然后，順次開關(guān)各屏板的開關(guān)閥，測(cè)定各屏板的真空度，將測(cè)得的其真空度在容許范圍以外的屏板定為不合格屏板。
全文摘要
提供多只中空屏板搭載在排氣小車進(jìn)行連續(xù)排氣處理時(shí),在排氣過程中確定不合格的屏板,其余屏板進(jìn)行排氣,以防止生產(chǎn)效率降低的不合格屏板的檢測(cè)方法。至少在搭載排氣裝置的排氣小車(10)中保持多只屏板P2,各屏板頂管Pa與排氣小車的排氣頭(18)相接,并且上述排氣頭與排氣裝置用有各自開關(guān)閥(20)的排氣管(19)通過排氣集管(17)相接,當(dāng)使該排氣小車邊在爐內(nèi)移動(dòng)、邊排氣處理時(shí),檢出多只屏板排氣不好的場(chǎng)合,各屏板的上述開關(guān)閥全關(guān)閉后,依次開關(guān)各屏板的開關(guān)閥,測(cè)定各屏板的真空度,測(cè)定的真空度在容許范圍之外的定為不合格的屏板。
文檔編號(hào)H01J11/44GK1383176SQ0211866
公開日2002年12月4日 申請(qǐng)日期2002年4月25日 優(yōu)先權(quán)日2001年4月26日
發(fā)明者木曾田欣彌 申請(qǐng)人:中外爐工業(yè)株式會(huì)社