專利名稱：位于等離子顯示器面板基底上的電極結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種適用于等離子顯示器面板(PDP)的電極結(jié)構(gòu)，特別是涉及一種等離子顯示器面板(PDP)的基板上的電極結(jié)構(gòu)及其制作方法。
背景技術(shù)：
等離子顯示器(PDP)的基板的電極結(jié)構(gòu)是以公知的顯微光刻步驟形成。首先，在基板上的電極材料層上覆蓋一光致抗蝕劑層。根據(jù)顯影工序，直接將電磁輻射束透過(guò)圖形化光掩模輻照于光致抗蝕劑層上，以將光掩模上的圖形移轉(zhuǎn)至光致抗蝕劑層上。接著，以顯影劑移除為輻照的部分，留下圖形化的光致抗蝕劑層覆于電極材料層上。
以圖形化的光致抗蝕劑層為掩模，選擇性地蝕刻電極材料層，以形成圖形化電極于等離子顯示器(PDP)的基板上。上述電極包括一延伸的輔助電極線導(dǎo)體交截多個(gè)相間隔地電極墊。
接著，將基板上的圖形化電極施以燒結(jié)工序，隨著溫度升高，有機(jī)的化合物會(huì)先被驅(qū)離。然后，于高溫下，顆粒形電極材料燒結(jié)而形成固相的電極材料。致使電極于施加電壓的條件下具良好的導(dǎo)電性、耐久性及電性。
圖4例舉一范例，說(shuō)明一圖形化電極具有輔助電極線導(dǎo)體交截電極墊。輔助電極線導(dǎo)體具有窄的寬度，或窄的尺寸。電極墊具有寬的寬度，或?qū)挼某叽?，因電極墊需相對(duì)大的面積以形成對(duì)應(yīng)六邊形像素電極的電連接。如圖4所示，像素電極覆蓋且契合相對(duì)應(yīng)的電極墊。
圖5顯示電極圖形的斷裂，此斷裂可出現(xiàn)于電極圖形顯影過(guò)程中，或出現(xiàn)于電極圖形燒結(jié)過(guò)程中。
上述斷裂起因于顯影電極圖形時(shí)，該電極于相對(duì)應(yīng)的窄的輔助電極線導(dǎo)體與寬的電極墊的交截處，具有突然的寬度變化。當(dāng)進(jìn)行光掩模圖形曝光后，在顯影過(guò)程中，流動(dòng)性的顯影液沿電極的長(zhǎng)軸方向流動(dòng)。由于電極圖形缺乏流線形輪廓，流動(dòng)性的顯影液橫向側(cè)切侵入圖形化掩模。當(dāng)橫向側(cè)切的圖形化掩模移轉(zhuǎn)至電極層時(shí)，電極結(jié)構(gòu)也會(huì)變?nèi)跚乙装l(fā)生斷裂。在高溫?zé)Y(jié)的過(guò)程時(shí)，電極斷裂的發(fā)生是由于，在降溫的過(guò)程中寬的電極墊收縮量大于窄的輔助電極線導(dǎo)體的收縮量。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種電極結(jié)構(gòu)，以避免等離子顯示器面板的電極發(fā)生斷裂。
根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式，電極的輪廓制作成流線形或曲線形，以避免流動(dòng)顯影液橫向側(cè)切侵入圖形化掩模，造成電極斷裂。
根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式，電極的線寬制作成由窄變寬遞增，以避免在燒結(jié)的過(guò)程中，電極發(fā)生斷裂。
根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式，位于輔助電極線導(dǎo)體與電極墊的交截處，電極的線寬大于輔助電極線導(dǎo)體的線寬而小于電極墊的較寬部分的寬度。
以下結(jié)合附圖以及較佳實(shí)施例，以更詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明。


圖1是顯示公知圖形化電極于等離子顯示器基板上的俯視圖；圖2是顯示六邊形像素電極的俯視圖，該像素電極相似于圖1所揭示的電極；圖3是顯示矩形像素電極的俯視圖，該像素電極相似于圖1所揭示的電極；圖4是顯示六邊形像素電極連接相對(duì)應(yīng)的輔助電極線的俯視圖，該像素電極相似于圖1所揭示的電極；圖5顯示電極圖形內(nèi)的斷裂；以及圖6-12分別顯示本發(fā)明的較佳實(shí)施方式圖形化電極的俯視圖。
附圖符號(hào)說(shuō)明100～電極；100a～電極的一端；100b～電極的另一端；102～電極墊；104～輔助電極線導(dǎo)體；106～像素電極；108～斷裂；110～交截處；112～電極墊的最寬段；114～電極墊的較寬段。
具體實(shí)施例方式
圖1是顯示多重圖形化電極100用于一等離子顯示器組件。各個(gè)電極100具有一個(gè)或多個(gè)擴(kuò)大的電極墊102。相對(duì)應(yīng)電極100的各個(gè)電極墊102連接電極100的一輔助電極線導(dǎo)體104。圖2-5揭示各型態(tài)的圖形化電極100相似于圖1所揭示的圖形化電極。
圖4是顯示公知的電極100圖形范例，具有輔助電極線導(dǎo)體104連接至電極墊102。該輔助電極線導(dǎo)體104具有窄的寬度，或窄的尺寸。電極墊102具有寬的寬度，或?qū)挼某叽?，因電極墊102需相對(duì)大的面積以形成對(duì)應(yīng)六邊形像素電極106的電連接，如圖4所示。像素電極106覆蓋且契合相對(duì)應(yīng)的電極墊102。
圖5是顯示電極圖形的斷裂108，此斷裂108可出現(xiàn)于電極圖形顯影過(guò)程中，或出現(xiàn)于電極圖形燒結(jié)過(guò)程中。上述斷裂108包括，但不限定于，電極圖形的裂縫或破斷。該斷裂108最常發(fā)生于相對(duì)應(yīng)的窄的輔助電極線導(dǎo)體104與寬的電極墊102的交截處。
上述斷裂108是起因于，例如顯影電極圖形100時(shí)，在相對(duì)應(yīng)的窄的輔助電極線導(dǎo)體104與寬的電極墊102的交截處110，具有突然的寬度變化。于圖1-5中所示的實(shí)施例中，窄的輔助電極線導(dǎo)體104直接交截電極墊102的最寬段112。因此，斷裂108形成于，例如在進(jìn)行光掩模圖形曝光后，在顯影過(guò)程中，流動(dòng)性的顯影液沿電極100的長(zhǎng)軸方向流動(dòng)，流動(dòng)性的顯影液橫向側(cè)切侵入圖形化電極。甚至，斷裂108的發(fā)生是由于，例如在高溫?zé)Y(jié)的降溫的過(guò)程中，寬的電極墊102收縮量大于窄的輔助電極線導(dǎo)體104的收縮量。
圖6-12揭示本發(fā)明的一實(shí)施方式的電極100于等離子顯示器組件的基板上。各個(gè)電極100的長(zhǎng)度是沿電極100的一端100a延伸至電極100的另一端100b。各個(gè)電極100的寬度是量測(cè)橫向于電極100的長(zhǎng)度。各個(gè)電極100包括窄線寬的輔助電極線導(dǎo)體104，交截具有寬線寬的電極墊102于各個(gè)交截處110。根據(jù)本發(fā)明，交截處110的定義為電極100的線寬開(kāi)始變寬的位置，以及由此變成電極墊102的線寬，連接窄線寬的輔助電極線導(dǎo)體104。
本發(fā)明避免輔助電極線導(dǎo)體104與具有寬線寬的電極墊102交截于電極墊102的最寬段112處。因而，交截處110的線寬小于電極墊102的最寬段112的線寬。
位于各個(gè)電極墊102的交截處110具有一相對(duì)應(yīng)的輔助電極線導(dǎo)體104，電極墊102的線寬大于輔助電極線導(dǎo)體104的線寬，而基本上小于電極墊102的較寬段114的線寬。電極墊102于交截處110的線寬小于，也即該處的線寬特意地的變窄，電極墊102的較寬段114的線寬。具有上述特征的電極墊102能避免造成電極100內(nèi)發(fā)生斷裂108。根據(jù)本發(fā)明的一較佳實(shí)施方式，電極墊102的較寬段114是位于交截處110與電極墊102的最寬段112之間。
圖6、9及11各顯示本發(fā)明的較佳實(shí)施方式，其中電極100的一部分具有一突增的線寬，位于交截處110與電極墊102的較寬段114之間。具有上述特征的電極墊102能避免造成電極100內(nèi)發(fā)生斷裂108。根據(jù)公知技術(shù)，電極100，從交截處110至電極墊102的最寬斷112處，具有突增線寬的部分，必定無(wú)法避免造成電極100內(nèi)發(fā)生斷裂108。
根據(jù)本發(fā)明的較佳實(shí)施方式，電極100的線寬由窄至寬逐漸改變，在燒結(jié)過(guò)程中，能避免造成電極100內(nèi)發(fā)生斷裂108。圖6-12各顯示本發(fā)明的較佳實(shí)施方式，其中電極墊102的較寬段114的特征為具有漸增的線寬，以更進(jìn)一步地避免電極100內(nèi)發(fā)生斷裂108。
根據(jù)本發(fā)明的較佳實(shí)施方式，電極的輪廓是由顯影工序中形成流線形或曲線形，以避免流動(dòng)性的顯影液橫向側(cè)切侵蝕輪廓中的銳角處，進(jìn)而避免造成電極100內(nèi)發(fā)生斷裂108。流線形或曲線形輪廓沿電極100的線寬由窄至寬延伸。更進(jìn)一步地說(shuō)，根據(jù)圖11及12所公開(kāi)的較佳實(shí)施方式，最大寬度段位于具曲線形輪廓的電極墊102。
圖6-12各顯示本發(fā)明的較佳實(shí)施方式，其中電極墊102具有一最大寬度段。根據(jù)圖6及7，最大寬度段是位于電極墊102的變尖的輪廓處。輪廓是關(guān)于外圍的棱邊以及其形狀或外觀的特征。
再者，根據(jù)圖8、9及10所公開(kāi)的較佳實(shí)施方式，最大寬度段是位于電極墊102的直邊的輪廓處。
再者，根據(jù)圖10、11及12所公開(kāi)的較佳實(shí)施方式，電極100位于交截處100與電極墊102的較寬段114之間的部分具有一第一斜邊輪廓。電極墊102的較寬段114的部分具有一第二斜邊輪廓。
根據(jù)圖7-12各顯示本發(fā)明的較佳實(shí)施方式，電極100位于交截處100與電極墊102的最寬段112之間的部分具有一斜邊輪廓。在圖7、8及10中，所公開(kāi)的輪廓為直的斜邊輪廓。而圖12中，所公開(kāi)的輪廓為凹曲線形的斜邊輪廓。
根據(jù)圖11及12所公開(kāi)的本發(fā)明的較佳實(shí)施方式，其中該輪廓為流線形或曲線形輪廓。
本發(fā)明的特征與效果在于通過(guò)改變電極的輪廓，避免輔助電極線導(dǎo)體與寬的電極墊交截于電極墊的最寬段處，或制作成流線形或曲線形，以避免在顯影工序中，流動(dòng)性的顯影液橫向側(cè)切侵入圖形化掩模，造成電極斷裂。
此外，將電極的線寬制作成由窄變寬遞增，能避免在燒結(jié)的過(guò)程中，電極收縮而發(fā)生斷裂。
雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例公開(kāi)如上，然而其并非用以限定本發(fā)明，任何本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)然可作更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求書(shū)范圍所界定的為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種位于等離子顯示器面板基底上的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于多個(gè)電極具有相對(duì)寬的電極墊；各個(gè)寬的電極墊由一相對(duì)窄的輔助電極線導(dǎo)體對(duì)應(yīng)交截；以及在各個(gè)寬的電極墊與輔助電極線導(dǎo)體對(duì)應(yīng)交截處，該寬的電極墊的線寬大于該輔助電極線導(dǎo)體的線寬且基本上小于該寬的電極墊的較寬段的線寬。
2.如權(quán)利要求1所述的位于等離子顯示器面板基底上的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于該寬的電極墊的較寬段具有逐漸增加的寬度。
3.如權(quán)利要求1所述的位于等離子顯示器面板基底上的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于該寬的電極墊的較寬段具有逐漸增加的寬度；以及該寬的電極墊具有一最大寬度段。
4.如權(quán)利要求1所述的位于等離子顯示器面板基底上的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于該電極位于交截處與該寬的電極墊的較寬段之間的一部分，具有曲線形的輪廓。
5.如權(quán)利要求1所述的位于等離子顯示器面板基底上的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于該電極位于交截處與該寬的電極墊的較寬段之間的一部分，具有斜邊的輪廓。
6.如權(quán)利要求1所述的位于等離子顯示器面板基底上的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于該電極位于交截處與該寬的電極墊的較寬段之間的一部分，具有直斜邊的輪廓。
7.如權(quán)利要求1所述的位于等離子顯示器面板基底上的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于該電極位于交截處與該寬的電極墊的較寬段之間的一部分，具有漸增的寬度。
8.如權(quán)利要求1所述的位于等離子顯示器面板基底上的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于該電極位于交截處與該寬的電極墊的較寬段之間的一部分，具有突然增加的寬度。
9.如權(quán)利要求1所述的位于等離子顯示器面板基底上的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于該電極位于交截處與該寬的電極墊的較寬段之間的一部分，具有一第一斜邊輪廓；以及該寬的電極墊的較寬段具有一第二斜邊輪廓。
10.如權(quán)利要求1所述的位于等離子顯示器面板基底上的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于該寬的電極墊具有一最大寬度段沿著一變尖的輪廓。
全文摘要
本發(fā)明提供一種位于等離子顯示器面板基底上的電極結(jié)構(gòu)。包括一具有相對(duì)寬的電極墊的電極，各個(gè)寬的電極墊由一相對(duì)窄的輔助電極線導(dǎo)體對(duì)應(yīng)交截。在各個(gè)寬的電極墊與輔助電極線導(dǎo)體對(duì)應(yīng)交截處，寬的電極墊的線寬大于輔助電極線導(dǎo)體的線寬且基本上小于寬的電極墊的較寬段的線寬。將電極的線寬制作成由窄變寬遞增，能避免在燒結(jié)的過(guò)程中，電極收縮而發(fā)生斷裂。
文檔編號(hào)H01J17/04GK1556542SQ20041006961
公開(kāi)日2004年12月22日 申請(qǐng)日期2004年7月15日 優(yōu)先權(quán)日2004年1月5日
發(fā)明者吳逸人, 宋文發(fā) 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司