專利名稱：噴頭蓋及具備噴頭蓋的液滴噴出裝置、電光裝置制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種密接于以噴墨打印機(jī)的噴墨頭為代表的功能液滴噴出頭上、并保全機(jī)能液滴噴出頭的噴出噴嘴的噴頭蓋(head cap)及具備噴頭蓋的液滴噴出裝置、以及液晶顯示裝置的制造方法、有機(jī)EL裝置的制造方法、電子放射裝置的制造方法、PDP裝置的制造方法、電泳顯示裝置的制造方法、濾色鏡的制造方法、有機(jī)EL的制造方法、隔板(spacer)形成方法、金屬布線形成方法、透鏡形成方法、抗蝕劑形成方法和光擴(kuò)散體形成方法。
背景技術(shù)：
在噴墨打印機(jī)等液滴噴出裝置中，當(dāng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，由于暴露于空氣中而粘性增加的功能液會(huì)堵住功能液滴噴出頭的噴出噴嘴。因此，在液滴噴出裝置中設(shè)有蓋體單元，密封功能液滴噴出頭的噴嘴面，并通過(guò)吸引從噴嘴中去除粘性增加的功能液。蓋體單元具有噴頭蓋，密接于功能液滴噴出頭的噴嘴面，并密封該噴嘴面；升降機(jī)構(gòu)，使噴頭蓋離合功能液滴噴出頭；和吸引泵，經(jīng)噴頭蓋，從噴出噴嘴吸引功能液。
例如，在長(zhǎng)時(shí)間停止運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，將應(yīng)防止功能液干燥的噴頭蓋壓接在功能液滴噴出頭上，進(jìn)行所謂的加蓋，并且在開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，在該狀態(tài)下驅(qū)動(dòng)吸引泵，吸引功能液，進(jìn)行所謂的清潔。另外，裝置使噴頭蓋稍離開(kāi)功能液滴噴出頭，從功能液滴噴出頭的所有噴出頭噴出功能液，進(jìn)行所謂的沖洗(空噴出)。
這種用于功能液滴噴出頭保全中的噴頭蓋具備在表面形成凹槽的蓋體基座、填充到凹槽中的功能液吸收材料和密封噴嘴面的密封墊(seal packing)。另外，在噴頭蓋中，組裝應(yīng)壓緊包含功能液并膨脹的功能液吸收材料的吸收材料壓板。
因此，現(xiàn)有的吸收材料壓板因熱鉚接而損傷形成在蓋體主體中一體形成的多個(gè)壓板突起的前端。即，通過(guò)使在多個(gè)部位貫通功能液吸收材料的壓板突起加熱加壓變形，在多個(gè)部位壓緊功能液吸收材料(例如參照特開(kāi)2000-62202號(hào)公報(bào)、特開(kāi)2001-322296號(hào)公報(bào))。
在如此構(gòu)成的現(xiàn)有噴頭蓋中，因?yàn)橛蓸?shù)脂一體形成蓋體主體和壓板突起，所以當(dāng)更換功能液吸收材料時(shí)，必需整體更換噴頭蓋。另一方面，在液滴噴出裝置的應(yīng)用技術(shù)中，由于所使用的功能液，必需由耐蝕性材料來(lái)構(gòu)成噴頭蓋。在這種情況下，若為了功能液吸收材料而丟棄噴頭蓋整體，則產(chǎn)生資源浪費(fèi)和成本浪費(fèi)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種不損害密封動(dòng)作等本來(lái)功能就可簡(jiǎn)單更換功能液吸收材料的噴頭蓋及具備噴頭蓋的液滴噴出裝置、以及液晶顯示裝置的制造方法、有機(jī)EL裝置的制造方法、電子放射裝置的制造方法、PDP裝置的制造方法、電泳顯示裝置的制造方法、濾色鏡的制造方法、有機(jī)EL的制造方法、隔板形成方法、金屬布線形成方法、透鏡形成方法、抗蝕劑形成方法和光擴(kuò)散體形成方法。
本發(fā)明的噴頭蓋的特征在于，具備蓋體基座；形成于蓋體基座表面上的吸收材料容納部；配置在吸收材料容納部中的功能液吸收材料；壓緊功能液吸收材料的吸收材料壓板；與功能液滴噴出頭的噴嘴面密接地形成的密封部件；和將密封部件固定在蓋體基座上的密封固定部件，密封部件在壓緊吸收材料壓板的狀態(tài)下被固定在蓋體基座上。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，用吸收材料壓板來(lái)壓緊填充在噴頭蓋吸收材料容納部?jī)?nèi)的功能液吸收材料，密封部件壓緊該吸收材料壓板，所以通過(guò)僅從蓋體基座中取下密封固定部件，就可分別分解各構(gòu)成部件，并且可順序組裝。由此，即使功能液吸收材料或其它噴頭蓋構(gòu)成部件之一產(chǎn)生惡化或破損，也可僅通過(guò)從蓋體基座中取下密封固定部件來(lái)僅單獨(dú)且容易地更換必需更換的構(gòu)成部件。另外，若使噴頭蓋密接于功能液滴噴出頭，則密封部件緊緊壓住吸收材料壓板，適當(dāng)壓緊功能液吸收材料，可確實(shí)防止功能液吸收材料接觸功能液滴噴出頭的噴嘴面。
此時(shí)，最好是，吸收材料容納部由填充功能液吸收材料的凹槽、和在形成所述凹槽的同時(shí)從蓋體基座突出的環(huán)狀邊緣部構(gòu)成，吸收材料壓板的邊緣部座落于環(huán)狀邊緣部上。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，可由蓋體基座的環(huán)狀邊緣部和密封部件來(lái)夾持地穩(wěn)定壓緊吸收材料壓板的邊緣部。因此，壓在密封部件上的吸收材料壓板可防止密封部件的內(nèi)邊緣部倒入吸收材料容納部中。另外，在使噴頭蓋密接于噴嘴面并進(jìn)行吸收動(dòng)作時(shí)，可抑制因密封部件的傾斜而產(chǎn)生泄漏。
此時(shí)，最好是，吸收材料壓板形成為薄壁，具有壓緊功能液吸收材料的邊緣部的框狀部、和壓緊中間部的橋狀部。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，可由吸收材料壓板的橋狀部來(lái)壓緊功能液吸收材料的中央部，即使功能液吸收材料膨脹，也能平坦壓緊功能液吸收材料。另外，若將吸收材料壓板形成為薄壁，則即使使噴頭蓋密接于功能液滴噴出頭的噴嘴面，吸收材料壓板也不會(huì)與噴嘴面接觸。另外，因?yàn)榭蓪壕o功能液吸收材料中央部的橋狀部寬度形成得細(xì)，所以還可防止在橋狀部上面殘留功能液。這里，最好吸收材料壓板的壁厚和橋狀部的寬度都形成為0.3mm左右。另外，最好是，通過(guò)鋼絲鋸而非壓制來(lái)加工吸收材料壓板，盡可能使橋狀部的寬度變細(xì)。
此時(shí)，最好是一體形成框狀部和橋狀部。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過(guò)一體形成框狀部和橋狀部，由于不必將框狀部固定在橋狀部上，所以可使整體厚度恒定。另外，即使將框狀部或橋狀部形成得薄、且寬度形成得細(xì)，也不難處理，而可容易安裝到噴頭蓋上。
此時(shí)，最好是，吸收材料壓板由不銹鋼形成。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，功能液難以侵蝕不銹鋼(腐蝕性)，且與其它金屬相比，強(qiáng)度高，所以通過(guò)由不銹鋼形成吸收材料壓板，可比由其它材料形成的情況形成得還薄，并且可將各部形成細(xì)幅度。
在這些情況下，最好是，密封部件具有密接于噴嘴面的環(huán)狀突出部、壓緊吸收材料壓板的環(huán)狀壓緊部和固定在蓋體基座上的環(huán)狀固定部來(lái)一體形成，并且在環(huán)狀突出部的里面?zhèn)刃纬森h(huán)狀壓緊部。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，因?yàn)樯w體基座經(jīng)環(huán)狀壓緊部接受施加于環(huán)狀突出部上的密接力(反作用力)，所以可提高使噴頭蓋密接于功能液滴噴出頭的噴嘴面時(shí)的密接性，另外，由蓋體基座與密封固定部件的下面部來(lái)夾持環(huán)狀固定部，可穩(wěn)定固定密封部件，所以也可提高蓋體基座與密封部件之間的密接性。
此時(shí)，最好是，將密封固定部件形成環(huán)狀，在將密封部件的環(huán)狀固定部壓緊在蓋體基座上的狀態(tài)下，擰入蓋體基座中。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過(guò)使用螺釘，可將密封固定部件壓緊在蓋體基座上地牢固固定，可提高密封部件與蓋體基座之間的密接性。另外，通過(guò)僅取下螺釘就可容易將噴頭蓋分解成各個(gè)構(gòu)成部件，在功能液吸收材料和其它構(gòu)成部件產(chǎn)生惡化或破損的情況下，可僅分別且容易地更換成為更換對(duì)像的構(gòu)成部件。
此時(shí)，最好是還具備蓋體支架，沿密接方向自由滑動(dòng)地保持蓋體基座；和彈簧，將蓋體支架作為支撐物，沿密接方向頂靠蓋體基座，在蓋體支架上形成限制部，抵抗彈簧，在稍稍傾斜的狀態(tài)下限位蓋體基座。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，因?yàn)橛蓮椈身斂可w體基座，所以當(dāng)將噴頭蓋壓向功能液滴噴出頭時(shí)，密封部件靠模密接于噴嘴面上。因此，可確實(shí)密封功能液滴噴出頭的噴嘴面。另外，因?yàn)樯w體基座限位成傾斜狀態(tài)后安裝在蓋體支架上，所以當(dāng)從功能液滴噴出頭取下噴頭蓋時(shí)，密封部件從單側(cè)離開(kāi)噴嘴面。因此，可防止噴頭蓋內(nèi)的功能液飛散。
本發(fā)明的液滴噴出裝置的特征在于具備上述噴頭蓋；功能液滴噴出頭；離合機(jī)構(gòu)，使噴頭蓋相對(duì)地離合功能液滴噴出頭；和吸收機(jī)構(gòu)，連接于噴頭蓋，經(jīng)密接的噴頭蓋，從功能液滴噴出頭中吸引功能液。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過(guò)使噴頭蓋密接于功能液滴噴出頭，可抑制功能液滴噴出頭的噴嘴前端的功能液氣化，并防止噴嘴堵住。另外，通過(guò)在使噴頭蓋密接于功能液滴噴出頭的狀態(tài)下驅(qū)動(dòng)吸收機(jī)構(gòu)，可從功能液滴噴出頭的噴嘴中吸引功能液，或消除噴嘴堵住或功能液向功能液滴噴出頭的初期填充。另一方面，在使噴頭蓋離開(kāi)功能液滴噴出頭的狀態(tài)下，通過(guò)從功能液滴噴出頭空噴出(清洗)功能液滴，可將噴嘴的凹凸面維持為適當(dāng)狀態(tài)。因此，可適當(dāng)保全功能液滴噴出頭。另外，對(duì)噴頭蓋自身而言，可不損壞其功能就可實(shí)現(xiàn)資源節(jié)省。
本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法使用上述液滴噴出裝置，在濾色鏡的基板上形成多個(gè)濾色元件，其特征在于向功能液滴噴出頭導(dǎo)入各色濾色材料，通過(guò)頭單元，使功能液滴噴出頭相對(duì)基板進(jìn)行掃描，并選擇地噴出濾色材料，形成多個(gè)濾色元件。
本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法使用上述液滴噴出裝置，在基板上的多個(gè)像點(diǎn)像素中分別形成EL發(fā)光層，其特征在于向功能液滴噴出頭導(dǎo)入各色發(fā)光材料，經(jīng)頭單元，使功能液滴噴出頭相對(duì)基板進(jìn)行掃描，選擇地噴出發(fā)光材料，形成多個(gè)EL發(fā)光層。
本發(fā)明的電子放射裝置的制造方法使用上述液滴噴出裝置，在電極上形成多個(gè)熒光體，其特征在于向功能液滴噴出頭導(dǎo)入各色熒光材料，經(jīng)頭單元，使功能液滴噴出頭相對(duì)電極進(jìn)行掃描，并選擇地噴出熒光材料，形成多個(gè)熒光體。
本發(fā)明的PDP裝置的制造方法使用上述液滴噴出裝置，在背面基板上的多個(gè)凹部分別形成熒光體，其特征在于向功能液滴噴出頭導(dǎo)入各色熒光材料，經(jīng)頭單元，使功能液滴噴出頭相對(duì)背面基板進(jìn)行掃描，選擇地噴出熒光材料，形成多個(gè)熒光體。
本發(fā)明的電泳顯示裝置的制造方法使用上述液滴噴出裝置，在電極上的多個(gè)凹部中形成泳動(dòng)體，其特征在于向功能液滴噴出頭導(dǎo)入各色泳動(dòng)體材料，經(jīng)頭單元，使功能液滴噴出頭相對(duì)電極進(jìn)行掃描，選擇地噴出泳動(dòng)體材料，形成多個(gè)泳動(dòng)體。
這樣，通過(guò)將上述液滴噴出裝置適用于液晶顯示裝置的制造方法、有機(jī)EL(Electro-Luminescence電發(fā)光)裝置的制造方法、電子放射裝置的制造方法、PDP(Plasma Display Panel等離子體顯示面板)裝置的制造方法和電泳顯示裝置的制造方法，可由適當(dāng)保全的功能液滴噴出頭來(lái)適當(dāng)進(jìn)行基板處理，提高質(zhì)量。另外，電子放射裝置是包含所謂FED(Field Emission Display場(chǎng)致發(fā)光顯示)裝置的概念。
本發(fā)明的濾色鏡的制造方法是一種通過(guò)使用上述液滴噴出裝置、在基板上排列多個(gè)濾色元件而形成濾色鏡的濾色鏡的制造方法，其特征在于向功能液滴噴出頭導(dǎo)入各色濾色材料，經(jīng)頭單元，使功能液滴噴出頭相對(duì)基板進(jìn)行掃描，選擇地噴出濾色材料，形成多個(gè)濾色元件。
此時(shí)，最好是，形成覆蓋多個(gè)濾色元件的覆蓋膜，在形成濾色元件后，向功能液滴噴出頭導(dǎo)入透光性的涂敷材料，經(jīng)頭單元，相對(duì)基板掃描功能液滴噴出頭，選擇地噴出涂敷材料，形成覆蓋膜。
本發(fā)明的有機(jī)EL的制造方法使用上述液滴噴出裝置，在基板上排列包含EL發(fā)光層的多個(gè)像點(diǎn)像素，其特征在于向功能液滴噴出頭導(dǎo)入各色發(fā)光材料，經(jīng)頭單元，使功能液滴噴出頭相對(duì)基板進(jìn)行掃描，選擇地噴出發(fā)光材料，形成多個(gè)EL發(fā)光層。
此時(shí)，最好是在多個(gè)EL發(fā)光層與基板之間，對(duì)應(yīng)于EL發(fā)光層來(lái)形成多個(gè)像素電極，向功能液滴噴出頭導(dǎo)入液態(tài)電極材料，經(jīng)頭單元，使功能液滴噴出頭相對(duì)基板進(jìn)行掃描，并選擇地噴出液態(tài)電極材料，形成多個(gè)像素電極。
此時(shí)，最好是覆蓋多個(gè)EL發(fā)光層地形成相對(duì)電極，在形成EL發(fā)光層后，向功能液滴噴出頭導(dǎo)入液態(tài)電極材料，經(jīng)頭單元，相對(duì)基板掃描功能液滴噴出頭，并選擇地噴出液態(tài)電極材料，形成相對(duì)電極。
本發(fā)明的隔板形成方法使用上述液滴噴出裝置，在兩塊基板間形成能構(gòu)成微小單元間隙(cell gap)的多個(gè)粒子狀隔板，其特征在于向功能液滴噴出頭導(dǎo)入構(gòu)成隔板的粒子材料，經(jīng)頭單元，使功能液滴噴出頭相對(duì)至少一個(gè)基板進(jìn)行掃描，選擇地噴出粒子材料，在基板上形成隔板。
本發(fā)明的金屬布線形成方法使用上述液滴噴出裝置，在基板上形成金屬布線，其特征在于向功能液滴噴出頭導(dǎo)入液態(tài)金屬材料，經(jīng)頭單元，使功能液滴噴出頭相對(duì)基板進(jìn)行掃描，并選擇地噴出液態(tài)金屬材料，形成金屬布線。
本發(fā)明的透鏡形成方法使用上述液滴噴出裝置，在基板上形成多個(gè)微透鏡，其特征在于向功能液滴噴出頭導(dǎo)入透鏡材料，并經(jīng)頭單元，使功能液滴噴出頭相對(duì)基板進(jìn)行掃描，選擇地噴出透鏡材料，形成多個(gè)微透鏡。
本發(fā)明的抗蝕劑形成方法使用上述液滴噴出裝置，在基板上形成任意形狀的抗蝕劑，其特征在于向功能液滴噴出頭導(dǎo)入抗蝕劑材料，經(jīng)頭單元，使功能液滴噴出頭相對(duì)基板進(jìn)行掃描，選擇地噴出抗蝕劑材料，形成抗蝕劑。
本發(fā)明的光擴(kuò)散體形成方法使用上述液滴噴出裝置，在基板上形成多個(gè)光擴(kuò)散體，其特征在于向功能液滴噴出頭導(dǎo)入光擴(kuò)散材料，經(jīng)頭單元，使功能液滴噴出頭相對(duì)基板進(jìn)行掃描，選擇地噴出光擴(kuò)散材料，形成多個(gè)光擴(kuò)散體。
由此，通過(guò)將上述液滴噴出裝置適用于濾色鏡的制造方法、有機(jī)EL的制造方法、隔板形成方法、金屬布線形成方法、透鏡形成方法、抗蝕劑形成方法和光擴(kuò)散體形成方法，可在各制造方法中提高質(zhì)量。


圖1是作為有機(jī)EL裝置的顯示裝置的主要部分剖面圖。
圖2是說(shuō)明作為有機(jī)EL裝置的顯示裝置制造工序的流程圖。
圖3是說(shuō)明無(wú)機(jī)物隔岸(bank)層形成的工序圖。
圖4是說(shuō)明有機(jī)物隔岸層形成的工序圖。
圖5是說(shuō)明形成空穴注入/傳輸層過(guò)程的工序圖。
圖6是說(shuō)明形成空穴注入/傳輸層狀態(tài)的工序圖。
圖7是說(shuō)明形成藍(lán)色發(fā)光層過(guò)程的工序圖。
圖8是說(shuō)明形成藍(lán)色發(fā)光層狀態(tài)的工序圖。
圖9是說(shuō)明形成各色發(fā)光層狀態(tài)的工序圖。
圖10是說(shuō)明陰極形成的工序圖。
圖11是實(shí)施例的有機(jī)EL裝置制造方法中發(fā)光層形成設(shè)備的模式圖。
圖12是本實(shí)施例的功能液滴噴出裝置的外觀立體圖。
圖13是本實(shí)施例的功能液滴噴出裝置的俯視圖。
圖14是本實(shí)施例的功能液滴噴出裝置的右側(cè)視圖。
圖15是頭單元的俯視圖。
圖16是頭單元的俯視圖。
圖17A是功能液滴噴出頭的外觀立體圖，17B是將功能液滴噴出頭安裝在配管接頭中時(shí)的剖面圖。
圖18是維修單元的外觀立體圖。
圖19是修改單元的俯視圖。
圖20是維修單元的俯視圖。
圖21是噴頭蓋的整體立體圖。
圖22是噴頭蓋的剖面圖。
圖23是噴頭蓋的局部放大剖面圖。
圖24是噴頭蓋的分解立體圖。
圖25是功能液滴噴出頭、連接于功能液滴噴出頭的功能液提供系統(tǒng)、和清潔單元的模式圖。
圖26是說(shuō)明濾色鏡制造工序的流程圖。
圖27A-27E是按制造工序順序表示的濾色鏡的模式剖面圖。
圖28是表示使用適用本發(fā)明的濾色鏡的液晶裝置示意結(jié)構(gòu)的主要部分剖面圖。
圖29是表示使用適用本發(fā)明的濾色鏡的第2實(shí)例液晶裝置示意結(jié)構(gòu)的主要部分剖面圖。
圖30是表示使用適用本發(fā)明的濾色鏡的第3實(shí)例液晶裝置示意結(jié)構(gòu)的主要部分剖面圖。
圖31是作為PDP裝置的顯示裝置的主要部分分解立體圖。
圖32是作為FED裝置的顯示裝置的主要部分剖面圖。
圖中1-液滴噴出裝置，11-噴出裝置，41-頭單元，51-功能液滴噴出頭，58-噴嘴面，59-噴嘴，104-控制裝置，111-清洗單元，112-蓋單元，113-噴頭蓋，115-蓋支架，121-蓋基座，121a-吸收材料容納部，121b-凹槽，121c-環(huán)狀周緣部，122-功能液吸收材料，123-吸收材料壓板，123a-框狀部，123b-橋狀部，124-密封部件，124a-環(huán)狀突出部，124b-環(huán)狀擠壓部，124c-環(huán)狀固定部，125-密封固定部件，126-限位塊，126b-上部，127-支架主體，128-螺旋彈簧，W-基板(工件)。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的一實(shí)施例。本實(shí)施例是在作為所謂的平坦面板顯示器之一的有機(jī)EL裝置的生產(chǎn)線上組裝本發(fā)明的液滴噴出裝置，向多個(gè)功能液滴噴出頭導(dǎo)入發(fā)光材料等功能液，形成構(gòu)成有機(jī)EL裝置的發(fā)光元件的各像素的空穴注入/傳輸層和R、G、B的各色發(fā)光層。
這里，首先簡(jiǎn)單說(shuō)明有機(jī)EL裝置的制造及其制造方法，然后，說(shuō)明在生產(chǎn)線上組裝的液滴噴出裝置與其外圍設(shè)備構(gòu)成的有機(jī)EL裝置的制造裝置。
圖1是本發(fā)明中作為平坦面板顯示器之一的有機(jī)EL裝置的顯示區(qū)域(下面簡(jiǎn)稱為顯示裝置600)的主要部分剖面圖。
本顯示裝置600以在基板(W)601上層疊電路元件部602、發(fā)光元件部603及陰極604的狀態(tài)示意構(gòu)成。
在該顯示裝置600中，從發(fā)光元件部603向基板601發(fā)出的光透過(guò)電路元件部602及基板601，射向觀測(cè)者—側(cè)，同時(shí)，從發(fā)光元件部603向基板601相反側(cè)發(fā)光的光被陰極604反射后，透過(guò)電路元件部602及基板601，射向觀測(cè)者側(cè)。
在電路元件部602與基板601之間形成氧化硅膜構(gòu)成的基底保護(hù)膜606，在該基底保護(hù)膜606上(發(fā)光元件部603側(cè))形成由多晶硅構(gòu)成的島狀半導(dǎo)體膜607。在該半導(dǎo)體膜607的左右區(qū)域中，分別通過(guò)高濃度陽(yáng)離子注入來(lái)形成源極區(qū)域607a及漏極區(qū)域607b。未注入陽(yáng)離子的中央部形成溝道區(qū)域607c。
另外，在電路元件部602中形成覆蓋基底保護(hù)膜606及半導(dǎo)體膜607的透明柵極絕緣膜608，在該柵極絕緣膜608上對(duì)應(yīng)于半導(dǎo)體膜607的溝道區(qū)域607c的位置上，形成例如由Al、Mo、Ta、Ti、W等構(gòu)成的柵極609。在柵極609及柵極絕緣膜608上，形成透明的第1夾層絕緣膜611a和第2夾層絕緣膜611b。另外，形成接觸孔612a、612b，貫通第1、第2夾層絕緣膜611a、611b，分別連通于半導(dǎo)體膜607的源極區(qū)域607a、漏極區(qū)域607b。
在第2夾層絕緣膜611b上，形成規(guī)定圖形形狀的由ITO等構(gòu)成的透明像素電極613，該像素電極613通過(guò)接觸孔612a連接于源極區(qū)域607a。
另外，在第1夾層絕緣膜611a上配置電源線614，該電源線614通過(guò)接觸孔612b連接于漏極區(qū)域607b。
這樣，在電路元件部602中分別形成連接于各像素電極613的驅(qū)動(dòng)用的薄膜晶體管615。
上述發(fā)光元件部603由分別層疊在多個(gè)像素電極613上的功能層617、和配備在各像素電極613及功能層617之間來(lái)區(qū)分各功能層617的隔岸部618示意構(gòu)成。
由像素電極613、功能層617及配置在功能層617上的陰極604來(lái)構(gòu)成發(fā)光元件。像素電極613布圖形成為大致矩形形狀，在各像素電極613之間形成隔岸部618。
隔岸部618由例如由SiO、SiO2、TiO2等無(wú)機(jī)材料形成的無(wú)機(jī)物隔岸層618a(第一隔岸層)、與層疊在該無(wú)機(jī)物隔岸層618a上、由聚酰亞胺樹(shù)脂等耐熱性、耐溶媒性好的抗蝕劑形成的截面為梯形狀的有機(jī)物隔岸層618b(第2隔岸層)構(gòu)成。以該隔岸部618的—部分搭在像素電極613的邊緣部上的狀態(tài)來(lái)形成。
在各隔岸部618之間，相對(duì)像素電極613形成向上逐漸拓寬的開(kāi)口部619。
上述功能層617由在開(kāi)口部619內(nèi)以層疊狀態(tài)形成于像素電極613上的空穴注入/傳輸層617a、和形成于該空穴注入/傳輸層617a上的發(fā)光層617b構(gòu)成。還可鄰接發(fā)光層617b來(lái)形成具有其它功能的其它功能層。例如，也可形成電子傳輸層。
空穴注入/傳輸層617具有從像素電極613向空穴傳輸空穴并注入發(fā)光層617b的功能。該空穴注入/傳輸層617a通過(guò)噴出包含空穴注入/傳輸層形成材料的第1組成物(功能液)來(lái)形成。作為空穴注入/傳輸層形成材料，例如使用聚乙烯二氧噻吩等聚噻吩電介質(zhì)與聚苯乙烯磺酸等的混合物。
發(fā)光層617b發(fā)出紅色(R)、綠色(B)、或藍(lán)色(B)之一的光，通過(guò)噴出包含發(fā)光層形成材料(發(fā)光材料)的第2組成物(功能液)來(lái)形成。另外，作為第2組成物的溶媒(非極化溶媒)，最好是對(duì)空穴注入/傳輸層120a不溶的溶媒，例如可使用環(huán)己二苯、二氫苯呋喃、四甲基苯等。通過(guò)將這種非極化溶媒用于發(fā)光層617b的第2組成物中，可不用再溶解空穴注入/傳輸層617a就可形成發(fā)光層617b。
在發(fā)光層617b中，從空穴注入/傳輸層617a注入的空穴與從陰極604注入的電子在發(fā)光層再結(jié)合后發(fā)光。
陰極604以覆蓋發(fā)光元件部603的整個(gè)面的狀態(tài)來(lái)形成，與像素電極613成對(duì)，在功能層617中流過(guò)電流。在陰極604的上部配置未圖示的密封部件。
下面，參照?qǐng)D2-圖10來(lái)說(shuō)明上述顯示裝置600的制造工序。
如圖2所示，顯示裝置600經(jīng)隔岸部形成工序(S21)、表面處理工序(S22)、空穴注入/傳輸層形成工序(S23)、發(fā)光層形成工序(S24)及相對(duì)電極形成工序(S25)來(lái)制造。制造工序不限于示例，必要時(shí)可去除也可追加其它工序。
首先，在隔岸部形成工序(S21)中，如圖3所示，在第2夾層絕緣膜611b上形成無(wú)機(jī)物隔岸層618a。通過(guò)在形成位置上形成無(wú)機(jī)物膜后，光刻技術(shù)布圖該無(wú)機(jī)物膜，形成該無(wú)機(jī)物隔岸層618a。此時(shí)，無(wú)機(jī)物隔岸層618a的一部分與像素電極613的邊緣部重疊。
若形成無(wú)機(jī)物隔岸層618a，則如圖4所示，在無(wú)機(jī)物隔岸層618a上形成有機(jī)物隔岸層618b。該有機(jī)物隔岸層618b也與無(wú)機(jī)物隔岸層618a一樣，通過(guò)光刻技術(shù)等形成。
如此形成隔岸部618。另外，同時(shí)，在各隔岸部618之間，相對(duì)像素電極613形成向上開(kāi)口的開(kāi)口部619。該開(kāi)口部619規(guī)定像素區(qū)域。
在表面處理工序(S22)中，進(jìn)行親液化處理及斥液化處理。實(shí)施親液化處理的區(qū)域?yàn)闊o(wú)機(jī)物隔岸層618a的第一層疊部618a及像素電極613的電極面613a，通過(guò)例如以氧為處理氣體的等離子體處理，將這些區(qū)域表面處理成親液性。該等離子體處理還洗凈作為像素電極613的ITO等。
在有機(jī)物隔岸層618b的壁面618s及有機(jī)物隔岸層618b的上面618t實(shí)施斥液化處理，通過(guò)例如以4氟化甲烷為處理氣體的等離子體處理，對(duì)表面進(jìn)行氟化處理(處理成斥液性)。
通過(guò)進(jìn)行該表面處理工序，使用后述的功能液噴出頭51形成功能層617時(shí)，可使功能液滴較確實(shí)地落于像素區(qū)域中，另外，可防止落于像素區(qū)域中的功能液滴從開(kāi)口部619溢出。
經(jīng)過(guò)以上工序，得到顯示裝置基體600A。該顯示裝置基體600A裝載在圖12所示的液滴噴出裝置1的X軸臺(tái)82上，進(jìn)行以下的空穴注入/傳輸層形成工序(S23)及發(fā)光層形成工序(S24)。
如圖5所示，在空穴注入/傳輸層形成工序(S23)中，從功能液滴噴出頭10向作為像素區(qū)域的各開(kāi)口部619內(nèi)噴出包含空穴注入/傳輸層形成材料的第1組成物。之后，如圖6所示，進(jìn)行干燥處理及熱處理，使第1組成物中包含的極化溶媒蒸發(fā)，在像素電極(電極面613a)613上形成空穴注入/傳輸層617a。
下面，說(shuō)明發(fā)光層形成工序(S24)。在該發(fā)光層形成工序中，如上所述，為了防止空穴注入/傳輸層617a再溶解，將對(duì)空穴注入/傳輸層617a不溶的非極化溶媒用作形成發(fā)光層時(shí)使用的第2組成物的溶媒。
但是，另一方面，空穴注入/傳輸層617a由于對(duì)非極化溶媒的親和性低，所以即使將包含非極化溶媒的第2組成物噴到空穴注入/傳輸層617a上，也不能使空穴注入/傳輸層617a與發(fā)光層617b密接，或不能均勻涂布發(fā)光層617b。
因此，為了提高空穴注入/傳輸層617a對(duì)非極化溶媒及發(fā)光層形成材料的表面親和性，最好在發(fā)光層形成之前進(jìn)行表面處理(表面變性處理)。該表面處理通過(guò)將作為與形成發(fā)光層時(shí)使用的第2組成物的非極化溶媒相同的溶媒或與之類似的溶媒的表面變性材料涂布在空穴注入/傳輸層617a上，并使之干燥來(lái)進(jìn)行。
通過(guò)實(shí)施這種處理，空穴注入/傳輸層617a的表面容易變得親非極化溶媒，通過(guò)之后的工序，可在空穴注入/傳輸層617a上均勻涂布包含發(fā)光層形成材料的第2組成物。
接著，如圖7所示，將含有對(duì)應(yīng)于各色中之一(圖7例中為藍(lán)色(B))的發(fā)光層形成材料的第2組成物作為功能液滴，注入像素區(qū)域(開(kāi)口部619)內(nèi)規(guī)定量。注入像素區(qū)域內(nèi)的第2組成物在空穴注入/傳輸層617a上充滿開(kāi)口部619內(nèi)。即使萬(wàn)一第2組成物脫離像素區(qū)域后落于隔岸部618的上面618t上時(shí)，由于該上面618t如上所述實(shí)施了斥液處理，所以第2組成物容易轉(zhuǎn)入開(kāi)口部619內(nèi)。
之后，通過(guò)干燥工序等，干燥處理噴出后的第2組成物，使第2組成物中包含的非極化溶媒蒸發(fā)，如圖8所示，在空穴注入/傳輸層617a上形成發(fā)光層617b。在圖8的情況下，形成對(duì)應(yīng)于藍(lán)色(B)的發(fā)光層617b。
同樣，使用功能液滴噴出頭51，如圖9所示，依次進(jìn)行與上述對(duì)應(yīng)于藍(lán)色(B)的發(fā)光層617b的情況一樣的工序，形成對(duì)應(yīng)于其它色(紅色(R)及綠色(G))的發(fā)光層617b。另外，發(fā)光層617b的形成順序不限于示例順序，也可以任何順序來(lái)形成。例如，也可對(duì)應(yīng)于發(fā)光層形成材料來(lái)確定形成順序。另外，作為R、G、B3色的排列圖案，有帶排列、瑪賽克排列和δ排列。
如上所述，在像素電極613上形成功能層617、即空穴注入/傳輸層617a及發(fā)光層617b。之后，移動(dòng)到相對(duì)電極形成工序(S25)。
在相對(duì)電極形成工序(S25)中，如圖10所示，通過(guò)例如淀積法、濺射法、CVD法，在發(fā)光層617b及有機(jī)物隔岸層618b的整個(gè)面上形成陰極604(相對(duì)電極)。該陰極604在本實(shí)施例中例如層疊鈣層和鋁層來(lái)構(gòu)成。
在陰極604的上部適當(dāng)設(shè)置Al膜、Ag膜或用于防氧化的SiO2、SiN等保護(hù)層。
這樣形成陰極604后，通過(guò)實(shí)施由密封部件密封該陰極604上部的密封處理或布線處理等其它處理等，得到顯示裝置600。
下面，說(shuō)明有機(jī)EL裝置的制造裝置。在該有機(jī)EL裝置的制造裝置中，對(duì)應(yīng)于上述有機(jī)EL裝置制造過(guò)程中進(jìn)行液滴噴出法的工序、即發(fā)光元件形成工序(空穴注入/傳輸層形成工序和發(fā)光層形成工序)與表面變性工序，在功能液滴噴出頭51中使用邊噴出液體功能材料邊進(jìn)行掃描的液滴噴出裝置1(圖11)。
例如，進(jìn)行空穴注入/傳輸層形成工序的空穴注入層形成設(shè)備A具備裝載導(dǎo)入第2液滴(空穴注入層材料)的功能液滴噴出頭51的液滴噴出裝置1、干燥裝置3和基板搬運(yùn)裝置2，且具備容納這些裝置的容室裝置4。在容室裝置4中，設(shè)置在惰性氣體氣氛氣中進(jìn)行空穴注入/傳輸層形成工序用的部件。
同樣，進(jìn)行表面變性工序的表面變性設(shè)備C和形成發(fā)光層的發(fā)光層形成設(shè)備B也分別具備裝載導(dǎo)入功能液的功能液噴出頭51的液滴噴出裝置1、干燥裝置3、基板搬運(yùn)裝置2和容室裝置4，容室裝置4容納液滴噴出裝置1、干燥裝置3、基板搬運(yùn)裝置2，同時(shí)，具備在惰性氣體氣氛氣中進(jìn)行發(fā)光層形成工序用的部件。另外，在發(fā)光層形成設(shè)備B中，按顏色不同(R、G、B)配備3組液滴噴出裝置1、干燥裝置3、基板搬運(yùn)裝置2和容室裝置4。
有機(jī)EL裝置的制造裝置中使用的各液滴噴出裝置1僅分別導(dǎo)入功能液滴噴出頭51的液體功能材料不同，具有相同結(jié)構(gòu)。另外，各干燥裝置3、各基板搬運(yùn)裝置2和容室裝置4也分別具有相同結(jié)構(gòu)。因此，若忽視功能液滴噴出頭51的更換或液體功能材料提供系統(tǒng)的更換工作，則可由任意1組設(shè)備(液滴噴出裝置1、干燥裝置3、基板搬運(yùn)裝置2和容室裝置4)來(lái)制造有機(jī)EL裝置。因此，以圖11中左端的一組設(shè)備、即形成B色發(fā)光層的液滴噴出裝置1、干燥裝置3、基板搬運(yùn)裝置2和容室裝置4為例，說(shuō)明各裝置結(jié)構(gòu)中的—連串流程。
首先，將由圖外的裝置經(jīng)上述隔岸部形成工序和等離子體處理工序的基板從位于圖11左端的基板轉(zhuǎn)移裝置5搬運(yùn)到基板搬運(yùn)裝置2。接著，基板搬運(yùn)裝置2對(duì)基板進(jìn)行方向和姿勢(shì)轉(zhuǎn)換后，搬運(yùn)到液滴噴出裝置1，放置在液滴噴出裝置1中。賓，在容室裝置4內(nèi)的惰性氣體氣氛氣中進(jìn)行第2液滴噴出工序，液滴噴出裝置1通過(guò)其功能液滴噴出頭51，向基板的多個(gè)像素區(qū)域(開(kāi)口部619)噴出B色的發(fā)光材料(液滴)。
涂布有發(fā)光材料的基板從液滴噴出裝置1轉(zhuǎn)移到基板搬運(yùn)裝置2，被導(dǎo)入干燥裝置3。在干燥裝置3中，將基板曝露于高溫下的惰性氣體氣氛氣規(guī)定時(shí)間，使發(fā)光材料中的溶劑氣化(第2干燥工序)。之后，再次將基板導(dǎo)入液滴噴出裝置1，進(jìn)行第2液滴噴出工序。即，反復(fù)多次第2液滴噴出工序與第2干燥工序，將發(fā)光層617b變?yōu)槠谕哪ず?，其中，由基板搬運(yùn)裝置2搬運(yùn)基板，以形成R色發(fā)光層617b，一旦形成期望膜厚的R色發(fā)光層617b，則搬運(yùn)，以形成G色發(fā)光層617b。R、G、B各色發(fā)光層617b形成用作業(yè)順序是任意的。另外，在本實(shí)施例中，為了形成發(fā)光層617b而重復(fù)進(jìn)行第2液滴噴出工序與第2干燥工序，但也可進(jìn)行一次這些工序。
以上述為前提，據(jù)此說(shuō)明構(gòu)成本發(fā)明主要部分的功能液滴噴出裝置。圖12是功能液滴噴出裝置的立體圖，圖13是功能液滴噴出裝置的俯視圖，圖14是功能液滴噴出裝置的側(cè)視圖。液滴噴出裝置1為了形成空穴注入/傳輸層617a或發(fā)光層617b等，向放置于液滴噴出裝置1中的基板W的規(guī)定位置噴出包含空穴注入層材料或發(fā)光層材料等功能材料的功能液。
如圖12所示，液滴噴出裝置1由具有噴出功能液的功能液噴出頭51且噴出功能液用的噴出裝置11、與對(duì)噴出裝置11一體添設(shè)的附帶裝置12構(gòu)成。在附帶裝置12中設(shè)置功能液提供回收部件102，向噴出裝置11提供功能液，同時(shí)，回收無(wú)用的功能液；氣體提供部件103，提供驅(qū)動(dòng)、控制用各構(gòu)成部件的壓縮氣體；維護(hù)裝置101(圖14)，以供維修噴出裝置11的功能液滴噴出頭51；和控制裝置(未圖示)，控制噴出裝置11和附帶裝置12的各部件。
如圖12和圖13所示，噴出裝置11具有將角材料組成方形構(gòu)成的架臺(tái)21、和分散配置在架臺(tái)21下部的多個(gè)(9個(gè))帶有調(diào)整螺栓的支撐腳。在架臺(tái)21的上部，用固定部件固定石平板24。石平板24支撐在使基板W和功能液滴噴出頭51高精度移動(dòng)的X、Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)81(如后述)上，不會(huì)因周圍的環(huán)境條件或振動(dòng)等產(chǎn)生精度(尤其是平面度)上的混亂，由平面看長(zhǎng)方形的中實(shí)的石料構(gòu)成。
如圖12和圖14所示，附帶裝置12在共同機(jī)臺(tái)31上設(shè)置各部件，共同機(jī)臺(tái)31由經(jīng)隔壁形成大小兩個(gè)容納室33、34的柜形式的機(jī)臺(tái)主體32、設(shè)置在機(jī)臺(tái)主體32上的移動(dòng)臺(tái)35、固定在移動(dòng)臺(tái)35上的共同基座36、和設(shè)置在離開(kāi)機(jī)臺(tái)主體32上的移動(dòng)臺(tái)35的端位置上的槽基座37構(gòu)成。另外，在共同基座36上裝載維護(hù)裝置101，在槽基座37上裝載功能液提供回收部件102的供液槽204，在機(jī)臺(tái)主體32的小的容納室34中容納氣體提供部件103的主要部分中，在大的容納室33中容納功能液提供回收部件102的槽類。
在機(jī)臺(tái)主體32的正面設(shè)置帶調(diào)整螺釘?shù)?個(gè)支撐腳和4個(gè)小腳輪，在噴出裝置11設(shè)置與噴出裝置11的架臺(tái)21連接用的一對(duì)連接托坐38。由此，一體化噴出裝置11與附帶裝置12(共同機(jī)臺(tái)31)，并且，必要時(shí)分離并移動(dòng)附帶裝置12。
此外，雖省略圖示，但設(shè)備識(shí)別基板W位置的基板識(shí)別攝像機(jī)、或進(jìn)行噴出裝置11的頭單元41(后述)的位置確認(rèn)的頭識(shí)別攝像機(jī)、各種噴射器等附屬裝置，這些裝置也由控制裝置進(jìn)行控制。
這里，簡(jiǎn)單說(shuō)明液滴噴出裝置的一連串運(yùn)作。首先，作為噴出功能液前的準(zhǔn)備，在基于頭識(shí)別攝像機(jī)位置校正頭單元41后，由基板識(shí)別攝像機(jī)位置校正基板W。接著，使基板W沿主掃描方向(X軸方向)往復(fù)運(yùn)動(dòng)，同時(shí)，驅(qū)動(dòng)多個(gè)功能液滴噴出頭51，進(jìn)行向基板W的功能液滴選擇噴出運(yùn)作。在使基板W回動(dòng)后，沿副掃描方向(Y軸方向)移動(dòng)頭單元41，再次使基板W沿主掃描方向往矢量得移動(dòng)，并驅(qū)動(dòng)功能液滴噴出頭51。在本實(shí)施例中，使基板W相對(duì)頭單元41沿主掃描方向，但也可使頭單元41沿主掃描方向移動(dòng)。另外，也可使頭單元41固定，而沿主掃描方向和副掃描方向移動(dòng)基板W。
下面，按順序說(shuō)明與本發(fā)明尤其相關(guān)的噴出裝置11和附帶裝置12的維護(hù)裝置101、功能液提供回收部件102和控制裝置。噴出裝置101向基板W的規(guī)定位置噴出功能液滴，具備裝載多個(gè)功能液滴噴出頭51的頭單元41、支撐頭單元41的主滑架71、和支撐在石平板24上、在主掃描基板W的同時(shí)經(jīng)主滑架71副掃描頭單元41的X、Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)81。
如圖15和圖16所示，頭單元41由從副滑架42、副滑架42使后述噴嘴面58向下突出的多個(gè)(12個(gè))功能液噴出頭51、和將各功能液滴噴出頭51分別安裝在副滑架42上的多個(gè)(12個(gè))頭保持部件61構(gòu)成。將12個(gè)功能液滴噴出頭51每組6個(gè)，分成兩組，為了相對(duì)基板W確保功能液的充分的涂敷密度，傾斜規(guī)定角度后進(jìn)行配置。另外，將各6個(gè)功能液滴噴出頭51相對(duì)副掃描方向彼此錯(cuò)位配置，12個(gè)功能液滴噴出頭51的所有噴出噴嘴59(后述)在副掃描方向上連續(xù)(部分重復(fù))。若功能液滴噴出頭51為相對(duì)基板W的專用部件，則不必傾設(shè)置斜功能液滴噴出頭51。
在副滑架42上設(shè)置配管連接各功能液滴噴出頭51與液體提供回收部件102的供液槽204用的配管接頭43，在配管接頭43中設(shè)置12個(gè)管座44，一端連接來(lái)自與各功能液滴噴出頭51連接的配管接頭45的頭側(cè)配管部件，另一端連接來(lái)自供液槽204的裝置側(cè)配管部件。另外，副滑架42具有由頭識(shí)別攝像機(jī)識(shí)別、作為定位頭單位41時(shí)的基準(zhǔn)的一對(duì)基準(zhǔn)銷46。
圖17A是功能液滴噴出頭的立體圖，17B是功能液滴噴出頭周圍的剖面圖。如圖17A所示，功能液滴噴出頭51為所謂雙通，在頭基板52中設(shè)置功能液導(dǎo)入部53，具有與配管接頭45連接的雙通連接針54；和頭主體55，該頭主體55由雙通泵部56和具有形成兩列噴出噴嘴59的噴嘴面58的噴嘴形成板57構(gòu)成。在頭主體55內(nèi)部，形成由功能流充滿的頭內(nèi)流路，功能液滴由于泵部56的作用而從噴出噴嘴59噴出。
主滑架71具有游嵌頭單元41用的方形開(kāi)口，定位固定頭單元41。另外，在主滑架71上配置識(shí)別基板W用的基板識(shí)別攝像機(jī)。
X、Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)81具有使軸線與沿石平板24長(zhǎng)邊的中心軸一致并固定的X軸臺(tái)82、和使軸線與沿石平板24短邊的中心線一致并固定的Y軸臺(tái)91。
X軸臺(tái)82具有通過(guò)空氣吸收來(lái)吸引附設(shè)置基板W的吸附臺(tái)83、支撐吸附臺(tái)83的θ臺(tái)84、沿X軸方向自由滑動(dòng)支撐θ臺(tái)84的X軸空氣滑塊85、經(jīng)θ臺(tái)84使吸附臺(tái)83上的基板W沿X軸方向移動(dòng)的X軸線性電機(jī)(省略圖示)、和并設(shè)在X軸空氣滑塊85上的X軸線性標(biāo)尺87。功能液滴噴出頭51的主掃描通過(guò)由X軸線性電機(jī)的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行，吸附基板W的吸附臺(tái)83和θ臺(tái)84引導(dǎo)X軸空氣滑塊85并在X軸方向上往復(fù)移動(dòng)來(lái)進(jìn)行。
Y軸臺(tái)91具備吊設(shè)主滑架71的橋板92、雙支且沿Y軸方向自由滑動(dòng)支撐橋板92的一對(duì)Y軸滑塊93、并設(shè)在Y軸滑塊93上的Y軸線性標(biāo)尺94、引導(dǎo)一對(duì)Y軸滑塊93并使橋板92沿Y軸方向移動(dòng)的Y軸球形螺紋95、和使Y軸球形螺紋95正反旋轉(zhuǎn)的Y軸電機(jī)(省略圖示)。另外，以分別容納在盒中(省略圖示)的狀態(tài)位于一對(duì)Y軸滑塊93兩側(cè)配置一對(duì)Y軸電纜對(duì)。Y軸電機(jī)由伺服電機(jī)構(gòu)成，若Y軸電機(jī)正反旋轉(zhuǎn)，則經(jīng)Y軸球形螺紋95并擰入其中的橋板92以一對(duì)Y軸滑塊93為引導(dǎo)，沿Y軸方向移動(dòng)。即，隨著橋板92的移動(dòng)，主滑架71(頭單元41)進(jìn)行Y軸方向的往復(fù)移動(dòng)，進(jìn)行功能液滴噴出頭51的副掃描。
下面，說(shuō)明附帶裝置12的維護(hù)裝置101。維護(hù)裝置101維護(hù)功能液滴噴出頭51，使功能液滴噴出頭51適當(dāng)噴出功能液，具備清潔單元111、擦拭單元181和沖洗單元191。
實(shí)施例的清潔單元111具有經(jīng)后述的噴頭蓋113從功能液滴噴出頭51吸引功能液的吸收功能、由噴頭蓋113來(lái)密封功能液滴噴出頭51的噴嘴面的保管功能、和接受來(lái)自功能液滴噴出頭51的空噴出(沖洗)的沖洗盒功能。吸收功能強(qiáng)制從功能液滴噴出頭51的噴嘴吸引功能液，主要在裝置轉(zhuǎn)動(dòng)型時(shí)等消除噴嘴堵住?；蛟谙虬δ芤旱螄姵鲱^51的功能液滴提供系統(tǒng)初始填充功能液的情況下進(jìn)行。保管功能主要是在裝置非運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)或基板搬入、搬出時(shí)等的使裝置長(zhǎng)時(shí)間停止的情況下，向功能液滴噴出頭51加蓋，防止功能液干燥。沖洗盒功能接受描繪時(shí)以外定期的沖洗，在描繪中進(jìn)行的沖洗使用上述沖洗單元191。另外，擦拭單元181擦拭主要通過(guò)吸收運(yùn)作附著在噴嘴面上的功能液。
首先，參照?qǐng)D18和圖19來(lái)說(shuō)明清潔單元111。圖18是清潔單元的立體圖，圖19是清潔單元的剖面圖。清潔單元111進(jìn)行頭單元41的所謂清潔，具備蓋體單元112，對(duì)應(yīng)于12個(gè)功能液滴噴出頭51，將12個(gè)噴頭蓋113設(shè)置在基板116上；支撐部件151，支撐蓋體單元112；和升降機(jī)構(gòu)116，經(jīng)支撐部件151來(lái)使蓋體單元112升降，并可使各噴頭蓋113密接于對(duì)應(yīng)的各功能液滴噴出頭51的噴嘴面58。另外，各噴頭蓋113經(jīng)連接于吸引泵141的吸收通路162，連接于分支成12條的分支吸引通路162a(圖25)。在各分支吸引通路162a中，從噴頭蓋131側(cè)順序設(shè)置液體傳感器152、壓力傳感器153和吸引用開(kāi)閉閥154。
如圖21和圖22所示，噴頭蓋113具有配有密接于功能液滴噴出頭51的噴面58上的密封部件124的蓋體主體114、和支撐蓋體主體114的蓋體支架115。蓋體主體114在由一對(duì)彈簧128、128頂靠的狀態(tài)下支撐在蓋體支架115上，當(dāng)噴頭蓋113密接于功能液滴噴出頭51的噴嘴面58時(shí)，蓋主體114稍沉入蓋體支架115中。噴頭蓋113在實(shí)施清潔時(shí)密封功能液滴噴出頭51的噴嘴面58，并進(jìn)行吸收運(yùn)作。
在基板116上固定與頭單元41的12個(gè)功能液滴噴出頭51同方向傾斜的12個(gè)噴頭蓋113。在與頭單元41相對(duì)的面上，相對(duì)12個(gè)噴頭蓋113形成12個(gè)安裝開(kāi)口140a，同時(shí)，包含該安裝開(kāi)口140a地形成12個(gè)淺溝140b。各噴頭蓋113在將下部插入安裝開(kāi)口140a中以定位在淺溝140b上的狀態(tài)下，擰入淺溝140b中(參照?qǐng)D20)。
支撐部件151具備配有上端支撐蓋體單元112的支撐板153的支撐部件主體152和沿上下方向自由滑動(dòng)支撐支撐部件主體152的臺(tái)架。在支撐板153的長(zhǎng)方向兩側(cè)正面，固定一對(duì)氣缸156，設(shè)置通過(guò)這一對(duì)氣缸156升降的操作板157，在操作板157上，安裝結(jié)合在各噴頭蓋113的大氣開(kāi)放閥131的操作部上的萬(wàn)向接頭158。
升降機(jī)構(gòu)161具備由豎設(shè)在臺(tái)架154的基座部155上的氣缸156構(gòu)成的下級(jí)升降缸162、和豎設(shè)在由該缸升降的板上的氣缸156構(gòu)成的上極升降缸163，通過(guò)兩個(gè)升降缸162、163的選擇動(dòng)作，使蓋體單元112的上升位置在使噴頭蓋113的密封部件124密接于功能液滴噴出頭51的噴嘴面58的第1位置、與在噴頭蓋113的密封部件124與功能液滴噴出頭51的噴嘴面58之間稍空出間隙的第2位置之間自由切換。
另外，如上所述，密接于功能液滴噴出頭51的噴嘴面58并進(jìn)行吸引動(dòng)作的噴頭蓋113具有蓋體主體114和蓋體支架115。另外，在噴頭蓋113中組裝向上(密接方向)頂靠蓋體主體114的一對(duì)線圈彈簧128、128、連接于上述分支吸引通路162a上的連接頭135和上述大氣開(kāi)放閥131。
如圖21至圖23所示，蓋體主體114包括在上面形成吸收材料容納部121a的蓋體基座121、填充在吸收材料容納部121a中的功能液吸收材料122、壓緊功能液吸收材料122的吸收材料壓板123、配置在吸收材料容納部121a上側(cè)的密封部件124、與將密封部件124固定在蓋體基座121上的密封固定部件125，整體形成為方形細(xì)長(zhǎng)形狀。
圖21至圖23所示蓋體基座121由不銹鋼等耐蝕性材料構(gòu)成，在上部從表面突出地形成吸收材料容納部121a，在下部長(zhǎng)方向的兩端部形成結(jié)合在蓋體支架115上的一對(duì)腳片部121d。吸收材料容納部121a由容納功能液吸收材料122的凹槽121b、與在區(qū)分凹槽121b的同時(shí)從蓋體基座121突出的環(huán)狀邊緣部121c構(gòu)成，在凹槽121b的底部位形成連接于連接頭135的吸引口139和連接于大氣開(kāi)放閥131的大氣流入口138。
功能液吸收材料122層疊材料不同的兩種功能液吸收材料122a、122b來(lái)構(gòu)成，在碩向吸引口139和大氣流入口138的部分中，分別形成小孔。功能液吸收材料122不限于兩層結(jié)構(gòu)，也可是單層結(jié)構(gòu)或多層結(jié)構(gòu)。另外，功能液吸收材料122在用于例如濾色鏡的制造裝置的情況下，使用PVA(聚氯乙烯)，在用于有機(jī)EL的制造裝置的情況下，使用PE(聚乙烯)樹(shù)脂性材料。
吸收材料壓板123是由不銹鋼薄板加工而成，由方形框狀部123a、橫斷框狀部123A地設(shè)置的多個(gè)(3個(gè))橋狀部123b一體形成。此時(shí)，吸收材料壓板123例如用鋼絲鋸等切割板厚為0.3mm左右的不銹鋼板，將框狀部123a或橋狀部123b加工到最大限度的細(xì)寬度(0.3mm左右)。尤其是通過(guò)將橋狀部123b的寬度形成得細(xì)，可防止在橋狀部123b的上面殘留功能液。
如此構(gòu)成的吸收材料壓板123設(shè)置成在從上側(cè)壓緊功能液吸收材料122的狀態(tài)下，其邊緣部、即框狀部123a坐落在吸收材料容納部121a的環(huán)狀邊緣部121c上。另外，在該狀態(tài)下，兩橋狀部123b避開(kāi)上述兩個(gè)小孔，壓緊功能液吸收材料122的中間部。從而，即使功能液吸收材料122膨脹，也可平坦地壓緊。
密封部件124由橡膠或樹(shù)脂構(gòu)成，通過(guò)包含所有噴出噴嘴59并密接于噴嘴面58的環(huán)狀突出部124a、壓緊吸收材料壓板123的環(huán)狀壓緊部124b、和固定在蓋體基座121上的環(huán)狀固定部124c，截面曲柄狀地一體形成為環(huán)狀。即，夾持吸收材料壓板123，相對(duì)吸收材料容納部121a的環(huán)狀邊緣部121c地設(shè)置環(huán)狀壓緊部124b，在該環(huán)狀壓緊部124b的正上部形成環(huán)狀突出部124a。由此，密接于功能液滴噴出頭51的噴嘴面58的密封部件124(環(huán)狀突出部124a)的密接反作用力作用，在與吸收材料容納部121a的環(huán)狀邊緣部121c之間夾入吸收材料壓板123，并可穩(wěn)定保持吸收材料壓板123。
密封固定部件125由不銹鋼等構(gòu)成，形成與蓋體基座121的上面輪廓大致相同形狀的方形環(huán)狀，并且倒角，使上面的邊緣部?jī)A斜。密封固定部件125的內(nèi)邊緣壓緊密封部件124的環(huán)狀固定部124c，在該狀態(tài)下，密封固定部件125擰入蓋體基座121中。
這里，參照?qǐng)D24來(lái)簡(jiǎn)單說(shuō)明蓋體主體141的組裝步驟。首先，在蓋體基座121的吸收材料容納部121a上敷設(shè)功能液吸收材料122后，壓緊功能液吸收材料122，使吸收材料壓板123坐落于吸收材料容納部121a的環(huán)狀邊緣部121c上。接著，安裝密封部件124，由其環(huán)狀壓緊部124b壓緊吸收材料壓板123的邊緣部，最后，由密封固定部件125來(lái)將密封部件124的環(huán)狀固定部124c壓緊在蓋體基座121上，在該狀態(tài)下，將密封固定部件125擰入蓋體基座121中。
這樣，蓋體主體141以蓋體基座121為支撐，按功能液吸收材料122、吸收材料壓板123、密封部件124和密封固定部件125的順序，壓緊固定，所以僅通過(guò)取下密封固定部件125的固定螺釘，就可將蓋體主體141容易分解成各構(gòu)成部件，也再次組裝。因此，在功能液吸收材料122和其它構(gòu)成部件產(chǎn)生惡化或破損的情況下，可僅單獨(dú)更換成為更換對(duì)像的構(gòu)成部件。
如此構(gòu)成的蓋體主體141通過(guò)抵接于其長(zhǎng)方向正面的兩個(gè)部位的一對(duì)線圈彈簧128、128，以限位上動(dòng)端的狀態(tài)向上頂靠。即，蓋體主體141相對(duì)蓋體支架1 15沿上下方向自由滑動(dòng)地安裝，且在該狀態(tài)下，由蓋體基座121的兩個(gè)腳片部121d將上動(dòng)端限位在蓋體支架115上。
蓋體支架115包括細(xì)長(zhǎng)形狀的支架主體127和擰入支架主體127的長(zhǎng)方向兩端部的一對(duì)限位塊126，由不銹鋼等構(gòu)成。支架主體127在其中央部具有上述連接頭135和大氣開(kāi)放閥131臨近的連接用開(kāi)口，同時(shí)，面向連接用開(kāi)口，具有保持一對(duì)線圈彈簧128、128的一對(duì)銷129、129。另外，支架主體127的上面變?yōu)樯韵蜷L(zhǎng)方向傾斜的傾斜面。
在各限位塊126中形成蓋體基座121的腳片部121d結(jié)合在蓋體主體141側(cè)的結(jié)合溝126a。結(jié)合溝126a的上面變?yōu)橄蚓€圈彈簧128、128的蓋體主體141的限位面，兩側(cè)面變?yōu)樯w體主體141的滑動(dòng)引導(dǎo)面。即，各限位塊126的蓋體主體114側(cè)的上部126a變?yōu)橄尬挥玫南拗仆徊俊?br> 固定在支架主體127上面的兩個(gè)限位塊126隨著支架主體127上面的傾斜而稍稍傾斜。因此，限位在這兩個(gè)限位塊126上的蓋體主體114在向一對(duì)線圈彈簧128、128頂靠的狀態(tài)下，稍稍傾斜地保持在蓋體支架115上。因此，當(dāng)將噴頭蓋113壓向功能液滴噴出頭51的噴嘴面58時(shí)，密封部件124經(jīng)一對(duì)線圈彈簧128、128，靠模密接于噴嘴面58，并確實(shí)密封功能液滴噴出頭51的噴嘴面58。另外，稍稍傾斜狀態(tài)的蓋體主體114離開(kāi)功能液滴噴出頭51時(shí)，因?yàn)槊芊獠考?24從單側(cè)離開(kāi)噴嘴面58，所以噴頭蓋113內(nèi)的功能液不會(huì)飛散。
連接頭135由連接于上述吸引口139的短管136和連接于短管136下端部的L字繼手137構(gòu)成，經(jīng)該L字繼手137連接于上述吸引用分支吸引通路162a。即，蓋體主體114經(jīng)吸引用分支吸引通路162a連接于吸引泵155，并經(jīng)吸引泵155連接于再利用槽232(均參照?qǐng)D25)。
大氣開(kāi)放閥131具備連接于上述大氣流入口138的同時(shí)貫通蓋體基座121的套筒141、在套筒141的下端部擴(kuò)展形成的閥座142、容納在閥座142中的橡膠制閥體143、粘接保護(hù)閥體143的閥操作桿146和擰入操作桿146中的結(jié)合環(huán)145。閥操作桿146相對(duì)從蓋體基座121下面延伸的桿支撐部件147，沿上下方向自由滑動(dòng)地安裝，另一方面，通過(guò)組裝在桿支撐部件147中的閥彈簧144，向關(guān)閉閥方向(上方)頂靠。
上述萬(wàn)向接頭158結(jié)合在結(jié)合環(huán)145中，若氣缸156使萬(wàn)向接頭158向下運(yùn)動(dòng)，則閥體143經(jīng)閥操作桿146向下運(yùn)動(dòng)，大氣開(kāi)放閥131變?yōu)榇蜷_(kāi)閥狀態(tài)。另一方面，若閥彈簧144使萬(wàn)向接頭158向上運(yùn)動(dòng)，則閥體143經(jīng)閥操作桿146向上運(yùn)動(dòng)，大氣開(kāi)放閥131變?yōu)殛P(guān)閉閥狀態(tài)。即，在功能液吸引動(dòng)作的最終階段，通過(guò)下拉打開(kāi)大氣開(kāi)放閥131，也可吸引含浸在功能液吸收材料122中的功能液。
上述構(gòu)成的清潔單元111通過(guò)移動(dòng)臺(tái)35向與頭單元41的Y軸方向移動(dòng)軌跡交叉的位置移動(dòng)，相反，頭單元41通過(guò)Y軸臺(tái)91向臨近清潔單元111正上部的清潔位置移動(dòng)。這里，由于升降機(jī)構(gòu)161的下級(jí)升降缸162的動(dòng)作，蓋體單元112上升到第1位置，從下側(cè)將12個(gè)噴頭蓋113壓緊在頭單元41的12個(gè)功能液滴噴出頭51上。壓緊在各功能液滴噴出頭51上上的各噴頭蓋113反抗自己的兩個(gè)彈簧128、128，其蓋體主體1 14沉入蓋體支架115中幾分，密封部件124均勻密接于功能液滴噴出頭51的噴嘴面58上。
接著，在驅(qū)動(dòng)吸引泵155的同時(shí)，打開(kāi)設(shè)置在吸引用各分支吸引通路162a中的吸引用開(kāi)閉閥154，從各功能液滴噴出頭51的所有噴出噴嘴59經(jīng)各噴頭蓋113吸引液體材料。另外，在吸引完成之前打開(kāi)大氣開(kāi)放閥131，之后關(guān)閉吸引用開(kāi)閉閥154，完成吸引。吸引動(dòng)作完成的同時(shí)，使蓋體單元112下降到下降端位置。另外，在裝置停止運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)等頭保管時(shí)，使蓋體單元112上升到第1位置，由各噴頭蓋113密封各功能液滴噴出頭51，完成變?yōu)楸９軤顟B(tài)的封蓋。
擦拭單元181具備擦拭多個(gè)功能液滴噴出頭51的功能，由以對(duì)頂在共同基座36上的狀態(tài)配置的卷取單元182、和拭取單元184構(gòu)成。擦拭單元181一旦完成頭單元41的上述清潔，則從輸送軌道(省略圖示)向停止在清潔單元111正上部的頭單元41送出擦拭片，同時(shí)，洗凈液噴霧頭(省略圖示)噴霧洗凈液，由移動(dòng)臺(tái)35整體向X軸方向移動(dòng)，同時(shí)，使用拭取輥(省略圖示)拭取各功能液滴噴出頭51的噴嘴面58。
下面，說(shuō)明沖洗單元191。沖洗單元191包括配置在X軸電纜軸承盒上、固定在X軸電纜軸承上的滑動(dòng)基座；進(jìn)退自由地設(shè)置在滑動(dòng)基座上的長(zhǎng)板狀的滑塊；固定在滑塊兩端部上的一對(duì)沖洗盒253、253；和敷設(shè)在各沖洗盒253內(nèi)的一對(duì)功能液吸收材料254、254。這種結(jié)構(gòu)的沖洗單元191一旦沖洗單元191與θ臺(tái)84一起往(復(fù))運(yùn)動(dòng)，當(dāng)頭單元41通過(guò)右側(cè)(左側(cè))的沖洗盒(省略圖示)的正上時(shí)，各功能液滴噴出頭51順序進(jìn)行沖洗動(dòng)作，頭單元41移動(dòng)到通常的液滴噴出動(dòng)作。
另外，在一定時(shí)間內(nèi)停止噴出液滴時(shí)也必需沖洗，頭單元41向監(jiān)近蓋體單元112正上部的清潔位置移動(dòng)，并從各功能液滴噴出頭51向各噴頭蓋113進(jìn)行沖洗。此時(shí)，上升到在噴頭蓋113的密封部件124與功能液滴噴出頭51的噴嘴面58之間稍空出間隙的上述第2位置，進(jìn)行沖洗。由沖洗噴霧出的功能液被吸收到設(shè)置在噴頭蓋113內(nèi)的功能液吸收材料122中，同時(shí)，經(jīng)開(kāi)設(shè)在噴頭蓋113中的吸引口139，被吸引泵155吸收。
因此，當(dāng)將新的頭單元41投入液滴噴出裝置時(shí)，因?yàn)楣δ芤旱螄姵鲱^51的頭內(nèi)流路變空，所以在開(kāi)始液滴噴出作業(yè)之前，必需向頭內(nèi)流路填充功能液。此時(shí)，因?yàn)閮H由一點(diǎn)水位差來(lái)從供液槽204提供功能液，所以向頭內(nèi)流路填充功能液中必需吸引。因此，在功能液填充作業(yè)中，向沖洗位置移動(dòng)頭單元41，使蓋體單元112上升到上述第1位置，使各噴頭蓋113密接于各功能液滴噴出頭51的噴嘴面58，通過(guò)經(jīng)各噴頭蓋113作用的來(lái)自吸引泵155的吸引力將供液槽204內(nèi)的功能液填充到各功能液滴噴出頭51的頭內(nèi)流路中。
另外，當(dāng)由噴頭蓋113吸引時(shí)，頭內(nèi)流路中功能液的流速低，為了防止因頭內(nèi)流路中殘留的氣泡影響而產(chǎn)生液滴噴出故障，在供液用的各分支供給通路161a中設(shè)置供給用開(kāi)閉閥151，在吸引用的各分支吸引通路162a中設(shè)置液體傳感器152。液體填充開(kāi)始后，一旦將功能液吸引到噴頭蓋113，則液體傳感器152進(jìn)行檢測(cè)并原樣繼續(xù)噴頭蓋113的吸引，暫時(shí)關(guān)閉對(duì)應(yīng)的供給用開(kāi)閉閥151，功能液平滑流動(dòng)。
上述液滴噴出裝置除本實(shí)施例中說(shuō)明的有機(jī)EL裝置制造裝置外，也同樣適用為濾色鏡、液晶顯示裝置、PDP裝置、電子放射裝置(FED裝置)等的制造裝置。因此，說(shuō)明這些制造對(duì)像物的結(jié)構(gòu)和使用本實(shí)施例的液滴噴出裝置(功能液滴噴出頭51)1的制造方法。
首先，說(shuō)明組裝在液晶顯示裝置或有機(jī)EL裝置等中的濾色鏡的制造方法。圖26是表示濾色鏡制造工序的流程圖，圖27A-27E是按制造工序順序表示的本實(shí)施例的濾色鏡500(濾色器基體500A)的模式剖面圖。
首先，在黑矩陣形成工序(S1)中，如圖27A所示，在基板(W)501上形成黑矩陣502。黑矩陣502由金屬鉻、金屬鉻或氧化鉻的層疊體或樹(shù)脂碳等形成?？墒褂脼R射法或淀積法來(lái)形成由金屬薄膜構(gòu)成的黑矩陣502。另外，在形成由樹(shù)脂薄膜構(gòu)成的黑矩陣502的情況下，也使用凹印法、光刻法、熱轉(zhuǎn)印法等。
接著，在隔岸形成工序(S2)中，以重疊在黑矩陣502上的狀態(tài)形成隔岸503。即，首先如圖27B所示，形成由負(fù)型透明感光性樹(shù)脂構(gòu)成的抗蝕劑層504，覆蓋基板501及黑矩形502。另外，在矩形為矩陣圖案形狀的掩膜505覆蓋其上面的狀態(tài)下，進(jìn)行曝光處理。
如圖27C所示，通過(guò)蝕刻處理抗蝕劑層504的未曝光部分，布圖抗蝕劑層504，形成隔岸503。在由樹(shù)經(jīng)碳形成黑矩陣的情況下，可兼用黑矩形和隔岸。
隔岸503和其下的黑矩陣502變?yōu)閰^(qū)分各像素區(qū)域507的區(qū)分壁部507b，在后面的著色層形成工序中，在由功能液滴噴出頭10形成著色層(成膜部)508R、508G、508B時(shí)，規(guī)定功能液滴的落下區(qū)域。
通過(guò)以上黑矩陣形成工序和隔岸形成工序，得到上述濾色器基體500A。
在本實(shí)施例中，使用涂膜表面變?yōu)槌庖?防水)性的樹(shù)脂材料作為隔岸503的材料。另外，因?yàn)榛?玻璃基板)501的表面為親液(親水)性，所以在后述著色層形成工序中，液滴向包圍在隔岸503(區(qū)分壁部507b)中的各像素區(qū)域507a內(nèi)的落下位置精度得到提高。
接著，在著色層形成工序(S3)中，如圖27D所示，功能液滴噴出頭51噴出功能液滴，落于區(qū)分壁部507b包圍的各像素區(qū)域507a中。此時(shí)，與上述有機(jī)EL裝置600的情況一樣，使用功能液滴噴出頭51，導(dǎo)入R、G、B3色功能液(濾色材料)，噴出功能液滴。作為R、G、B3色的排列圖案，有帶排列、瑪賽克排列和δ排列等。
之后，經(jīng)干燥處理(加熱等處理)定影功能液，形成3色的著色層508R、508G、508B。若形成著色層508R、508G、508B，則移動(dòng)到保護(hù)膜形成工序(S4)，如圖27E所示，形成保護(hù)膜509，覆蓋基板501、區(qū)分壁部507b、和著色層508R、508G、508B的上面。
即，向形成基板501的著色層508R、508B、508G的整個(gè)面噴出保護(hù)膜用涂布液后，經(jīng)干燥處理，形成保護(hù)膜509。之后，在形成保護(hù)膜509后，通過(guò)在每個(gè)有效像素區(qū)域切斷基板501，得到濾色鏡500。
圖28是表示作為使用上述濾色鏡500的液晶顯示裝置一例的正陣列型液晶顯示裝置(液晶裝置)示意結(jié)構(gòu)的主要部分剖面圖。通過(guò)在液晶裝置520中安裝液晶驅(qū)動(dòng)用IC、背光燈、支撐體等附帶要素，得到作為最終制品的透明型液晶顯示裝置。濾色鏡500與圖27A-27E所示相同，向?qū)?yīng)的部位附加相同符號(hào)，省略其說(shuō)明。
液晶裝置520由濾色鏡500、由玻璃基板等構(gòu)成的相對(duì)基板521、及夾在其間的STN(Super Twisted Nematic)液晶組成物構(gòu)成的液晶層522示意構(gòu)成，將濾色鏡500配置在圖中上側(cè)(觀測(cè)者側(cè))。
雖未圖示，但在相對(duì)基板521和濾色鏡500的外面(與液晶層522側(cè)相反的面)中分別配置偏光板，另外，在位于相對(duì)基板521側(cè)的偏光板外側(cè)配置背光燈。
在濾色鏡500的保護(hù)膜509上(液晶層側(cè))以規(guī)定間隔形成多個(gè)圖28中沿左右方向長(zhǎng)的短冊(cè)狀的第1電極523，形成第1布向膜524，以覆蓋與第1電極523的濾色鏡500側(cè)相反側(cè)的面。
另一方面，在相對(duì)基板521中與濾色鏡500相反的面中以規(guī)定間隔形成多個(gè)在與濾色鏡500的第1電極523垂直的方向上長(zhǎng)的短冊(cè)狀的第2電極526，形成第2布向膜527，覆蓋第2電極526的液晶層522側(cè)的面。這些第1電極523和第2電極526由ITO(Indium Tin Oxide銦錫氧化物)等透明導(dǎo)電材料形成。
設(shè)置在液晶層522內(nèi)的隔板528是將液晶層522的厚度(單元間隙)保持恒定的部件。另外，密封件529是防止液晶層522內(nèi)的液晶組成物漏到外部用的部件。第1電極523的一端部作為纏繞布線523a，—起延伸到密封件529的外側(cè)。
第1電極523與第2電極526交叉的部分是像素，濾色鏡500的著色層508R、508G、508B位于成為像素的部分上。
在通常的制造工序中，在濾色鏡500中布圖第1電極523和涂布第1布向膜524，形成濾色器500側(cè)的部分，同時(shí)，相反在相對(duì)基板521中布圖第2電極526和涂布第2面向膜527，形成相對(duì)基板521的部分。之后，在相對(duì)基板521側(cè)的部分裝入隔板528和密封件529，在該狀態(tài)下貼合濾色器500側(cè)的部分。接著，從密封件529的注入口注入構(gòu)成液晶層522的液晶，密封注入口。之后，層疊兩個(gè)偏光板和背光燈。
實(shí)施例的液滴噴出裝置1例如在涂布構(gòu)成上述單元間隙的隔板材料(功能液)的同時(shí)，在相對(duì)基板521側(cè)的部分上貼合濾色器500側(cè)的部分，之后，在由密封件529包圍的區(qū)域中均勻涂布液晶(功能液)。另外，也可由功能液滴噴出頭51來(lái)印刷上述密封件529。并且，也可由功能液滴噴出頭51來(lái)涂布第1、第2兩個(gè)布向膜524、527。
圖29是表示使用本實(shí)施例中制造的濾色鏡500的液晶裝置第2實(shí)例示意結(jié)構(gòu)的主要部分剖面圖。
該液晶裝置530與上述液晶裝置520的大的區(qū)別點(diǎn)在于在圖中下側(cè)(與觀測(cè)者側(cè)相反側(cè))配置濾色鏡500。
液晶裝置530在濾色鏡500與玻璃基板等構(gòu)成的相對(duì)基板531之間夾由STN液晶構(gòu)成的液晶層532來(lái)示意構(gòu)成。雖未圖示，但在相對(duì)基板531和濾色鏡500的外面分別配置偏光板等。
在濾色鏡500的保護(hù)膜509上(液晶層532側(cè))，以規(guī)定間隔形成多個(gè)在圖中向里方向上長(zhǎng)的短冊(cè)狀的第1電極533，形成第1布向膜534，覆蓋第1電極533的液晶層532側(cè)的面。
在相對(duì)基板531中與濾色鏡500相對(duì)的面上，以規(guī)定間隔形成沿與濾色鏡500的第1電極533垂直方向上延伸的多個(gè)短冊(cè)狀第2電極536，形成第2布向膜537，覆蓋第2電極536的液晶層532側(cè)的面。
在液晶層532中設(shè)置保持該液晶層532的厚度恒定用的隔板538、和防止液晶層532內(nèi)的液晶組成物漏到外部用的密封件539。
與上述液晶裝置520一樣，第1電極533與第2電極536交叉的部分是像素，濾色鏡500的著色層508R、508G、508B位于成為像素的部分上。
圖30表示使用適用本發(fā)明的濾色鏡500構(gòu)成液晶裝置的第3實(shí)例，是表示透明型TFT(Thin Film Transistor薄膜晶體管)型液晶裝置示意結(jié)構(gòu)的分解立體圖。
液晶裝置550將濾色鏡500配置在圖中上側(cè)(觀測(cè)者側(cè))。
液晶裝置550由濾色鏡500、與之相對(duì)配置的相對(duì)電極551、夾在其間的未圖示的液晶層、配置在濾色鏡500上面?zhèn)?觀測(cè)者側(cè))的偏光板555、和配置在相對(duì)基板551下面?zhèn)鹊钠獍?未圖示)示意構(gòu)成。
在濾色鏡500的保護(hù)膜509的表面(相對(duì)基板551側(cè)的面)上形成液晶驅(qū)動(dòng)用電極556。電極556由ITO等透明導(dǎo)電材料構(gòu)成，為覆蓋形成后述像素電極560的整個(gè)區(qū)域的整面電極。另外，以覆蓋與電極556的像素電極560相反側(cè)的面的狀態(tài)來(lái)設(shè)置布向膜557。
在相對(duì)基板551中與濾色鏡500相對(duì)的面上形成絕緣層558，在絕緣層558上，以彼此垂直的狀態(tài)形成掃描線561和信號(hào)線562。在包圍在這些掃描線561和信號(hào)線562的區(qū)域內(nèi)形成像素電極560。在實(shí)際的液晶裝置中，在像素電極560上設(shè)置布向膜，但省略圖示。
另外，在包圍在像素電極560的缺口部、掃描線561和信號(hào)線562的區(qū)域中組裝具備源極、漏極、半導(dǎo)體和柵極的薄膜晶體管563。通過(guò)向掃描線561和信號(hào)線562施加信號(hào)，開(kāi)、關(guān)薄膜晶體管563，對(duì)像素電極560進(jìn)行通電控制。
上述各例的液晶裝置520、530、550為透明型結(jié)構(gòu)，但也可設(shè)置反射層或半透明反射層，成為反射型液晶裝置或半透明反射型液晶裝置。
圖31是等離子體型顯示裝置(PDP裝置下面簡(jiǎn)稱為顯示裝置700)的主要部分分解立體圖。圖中，以切去—部分的狀態(tài)來(lái)表示顯示裝置700。
顯示裝置700包含彼此相對(duì)配置的第1基板701、第2基板701及形成于之間的放電顯示部702。放電顯示部703由多個(gè)放電室705構(gòu)成。在這多個(gè)放電室705中，以紅色放電室705R、綠色放電室705G、藍(lán)色放電室705B的3個(gè)放電室705為一組，構(gòu)成一個(gè)像素。
在第1基板701的上面以規(guī)定間隔形成條紋狀尋址電極706，形成電介質(zhì)層707，覆蓋該尋址電極706和第1基板701的上面。在電介質(zhì)層707上，位于各尋址電極706之間并沿各尋址電極706豎設(shè)隔壁708。如圖所示，隔壁708包含沿尋址電極706的寬度方向兩側(cè)延伸的隔壁和沿與尋址電極706垂直方向延伸的未圖示的隔壁。
由隔壁708切割的區(qū)域成為放電室705。
在放電室705內(nèi)配置熒光體709。熒光體709發(fā)出紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)之一色的熒光，在紅色放電室705R的底部配置紅色熒光體709R，在綠色放電室705G的底部配置綠色熒光體709G，在藍(lán)色放電室705B的底部配置藍(lán)色熒光體709B。
在第2基板702的圖中下側(cè)面中，沿與上述尋址電極706垂直的方向，以規(guī)定間隔形成條紋狀的多個(gè)顯示電極711。覆蓋這些電極地形成電介質(zhì)層712及由MgO等構(gòu)成的保護(hù)膜713。
以彼此垂直的狀態(tài)使尋址電極706與顯示電極711相對(duì)來(lái)貼合第1基板701與第2基板702。上述尋址電極706與顯示電極711連接于未圖示的交流電源上。
通過(guò)向各電極706、711通電，在放電顯示部703中熒光體709激勵(lì)發(fā)光，可彩色顯示。
在本實(shí)施例中，用圖12所示液滴噴出裝置1來(lái)形成上述尋址電極706、顯示電極711及熒光體709。下面，示例第1基板701中的尋址電極706的形成工序。
此時(shí)，在將第1基板701裝載在液滴噴出裝置1的X軸臺(tái)82上的狀態(tài)下進(jìn)行以下工序。
首先，由功能液滴噴出頭10，將含有導(dǎo)電膜布線形成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴落于尋址電極形成區(qū)域。該液體材料作為導(dǎo)電膜布線形成用材料，將金屬等導(dǎo)電性微粒分散在分散媒中。作為導(dǎo)電性微粒，可使用含有金、銀、銅、鈀或鎳等的金屬微?；?qū)щ娦跃酆象w等。
在對(duì)作為補(bǔ)充對(duì)像的所有尋址電極形成區(qū)域終止補(bǔ)充液體材料的同時(shí)，干燥處理噴出后的液體材料，使液體材料中包含的分散媒蒸發(fā)，由此形成尋址電極706。
但是，上述雖示例尋址電極706的形成，但也可通過(guò)上述各工序形成上述顯示電極711及熒光體709。
與形成顯示電極711的情況、尋址電極706的情況一樣，將含有導(dǎo)電膜布線形成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴落在顯示電極形成區(qū)域中。
另外，在形成熒光體709的情況下，從功能液滴噴出頭51噴出含有對(duì)應(yīng)于各色(R、G、B)的熒光材料的液體材料(功能液)，作為液滴，落在對(duì)應(yīng)色的放電室705內(nèi)。
圖32是電子放射裝置(FED裝置下面簡(jiǎn)稱為顯示裝置800)的主要部分分解立體圖。圖中，部分截面地表示顯示裝置800。
顯示裝置800包含彼此相對(duì)配置的第1基板801、第2基板802及形成于其間的電場(chǎng)放射顯示部803來(lái)示意構(gòu)成。電場(chǎng)放射顯示部803由配置成矩陣狀的多個(gè)電子放射部805構(gòu)成。
在第1基板801的上面，彼此垂直地形成構(gòu)成陰極806的第1元件電極806a和第2元件電極806b。另外，由第1元件電極806a和第2元件電極806b分割的部分中形成元件膜807，元件膜807形成蓋體808。即，第1元件電極806a、第2元件電極806b和元件膜807構(gòu)成多個(gè)電子放射部805。元件膜由例如氧化鈀(PdO)等構(gòu)成，另外，蓋體808在成膜元件膜807后，通過(guò)成形等形成。
在第2基板802的下面形成相對(duì)于陰極806的陽(yáng)極809。在陽(yáng)極809的下面形成格子狀的隔岸部811，在由隔岸部811包圍的向下的各開(kāi)口部812中，對(duì)應(yīng)于電子放射部805來(lái)配置熒光體813。熒光體813發(fā)出紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)之一色的熒光，在各開(kāi)口部812中，以規(guī)定圖案來(lái)配置紅色熒光體813R、綠色熒光體813G和藍(lán)色熒光體813B。
保留微小間隙來(lái)貼合如此構(gòu)成的第1基板801和第2基板802。顯示裝置800經(jīng)元件膜(蓋體808)807，使從作為陰極的第1元件電極806a和第2元件電極806b飛出的電子沖擊作為陽(yáng)極的陽(yáng)極809中形成的熒光體813，激勵(lì)發(fā)光，可彩色顯示。
此時(shí)也與其它實(shí)施例一樣，使用液滴噴出裝置1來(lái)形成第1元件電極806a、第2元件電極806b及陽(yáng)極809，同時(shí)，可使用液滴噴出裝置1來(lái)形成各色的熒光體813R、813G、813B。
上述液滴噴出裝置除本實(shí)施例中說(shuō)明的有機(jī)EL裝置等的制造裝置外，還可適用于電泳顯示裝置的制造方法等。
在電泳顯示裝置的制造方法中，向多個(gè)功能液滴噴出頭51導(dǎo)入各色的泳動(dòng)體材料，主掃描及副掃描多個(gè)功能液滴噴出頭51，選擇地噴出泳動(dòng)體材料，在電極上的多個(gè)凹部中分別形成熒光體。最好將帶電粒子和染料構(gòu)成的泳動(dòng)體封入微型容器中。
另一方面，本實(shí)施例的液滴噴出裝置1也可適用于隔板形成方法、金屬布線形成方法、透鏡形成方法、抗蝕劑形成方法及光擴(kuò)散體形成方法等。
隔板形成方法在兩塊基板間形成能構(gòu)成微小單元間隙的多個(gè)粒子狀隔板，向多個(gè)功能液滴噴出頭51導(dǎo)入使構(gòu)成隔板的粒子材料在液中分散后進(jìn)行調(diào)整的功能液，主掃描及副掃描多個(gè)功能液滴噴出頭51，選擇地噴出粒子材料，在至少一個(gè)基板上形成隔板。例如，用于在上述液晶顯示裝置或電泳顯示裝置的兩個(gè)基板間構(gòu)成單元間隙的情況，可適用于其它必需細(xì)微蓋體的半導(dǎo)體制造技術(shù)。
在金屬布線形成方法中，向多個(gè)功能液滴噴出頭51導(dǎo)入液態(tài)金屬材料，主掃描及副掃描多個(gè)功能液滴噴出頭51，選擇地噴出液態(tài)金屬材料，在基板上形成金屬布線。例如，適用于連接上述有機(jī)EL裝置中的TFT等與各電極的金屬布線，并可制造這些器件。另外，不用說(shuō)，也可適用于這種平坦顯示器以外的一般半導(dǎo)體制造技術(shù)。
透鏡的形成方法中，向多個(gè)功能液滴噴出頭51導(dǎo)入透鏡材料，主掃描及副掃描多個(gè)功能液滴噴出頭51，選擇地噴出透鏡材料，在透明基板上形成多個(gè)微透鏡。例如可適用于制造上述FED裝置中的光束收斂用的器件的情況。另外，也可適用于各種光器件的制造技術(shù)。
透鏡的制造方法中，向多個(gè)功能液滴噴出頭51導(dǎo)入透光性涂布材料，主掃描及副掃描多個(gè)功能液滴噴出頭51，選擇地噴出涂布材料，在透鏡表面形成涂布膜。
在抗蝕劑形成方法中，向多個(gè)功能液滴噴出頭51導(dǎo)入抗蝕劑材料，主掃描及副掃描多個(gè)功能液滴噴出頭51，選擇地噴出抗蝕劑材料，在基板上形成任意形狀的光刻膠。例如，可用于形成上述各種顯示裝置中的隔岸，在作為半導(dǎo)體制造技術(shù)主體的光刻法中，廣泛用于光刻膠的涂布中。
在光擴(kuò)散體形成方法中，向多個(gè)功能液滴噴出頭51導(dǎo)入光擴(kuò)散材料，主掃描及副掃描多個(gè)功能液滴噴出頭51，選擇地噴出光擴(kuò)散材料，在基板上形成多個(gè)光擴(kuò)散體。不用說(shuō)，也可適用于各種光器件。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的噴頭蓋，可不損害密封動(dòng)作等原來(lái)的功能就容易更換功能液吸收材料，可適當(dāng)保全功能液滴噴出頭。
另外，根據(jù)本發(fā)明的功能液噴出裝置，因?yàn)榭蛇m當(dāng)保全功能液滴噴出頭，所以可提高可靠性。
另一方面，根據(jù)本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法、有機(jī)EL裝置的制造方法等各種制造方法，可通過(guò)液滴噴出裝置來(lái)提高制造方法的可靠性。
權(quán)利要求
1.一種噴頭蓋，其特征在于，具備蓋體基座；形成于所述蓋體基座表面上的吸收材料容納部；配置在所述吸收材料容納部中的功能液吸收材料；壓緊所述功能液吸收材料的吸收材料壓板；與功能液滴噴出頭的噴嘴面密接地形成的密封部件；和將所述密封部件固定在所述蓋體基座上的密封固定部件，所述密封部件在壓緊所述吸收材料壓板的狀態(tài)下被固定在所述蓋體基座上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴頭蓋，其特征在于所述吸收材料容納部由填充所述功能液吸收材料的凹槽、和在形成所述凹槽的同時(shí)從所述蓋體基座突出的環(huán)狀邊緣部構(gòu)成，所述吸收材料壓板的邊緣部座落于所述環(huán)狀邊緣部上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴頭蓋，其特征在于所述吸收材料壓板形成為薄壁，具有壓緊所述功能液吸收材料的邊緣部的框狀部、和壓緊中間部的橋狀部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的噴頭蓋，其特征在于一體形成所述框狀部和所述橋狀部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴頭蓋，其特征在于所述吸收材料壓板由不銹鋼形成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴頭蓋，其特征在于所述密封部件具有密接于所述噴嘴面的環(huán)狀突出部、壓緊所述吸收材料壓板的環(huán)狀壓緊部和固定在所述蓋體基座上的環(huán)狀固定部并一體形成，并且在所述環(huán)狀突出部的里面?zhèn)刃纬伤霏h(huán)狀壓緊部。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的噴頭蓋，其特征在于將所述密封固定部件形成環(huán)狀，在將所述密封部件的所述環(huán)狀固定部壓緊在所述蓋體基座上的狀態(tài)下，擰入所述蓋體基座中。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴頭蓋，其特征在于還具備沿密接方向自由滑動(dòng)地保持所述蓋體基座的蓋體支架；和將所述蓋體支架作為支撐，沿密接方向頂靠所述蓋體基座的彈簧，在所述蓋體支架上形成限制部，抵抗所述彈簧，在稍稍傾斜的狀態(tài)下限位所述蓋體基座。
9.—種液滴噴出裝置，其特征在于，具備權(quán)利要求1所述的噴頭蓋；所述功能液滴噴出頭；使所述噴頭蓋相對(duì)地離合所述功能液滴噴出頭的離合機(jī)構(gòu)；和連接于所述噴頭蓋，經(jīng)密接的所述噴頭蓋，從所述功能液滴噴出頭中吸引功能液的吸收機(jī)構(gòu)。
10.一種液晶顯示裝置的制造方法，使用權(quán)利要求9所述的液滴噴出裝置，在濾色鏡的基板上形成多個(gè)濾色元件，其特征在于向所述功能液滴噴出頭導(dǎo)入各色濾色材料，經(jīng)所述頭單元，相對(duì)所述基板掃描所述功能液滴噴出頭，并選擇地噴出所述濾色材料，形成多個(gè)所述濾色元件。
11.—種有機(jī)EL裝置的制造方法，使用權(quán)利要求9所述的液滴噴出裝置，在基板上的多個(gè)像點(diǎn)像素中分別形成EL發(fā)光層，其特征在于向所述功能液滴噴出頭導(dǎo)入各色發(fā)光材料，經(jīng)所述頭單元，相對(duì)所述基板掃描所述功能液滴噴出頭，選擇地噴出所述發(fā)光材料，形成多個(gè)所述EL發(fā)光層。
12.一種電子放射裝置的制造方法，使用權(quán)利要求9所述的液滴噴出裝置，在電極上形成多個(gè)熒光體，其特征在于向所述功能液滴噴出頭導(dǎo)入各色熒光材料，通過(guò)所述頭單元，使所述功能液滴噴出頭相對(duì)所述電極進(jìn)行掃描，并選擇地噴出所述熒光材料，形成多個(gè)所述熒光體。
13.—種PDP裝置的制造方法，使用權(quán)利要求9所述的液滴噴出裝置，在背面基板上的多個(gè)凹部分別形成熒光體，其特征在于向所述功能液滴噴出頭導(dǎo)入各色熒光材料，通過(guò)所述頭單元，使所述功能液滴噴出頭相對(duì)所述背面基板進(jìn)行掃描，選擇地噴出所述熒光材料，形成多個(gè)所述熒光體。
14.一種電泳顯示裝置的制造方法，使用權(quán)利要求9所述的液滴噴出裝置，在電極上的多個(gè)凹部中形成泳動(dòng)體，其特征在于向所述功能液滴噴出頭導(dǎo)入各色泳動(dòng)體材料，通過(guò)所述頭單元，使所述功能液滴噴出頭相對(duì)所述電極進(jìn)行掃描，選擇地噴出所述泳動(dòng)體材料，形成多個(gè)所述泳動(dòng)體。
15.一種濾色鏡的制造方法，是一種通過(guò)使用權(quán)利要求9所述的液滴噴出裝置、在基板上排列多個(gè)濾色元件而形成的濾色鏡的制造方法，其特征在于向所述功能液滴噴出頭導(dǎo)入各色濾色材料，通過(guò)所述頭單元，使所述功能液滴噴出頭相對(duì)所述基板進(jìn)行掃描，選擇地噴出所述濾色材料，形成多個(gè)所述濾色元件。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的濾色鏡的制造方法，其特征在于形成覆蓋所述多個(gè)濾色元件的覆蓋膜，在形成所述濾色元件后，向所述功能液滴噴出頭導(dǎo)入透光性的涂敷材料，通過(guò)所述頭單元，使所述功能液滴噴出頭相對(duì)所述基板進(jìn)行掃描，選擇地噴出所述涂敷材料，形成所述覆蓋膜。
17.一種有機(jī)EL的制造方法，使用權(quán)利要求9所述的液滴噴出裝置，在基板上排列包含EL發(fā)光層的多個(gè)像點(diǎn)像素，其特征在于向所述功能液滴噴出頭導(dǎo)入各色發(fā)光材料，通過(guò)所述頭單元，使所述功能液滴噴出頭相對(duì)所述基板進(jìn)行掃描，選擇地噴出所述發(fā)光材料，形成多個(gè)所述EL發(fā)光層。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的有機(jī)EL的制造方法，其特征在于在多個(gè)所述EL發(fā)光層與所述基板之間，對(duì)應(yīng)于所述EL發(fā)光層來(lái)形成多個(gè)像素電極，向所述功能液滴噴出頭導(dǎo)入液態(tài)電極材料，通過(guò)所述頭單元，使所述功能液滴噴出頭相對(duì)所述基板進(jìn)行掃描，并選擇地噴出所述液態(tài)電極材料，形成多個(gè)所述像素電極。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的有機(jī)EL的制造方法，其特征在于覆蓋多個(gè)所述EL發(fā)光層地形成相對(duì)電極，在形成所述EL發(fā)光層后，向所述功能液滴噴出頭導(dǎo)入液態(tài)電極材料，通過(guò)所述頭單元，使所述功能液滴噴出頭相對(duì)所述基板進(jìn)行掃描，并選擇地噴出所述液態(tài)電極材料，形成所述相對(duì)電極。
20.—種隔板形成方法，使用權(quán)利要求9所述的液滴噴出裝置，在兩塊基板間形成能構(gòu)成微小單元間隙的多個(gè)粒子狀隔板，其特征在于向所述功能液滴噴出頭導(dǎo)入構(gòu)成隔板的粒子材料，通過(guò)所述頭單元，使所述功能液滴噴出頭相對(duì)至少一個(gè)所述基板進(jìn)行掃描，選擇地噴出所述粒子材料，在所述基板上形成所述隔板。
21.一種金屬布線形成方法，使用權(quán)利要求9所述的液滴噴出裝置，在基板上形成金屬布線，其特征在于向所述功能液滴噴出頭導(dǎo)入液態(tài)金屬材料，通過(guò)所述頭單元，使所述功能液滴噴出頭相對(duì)所述基板進(jìn)行掃描，并選擇地噴出所述液態(tài)金屬材料，形成所述金屬布線。
22.一種透鏡形成方法使用權(quán)利要求9所述的液滴噴出裝置，在基板上形成多個(gè)微透鏡，其特征在于向所述功能液滴噴出頭導(dǎo)入透鏡材料，通過(guò)所述頭單元，使所述功能液滴噴出頭相對(duì)所述基板進(jìn)行掃描，選擇地噴出所述透鏡材料，形成多個(gè)所述微透鏡。
23.一種抗蝕劑形成方法，使用權(quán)利要求9所述的液滴噴出裝置，在基板上形成任意形狀的抗蝕劑，其特征在于向所述功能液滴噴出頭導(dǎo)入抗蝕劑材料，通過(guò)所述頭單元，使所述功能液滴噴出頭相對(duì)所述基板進(jìn)行掃描，選擇地噴出所述抗蝕劑材料，形成所述抗蝕劑。
24.一種光擴(kuò)散體形成方法，使用權(quán)利要求9所述的液滴噴出裝置，在基板上形成多個(gè)光擴(kuò)散體，其特征在于向所述功能液滴噴出頭導(dǎo)入光擴(kuò)散材料，通過(guò)所述頭單元，使所述功能液滴噴出頭相對(duì)所述基板進(jìn)行掃描，選擇地噴出所述光擴(kuò)散材料，形成多個(gè)所述光擴(kuò)散體。
全文摘要
提供一種噴頭蓋和具有該噴頭蓋的液滴噴出裝置。噴頭蓋(113)密接功能液滴噴出頭(51)的噴嘴面(58)，密封功能液滴噴出頭(51)，具備蓋體基座(121)；形成于蓋體基座(121)中的吸收材料容納部(121a)；填充在吸收材料容納部(121a)中的功能液吸收材料(122)；壓緊功能液吸收材料(122)的吸收材料壓板(123)；密封部件(124)；和將密封部件(124)固定在蓋體基座(121)上的密封固定部件(125)，密封部件(124)在壓緊吸收材料壓板(123)的邊緣部的狀態(tài)下，被固定在蓋體基座(121)上。從而，能簡(jiǎn)單更換功能液吸收材料，而不損害密封動(dòng)作等的本來(lái)功能。
文檔編號(hào)H01J11/34GK1483576SQ0315400
公開(kāi)日2004年3月24日 申請(qǐng)日期2003年8月13日 優(yōu)先權(quán)日2002年8月26日
發(fā)明者中村真一 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社