專利名稱：螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及到一種螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
碳納米管具有低的閾值電場以及良好的場致發(fā)射特性，是一種極具應(yīng)用潛力的冷陰極材料。而利用碳納米管作為陰極材料而制作的場致發(fā)射平板顯示器則是一種新型的平面型顯示設(shè)備，具有高亮度、高分辨率、高圖像質(zhì)量等優(yōu)點(diǎn)，其應(yīng)用越來越廣泛。碳納米管的獨(dú)特幾何外形使得非常容易在外加電壓作用下形成強(qiáng)大的電場強(qiáng)度，從而不需要額外的能量就能夠發(fā)射出大量的電子，形成冷場致發(fā)射現(xiàn)象。
在三極結(jié)構(gòu)的場致發(fā)射平板顯示器件當(dāng)中，當(dāng)在柵極上施加適當(dāng)電壓以后，就會在碳納米管頂端形成強(qiáng)大的電場強(qiáng)度，一方面，柵極的工作電壓是決定所形成的電場強(qiáng)度的主要因素，柵極的工作電壓越高，所形成的電場強(qiáng)度數(shù)值也就越大；另一方面，碳納米管陰極的形狀也是影響所形成的電場強(qiáng)度的主導(dǎo)因素，一般情況下，碳納米管陰極形狀的曲率半徑越小，所形成的電場強(qiáng)度數(shù)值就會成倍的增加，這樣也有助于迫使碳納米管陰極發(fā)射出更多的電子，能夠進(jìn)一步的減低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓。那么，在實(shí)際器件的制作過程中，究竟采用何種結(jié)構(gòu)形式，如何促進(jìn)柵極結(jié)構(gòu)和陰極結(jié)構(gòu)的高度集成化發(fā)展，如何有效地增強(qiáng)柵極的控制性能，如何進(jìn)一步降低柵極的工作電壓，等等一系列問題，都需要眾多科研人員來解決。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進(jìn)行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點(diǎn)和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡單的螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，包括由陰極玻璃面板、陽極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層、制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層以及在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，在陰極玻璃面板上有控制柵極、碳納米管以及螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)。
所述的螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的刻蝕后的二氧化硅層形成絕緣層；絕緣層上面刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的摻雜多晶硅層形成陰極增高層；陰極增高層為一個倒置的螺釘型形狀，底部為圓形形狀，和陰極引線層緊密接觸；陰極增高層越向上越小，最后頂部集中成一個尖點(diǎn)，陰極增高層的旁側(cè)呈現(xiàn)一種螺旋向上的類螺釘型形狀；位于同一個陰極引線層上面的陰極增高層是通過底部的陰極引線層而相互連通的；陰極增高層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層布滿陰極增高層的表面；絕緣層上面的刻蝕后的二氧化硅層形成隔離層；隔離層中存在電子通道孔，暴露出底部的陰極增高層和陰極導(dǎo)電層；隔離層的下表面為一個平面，要覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層，上表面也為一個平面，和柵極電極層緊密接觸；隔離層的高度要低于陰極增高層的高度；隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極電極層；柵極電極層的大部分都位于隔離層上面，但是其前端部分要伸向電子通道孔內(nèi)部，呈現(xiàn)一種懸空狀態(tài)；柵極電極層前端懸空狀態(tài)部分要向上彎曲，其傾斜的角度與陰極增高層向上縮減的角度相同；柵極電極層的最前端的高度要高于陰極增高層的頂部；柵極電極層上面的刻蝕后的二氧化硅層形成絕緣覆蓋層；絕緣覆蓋層要覆蓋住大部分的柵極電極層，但是不能夠覆蓋住處于懸空狀態(tài)的柵極電極層部分；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
所述的螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫、銦；陰極增高層的摻雜類型為n型、p型；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極電極層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極電極層為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁。
一種螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層的制作在陰極玻璃面板上制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成絕緣層；3)陰極引線層的制作在絕緣層上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)陰極增高層的制作在陰極引線層上面制備出一個摻雜多晶硅層，刻蝕后形成陰極增高層；5)陰極導(dǎo)電層的制作在陰極增高層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；
6)隔離層的制作在絕緣層的上面制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成隔離層；隔離層中存在電子通道孔；7)柵極電極層的制作在隔離層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極電極層；8)絕緣覆蓋層的制作在柵極電極層的上面制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成絕緣覆蓋層；9)螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；10)碳納米管的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；11)陽極玻璃面板的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；12)陽極導(dǎo)電層的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；13)絕緣漿料層的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；14)熒光粉層的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；15)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[14]和四周玻璃圍框[15]裝配到一起，并將消氣劑[16]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；16)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟13具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘。
所述步驟14具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
所述步驟16具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)中，將陰極增高層制作成了倒置的類螺釘型形狀，并將碳納米管制備在了位于陰極增高層表面上的陰極導(dǎo)電層的上面，這樣，可以極大地增高碳納米管陰極的電子發(fā)射面積，有利于提高整體器件的顯示亮度，同時，由于類螺釘型形狀能夠極大的改變碳納米管陰極的形狀的曲率，就可以進(jìn)一步增強(qiáng)碳納米管陰極表面頂端的電場強(qiáng)度，迫使其發(fā)射出更多的電子，有利于進(jìn)一步降低器件的工作電壓。
其次，在所述的螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)中，將柵極電極層制作成了向上彎曲的折線型形狀，并且其彎曲的角度和陰極增高層向上縮減的角度相同，這樣，就可以將柵極電壓同時施加給更多的碳納米管陰極，迫使其發(fā)射出更多的電子。與此同時，由于柵極位于碳納米管陰極的旁側(cè)，這樣就極大地減小了柵極電流，進(jìn)一步增大了陽極工作電流，這對于進(jìn)一步提高整體器件的顯示亮度也是有利的。
此外，在所述的螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)中，并沒有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進(jìn)一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡化了器件的制作過程，能夠進(jìn)行大面積的器件制作，有利于進(jìn)行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了帶有螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的、碳納米管場致發(fā)射平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步說明，但本發(fā)明并不局限于這些實(shí)施例。
所述的一種帶有螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板[1]、陽極玻璃面板[10]和四周玻璃圍框[15]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層[11]、制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[13]以及在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層[12]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[14]以及消氣劑附屬元件[16]，在陰極玻璃面板上有控制柵極[7]、碳納米管[9]以及螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)。
所述的螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、絕緣層[2]、陰極引線層[3]、陰極增高層[4]、陰極導(dǎo)電層[5]、隔離層[6]、柵極電極層[7]、絕緣覆蓋層[8]和碳納米管[9]部分。
所述的螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的刻蝕后的二氧化硅層形成絕緣層；絕緣層上面刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的摻雜多晶硅層形成陰極增高層；陰極增高層為一個倒置的螺釘型形狀，底部為圓形形狀，和陰極引線層緊密接觸；陰極增高層越向上越小，最后頂部集中成一個尖點(diǎn)，陰極增高層的旁側(cè)呈現(xiàn)一種螺旋向上的類螺釘型形狀；位于同一個陰極引線層上面的陰極增高層是通過底部的陰極引線層而相互連通的；陰極增高層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層布滿陰極增高層的表面；絕緣層上面的刻蝕后的二氧化硅層形成隔離層；隔離層中存在電子通道孔，暴露出底部的陰極增高層和陰極導(dǎo)電層；隔離層的下表面為一個平面，要覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層，上表面也為一個平面，和柵極電極層緊密接觸；隔離層的高度要低于陰極增高層的高度；隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極電極層；柵極電極層的大部分都位于隔離層上面，但是其前端部分要伸向電子通道孔內(nèi)部，呈現(xiàn)一種懸空狀態(tài)；柵極電極層前端懸空狀態(tài)部分要向上彎曲，其傾斜的角度與陰極增高層向上縮減的角度相同；柵極電極層的最前端的高度要高于陰極增高層的頂部；柵極電極層上面的刻蝕后的二氧化硅層形成絕緣覆蓋層；絕緣覆蓋層要覆蓋住大部分的柵極電極層，但是不能夠覆蓋住處于懸空狀態(tài)的柵極電極層部分；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
所述的螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫、銦；陰極增高層的摻雜類型可以為n型，也可以為p型；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳；柵極電極層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極電極層可以為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁。
一種帶有螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成絕緣層；3)陰極引線層[3]的制作在絕緣層上面制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成陰極引線層；4)陰極增高層[4]的制作在陰極引線層上面制備出一個n型摻雜多晶硅層，刻蝕后形成陰極增高層；5)陰極導(dǎo)電層[5]的制作在陰極增高層的上面制備出一個金屬鎳層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；6)隔離層[6]的制作在絕緣層的上面制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成隔離層；隔離層中存在電子通道孔；7)柵極電極層[7]的制作在隔離層的上面制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成柵極電極層；8)絕緣覆蓋層[8]的制作在柵極電極層的上面制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成絕緣覆蓋層；9)螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；10)碳納米管[9]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；11)陽極玻璃面板[10]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；12)陽極導(dǎo)電層[11]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；13)絕緣漿料層[12]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；14)熒光粉層[13]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；15)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[14]和四周玻璃圍框[15]裝配到一起，并將消氣劑[16]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；
16)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟13具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)；所述步驟14具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)；所述步驟16具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板[1]、陽極玻璃面板[10]和四周玻璃圍框[15]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層[11]、制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[13]以及在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層[12]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[14]以及消氣劑[16]附屬元件，其特征在于在陰極玻璃面板上有控制柵極[7]、碳納米管[9]以及螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的刻蝕后的二氧化硅層形成絕緣層；絕緣層上面刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的摻雜多晶硅層形成陰極增高層；陰極增高層為一個倒置的螺釘型形狀，底部為圓形形狀，和陰極引線層緊密接觸；陰極增高層越向上越小，最后頂部集中成一個尖點(diǎn)，陰極增高層的旁側(cè)呈現(xiàn)一種螺旋向上的類螺釘型形狀；位于同一個陰極引線層上面的陰極增高層是通過底部的陰極引線層而相互連通的；陰極增高層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層布滿陰極增高層的表面；絕緣層上面的刻蝕后的二氧化硅層形成隔離層；隔離層中存在電子通道孔，暴露出底部的陰極增高層和陰極導(dǎo)電層；隔離層的下表面為一個平面，要覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層，上表面也為一個平面，和柵極電極層緊密接觸；隔離層的高度要低于陰極增高層的高度；隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極電極層；柵極電極層的大部分都位于隔離層上面，但是其前端部分要伸向電子通道孔內(nèi)部，呈現(xiàn)一種懸空狀態(tài)；柵極電極層前端懸空狀態(tài)部分要向上彎曲，其傾斜的角度與陰極增高層向上縮減的角度相同；柵極電極層的最前端的高度要高于陰極增高層的頂部；柵極電極層上面的刻蝕后的二氧化硅層形成絕緣覆蓋層；絕緣覆蓋層要覆蓋住大部分的柵極電極層，但是不能夠覆蓋住處于懸空狀態(tài)的柵極電極層部分；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫、銦；陰極增高層的摻雜類型為n型、p型；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極電極層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極電極層為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁。
4.一種螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成絕緣層；3)陰極引線層[3]的制作在絕緣層上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)陰極增高層[4]的制作在陰極引線層上面制備出一個摻雜多晶硅層，刻蝕后形成陰極增高層；5)陰極導(dǎo)電層[5]的制作在陰極增高層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；6)隔離層[6]的制作在絕緣層的上面制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成隔離層；隔離層中存在電子通道孔；7)柵極電極層[7]的制作在隔離層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極電極層；8)絕緣覆蓋層[8]的制作在柵極電極層的上面制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成絕緣覆蓋層；9)螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；10)碳納米管[9]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；11)陽極玻璃面板[10]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；12)陽極導(dǎo)電層[11]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；13)絕緣漿料層[12]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；14)熒光粉層[13]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；15)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[14]和四周玻璃圍框[15]裝配到一起，并將消氣劑[16]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；16)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟13具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟14具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟16具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陰極玻璃面板、陽極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陰極玻璃面板上有控制柵極、碳納米管以及螺旋型陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，能夠進(jìn)一步增大碳納米管陰極的場致發(fā)射電子面積，降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓，有利于進(jìn)一步提高整體器件的顯示圖像質(zhì)量，具有制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號H01J1/304GK1953132SQ200610107310
公開日2007年4月25日 申請日期2006年10月17日 優(yōu)先權(quán)日2006年10月17日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學(xué)院