專(zhuān)利名稱(chēng)：平面顯示器用基板輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種平面顯示器用基板輸送裝置，尤其涉及一種在制造平面顯示器用基板的過(guò)程中，能夠適用于顯影裝置的、且通過(guò)最小的基板顯影裝置安裝空間來(lái)獲得最大的空間利用率的平面顯示器用基板輸送裝置。
背景技術(shù)：
通常，在平面顯示裝置的制造工序中，在玻璃基板上形成電路圖形的過(guò)程，可包括清洗基板的工序、在已清洗的基板表面涂敷感光性樹(shù)脂而形成感光膜的工序、通過(guò)預(yù)定圖案曝光所述感光膜而進(jìn)行顯影(developing)的工序。
這種顯示器的制造工序中，顯影工序利用現(xiàn)有的顯影液供給裝置來(lái)對(duì)基板涂敷顯影液。這種顯影工序，可采用向盛有顯影液的腔室通過(guò)基板的方式或者采用噴射裝置向基板噴射顯影液的方式進(jìn)行。而這種顯影裝置，包括用于向腔室供給顯影液的顯影液供給裝置和用于輸送基板的輸送裝置。由此，當(dāng)基板輸送到腔室時(shí)，通過(guò)顯影液供給裝置向基板供給顯影液，并經(jīng)過(guò)一段時(shí)間之后，通過(guò)輸送裝置向清洗裝置輸送基板。通常，為了提高基板的處理效率，基板輸送裝置以?xún)A斜狀態(tài)輸送基板并進(jìn)行清洗及干燥，該基板輸送裝置安裝在所述顯影裝置的一側(cè)，并將從顯影裝置中輸出的基板輸送到清洗裝置。當(dāng)顯影液供給到基板時(shí)，這種現(xiàn)有的顯影裝置為了顯影(developing)需擱置一段時(shí)間，之后再通過(guò)基板輸送裝置向清洗裝置輸送基板，因此基板處理時(shí)間增加，生產(chǎn)效率降低。而且，在顯影裝置的出口處，為傾斜輸送基板需增設(shè)傾斜輸送裝置，因此安裝空間變大并增加制造費(fèi)用。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述問(wèn)題而作，其目的在于提供一種在基板顯影處理過(guò)程中，能減少處理時(shí)間，并通過(guò)最小的顯影裝置安裝空間來(lái)減少基板制造費(fèi)用的平面顯示器用基板輸送裝置。
為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種平板顯示器用基板輸送裝置，其包括腔室，其提供用于處理基板的空間；支撐部，其安裝在所述腔室內(nèi)部，且具有一定的框架結(jié)構(gòu)；多個(gè)傾斜輸送部，其鉸接在所述支撐部上，且安裝有由驅(qū)動(dòng)單元轉(zhuǎn)動(dòng)的輸送輥，并通過(guò)該輸送輥輸送基板；導(dǎo)引機(jī)構(gòu)，其用于引導(dǎo)所述支撐部移動(dòng)；另一驅(qū)動(dòng)單元，其用于驅(qū)動(dòng)所述支撐部，以使之沿著所述導(dǎo)引機(jī)構(gòu)移動(dòng)；傾斜誘導(dǎo)裝置，其誘導(dǎo)所述多個(gè)傾斜輸送部以鉸接部為中心按預(yù)定角度傾斜。
所述多個(gè)傾斜輸送部包括，鉸接于所述支撐部的第一傾斜輸送部和鉸接于所述支撐部在所述第一傾斜輸送部下方位置的第二傾斜輸送部。
所述傾斜誘導(dǎo)裝置，可包括由致動(dòng)器移動(dòng)的桿體，該桿體能夠與所述傾斜輸送部上鉸接部的相反側(cè)接觸或者解除該接觸狀態(tài)。
本發(fā)明的輸送基板的傾斜輸送部，具有多層結(jié)構(gòu)，因此能夠減少基板顯影時(shí)的節(jié)拍時(shí)間，并且由于具有能夠以?xún)A斜狀態(tài)輸出基板的結(jié)構(gòu)，還可以減少顯影裝置的安裝空間，并由此而減少基板的制造費(fèi)用。
圖1是表示本發(fā)明所適用的基板輸送裝置的結(jié)構(gòu)圖。
圖2是用于說(shuō)明本發(fā)明所涉及實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)圖。
圖3是用于說(shuō)明圖2的主要部分及動(dòng)作過(guò)程的示意圖。
圖4是用于說(shuō)明本發(fā)明動(dòng)作過(guò)程的示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。
圖1是用于說(shuō)明本發(fā)明所適用的實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖，表示顯影裝置。本發(fā)明的顯影裝置包括基板供給部3，其用于供給玻璃基板等基板；顯影液噴射部71，其用于從所述基板供給部3接收被處理對(duì)象基板G1(或者G2)，并對(duì)所述基板G1(或者G2)涂敷顯影液；顯影部1，其用于從所述顯影液噴射部71接收基板G1(或者G2)，并擱置基板顯影所需時(shí)間，以進(jìn)行顯影；清洗部81，其能夠以?xún)A斜狀態(tài)接收來(lái)自所述顯影部1的基板G1(或者G2)，并對(duì)其進(jìn)行清洗；干燥部91，其用于接收來(lái)自所述清洗部81的基板G1(或者G2)，并對(duì)其進(jìn)行干燥；以及基板輸出部5，其用于輸出所述干燥部91內(nèi)的基板G1(或者G2)。
在所述顯影裝置中，顯影液噴射部71包括顯影液供給裝置71a及基板輸送裝置71b。所述顯影液供給裝置71a設(shè)于腔室內(nèi)，且對(duì)基板G1(或G2)涂敷顯影液，并可包括顯影液噴嘴等。本發(fā)明的所述顯影液供給裝置71a，可采用能夠向基板G1(或G2)供給顯影液并進(jìn)行基板G1(或G2)的顯影處理的任何一種裝置，也可以采用通常的裝置，因此省略其詳細(xì)說(shuō)明。
而且，所述清洗裝置的清洗部81和干燥部91，是用于清洗和干燥已顯影的基板，所以也可以采用通常的裝置，因此省略其詳細(xì)說(shuō)明。
圖2是用于說(shuō)明本發(fā)明所涉及實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)圖；圖3是用于說(shuō)明圖2中主要部分及動(dòng)作過(guò)程的示意圖，圖中顯示顯影部1。該顯影部1用于暫時(shí)保管基板G1(或者G2)，并以?xún)A斜狀態(tài)輸出基板，以使所述基板G1(或者G2)在顯影處理中能夠獲得必要的顯影時(shí)間。
在本發(fā)明中，結(jié)合
在所述顯影部1的一側(cè)設(shè)有基板供給部3，并由該基板供給部3向顯影部1供給基板G1(或G2)的實(shí)施例。另外，結(jié)合
在所述顯影部1的基板G1(或G2)輸出側(cè)設(shè)有能夠以?xún)A斜狀態(tài)輸送基板的基板輸出部5的實(shí)施例。在本發(fā)明中，亦可由顯影液噴射部71取代向所述顯影裝置1供給基板G1(或G2)的基板供給部3(如圖1所示)的位置，并由清洗部81取代基板輸出部5的位置。為方便起見(jiàn)，本發(fā)明只說(shuō)明在基板供給部3和基板輸出部5之間安裝顯影部1的實(shí)施例。
即，在本發(fā)明中，通過(guò)基板供給部3來(lái)說(shuō)明以水平狀態(tài)向顯影部1供給基板G1(或G2)的實(shí)施方式，而通過(guò)所述基板輸出部5來(lái)說(shuō)明以?xún)A斜狀態(tài)輸出基板G1(或G2)的實(shí)施方式。
如圖2所示，所述基板供給部3具備由通常的驅(qū)動(dòng)源即電機(jī)3a轉(zhuǎn)動(dòng)的多個(gè)輥輪R，并通過(guò)這些輥輪R向水平方向輸送基板G1(或G2)。另外，所述基板輸出部5具備由另一通常的驅(qū)動(dòng)源即電機(jī)5a轉(zhuǎn)動(dòng)的多個(gè)輥輪R，而這些輥輪R用于接收以?xún)A斜狀態(tài)輸送的基板G1(或G2)，并將其輸送到清洗裝置，而這些輥輪R沿著傾斜方向設(shè)置，以使基板G1(或G2)在傾斜狀態(tài)下移動(dòng)。
所述顯影部1包括腔室11，其提供用于處理所述基板G1(或G2)的空間；支撐部15，其安裝在所述腔室11內(nèi)部；第一傾斜輸送部17和第二傾斜輸送部19，其鉸接于所述支撐部15的上、下位置；導(dǎo)引機(jī)構(gòu)21，其用于引導(dǎo)所述支撐部15，以使其沿著上下方向移動(dòng)；驅(qū)動(dòng)單元23，其用于帶動(dòng)所述支撐部15移動(dòng)；以及傾斜誘導(dǎo)裝置25，其用于使第一傾斜輸送部17和第二傾斜輸送部19分別以第一鉸接部18和第二鉸接部20為中心轉(zhuǎn)動(dòng)并保持一定的傾斜角度。
所述腔室11提供能夠使平面顯示器用基板G1(或G2)滯留一段時(shí)間，以接受顯影(developing)處理的空間。所述腔室11包括用于接入基板G1(或G2)的入口12和在結(jié)束顯影處理后用于輸出基板G1(或G2)的出口14等。
所述支撐部15可沿上下方向移動(dòng)，且具有框架結(jié)構(gòu)。而所述第一傾斜輸送部17和第二傾斜輸送部19分別鉸接于該支撐部15。這種支撐部15并不限于框架形狀的結(jié)構(gòu)，只要是能夠上下移動(dòng)的結(jié)構(gòu)均可采用。另外，所述支撐部15上鉸接有所述第一傾斜輸送部17和所述第二傾斜輸送部19的結(jié)構(gòu)，能夠在傾斜狀態(tài)下輸送基板G1(或G2)。同時(shí)，所述支撐部15被制成能夠使所述第一傾斜輸送部17和第二傾斜輸送部19在其上上下并排的結(jié)構(gòu)。
即，所述支撐部15的上、下位置上鉸接有第一傾斜輸送部17和第二傾斜輸送部19，且具有第一鉸接部18和第二鉸接部20，而且所述第一傾斜輸送部17和第二傾斜輸送部19可保持水平或者按一定角度傾斜的狀態(tài)。換言之，所述支撐部15與第一傾斜輸送部17的一側(cè)鉸接，而第二傾斜輸送部19的一側(cè)鉸接于所述支撐部15在第一傾斜輸送部17的下方位置上。所述第一傾斜輸送部17和所述第二傾斜輸送部19，可通過(guò)所述支撐部15，以水平狀態(tài)予以固定，也可以按一定的傾斜角度(能夠使基板在傾斜狀態(tài)下移動(dòng)的角度)分別以第一鉸接部18和第二鉸接部20為中心轉(zhuǎn)動(dòng)。其中，所述第一傾斜輸送部17和第二傾斜輸送部19可通過(guò)如下結(jié)構(gòu)水平配置所述支撐部15為框架形狀，而所述支撐部15與所述第一傾斜輸送部17及第二傾斜輸送部19之間的鉸接部及其相反側(cè)保持同一個(gè)水平面，從而使第一傾斜輸送部17和第二傾斜輸送部19能夠放置在支撐部15上。雖然本實(shí)施例的示意圖上所顯示的支撐部15具有框架結(jié)構(gòu)，但本發(fā)明并不限于此，只要是能夠使所述第一傾斜輸送部17和第二傾斜輸送部19與其鉸接、并以一定的傾斜角度轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)能夠保持水平狀態(tài)或上下并排的結(jié)構(gòu)均可采用。
所述第一傾斜輸送部17和第二傾斜輸送部19可通過(guò)同一個(gè)驅(qū)動(dòng)源或者各自的驅(qū)動(dòng)源輸送基板G1(或G2)。所述第一傾斜輸送部17和第二傾斜輸送部19(如圖2所示)上，連續(xù)配置有用于輸送基板G1(或G2)的多個(gè)輥輪R，這些輥輪R通過(guò)多個(gè)框架31、33、35、37相結(jié)合。所述框架31、35分別和驅(qū)動(dòng)電機(jī)17a、19a相配合。所述電機(jī)17a、19a的驅(qū)動(dòng)力可通過(guò)通常的傳動(dòng)帶、鏈條、鏈輪齒等動(dòng)力傳遞部件傳遞到所述輥輪R，并使之轉(zhuǎn)動(dòng)。帶動(dòng)所述輥輪R轉(zhuǎn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)，當(dāng)然可以采用通常的動(dòng)力傳遞結(jié)構(gòu)。此外，所述框架31、35鉸接于所述支撐部15上，并可在水平或者傾斜狀態(tài)下輸送所述基板G1(或G2)。
所述導(dǎo)引機(jī)構(gòu)21起著引導(dǎo)所述支撐部15上下移動(dòng)的作用。如圖所示，這種導(dǎo)引機(jī)構(gòu)21可通過(guò)單獨(dú)的導(dǎo)引框架來(lái)導(dǎo)引所述支撐部15，也可通過(guò)與腔室11內(nèi)部相結(jié)合的結(jié)構(gòu)，或者腔室11的內(nèi)壁等結(jié)構(gòu)來(lái)引導(dǎo)所述支撐部15上下移動(dòng)。即，本發(fā)明的導(dǎo)引機(jī)構(gòu)21并不限于圖示的結(jié)構(gòu)或者所述實(shí)施例的說(shuō)明，只要是能夠引導(dǎo)所述支撐部15，以使其上升或下降的結(jié)構(gòu)均可采用。
在所述支撐部15可配有驅(qū)動(dòng)單元23，以使所述支撐部15能夠沿著所述導(dǎo)引機(jī)構(gòu)21升降。所述驅(qū)動(dòng)單元23可以使用氣缸、油壓缸或者電機(jī)及由電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)螺桿等。例如，所述驅(qū)動(dòng)單元23可包括電機(jī)23a，和用于傳遞所述電機(jī)23a的驅(qū)動(dòng)力以使所述支撐部15上下移動(dòng)的動(dòng)力傳遞部件。作為所述動(dòng)力傳遞部件的一例，可采用如下結(jié)構(gòu)即在支撐部15上可轉(zhuǎn)動(dòng)地配合旋轉(zhuǎn)螺桿23c，而通過(guò)傳動(dòng)帶23b或鏈條等部件，所述電機(jī)23a等的驅(qū)動(dòng)力傳遞到所述旋轉(zhuǎn)螺桿23c上并使之轉(zhuǎn)動(dòng)，而所述旋轉(zhuǎn)螺桿23c的旋轉(zhuǎn)又可帶動(dòng)所述支撐部15上下移動(dòng)。本發(fā)明中只說(shuō)明了所述驅(qū)動(dòng)單元23的一個(gè)實(shí)施方式，但只要是能夠使結(jié)合有所述第一傾斜輸送部17及第二傾斜輸送部19的支撐部15上下移動(dòng)的結(jié)構(gòu)均可采用。
本發(fā)明的傾斜誘導(dǎo)裝置25可將所述第一傾斜輸送部17和第二傾斜輸送部19從水平配置狀態(tài)維持在傾斜狀態(tài)，而所述傾斜誘導(dǎo)裝置25可由致動(dòng)器構(gòu)成。所述致動(dòng)器設(shè)置在腔室11或支撐部15的一側(cè)上，并具有可沿水平方向移動(dòng)的掛住部25a。即，所述致動(dòng)器具有可在水平方向上往復(fù)移動(dòng)一段距離的掛住部25a，并可由氣缸等工作。當(dāng)所述掛住部25a在所述致動(dòng)器的作用下移到第一傾斜輸送部17或者第二傾斜輸送部19的下方位置時(shí)，倘若有所述支撐部15下降，則所述第一傾斜輸送部17或者第二傾斜輸送部19鉸接部的相反側(cè)與所述掛住部25a相接觸，而所述第一傾斜輸送部17或第二傾斜輸送部19即可呈現(xiàn)傾斜狀態(tài)，并以?xún)A斜狀態(tài)輸送基板G1(或G2)。本發(fā)明的所述傾斜誘導(dǎo)裝置25的結(jié)構(gòu)，并不限于圖中所示的結(jié)構(gòu)，只要是配置在所述支撐部15上，且能夠使所述第一傾斜輸送部17及第二傾斜輸送部19，從水平狀態(tài)轉(zhuǎn)變成一定傾斜角度的結(jié)構(gòu)均可采用。
下面詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的上述實(shí)施例的動(dòng)作過(guò)程。
首先通過(guò)以下實(shí)施例來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。即，所述基板供給部3被配置成能夠以水平狀態(tài)輸送基板G1的狀態(tài)，且位于能夠以水平狀態(tài)向顯影部1的第一傾斜部17輸送基板G1的位置上，而所述基板輸出部5位于能夠以?xún)A斜狀態(tài)接收從所述顯影裝置1輸出的基板G1(或G2)的位置上(如圖4所示狀態(tài))。
當(dāng)所述基板供給部3以水平狀態(tài)向顯影部1供給基板G1時(shí)，所述第一傾斜輸送部17就以水平狀態(tài)接收基板G1。此時(shí)，電機(jī)17a的驅(qū)動(dòng)力經(jīng)鏈條及鏈輪齒傳遞到輥輪R上并使之轉(zhuǎn)動(dòng)，而在所述輥輪R的轉(zhuǎn)動(dòng)下，所述第一傾斜輸送部17得以接收基板G1。當(dāng)所述基板G1位于所述第一傾斜輸送部17上時(shí)，可通過(guò)控制器(未圖示)控制電機(jī)17a以使其停止，從而，所述基板G1得以被置放在第一傾斜輸送部17上。被輸入的所述基板G1上也可涂敷有顯影液，此時(shí)，所述基板G1可能需要顯影反應(yīng)時(shí)間。而在此時(shí)，驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)單元23中的電機(jī)23a，并通過(guò)傳動(dòng)帶23b及旋轉(zhuǎn)螺桿23c，提升所述支撐部15。據(jù)此，所述支撐部15沿著導(dǎo)引機(jī)構(gòu)21上升，以使第二傾斜輸送部19位于和所述基板供給部3相等高度的位置上。此時(shí)，所述基板供給部3又把另一個(gè)基板G2以水平狀態(tài)輸送到所述第二傾斜輸送部19。所述第二傾斜輸送部19通過(guò)和所述第一傾斜輸送部17的基板輸送方式相同的方式接收基板G2。而在此過(guò)程中，第一基板G1則完成顯影(圖2所示狀態(tài))。
此時(shí)，在控制器的控制下，所述驅(qū)動(dòng)單元23的電機(jī)23a被驅(qū)動(dòng)而使所述支撐部15下降一定距離。并且當(dāng)驅(qū)動(dòng)所述傾斜誘導(dǎo)裝置25時(shí)，掛住部25a向第一傾斜輸送部17的第一鉸接部18相反側(cè)的下方位置移動(dòng)。在此狀態(tài)下，通過(guò)控制所述驅(qū)動(dòng)單元23的電機(jī)23a，使所述支撐部15下降以使所述第一傾斜部17和基板輸出部5保持相同的高度。此時(shí)，所述第一傾斜部17就能夠以第一鉸接部18為中心轉(zhuǎn)動(dòng)而傾斜一定角度。接著，繼續(xù)驅(qū)動(dòng)電機(jī)17a而使輥輪R轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，第一基板G1則在傾斜狀態(tài)下向基板輸出部5方向移動(dòng)。
此外，當(dāng)所述基板G1完全輸出到基板輸出部5一側(cè)時(shí)，驅(qū)動(dòng)所述電機(jī)23a而提升所述支撐部15，并使所述傾斜誘導(dǎo)裝置25的掛住部25a向水平方向移動(dòng)。
此時(shí)，所述第一傾斜部17保持水平配置的狀態(tài)，而此時(shí)再通過(guò)控制所述電機(jī)23a，以使第一傾斜部17下降到和所述基板供給部3保持相同的高度、且可接收新的基板(未圖示)的位置上。此時(shí)，如前所述，第一傾斜部17又從基板供給部3接收另一基板(未圖示)。
接著說(shuō)明向基板輸出部5輸送所述第二傾斜輸送部19上第二基板G2的方法。
使所述傾斜誘導(dǎo)裝置25的掛住部25a移向和所述第二傾斜輸送部19的位置相反的方向。之后通過(guò)控制電機(jī)23a來(lái)使支撐部15上升。當(dāng)然，所述支撐部15在移動(dòng)時(shí)同樣接受導(dǎo)引機(jī)構(gòu)21的導(dǎo)引。而在所述支撐部15上升時(shí)，第二傾斜輸送部19也隨之上升。此時(shí)，通過(guò)控制電機(jī)23a，使所述第二傾斜輸送部19停止在稍高于基板輸出部5高度的位置上。然后，控制所述傾斜誘導(dǎo)裝置25，以使其掛住部25a的前端位于第二傾斜輸送部19的第二鉸接部20相反側(cè)的下方。然后，用控制器控制驅(qū)動(dòng)單元23的電機(jī)23a，使其驅(qū)使支撐部15下降。此時(shí)，所述第二傾斜輸送部19也隨之下降，并以第二鉸接部20為中心轉(zhuǎn)動(dòng)而傾斜。然后，通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)19a來(lái)使所述第二傾斜輸送部19的輥輪R轉(zhuǎn)動(dòng)，從而在傾斜狀態(tài)下將第二基板G2輸送到所述基板輸出部5(如圖3所示狀態(tài))。
綜上，本發(fā)明不僅可以保障基板顯影處理的充分的時(shí)間，還可以縮短總體時(shí)間來(lái)提高生產(chǎn)效率。此外，還可以在傾斜狀態(tài)下輸出基板，從而能夠大幅減少腔室或裝置的安裝空間。
權(quán)利要求
1.一種平面顯示器用基板輸送裝置，其特征在于，包括腔室，其提供用于處理基板的空間；支撐部，其安裝在所述腔室內(nèi)部，且具有預(yù)定的框架結(jié)構(gòu)；多個(gè)傾斜輸送部，其鉸接在所述支撐部上，且安裝有由驅(qū)動(dòng)單元轉(zhuǎn)動(dòng)的輸送輥，并通過(guò)該輸送輥輸送基板；導(dǎo)引機(jī)構(gòu)，其用于引導(dǎo)所述支撐部移動(dòng)；另一驅(qū)動(dòng)單元，其用于使所述支撐部上升或下降；傾斜誘導(dǎo)裝置，其誘導(dǎo)所述傾斜輸送部以鉸接部為中心按預(yù)定角度傾斜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面顯示器用基板輸送裝置，其特征在于所述傾斜輸送部包括鉸接于所述支撐部的第一傾斜輸送部；以及鉸接于所述支撐部在所述第一傾斜輸送部下方位置的第二傾斜輸送部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面顯示器用基板輸送裝置，其特征在于所述傾斜誘導(dǎo)裝置包括桿體，所述桿體可通過(guò)致動(dòng)器移動(dòng)，并由此與所述傾斜輸送部的鉸接部相反側(cè)接觸或者解除該接觸狀態(tài)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種通過(guò)最小的顯影裝置安裝空間來(lái)獲得最高的空間利用率的平面顯示器用基板輸送裝置。本發(fā)明包括腔室，其用于提供基板處理空間；顯影液供給裝置，其安裝在所述腔室內(nèi)，并用于在輸入到腔室的基板上涂敷顯影液；支撐部，其安裝在所述腔室內(nèi)部，并具有一定的框架結(jié)構(gòu)；多個(gè)傾斜輸送部，其鉸接于所述支撐部，且具備由驅(qū)動(dòng)單元轉(zhuǎn)動(dòng)的輸送輥，并通過(guò)該輸送輥輸送基板；導(dǎo)引機(jī)構(gòu)，其用于引導(dǎo)所述支撐部移動(dòng)；另一驅(qū)動(dòng)單元，其用于使所述支撐部上升及下降；傾斜誘導(dǎo)裝置，其誘導(dǎo)所述多個(gè)傾斜輸送部以鉸接部為中心傾斜一定角度。
文檔編號(hào)H01J9/00GK1990363SQ200610160879
公開(kāi)日2007年7月4日 申請(qǐng)日期2006年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月26日
發(fā)明者孫臺(tái)峰, 柳東勛 申請(qǐng)人:顯示器生產(chǎn)服務(wù)株式會(huì)社