專利名稱：受激準分子燈的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種利用電介質(zhì)阻擋放電或高頻放電的受激準分子燈，具體涉及一種提高安全性、效率高且經(jīng)濟性優(yōu)良的受激準分子燈。
背景技術(shù)：
受激準分子燈廣泛用作在半導(dǎo)體集成電路、液晶顯示面板和印刷電路板等電子部件的制造工序中的紫外線曝光裝置等。有關(guān)受激準分子燈的現(xiàn)有技術(shù)在例如特開2000-223078號公報的“高亮度光照射裝置”和特開2001-23577號公報的“電介質(zhì)阻擋放電燈”等中作了揭示。
如圖4所示，這種現(xiàn)有受激準分子燈基本上具有由配置成同軸狀的內(nèi)管11和外管12組成的放電管10，封入吸氣劑3，并通過在形成于內(nèi)管11的內(nèi)表面的內(nèi)側(cè)電極13和形成于外管的外表面的外側(cè)電極14之間施加來自高電壓交流電源2的電壓，使封入在內(nèi)管11和外管12之間的放電空間17內(nèi)的稀有氣體(氬氣，氪氣，氙氣等稀有氣體)受激放電，并使紫外線發(fā)光。
在現(xiàn)有受激準分子燈中，通過把編網(wǎng)的無縫狀的網(wǎng)狀電極和穿孔金屬板的板狀電極卷繞在外管12上，形成外側(cè)電極14。
這種現(xiàn)有外側(cè)電極14由于金屬部分露出并暴露于大氣，因而缺乏安全性，并且由于電極消耗和金屬離子的發(fā)散而產(chǎn)生污染。
為此，為了將被照射物與燈隔斷，在采用高價石英板或套管等來隔離燈的同時，照射光線。因此，本發(fā)明是為了解決該問題而提出的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的受激準分子燈包括由形成為同軸圓筒狀的內(nèi)管和外管組成的放電管，并通過在形成于所述內(nèi)管上的內(nèi)側(cè)電極和形成于所述外管上的外側(cè)電極之間施加高電壓，使封入在所述內(nèi)管和所述外管之間的放電空間內(nèi)的氣體放電發(fā)光，在該受激準分子燈中，用絕緣材料涂敷所述外側(cè)電極，使其不露出。


圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的受激準分子燈的外側(cè)電極的第一實施方式的構(gòu)成的平面圖(a)、斷面圖(b)、以及形成絕緣性涂層的狀態(tài)的斷面圖(c)。
圖2是示出將形成絕緣性涂層的外側(cè)電極應(yīng)用于受激準分子燈的狀態(tài)的斜視圖。
圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的受激準分子燈的外側(cè)電極的第二實施方式的構(gòu)成的斷面圖。
圖4是現(xiàn)有受激準分子燈的縱斷面圖。
符號說明10放電管；11內(nèi)管；12外管；13內(nèi)側(cè)電極；14外側(cè)電極(網(wǎng)狀電極)；14a開口；14b細線；15絕緣性涂層具體實施方式
以下將根據(jù)附圖，對根據(jù)本發(fā)明的受激準分子燈的外側(cè)電極的實施方式的構(gòu)成進行說明。
(第一實施方式)與圖4所示的現(xiàn)有例一樣，本受激準分子燈包括放電管10，其由同軸狀的內(nèi)管11和外管12組成，其兩端由接合部16接合并作成封閉端；內(nèi)側(cè)電極13，其形成在內(nèi)管11的內(nèi)表面；以及外側(cè)電極14，其設(shè)置在外管12的外表面。
如圖1的斜視圖(a)和斷面圖(b)所示，外側(cè)電極14是具有由例如六角形細線14b形成的多個開口14a的蜂窩狀結(jié)構(gòu)的網(wǎng)狀電極。該外側(cè)電極14優(yōu)選采用金、銀、鉑、鎳或鉻等金屬或者兩種以上這些金屬的合金來形成。
然后，如圖1的斷面圖(c)所示，預(yù)先用絕緣材料涂敷金屬外側(cè)電極14形成涂層15。作為該涂敷方法，采用濺鍍、蒸鍍、硫族化合物等，在金屬外側(cè)電極14上形成絕緣材料涂層15。適合作為該絕緣性涂層15的材料的有透光性良好、耐熱性的SiO2、氧化鋁、氟化鎂等。
如圖2的斜視圖所示，通過燒結(jié)法等，使這樣形成了絕緣性涂層15的金屬的外側(cè)電極14與放電管10的外管12的外表面緊貼。
(第二實施方式)如圖3的斷面圖(a)所示，預(yù)先在放電管10的外管12的外表面形成金屬的外側(cè)電極14，如圖3的斷面圖(b)所示，在外側(cè)電極14和外管12的外表面形成透光性良好、耐熱性的絕緣性涂層15。
(其他實施方式)內(nèi)側(cè)電極可以是插在內(nèi)管內(nèi)的棒狀電極，而不是如圖4所示在內(nèi)管11的內(nèi)表面上附著形成。并且，也可以使冷卻流體在內(nèi)管內(nèi)流動。只要可獲得規(guī)定的開口率，網(wǎng)狀電極可以是蜂窩狀結(jié)構(gòu)以外的任意網(wǎng)狀電極圖案。
從基于以上實施方式的說明可知，采用本發(fā)明的受激準分子燈，通過給在放電管的外管的外表面上形成的金屬外側(cè)電極涂敷絕緣材料，可對外側(cè)電極的氧化和消耗進行抑制，因而沒有必要在燈和被照射物之間設(shè)置石英板或套管，并且由于可使燈接近被照射物，因而可提高照射效率。
權(quán)利要求
1.一種受激準分子燈，該受激準分子燈包括由形成為同軸圓筒狀的內(nèi)管和外管組成的放電管，并通過在形成于所述內(nèi)管上的內(nèi)側(cè)電極和形成于所述外管上的外側(cè)電極之間施加高電壓，使封入在所述內(nèi)管和所述外管之間的放電空間內(nèi)的氣體放電發(fā)光，其特征在于用絕緣材料涂敷所述外側(cè)電極，使其不露出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的受激準分子燈，其特征在于使預(yù)先涂敷了絕緣材料的電極與外管的表面緊貼。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的受激準分子燈，其特征在于預(yù)先在外管表面形成外側(cè)電極之后，用透光性絕緣材料涂敷外管表面。
全文摘要
本發(fā)明提供一種提高安全性、效率高且經(jīng)濟性優(yōu)良的利用電介質(zhì)阻擋放電或高頻放電的受激準分子燈。該受激準分子燈包括由形成為同軸圓筒狀的內(nèi)管11和外管12組成的放電管10，并通過在形成于內(nèi)管11上的內(nèi)側(cè)電極13和形成于外管12上的外側(cè)電極14之間施加高電壓，使封入在內(nèi)管11和外管12之間的放電空間內(nèi)的氣體放電發(fā)光。在該受激準分子燈中，用絕緣材料涂敷外側(cè)電極14形成涂層15，使外側(cè)電極14不露出。
文檔編號H01J65/00GK1499569SQ200310103478
公開日2004年5月26日 申請日期2003年11月7日 優(yōu)先權(quán)日2002年11月8日
發(fā)明者石橋紀雄, 片岡智史, 見代修一, 藤森昭芳, 一, 史, 芳 申請人:株式會社Orc制作所