專利名稱：容器及電子束裝置的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于圖象顯示裝置的容器及射出電子的電子束裝置的制造方法。
背景技術(shù)：
至今，我們知道例如在用于圖象顯示裝置的電子束裝置中，作為電子射出元件具有熱陰極元件和冷陰極元件兩種。
我們知道其中，在冷陰極元件中，作為表面?zhèn)鲗?dǎo)型射出元件有例如下列的非專利文獻(xiàn)1和后述的其它例。又，我們知道場(chǎng)致射出型元件(以下記為FE型)和金屬/絕緣層/金屬型射出元件(以下記為MIM型)等。
表面?zhèn)鲗?dǎo)型射出元件利用了在基板上形成的小面積薄膜上與膜面平行地流過(guò)電流從而射出電子的現(xiàn)象。
在用上述那樣的電子射出元件的圖象顯示裝置中，因?yàn)檫M(jìn)深小的平面型顯示裝置可節(jié)省空間并且重量輕，所以用它置換陰極射線管型的顯示裝置令人注目。
圖8是表示形成平面型的圖象顯示裝置的顯示面板部分的一個(gè)例子的斜視圖，為了表示內(nèi)部構(gòu)造切去一部分面板進(jìn)行表示。
這是具有使形成多個(gè)冷陰極元件112的后板115和形成作為發(fā)光材料的熒光膜118的熒光屏117通過(guò)作為規(guī)定間隔部件的構(gòu)造支持體(稱為隔片或肋)120對(duì)置的構(gòu)造的平面型顯示裝置。由后板115、側(cè)壁116、熒光屏117形成用于維持顯示面板內(nèi)部真空的氣密容器。將基板111固定在后板115上，但是在該基板111上形成多個(gè)冷陰極元件112。又，在熒光膜118的后板115一側(cè)的面上，設(shè)置在CRT的領(lǐng)域中眾所周知的金屬背板119。
又，上述氣密容器的內(nèi)部保持10-6Torr程度的真空，隨著圖象顯示裝置的顯示面積增大，需要一種防止由于氣密容器內(nèi)部和外部的氣壓差引起的后板115和熒光屏117的變形或破壞的方法。使后板115和熒光屏117加厚的方法不僅增加圖象顯示裝置的重量，而且從斜方向看時(shí)產(chǎn)生圖象的彎曲和視差。對(duì)此，設(shè)置由比較薄的玻璃板構(gòu)成的用于抵抗大氣壓的隔片120。關(guān)于隔片120的組裝方法，例如，表示在下列專利文獻(xiàn)1等中。這樣一來(lái)，后板115和形成有熒光膜118的熒光屏117之間通常保持亞毫米到數(shù)毫米，如上所述能夠使氣密容器內(nèi)部保持高真空。
又，隔片120對(duì)飛過(guò)后板115和熒光屏117之間的電子的軌道沒(méi)有大的影響。影響電子軌道的原因是隔片120帶電。我們認(rèn)為隔片120的帶電是由于從電子源射出的電子的一部分或在熒光屏117反射的電子入射到隔片120，從隔片120射出二次電子，或者由于電子碰撞而電離產(chǎn)生的離子附著在表面上造成的。
隔片120帶正電時(shí)，因?yàn)閷⒃诟羝?20近旁飛過(guò)的電子吸引到隔片一邊，所以在隔片120近旁使顯示圖象發(fā)生彎曲。隨著后板115和熒光屏117的間隔增大帶電的影響變得更顯著。
一般作為抑制帶電的方法，使帶電面具有導(dǎo)電性，通過(guò)流過(guò)若干電流除去電荷。在下列專利文獻(xiàn)2中揭示了將這種概念應(yīng)用于隔片120，用半導(dǎo)電性膜覆蓋隔片120的表面的方法。
又，在下列專利文獻(xiàn)3中揭示了用PdO系玻璃材料覆蓋的方法。
又，通過(guò)在隔片120的熒光屏117和后板115的接合面上形成電極從而在上述覆蓋材料上均勻地施加電場(chǎng)，這樣能夠防止由于連接不良和電流集中引起的隔片120的破壞。
用以上說(shuō)明的顯示面版的圖象顯示裝置通過(guò)行方向配線113的容器外端子Dx1～Dxm，列方向配線114的Dy1～Dyn在各冷陰極元件112上施加電壓，從各冷陰極元件112射出電子。與此同時(shí)，通過(guò)容器外端子Hv將數(shù)百V到數(shù)kV的高壓加在金屬背板119上，對(duì)上述射出的電子進(jìn)行加速，使電子碰撞在熒光屏117的內(nèi)表面。因此，激勵(lì)形成熒光膜118的各色熒光體使它們發(fā)光，顯示出圖象。
USP6278066(對(duì)應(yīng)專利申請(qǐng)WO98/28774，特表2000-510282)[專利文獻(xiàn)2]EP690472A(對(duì)應(yīng)專利申請(qǐng)日本平成8年公布的08-180821號(hào)專利公報(bào))[專利文獻(xiàn)3]EP405262A(對(duì)應(yīng)專利申請(qǐng)日本平成3年公布的3-49135號(hào)專利公報(bào))[非專利文獻(xiàn)1]M.I.Elinson，Radio Eng.Electron Phys.，10129 0，(1965)在現(xiàn)有例所示的圖象顯示裝置的顯示面板中，與顯示面板的顯示面積和后板及熒光屏的厚度相應(yīng)，配置多個(gè)隔片。但是，當(dāng)使面積增大時(shí)同時(shí)使隔片數(shù)增大，在組裝工序中用于在顯示面板上配置隔片的時(shí)間增加等使成本上升。又，組裝時(shí)的隔片的成品率對(duì)顯示面板的成品率的影響程度提高，這也成為使成本上升的主要原因。
進(jìn)一步，由于隔片的組裝精度不夠，隔片超出熒光屏的非發(fā)光區(qū)域，對(duì)顯示圖象產(chǎn)生影響，難以得到高品質(zhì)的圖象顯示。又，即便隔片不超出熒光屏的非發(fā)光區(qū)域，也存在著由于組裝精度不夠，當(dāng)隔片的配置發(fā)生偏離時(shí)，隔片對(duì)電子束軌道產(chǎn)生影響，使圖象發(fā)生畸變的情形。特別是，當(dāng)隔片帶電時(shí)，這種現(xiàn)象表現(xiàn)得更加顯著。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提出了能夠消除上述不合適情況的隔片組裝制造方法，本發(fā)明的目的是防止隔片配置的偏離，提高組裝精度，可以低成本地制造高品質(zhì)的圖象顯示裝置的容器或電子束裝置。
為了要解決上述課題，本發(fā)明提供了一種容器制造方法，該容器具有第1基板、與上述第1基板相對(duì)配置的第2基板、以及配置在上述第1基板與上述第2基板之間的大致板狀的規(guī)定間隔部件，該方法具有在上述規(guī)定間隔部件上施加張力的工序、將施加了張力的上述規(guī)定間隔部件固定在上述第1基板上的工序、和從固定在上述第1基板上的上述規(guī)定間隔部件釋放張力的工序，在將上述規(guī)定間隔部件固定在上述第1基板上的上述工序中，該固定點(diǎn)的位置處于比張力作用點(diǎn)靠?jī)?nèi)的一側(cè)。
又，本發(fā)明的容器制造方法是在上述規(guī)定間隔部件上施加張力的工序中，張力作用點(diǎn)是上述規(guī)定間隔部件的基體。
又，本發(fā)明的容器制造方法是在上述規(guī)定間隔部件上施加張力的工序中，張力作用點(diǎn)是與上述規(guī)定間隔部件的基體連接的輔助支持部件。
又，本發(fā)明的容器制造方法是在上述規(guī)定間隔部件上施加張力的工序中，通過(guò)隔片傳送單元施加張力。
又，本發(fā)明的容器制造方法是在上述規(guī)定間隔部件上施加張力的工序中，通過(guò)施加張力單元施加張力。
進(jìn)一步，本發(fā)明提供了一種電子束裝置的制造方法，該電子束裝置備有在表面上具有多個(gè)電子射出元件的第1基板、與上述第1基板相對(duì)配置并設(shè)置有控制從上述電子射出元件射出的電子的電極的第2基板、配置在上述第1基板與上述第2基板之間的大致板狀的規(guī)定間隔部件，該方法具有在上述規(guī)定間隔部件上施加張力的工序、將施加了張力的上述規(guī)定間隔部件固定在上述第1基板上的工序、和從固定在上述第1基板上的上述規(guī)定間隔部件釋放張力的工序，在將上述規(guī)定間隔部件固定在上述第1基板上的上述工序中，該固定點(diǎn)的位置處于比張力作用點(diǎn)靠?jī)?nèi)的一側(cè)。
又，本發(fā)明的電子束裝置制造方法是在上述規(guī)定間隔部件上施加張力的工序中，張力作用點(diǎn)是上述規(guī)定間隔部件的基體。
又，本發(fā)明的電子束裝置制造方法是在上述規(guī)定間隔部件上施加張力的工序中，張力作用點(diǎn)是與上述規(guī)定間隔部件的基體連接的輔助支持部件。
又，本發(fā)明的電子束裝置制造方法是在上述規(guī)定間隔部件上施加張力的工序中，通過(guò)隔片傳送單元施加張力。
又，本發(fā)明的電子束裝置制造方法是在上述規(guī)定間隔部件上施加張力的工序中，通過(guò)施加張力單元施加張力。
又，在本發(fā)明的電子束裝置制造方法中，上述規(guī)定間隔部件的基體具有絕緣性。
又，在本發(fā)明的電子束制造方法中，在上述規(guī)定間隔部件的表面上形成高電阻膜。
又，在本發(fā)明的電子束裝置制造方法中，上述高電阻膜的片電阻在107Ω/□以上、1014Ω/□以下。
又，在本發(fā)明的電子束裝置制造方法中，上述第1基板具有與上述多個(gè)電子射出元件電連接的多條配線，將上述規(guī)定間隔部件配置在上述配線上。


圖1A、1B、1C、1D和1E是作為本發(fā)明的第1實(shí)施形態(tài)的隔片的構(gòu)成和制造方法的模式圖。
圖2A、2B、2C、2D和2E是作為本發(fā)明的第2實(shí)施形態(tài)的隔片的構(gòu)成和制造方法的模式圖。
圖3A、3B、3C、3D和3E是作為本發(fā)明的第3實(shí)施形態(tài)的隔片的構(gòu)成和制造方法的模式圖。
圖4是表示用根據(jù)本發(fā)明的隔片的圖象顯示裝置的切去一部分顯示面板的斜視圖。
圖5是用根據(jù)本發(fā)明的隔片的圖象顯示裝置的多電子束源的平面圖。
圖6A和6B是表示用根據(jù)本發(fā)明的隔片的圖象顯示裝置的熒光屏的熒光體配列的截面圖。
圖7是沿圖4中的直線7-7的截面圖，是用根據(jù)本發(fā)明的隔片的圖象顯示裝置的顯示面板的截面圖。
圖8是表示已有圖象顯示裝置的切去一部分顯示面板的斜視圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明是用于將隔片組裝到基板上的容器或電子束裝置的制造方法。下面，我們說(shuō)明本發(fā)明的優(yōu)先樣態(tài)。
此外，用根據(jù)本發(fā)明的隔片的圖象顯示裝置的顯示面板，如圖4所示(詳細(xì)情形后述)，是具有通過(guò)隔片20使形成有多個(gè)冷陰極元件12的后板15和形成有作為發(fā)光材料的熒光膜18的熒光屏17對(duì)置的構(gòu)造的平面型顯示裝置。
圖1A～1E是作為本發(fā)明的第1實(shí)施形態(tài)的隔片的構(gòu)成和制造方法的模式圖，說(shuō)明了將隔片20組裝到后板15上的組裝工序。
(a)將隔片20設(shè)置在隔片傳送單元1中在上述隔片傳送單元1中，配置了隔片保持部分2、涂敷粘合劑用的分配器(圖中未畫(huà)出)、和熱風(fēng)干燥用的熱噴槍(圖中未畫(huà)出)。
在上述隔片保持部分2中，通過(guò)由基準(zhǔn)爪3和可動(dòng)爪4構(gòu)成，使可動(dòng)爪4移動(dòng)，使基準(zhǔn)爪3和可動(dòng)爪4的間隙開(kāi)閉，保持隔片20。又，當(dāng)保持上述隔片20時(shí)，為了防止上述隔片20的破損，使左右基準(zhǔn)爪3的隔片20的接合面平行并且離開(kāi)裝置原點(diǎn)的位置距離相等地進(jìn)行調(diào)整。
(b)在隔片20的長(zhǎng)方向施加張力上述隔片保持部分2具有一面固定，另一面可以沿圖中箭頭A的方向移動(dòng)，通過(guò)關(guān)閉上述基準(zhǔn)爪3和上述可動(dòng)爪4的間隙，保持上述隔片20后，用氣柱沿上述隔片20的長(zhǎng)方向按壓上述隔片保持部分2的一方，拉曳上述隔片20，使產(chǎn)生張力的構(gòu)造。
(c)使隔片20對(duì)準(zhǔn)后板15上的所要場(chǎng)所。
(d)使隔片20粘合在后板15上。
使用分配器，適量涂敷粘合劑5后，使用上述熱噴槍，用熱風(fēng)加熱上述粘合劑，使它硬化，使上述隔片20和上述后板15維持所定位置關(guān)系地進(jìn)行粘合，固定。由粘合劑5粘合的地方處于比施加張力的點(diǎn)靠?jī)?nèi)的一側(cè)。這里，因?yàn)樽罱K要將上述隔片20用于真空容器中，所以希望使用的粘合劑5是放氣很少的無(wú)機(jī)系列的粘合劑等。
(e)釋放到隔片的張力在上述粘合劑5的硬化結(jié)束后，解除上述隔片傳送單元1的上述氣柱的壓力，使上述隔片保持部分2的可動(dòng)爪4沿從隔片離開(kāi)的方向移動(dòng)，從上述隔片保持部分2放開(kāi)固定在上述后板15上的上述隔片20。
這樣，因?yàn)楦羝?0的張力作用點(diǎn)在此向后板15粘合的粘合點(diǎn)靠外的一側(cè)，由張力維持直線性不變，結(jié)束隔片20的到后板15的粘合，所以能夠得到需要的足夠的隔片20的組裝精度。如果隔片20的張力作用點(diǎn)在此向后板15粘合的粘合點(diǎn)靠?jī)?nèi)的一側(cè)，則因?yàn)樵趶膹埩ψ饔命c(diǎn)到粘合點(diǎn)的區(qū)域中，不能夠得到由張力產(chǎn)生的直線性的校正效果，所以不能夠得到需要的足夠的隔片20的組裝精度。
進(jìn)一步，因?yàn)楦羝?0的張力作用點(diǎn)處于到后板15的粘合點(diǎn)的外側(cè)，所以當(dāng)放開(kāi)張力時(shí)，在隔片20上施加加重的力，能夠消除對(duì)隔片20的影響。
下面我們說(shuō)明本發(fā)明的其它實(shí)施形態(tài)和效果。
圖2A～2E是作為本發(fā)明的第2實(shí)施形態(tài)的隔片的構(gòu)成和制造方法的模式圖，對(duì)于第1實(shí)施形態(tài)，改變了隔片20的構(gòu)成。用粘合劑將輔助支持部件6粘合在隔片20的兩端部。在本實(shí)施形態(tài)中，將張力給予輔助支持部件6和隔片20中的任何一方。
在本實(shí)施形態(tài)中，作為隔片20的形態(tài)，表示了也包含粘合輔助支持部件6的情形。
圖3A～3F是作為本發(fā)明的第3實(shí)施形態(tài)的隔片的構(gòu)成和制造方法的模式圖，對(duì)于第1實(shí)施形態(tài)，改變了隔片20的構(gòu)成和組裝工序的一部分。預(yù)先用粘合劑將輔助支持部件6粘合在隔片20的一方。
(a)將隔片20設(shè)置在隔片傳送單元1中在上述隔片傳送單元1中，配置了隔片保持部分2、涂敷粘合劑用的分配器(圖中未畫(huà)出)、和熱風(fēng)干燥用的熱噴槍(圖中未畫(huà)出)。在上述隔片保持部分2中，通過(guò)由基準(zhǔn)爪3和可動(dòng)爪4構(gòu)成，使可動(dòng)爪4移動(dòng)，使基準(zhǔn)爪3和可動(dòng)爪4的間隙開(kāi)閉，保持隔片20。又，當(dāng)保持上述隔片20時(shí)，為了防止上述隔片20的破損，使左右基準(zhǔn)爪3的隔片20的接合面平行并且離開(kāi)裝置原點(diǎn)的位置距離相等地進(jìn)行調(diào)整。在本工序中，隔片20的保持是通過(guò)保持隔片20或輔助支持部件6進(jìn)行的。
(b)使隔片20對(duì)準(zhǔn)后板15上的所要場(chǎng)所。
(c)使隔片20的一端粘合在后板15上。
使用分配器，適量涂敷粘合劑5后，使用上述熱噴槍，用熱風(fēng)加熱上述粘合劑5，使它硬化，使上述隔片20和上述后板15維持所定位置關(guān)系地進(jìn)行粘合，固定。由粘合劑5固定的地方是上述隔片20或上述輔助支持部件6。
(d)在隔片20的長(zhǎng)方向施加張力。
使用持有沿第1實(shí)施形態(tài)中用的圖中箭頭A的方向可動(dòng)的上述隔片保持部分2的張力施加單元7，拉曳上述隔片20的、不固定在后板15的一端從而產(chǎn)生張力。在本工序中，與第1實(shí)施形態(tài)相同，也可以是由隔片傳送單元1的隔片保持部分2給予張力的方式。
(e)使隔片20的另一端粘合在后板15上與上述相同，使上述隔片20和上述后板15維持所定位置關(guān)系地進(jìn)行粘合，固定。由粘合劑5粘合的地方處于比施加張力的點(diǎn)靠?jī)?nèi)的一側(cè)。
(f)放開(kāi)到隔片20的張力在上述粘合劑5的硬化結(jié)束后，解除上述張力施加單元7的上述氣柱的壓力，使上述隔片保持部分2的可動(dòng)爪4沿從隔片離開(kāi)的方向移動(dòng)，從上述隔片保持部分2放開(kāi)固定在上述后板15上的上述隔片20。
在本實(shí)施形態(tài)的情形中，在隔片傳送單元1中，因?yàn)椴恍枰┘訌埩Γ耘c第1實(shí)施形態(tài)比較結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。進(jìn)一步，張力施加單元7也使可動(dòng)區(qū)域成為只是后板15上的一部分，能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。
其次，我們通過(guò)具體的例示說(shuō)明應(yīng)用本發(fā)明的圖象顯示裝置的顯示面板的構(gòu)成和制造方法。
圖4是用隔片的圖象顯示裝置的顯示面板的斜視圖，是表示為了顯示內(nèi)部構(gòu)造切去一部分顯示面板的圖。
這是具有使形成多個(gè)冷陰極元件12的后板15和形成作為發(fā)光材料的熒光膜18的熒光屏17通過(guò)間隔20對(duì)置的構(gòu)造的平面型顯示裝置。由后板15、側(cè)壁16、熒光屏17形成用于維持顯示面板內(nèi)部真空的氣密容器。為了組裝氣密容器，需要用于使個(gè)部件的接合部保持足夠的強(qiáng)度和氣密性的密封粘合，但是例如可以將玻璃膠涂敷在接合部，在大氣中或氮?dú)庵?，?00～500℃中燒結(jié)10分鐘以上，達(dá)到密封粘合。關(guān)于將氣密容器內(nèi)部排氣到真空的方法在后面述說(shuō)。又，因?yàn)樯鲜鰵饷苋萜鞯膬?nèi)部保持10-6Torr程度的真空，為了防止由于大氣壓和不經(jīng)意的碰撞等引起氣密容器的破壞，設(shè)置隔片20作為耐大氣壓構(gòu)造體。
在后板15上固定基板11，但是在該基板11上形成N×M個(gè)冷陰極元件12。此外，N，M是2以上的正整數(shù)，適當(dāng)?shù)卦O(shè)定作為目的的顯示象素。例如，在以顯示高品質(zhì)電視為目的的顯示裝置中，希望設(shè)定N＝3,000，M＝1,000以上的數(shù)。上述N×M個(gè)冷陰極元件12由M條行方向配線13和N條列方向配線14形成單純的矩陣配線。我們將上述由11～14構(gòu)成的部分稱為多電子束源。
用于本發(fā)明的圖象顯示裝置的多電子束源，如果是對(duì)冷陰極元件進(jìn)行單純矩陣配線的電子源，則對(duì)冷陰極元件的材料和形狀或制法沒(méi)有限制。所以，例如，能夠用表面?zhèn)鲗?dǎo)型射出元件和FE型或MIM型等的冷陰極元件。
又，在熒光膜18的后板15一側(cè)的面上，設(shè)置在CRT領(lǐng)域中眾所周知的金屬背板19。
其次，我們述說(shuō)作為冷陰極元件在基板上配列表面?zhèn)鲗?dǎo)型射出元件形成單純矩陣配線的多電子束源的構(gòu)造。
圖5所示的是用于圖4的顯示面板的多電子束源的平面圖。在基板11上排列表面?zhèn)鲗?dǎo)型射出元件，這些元件由行方向配線電極13和列方向配線電極14而配置成單純矩陣狀。此外，這里標(biāo)號(hào)13、14表示電極。在行方向配線電極13和列方向配線電極14的交叉部分上，在電極間形成絕緣層(圖中未畫(huà)出)，保持電絕緣。
上述那樣構(gòu)造的多電子束源是通過(guò)預(yù)先在基板上形成行方向配線電極13、列方向配線電極14、電極間絕緣層(圖中未畫(huà)出)、以及表面?zhèn)鲗?dǎo)型射出元件的元件電極40和導(dǎo)電性薄膜41后，通過(guò)行方向配線電極13和列方向配線電極14向各元件供電，進(jìn)行通電電氣冶成處理和通電活性化處理制造的。在本實(shí)施形態(tài)中，具有將多電子束源的基板11固定在氣密容器的后板15上的構(gòu)成，但是在多電子束源的基板11具有足夠強(qiáng)度的情形中，也可以用多電子束源的基板11自身作為氣密容器的后板15。
圖6A和6B是設(shè)置在熒光屏上的熒光膜的說(shuō)明圖。
圖6A是概略圖，圖6B是放大圖。配置了由黑色導(dǎo)電體91包圍的R、G、B的熒光體92。
其次，我們通過(guò)具體的例示說(shuō)明隔片的構(gòu)成和制造方法。
圖7是沿圖4中的直線7-7的截面圖，各部分的標(biāo)號(hào)與圖4的對(duì)應(yīng)。在隔片20自體上形成為了提高防止帶電性的高電阻膜20b。隔片20只有為了達(dá)成上述目的所需的數(shù)目，并且以需要的間隔進(jìn)行配置。在這里說(shuō)明的形態(tài)中，隔片20的形狀是薄板狀，與行方向配線13平行地配置，并與行方向配線13電連接。
作為隔片20，希望它具有只要能夠耐住加在基板11上的行方向配線13和列方向配線14與熒光屏17內(nèi)面的金屬背板19之間的高電壓的絕緣性，并且具有能夠防止隔片20表面帶電的那種程度的導(dǎo)電性。這是因?yàn)楫?dāng)隔片20帶電時(shí)，將在隔片20近旁飛過(guò)的電子吸引到隔片20所以使隔片20近旁的顯示圖象發(fā)生彎曲。
作為隔片20的絕緣性部件20a，例如，可以舉出石英玻璃、減少Na等雜質(zhì)含量的玻璃、堿石灰玻璃、氧化Al等的陶瓷部件等。此外，最好絕緣性部件20a的熱膨脹系數(shù)與構(gòu)成氣密容器和基板11的部件接近。
在構(gòu)成隔片20的高電阻膜20b中，流過(guò)加在高電位一側(cè)的熒光屏17(金屬背板19等)上的加速電壓Va除以高電阻膜的電阻值Rs得到的電流。因此，將隔片20的電阻值Rs設(shè)定在從防止帶電和減少消耗功率出發(fā)所希望的范圍內(nèi)。從防止帶電的觀點(diǎn)來(lái)看，最好片電阻R/□在1014Ω/□以下。為了得到充分的防止帶電效果，更好是在1013Ω/□以下。片電阻的下限由隔片形狀和加在隔片間的電壓決定，但是最好在107Ω/□以上。
希望絕緣材料上形成的高電阻膜的厚度t在10nm～1μm的范圍內(nèi)。它隨著材料表面能量、與基板的粘合性和基板溫度的不同而不同，但是一般地10nm以下的薄膜形成島狀，電阻不穩(wěn)定缺少再現(xiàn)性。另一方面膜厚t在1μm以上膜應(yīng)力變大，膜剝落的危險(xiǎn)性增高，并且因?yàn)槌赡r(shí)間加長(zhǎng)使生產(chǎn)性惡化。從而，希望膜厚在50～500nm的范圍內(nèi)。
片電阻R/□是ρ/t，從以上所述的R/□和t的最佳范圍出發(fā)，最好高電阻膜的電阻率ρ在0.1～108Ωcm的范圍內(nèi)。進(jìn)一步為了實(shí)現(xiàn)表面電阻和膜厚的更好的范圍，ρ也可以在102～106Ωcm的范圍內(nèi)。
隔片20由于如上所述地電流流過(guò)在它上面形成的高電阻膜，或者由于顯示器全體在工作中發(fā)熱，使它的溫度上升。當(dāng)高電阻膜的電阻溫度系數(shù)是大的負(fù)值時(shí)并當(dāng)溫度上升時(shí)電阻值減少，流過(guò)隔片20的電流增加，進(jìn)一步使溫度上升。而且，電流繼續(xù)增加直到超過(guò)電源的界限。發(fā)生這種電流的突然增加的電阻溫度系數(shù)的值經(jīng)驗(yàn)上是負(fù)值，絕對(duì)值在1％以上。即，希望高電阻膜的電阻溫度系數(shù)不到-1％。
作為高電阻膜的材料，金屬氧化物是卓越的。在金屬氧化物中，鉻、鎳、銅的氧化物也是令人滿意的材料。我們認(rèn)為其理由是因?yàn)檫@些氧化物的二次電子射出效率比較小，即便從電子射出元件射出的電子擊中隔片時(shí)也難以帶電。除了金屬氧化物以外碳也是二次電子射出效率小的令人滿意的材料。特別是，非晶質(zhì)碳因?yàn)榫哂懈唠娮?，所以容易將隔片電阻控制在所要的值上?br> 但是，因?yàn)樯鲜鼋饘傺趸锘蛘咛茧y以將它們的電阻值調(diào)整到作為高電阻膜所希望的電阻率范圍內(nèi)，并且電阻容易因周圍的氣氛而變化，所以只用這些材料缺乏電阻的控制性。氧化Al和過(guò)渡金屬合金的氮化物，通過(guò)調(diào)整過(guò)渡金屬的組成，能夠?qū)㈦娮柚悼刂圃趶牧紝?dǎo)體到絕緣體的廣大范圍內(nèi)。進(jìn)一步在后述的顯示裝置制作工序中是電阻值變化少的穩(wěn)定的材料。并且，它的電阻溫度系數(shù)不到-1％，是實(shí)用上容易使用的材料。作為過(guò)渡金屬元素可以舉出Ti、Cr、Ta等。
但是，合金氮化膜是用濺射、氮?dú)庵械姆磻?yīng)性濺射、電子束蒸涂、離子涂敷，離子加速器蒸涂法等的薄膜形成方法在絕緣性部件上形成的。能夠用與金屬氧化物同樣的薄膜形成法進(jìn)行制作，但是這時(shí)，代替氮?dú)馐褂醚鯕?。其它，也用CVD法、烷氧化物涂敷法形成金屬氧化膜。用蒸涂法、濺射法、CVD法、等離子CVD法制作碳膜，特別是當(dāng)制作非晶質(zhì)碳時(shí)，在成膜的氣氛中包含氫氣，或在成膜氣體中使用碳?xì)浠衔餁怏w。
以上，我們說(shuō)明了平面型顯示裝置中的隔片的構(gòu)成，但是不限于此，也可以用作其它用途中的構(gòu)成。
下面，我們進(jìn)一步說(shuō)明用顯示面板的圖象顯示裝置。
Dx1～Dxm、Dy1～Dyn和Hv是為了電連接該顯示面板和圖中未畫(huà)出的電路而設(shè)置的氣密構(gòu)造的電連接用端子。Dx1～Dxm與多電子束源的行方向配線13電連接，Dy1～Dyn與多電子束源的列方向配線14電連接，Hv與熒光屏17的金屬背板19電連接。
又，為了將氣密容器內(nèi)部排氣成真空，在組裝氣密容器后，與圖中未畫(huà)出的排氣管和真空泵連接，使氣密容器內(nèi)排氣到約10-7[Torr]的真空度。此后，封住排氣管，但是為了維持氣密容器內(nèi)的真空度，就在封住前或封住后在氣密容器內(nèi)的所定位置上形成消氣劑膜(圖中未畫(huà)出)。消氣劑膜是通過(guò)用加熱器或高頻加熱，加熱例如以Ba為主要成分的消氣劑材料，蒸發(fā)形成的膜，由于該消氣劑膜的吸附作用使氣密容器內(nèi)維持在1×10-5到1×10-7Torr的真空度。
通過(guò)容器外端子Dx1～Dxm、Dy1～Dyn將電壓加在各冷陰極元件12上，從各冷陰極元件12射出電子。與此同時(shí)通過(guò)容器外端子Hv在金屬背板19上施加數(shù)百V～數(shù)kV的高壓，加速上述射出出來(lái)的電子，使它們與熒光屏17的內(nèi)表面碰撞。因此，激勵(lì)形成熒光膜18的各色熒光體進(jìn)行發(fā)光，顯示出圖象。
通常，加到作為冷陰極元件的本發(fā)明的表面?zhèn)鲗?dǎo)型射出元件12上的電壓約為12～16V，金屬背板19與冷陰極元件12的距離d約為0.1mm到8mm，金屬背板19與冷陰極元件12之間的電壓約為0.1kV到10kV。
以上，我們說(shuō)明了本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)中的顯示面板的基本構(gòu)成和制造方法以及圖象顯示裝置的概要。
下面，我們舉出實(shí)施例進(jìn)一步詳細(xì)地述說(shuō)本發(fā)明。
在下面述說(shuō)的各實(shí)施例中，作為多電子束源，用在上述的電極間的導(dǎo)電性微粒膜上具有電子射出單元類型的N×M個(gè)(N＝720，M＝240)的表面?zhèn)鲗?dǎo)型射出元件，由M條行方向配線和N條列方向配線形成矩陣配線的多電子束源。
在本實(shí)施例中，制作與第1實(shí)施形態(tài)對(duì)應(yīng)的顯示面板。
作為隔片的絕緣性部件20a，用與長(zhǎng)200mm、寬5mm、厚0.2mm的后板15相同材質(zhì)的玻璃。作為高電阻膜，用濺射裝置在氬與氮的混合氣體中同時(shí)濺射W和Ge靶，層積厚200nm的W和Ge的氮化膜。制成的W和Ge的氮化膜的電阻率為5.0×105Ωm。其次，在隔片20的后板15與熒光屏17的接合面上形成低電阻膜(電極)。
這里，低電阻膜是為了使高電阻膜20b與高電位一側(cè)的熒光屏17(金屬背板19等)和低電位一側(cè)的基板11(配線13、14等)電連接的膜。
低電阻膜20c最好選擇具有比高電阻膜20b充分低的電阻值的材料，可以適當(dāng)?shù)貜腘i、Cr、Au、Mo、W、Pt、Ti、Al、Cu、Pd等的金屬或合金、和Pd、Ag、Au、RuO2、Pd-Ag等的金屬和金屬氧化物和玻璃等構(gòu)成的印刷導(dǎo)體或者In2O3-SnO2等的透明導(dǎo)體和多晶硅等的半導(dǎo)體材料等進(jìn)行選擇。隔片與x方向配線和熒光屏17上的金屬背板19連接。
關(guān)于本實(shí)施例中的顯示面板的制作，因?yàn)榕c上述圖4相同，所以省略對(duì)它的詳細(xì)說(shuō)明。此外，用在上述圖1A～1E中說(shuō)明的方法將隔片20等間隔地與行方向配線13平行地固定在基板11的行方向配線13(線寬300μm)上。這里，使給予隔片20的張力為2.8±0.3N，結(jié)果，隔片20的組裝精度為±20μm。此后，在基板11的5mm上方，通過(guò)側(cè)壁16在內(nèi)面配置附設(shè)了熒光膜18和金屬背板19的熒光屏17，固定后板15、熒光屏17和側(cè)壁16的各接合部。
在用如以上那樣地完成的，圖4所示的顯示面板的圖象顯示裝置中，在各冷陰極元件(表面?zhèn)鲗?dǎo)型射出元件)12上，通過(guò)容器外端子Dx1～dxm、Dy1～dyn，由圖中未畫(huà)出的信號(hào)發(fā)生裝置分別施加掃描信號(hào)和調(diào)制信號(hào)，使它射出電子，在金屬背板19上，通過(guò)高壓端子Hv施加高壓，對(duì)射出電子束進(jìn)行加速，使電子與熒光膜18碰撞，激勵(lì)各熒光體92(圖6A、6B的R、G、B)并使它們發(fā)光，顯示出圖象。此外，加到高壓端子Hv上的電壓Va為3～10kV，加到各配線13、14之間的電壓Vf為14V。
這時(shí)，也包含由從處于隔片20附近位置的冷陰極元件12射出的電子產(chǎn)生的發(fā)光點(diǎn)，形成二維狀等間隔的發(fā)光點(diǎn)列，能夠進(jìn)行鮮明的色再現(xiàn)性好的彩色圖象顯示。
在本實(shí)施例中，形成與上述實(shí)施例1相同構(gòu)成的顯示裝置。這時(shí)，隔片20在兩端部具有輔助支持部件6，用上述圖2A～2E說(shuō)明的方法，將隔片20設(shè)置在后板15上。除此以外都與實(shí)施例1相同。在本實(shí)施例中，也與第1實(shí)施例相同，也包含由從處于隔片20附近位置的冷陰極元件12射出的電子產(chǎn)生的發(fā)光點(diǎn)，形成2維狀等間隔的發(fā)光點(diǎn)列，能夠進(jìn)行鮮明的色再現(xiàn)性好的彩色圖象顯示。
在本實(shí)施例中，形成與上述實(shí)施例1相同構(gòu)成的顯示裝置。這時(shí)，隔片20在兩端部具有輔助支持部件6，用上述圖3A～3F說(shuō)明的方法，將隔片20設(shè)置在后板15上。除此以外都與實(shí)施例1相同。在本實(shí)施例中，也與第1實(shí)施例相同，也包含由從處于隔片20附近位置的冷陰極元件12射出的電子產(chǎn)生的發(fā)光點(diǎn)，形成2維狀等間隔的發(fā)光點(diǎn)列，能夠進(jìn)行鮮明的色再現(xiàn)性好的彩色圖象顯示。
如以上說(shuō)明的那樣，本發(fā)明，因?yàn)槟軌蚴垢羝脑O(shè)置變得容易，防止隔片配置的偏離，提高組裝精度，所以可以低成本地制造圖象顯示裝置的容器或電子束裝置。而且，在用由本發(fā)明的方法制造的容器或電子束裝置的圖象顯示裝置中，能夠得到良好的顯示圖象。
權(quán)利要求
1.一種容器制造方法，該容器具有第1基板、與上述第1基板相對(duì)配置的第2基板、以及配置在上述第1基板與上述第2基板之間的大致板狀的規(guī)定間隔部件，其特征是具有在上述規(guī)定間隔部件上施加張力的工序、將施加了張力的上述規(guī)定間隔部件固定在上述第1基板上的工序、和從固定在上述第1基板上的上述規(guī)定間隔部件釋放張力的工序，在將上述規(guī)定間隔部件固定在上述第1基板上的上述工序中，該固定點(diǎn)的位置處于比張力作用點(diǎn)靠?jī)?nèi)的一側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1中記載的容器制造方法，其特征是在上述規(guī)定間隔部件上施加張力的工序中，張力作用點(diǎn)是上述規(guī)定間隔部件的基體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1中記載的容器制造方法，其特征是在上述規(guī)定間隔部件上施加張力的工序中，張力作用點(diǎn)是與上述規(guī)定間隔部件的基體連接的輔助支持部件。
4.一種電子束裝置的制造方法，該電子束裝置備有在表面上具有多個(gè)電子射出元件的第1基板、與上述第1基板相對(duì)配置并設(shè)置有控制從上述電子射出元件射出的電子的電極的第2基板、配置在上述第1基板與上述第2基板之間的大致板狀的規(guī)定間隔部件，其特征是具有在上述規(guī)定間隔部件上施加張力的工序、將施加了張力的上述規(guī)定間隔部件固定在上述第1基板上的工序、和從固定在上述第1基板上的上述規(guī)定間隔部件釋放張力的工序，在將上述規(guī)定間隔部件固定在上述第1基板上的上述工序中，該固定點(diǎn)的位置處于比張力作用點(diǎn)靠?jī)?nèi)的一側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4中記載的電子束裝置制造方法，其特征是在上述規(guī)定間隔部件上施加張力的工序中，張力作用點(diǎn)是上述規(guī)定間隔部件的基體。
6.根據(jù)權(quán)利要求4中記載的電子束裝置制造方法，其特征是在上述規(guī)定間隔部件上施加張力的工序中，張力作用點(diǎn)是與上述規(guī)定間隔部件的基體連接的輔助支持部件。
7.根據(jù)權(quán)利要求4中記載的電子束裝置制造方法，其特征是在上述規(guī)定間隔部件上施加張力的工序中，通過(guò)隔片傳送單元施加張力。
8.根據(jù)權(quán)利要求4中記載的電子束裝置制造方法，其特征是在上述規(guī)定間隔部件上施加張力的工序中，通過(guò)施加張力單元施加張力。
9.根據(jù)權(quán)利要求4中記載的電子束裝置制造方法，其特征是上述規(guī)定間隔部件的基體具有絕緣性。
10.根據(jù)權(quán)利要求4中記載的電子束裝置制造方法，其特征是在上述規(guī)定間隔部件的表面上形成高電阻膜。
11.根據(jù)權(quán)利要求10中記載的電子束裝置制造方法，其特征是上述高電阻膜的片電阻在107Ω/□以上、1014Ω/□以下。
12.根據(jù)權(quán)利要求4中記載的電子束裝置制造方法，其特征是上述第1基板具有與上述多個(gè)電子射出元件電連接的多條配線，將上述規(guī)定間隔部件配置在上述配線上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種容器及電子束裝置的制造方法。當(dāng)一面作用張力保持直線性，一面將規(guī)定構(gòu)成容器的基板之間的間隔的隔片粘在該基板上時(shí)，使該粘合點(diǎn)的位置處于作用張力的點(diǎn)之間的內(nèi)側(cè)地進(jìn)行設(shè)定。因此，在解除張力后，也不會(huì)破壞直線性，從而能夠防止隔片配置的偏離，維持高的組裝精度。
文檔編號(hào)H01J29/87GK1499563SQ20031010443
公開(kāi)日2004年5月26日 申請(qǐng)日期2003年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2002年10月30日
發(fā)明者羽山彰 申請(qǐng)人:佳能株式會(huì)社