專利名稱：場發(fā)射式平面燈源及其制造方法與陰極板及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是涉及一種平面燈源及其陰極與陰極的制造方法，且特別是涉及一種場發(fā)射式平面燈源(field emission flat lamp)及其制造方法以及一種陰極板及其制造方法。
背景技術(shù)：
場發(fā)射顯示器發(fā)光原理，是在真空環(huán)境下利用電場將材料尖端的電子吸引出，而離開陰極板的場發(fā)射電子受陽極上正電壓的加速吸引，撞擊至陽極的熒光粉而發(fā)光(Luminescence)。陰極板是作為場電子發(fā)射源，而陽極板作為發(fā)光源，由陰極板射出的電子撞擊陽極板上的熒光層而發(fā)光。當(dāng)使用場發(fā)射顯示器作為其它元件的背光光源時(shí)，其與冷陰極射線燈管(Cold Cathode Fluorescent Lamp，CCFL)或發(fā)光二極管(Light Emitting Diode，LED)相比來說，是發(fā)光較為均勻的平面發(fā)光元件。
圖1為一種公知場發(fā)射式平面燈源的剖面示意圖，而圖2為對應(yīng)圖1中區(qū)域S10的實(shí)際照片。請參照圖1，公知場發(fā)射式平面燈源100主要是由陰極板110與陽極板120所構(gòu)成。其中，陰極板110上有多條柵極結(jié)構(gòu)112與多條陰極結(jié)構(gòu)114平行交錯(cuò)排列，而發(fā)射層116則是以網(wǎng)版印刷(screen printing)方式形成于陰極結(jié)構(gòu)114上。
但是，網(wǎng)版印刷的發(fā)射層116無法準(zhǔn)直地以固定線寬形成于陰極結(jié)構(gòu)114上，而會(huì)是如圖2的照片般線寬不規(guī)則變化，且不易準(zhǔn)確置于陰極結(jié)構(gòu)114中央。換言之，相鄰兩條陰極結(jié)構(gòu)114上的發(fā)射層116之間的距離并不固定。如此一來，將造成場發(fā)射式平面燈源100在發(fā)光時(shí)的場發(fā)射電場分布不均勻，也就使得場發(fā)射式平面燈源100的發(fā)光均勻性不佳。
由于目前顯示器對于光源均勻性的要求標(biāo)準(zhǔn)極高，因此公知場發(fā)射式平面燈源若要作為顯示器的光源，則仍然需要使用擴(kuò)散膜來加強(qiáng)發(fā)光的均勻性。但是，這卻會(huì)造成顯示器組裝上的復(fù)雜度增加，并連帶使得原料及組裝成本提高，而不利于市場大量應(yīng)用。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是在提供一種陰極板，其具有發(fā)射層對位準(zhǔn)確的優(yōu)點(diǎn)。
本發(fā)明的再一目的是提供一種場發(fā)射式平面燈源，其具有發(fā)光均勻的優(yōu)點(diǎn)。
本發(fā)明的另一目的是提供一種陰極板的制造方法，可解決發(fā)射層對位不準(zhǔn)確而使發(fā)光均勻性不佳的問題。
本發(fā)明的又一目的是提供一種場發(fā)射式平面燈源的制造方法，可解決發(fā)射層對位不準(zhǔn)確而使發(fā)光均勻性不佳的問題。
本發(fā)明提出一種陰極板，其包括基板、多個(gè)陰極結(jié)構(gòu)、多個(gè)柵極結(jié)構(gòu)以及發(fā)射層。陰極結(jié)構(gòu)與柵極結(jié)構(gòu)設(shè)置于基板上且為條狀結(jié)構(gòu)。柵極結(jié)構(gòu)與陰極結(jié)構(gòu)彼此平行交錯(cuò)排列。各陰極結(jié)構(gòu)具有至少一個(gè)凹槽，而發(fā)射層設(shè)置于凹槽內(nèi)。
本發(fā)明另提出一種場發(fā)射式平面燈源，其包括陰極板、陽極板以及密封件。陰極板包括第一基板、多個(gè)陰極結(jié)構(gòu)、多個(gè)柵極結(jié)構(gòu)以及發(fā)射層。陰極結(jié)構(gòu)與柵極結(jié)構(gòu)設(shè)置于第一基板上且為條狀結(jié)構(gòu)。柵極結(jié)構(gòu)與陰極結(jié)構(gòu)彼此平行交錯(cuò)排列。各陰極結(jié)構(gòu)具有至少一個(gè)凹槽，而發(fā)射層設(shè)置于凹槽內(nèi)。密封件設(shè)置于陽極板與陰極板之間，并密封陽極板與陰極板。
在上述場發(fā)射式平面燈源與陰極板的一實(shí)施例中，凹槽暴露(第一)基板，而發(fā)射層接觸基板。
在上述場發(fā)射式平面燈源與陰極板的一實(shí)施例中，凹槽是呈條狀，并與陰極結(jié)構(gòu)平行排列。
在上述場發(fā)射式平面燈源與陰極板的一實(shí)施例中，各陰極結(jié)構(gòu)具有多個(gè)凹槽，凹槽是呈點(diǎn)狀。此外，凹槽例如是沿陰極結(jié)構(gòu)的延伸方向排列成排。另外，凹槽的俯視形狀可為圓形、半圓形、半橢圓形或橢圓形?；蛘?，凹槽的俯視形狀可為多邊形，例如矩形、三角形或四邊形。
在上述場發(fā)射式平面燈源的一實(shí)施例中，陽極板包括第二基板、陽極層以及熒光層。陽極層設(shè)置于第二基板面對陰極板的表面上，而熒光層設(shè)置于陽極層上。
本發(fā)明還提出一種陰極板的制造方法，其包括提供基板；在基板上形成多個(gè)陰極結(jié)構(gòu)與多個(gè)柵極結(jié)構(gòu)，其中陰極結(jié)構(gòu)與柵極結(jié)構(gòu)為條狀結(jié)構(gòu)，且陰極結(jié)構(gòu)與柵極結(jié)構(gòu)彼此平行交錯(cuò)排列，而各陰極結(jié)構(gòu)具有至少一個(gè)凹槽；以及在凹槽內(nèi)形成發(fā)射層。
本發(fā)明又提出一種場發(fā)射式平面燈源的制造方法，其包括提供陰極板，此陰極板的制造方法與上述相同；提供陽極板；以及使用密封件密封陽極板與陰極板，并使陰極結(jié)構(gòu)、柵極結(jié)構(gòu)與發(fā)射層位于陽極板與陰極板之間。
在上述場發(fā)射式平面燈源與陰極板的制造方法的一實(shí)施例中，形成陰極結(jié)構(gòu)與柵極結(jié)構(gòu)的方法包括網(wǎng)版印刷?；蛘?，形成陰極結(jié)構(gòu)與柵極結(jié)構(gòu)的方法也可以是進(jìn)行薄膜沉積工藝與光刻蝕刻工藝。
在上述場發(fā)射式平面燈源與陰極板的制造方法的一實(shí)施例中，形成發(fā)射層的方法包括填充發(fā)射層材料于陰極結(jié)構(gòu)上；以及移除凹槽外的發(fā)射層材料以形成發(fā)射層。此外，填充發(fā)射層材料的方法例如是網(wǎng)版印刷。另外，在移除凹槽外的發(fā)射層材料的同時(shí)，可還包括活化發(fā)射層材料。
在上述場發(fā)射式平面燈源與陰極板的制造方法的一實(shí)施例中，形成發(fā)射層的方法包括設(shè)置催化劑于凹槽內(nèi)；以及通過催化劑在凹槽內(nèi)形成發(fā)射層。
綜上所述，在本發(fā)明之場發(fā)射式平面燈源及其制造方法以及本發(fā)明之陰極板及其制造方法中，由于陰極結(jié)構(gòu)上具有凹槽，因此可將發(fā)射層準(zhǔn)確定位于陰極結(jié)構(gòu)的凹槽內(nèi)，以提高場發(fā)射式平面燈源的發(fā)光均勻性。
為讓本發(fā)明之上述和其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，作詳細(xì)說明如下。


圖1為一種公知場發(fā)射式平面燈源的剖面示意圖。
圖2為對應(yīng)圖1中區(qū)域S10的實(shí)際照片。
圖3為本發(fā)明一實(shí)施例之場發(fā)射式平面燈源的剖面示意圖。
圖4為圖3中陰極板局部的俯視實(shí)際照片。
圖5A與圖5B為本發(fā)明另外兩種實(shí)施例中陰極板的陰極結(jié)構(gòu)、柵極結(jié)構(gòu)與發(fā)射層的設(shè)置方式。
圖6A～圖6D為本發(fā)明一實(shí)施例之陰極板的制造流程剖面圖。
主要元件標(biāo)記說明S10區(qū)域100場發(fā)射式平面燈源110陰極板112柵極結(jié)構(gòu)114陰極結(jié)構(gòu)116發(fā)射層120陽極板200場發(fā)射式平面燈源210陽極板212、310、610基板214陽極層
216熒光層220密封件300陰極板320、520、620陰極結(jié)構(gòu)322、522、524、622凹槽330、530、630柵極結(jié)構(gòu)340、540、640發(fā)射層620a導(dǎo)體層640a發(fā)射層材料650圖案化光刻膠層具體實(shí)施方式
圖3為本發(fā)明一實(shí)施例之場發(fā)射式平面燈源的剖面示意圖，而圖4為圖3中陰極板局部的俯視實(shí)際照片。請參照圖3，本實(shí)施例之場發(fā)射式平面燈源200包括陰極板300、陽極板210以及密封件220。其中，密封件220設(shè)置于陽極板210與陰極板300之間，并密封陽極板210與陰極板300。舉例而言，密封件220可以是玻璃膠或其它適當(dāng)材料。另外，密封件220還可發(fā)揮支撐的作用，以在陽極板210與陰極板300之間維持適當(dāng)?shù)拈g隙。再者，也可在陽極板210與陰極板300之間放置或制造支撐物(圖中未表示)，以發(fā)揮維持適當(dāng)?shù)拈g隙的作用。
請參照圖3與圖4，本實(shí)施例之陰極板300包括基板310、多個(gè)陰極結(jié)構(gòu)320、多個(gè)柵極結(jié)構(gòu)330以及發(fā)射層340。陰極結(jié)構(gòu)320與柵極結(jié)構(gòu)330設(shè)置于基板310上，且兩者都為條狀結(jié)構(gòu)(如圖4所示)。其中，柵極結(jié)構(gòu)330與陰極結(jié)構(gòu)320是彼此平行排列，并且互相交錯(cuò)。每個(gè)陰極結(jié)構(gòu)320具有至少一個(gè)凹槽322，而發(fā)射層340則設(shè)置于凹槽322內(nèi)。凹槽322例如暴露基板310，亦即填入于凹槽322內(nèi)的發(fā)射層340接觸基板310。承上所述，由于陰極結(jié)構(gòu)320上的凹槽322可幫助發(fā)射層340準(zhǔn)確定位，因此發(fā)射層340可如圖4的照片所示準(zhǔn)直地以固定線寬形成于陰極結(jié)構(gòu)320上，而不會(huì)如公知技術(shù)般線寬不規(guī)則變化且對位不準(zhǔn)確。換言之，本實(shí)施例之陰極板300應(yīng)用于場發(fā)射式平面燈源200時(shí)，由于相鄰兩條陰極結(jié)構(gòu)320上的發(fā)射層340之間的距離固定，因此場發(fā)射電場也可均勻分布，而大幅提高場發(fā)射式平面燈源200的發(fā)光均勻性。
請參照圖3，本實(shí)施例之陽極板210可包括基板212、陽極層214以及熒光層216。其中，陽極層214設(shè)置于基板212面對陰極板300的表面上，而熒光層216則設(shè)置于陽極層214上。具體而言，陽極層214與熒光層216是位于基板212與陰極板300之間。此外，陽極層214也可具有反射光線的功能。
場發(fā)射式平面燈源200在作為顯示器(圖中未表示)的背光源時(shí)，是以陰極板300為出光面而朝向顯示面板(圖中未表示)設(shè)置，因此可避免電子撞擊熒光粉后在陽極板210上所產(chǎn)生的高熱影響所搭配的液晶顯示面板。場發(fā)射式平面燈源200以上述方式設(shè)置時(shí)，基板212可采用透明或非透明材質(zhì)，而陽極層214可采用光反射率高且具導(dǎo)電性的材料(如銀、鋁…等)以提高光利用率。另外，由于反射光需穿透陰極板300，因此基板310以采用透明材質(zhì)為佳，而陰極結(jié)構(gòu)320與柵極結(jié)構(gòu)330采用條狀平行排列則可增加光穿透率。但是，當(dāng)場發(fā)射式平面燈源200不以上述方式設(shè)置于顯示器中時(shí)，基板212與基板310應(yīng)采用透明或非透明材質(zhì)則可做更動(dòng)。
在不限定陰極板300的應(yīng)用方式的狀況下，基板310的材質(zhì)可以是玻璃等透明材質(zhì)或是其它非透明材質(zhì)，陰極結(jié)構(gòu)320與柵極結(jié)構(gòu)330的材質(zhì)例如為銀或其它適當(dāng)?shù)慕饘倩蚍墙饘俚葘?dǎo)電物。發(fā)射層340的材質(zhì)例如是納米碳管(Carbon Nanotube，CNT)或其它適合作為場電子發(fā)射源的材料。其中，CNT可利用電弧蒸鍍(arc evaporation)、石墨激光剝離(1aser ablation of graphite)或化學(xué)氣相沉積(ChemicalVapor Deposition，CVD)方式形成。
圖5A與圖5B為本發(fā)明另外兩種實(shí)施例中陰極板的陰極結(jié)構(gòu)、柵極結(jié)構(gòu)與發(fā)射層的設(shè)置方式。請參照圖4，陰極結(jié)構(gòu)320的凹槽322例如是呈條狀并與陰極結(jié)構(gòu)320平行排列，亦即發(fā)射層340由俯視觀之可呈條狀并與陰極結(jié)構(gòu)320平行排列。請參照圖5A，每個(gè)陰極結(jié)構(gòu)520也可以具有多個(gè)凹槽522，而凹槽522是呈點(diǎn)狀。此外，凹槽522例如是沿陰極結(jié)構(gòu)520的延伸方向排列成排。另外，由俯視觀之，凹槽522的形狀可為四邊形(如圖5A)，或者凹槽524的形狀可為圓形(如圖5B)。當(dāng)然，由俯視觀之，凹槽522的形狀也可以是多邊形、橢圓形、半圓形、半橢圓形、三角形、四邊形或其它形狀，在此并不做任何限制。
以下將參照

本發(fā)明一實(shí)施例之陰極板的制造方法，而附圖中僅示出陰極板的局部區(qū)域。請參照圖6A，本實(shí)施例之陰極板的制造方法是先提供基板610。接著請參照圖6B，在基板610上形成多個(gè)陰極結(jié)構(gòu)620與多個(gè)柵極結(jié)構(gòu)630。其中，陰極結(jié)構(gòu)620與柵極結(jié)構(gòu)630與圖4的陰極結(jié)構(gòu)320與柵極結(jié)構(gòu)330相似，同為條狀結(jié)構(gòu)且彼此平行交錯(cuò)排列。每個(gè)陰極結(jié)構(gòu)620具有至少一個(gè)凹槽622。接著請參照圖6D，在凹槽622內(nèi)形成發(fā)射層640。
此外，形成如圖6B的陰極結(jié)構(gòu)620與柵極結(jié)構(gòu)630的方法例如是采用網(wǎng)版印刷技術(shù)。或者，形成如圖6B的陰極結(jié)構(gòu)620與柵極結(jié)構(gòu)630的方法也可以是先進(jìn)行物理或化學(xué)薄膜沉積工藝，然后再進(jìn)行曝光與顯影工藝。
另外，形成如圖6D的發(fā)射層640的方法可為下列步驟。請參照圖6C，先填充發(fā)射層材料640a于陰極結(jié)構(gòu)620上，并使發(fā)射層材料640a填充于凹槽622內(nèi)。其中，填充發(fā)射層材料640a的方法例如是將納米碳管(CNT)或其它種類的發(fā)射層材料640a調(diào)成漿料，再以網(wǎng)版印刷方式涂布于陰極結(jié)構(gòu)620上?；蛘撸部稍陉帢O結(jié)構(gòu)620的凹槽622內(nèi)形成催化劑(圖中未表示)，再通過催化劑而形成發(fā)射層材料640a于陰極結(jié)構(gòu)620上。其中，在形成催化劑于凹槽622內(nèi)之前，可使用保護(hù)層(圖中未表示)覆蓋于基板610、陰極結(jié)構(gòu)620與柵極結(jié)構(gòu)630上而僅暴露凹槽622，以使催化劑僅形成于凹槽622內(nèi)。請參照圖6D，接著移除位于凹槽622外的發(fā)射層材料640a，以形成發(fā)射層640。另外，在移除凹槽622外的發(fā)射層材料640a的同時(shí)，還可同時(shí)對發(fā)射層材料640a進(jìn)行活化。由于發(fā)射層材料640a在設(shè)置于陰極結(jié)構(gòu)620上后，發(fā)射層材料640a的表面可能會(huì)有鈍化的現(xiàn)象，因此可通過移除凹槽622外的發(fā)射層材料640a的方式進(jìn)行活化。
以上為本發(fā)明一實(shí)施例之陰極板的制造方法，而本發(fā)明也提出一種場發(fā)射式平面燈源的制造方法。在此場發(fā)射式平面燈源的制造方法的一實(shí)施例中，是以圖6A～圖6D所示的方法制造如圖3的陰極板300，并提供如圖3的陽極板210。之后，再使用如圖3的密封件220將陽極板210與陰極板300密封，以形成如圖3的場發(fā)射式平面燈源200。其中，陰極結(jié)構(gòu)320、柵極結(jié)構(gòu)330與發(fā)射層340位于陽極板210與陰極板300之間，而場發(fā)射式平面燈源200例如是呈真空狀態(tài)。
值得注意的是，本發(fā)明之陰極板并不限定于應(yīng)用在場發(fā)射式平面燈源，其應(yīng)用于場發(fā)射式顯示器也可發(fā)揮提高顯示質(zhì)量的效果。
綜上所述，在本發(fā)明之場發(fā)射式平面燈源及其制造方法以及本發(fā)明之陰極板及其制造方法中，通過在陰極結(jié)構(gòu)上設(shè)計(jì)凹槽，可將發(fā)射層準(zhǔn)確定位于陰極結(jié)構(gòu)的凹槽內(nèi)，以使相鄰兩條陰極結(jié)構(gòu)上的發(fā)射層之間的距離固定不變。因此，陰極板與陽極板搭配產(chǎn)生的場發(fā)射電場將可均勻分布，并大幅提高場發(fā)射式平面燈源的發(fā)光均勻性。另外，發(fā)光均勻性較佳的場發(fā)射式平面燈源中，將不需再使用擴(kuò)散膜來加強(qiáng)發(fā)光的均勻性，并降低顯示器組裝上的復(fù)雜度以及原料與組裝成本，可助于市場大量應(yīng)用。
雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例披露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明之精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許之更動(dòng)與改進(jìn)，因此本發(fā)明之保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種陰極板，其特征是包括基板；多個(gè)陰極結(jié)構(gòu)，設(shè)置于該基板上，上述這些陰極結(jié)構(gòu)為條狀結(jié)構(gòu)而彼此平行排列，各該陰極結(jié)構(gòu)具有至少一個(gè)凹槽；多個(gè)柵極結(jié)構(gòu)，設(shè)置于該基板上，上述這些柵極結(jié)構(gòu)為條狀結(jié)構(gòu)，并與上述這些陰極結(jié)構(gòu)彼此平行交錯(cuò)排列；以及發(fā)射層，設(shè)置于上述這些凹槽內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陰極板，其特征是上述這些凹槽暴露該基板，而該發(fā)射層接觸該基板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陰極板，其特征是上述這些凹槽是呈條狀，并與上述這些陰極結(jié)構(gòu)平行排列。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陰極板，其特征是各該陰極結(jié)構(gòu)具有多個(gè)上述這些凹槽，上述這些凹槽是呈點(diǎn)狀。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的陰極板，其特征是上述這些凹槽是沿上述這些陰極結(jié)構(gòu)的延伸方向排列成排。
6.一種場發(fā)射式平面燈源，其特征是包括陰極板，包括第一基板；多個(gè)陰極結(jié)構(gòu)，設(shè)置于該第一基板上，上述這些陰極結(jié)構(gòu)為條狀結(jié)構(gòu)而彼此平行排列，各該陰極結(jié)構(gòu)具有至少一個(gè)凹槽；多個(gè)柵極結(jié)構(gòu)，設(shè)置于該第一基板上，上述這些柵極結(jié)構(gòu)為條狀結(jié)構(gòu)，并與上述這些陰極結(jié)構(gòu)彼此平行交錯(cuò)排列；發(fā)射層，設(shè)置于上述這些凹槽內(nèi)；陽極板，設(shè)置于該陰極板上方；以及密封件，設(shè)置于該陽極板與該陰極板之間，并密封該陽極板與該陰極板。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的場發(fā)射式平面燈源，其特征是上述這些凹槽暴露該第一基板，而該發(fā)射層接觸該第一基板。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的場發(fā)射式平面燈源，其特征是上術(shù)這些凹槽是呈條狀，并與上述這些陰極結(jié)構(gòu)平行排列。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的場發(fā)射式平面燈源，其特征是各該陰極結(jié)構(gòu)具有多個(gè)上述這些凹槽，上述這些凹槽是呈點(diǎn)狀。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的場發(fā)射式平面燈源，其特征是上述這些凹槽是沿上述這些陰極結(jié)構(gòu)的延伸方向排列成排。
11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的場發(fā)射式平面燈源，其特征是該陽極板包括第二基板；陽極層，設(shè)置于該第二基板面對該陰極板的表面上；以及熒光層，設(shè)置于該陽極層上。
12.一種陰極板的制造方法，其特征是包括提供基板；在該基板上形成多個(gè)陰極結(jié)構(gòu)與多個(gè)柵極結(jié)構(gòu)，其中上述這些陰極結(jié)構(gòu)與上述這些柵極結(jié)構(gòu)為條狀結(jié)構(gòu)，且上述這些陰極結(jié)構(gòu)與上述這些柵極結(jié)構(gòu)彼此平行交錯(cuò)排列，各該陰極結(jié)構(gòu)具有至少一個(gè)凹槽；以及在上述這些凹槽內(nèi)形成發(fā)射層。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的陰極板的制造方法，其特征是形成上述這些陰極結(jié)構(gòu)與上述這些柵極結(jié)構(gòu)的方法包括網(wǎng)版印刷。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的陰極板的制造方法，其特征是形成上述這些陰極結(jié)構(gòu)與上述這些柵極結(jié)構(gòu)的方法包括進(jìn)行薄膜沉積工藝與光刻蝕刻工藝。
15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的陰極板的制造方法，其特征是形成該發(fā)射層的方法包括填充發(fā)射層材料于上述這些陰極結(jié)構(gòu)上；以及移除上述這些凹槽外的該發(fā)射層材料以形成該發(fā)射層。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的陰極板的制造方法，其特征是填充該發(fā)射層材料的方法包括網(wǎng)版印刷。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的陰極板的制造方法，其特征是在移除上述這些凹槽外的該發(fā)射層材料的同時(shí)，還包括活化該發(fā)射層材料。
18.根據(jù)權(quán)利要求12所述的陰極板的制造方法，其特征是形成該發(fā)射層的方法包括設(shè)置催化劑于上述這些凹槽內(nèi)；以及通過該催化劑在上述這些凹槽內(nèi)形成該發(fā)射層。
19.一種場發(fā)射式平面燈源的制造方法，其特征是包括提供陰極板，該陰極板的制造方法包括提供基板；在該基板上形成多個(gè)陰極結(jié)構(gòu)與多個(gè)柵極結(jié)構(gòu)，其中上述這些陰極結(jié)構(gòu)與上述這些柵極結(jié)構(gòu)為條狀結(jié)構(gòu)，且上述這些陰極結(jié)構(gòu)與上述這些柵極結(jié)構(gòu)彼此平行交錯(cuò)排列，各該陰極結(jié)構(gòu)具有至少一個(gè)凹槽；在上述這些凹槽內(nèi)形成發(fā)射層；提供陽極板；以及使用密封件密封該陽極板與該陰極板，其中上述這些陰極結(jié)構(gòu)、上述這些柵極結(jié)構(gòu)與該發(fā)射層位于該陽極板與該陰極板之間。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的場發(fā)射式平面燈源的制造方法，其特征是形成該發(fā)射層的方法包括填充發(fā)射層材料于上述這些陰極結(jié)構(gòu)上；以及移除上述這些凹槽外的該發(fā)射層材料以形成該發(fā)射層。
全文摘要
一種陰極板，包括基板、多個(gè)陰極結(jié)構(gòu)、多個(gè)柵極結(jié)構(gòu)以及發(fā)射層。陰極結(jié)構(gòu)與柵極結(jié)構(gòu)設(shè)置于基板上且為條狀結(jié)構(gòu)。柵極結(jié)構(gòu)與陰極結(jié)構(gòu)彼此平行交錯(cuò)排列。各陰極結(jié)構(gòu)具有至少一個(gè)凹槽，而發(fā)射層設(shè)置于凹槽內(nèi)。場發(fā)射式平面燈源包括前述陰極板、陽極板以及密封件。密封件設(shè)置于陽極板與陰極板之間，并密封陽極板與陰極板。因?yàn)殛帢O結(jié)構(gòu)上具有凹槽，所以發(fā)射層可被準(zhǔn)確定位，以提高場發(fā)射式平面燈源的發(fā)光均勻性。
文檔編號H01J1/46GK101026060SQ20061000787
公開日2007年8月29日 申請日期2006年2月21日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月21日
發(fā)明者傅傳旭, 林炳南, 林偉義, 林明宏 申請人:財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院