專(zhuān)利名稱(chēng)：一種燈絲引出桿絕緣結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種離子注入機(jī)的離子源，特別涉及一種長(zhǎng)壽命離子源的燈絲引出桿絕緣結(jié)構(gòu)，屬于半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)中，要求離子注入機(jī)具有整機(jī)可靠，穩(wěn)定性好、生產(chǎn)效率高、低塵粒污染等功能和特征，而離子注入機(jī)這些性能與離子源使用壽命及可靠穩(wěn)定性密切相關(guān)。在最新研制的長(zhǎng)壽命離子源中，最主要特征是采用間熱式陰極代替?zhèn)鹘y(tǒng)的熱燈絲陰極發(fā)射電子；此種間熱式陰極長(zhǎng)壽命離子源相對(duì)于以往的氟里曼源、貝納斯源等熱燈絲發(fā)射電子型離子源，在結(jié)構(gòu)上相對(duì)復(fù)雜，供電耐壓上除了保留在陰極與弧室之間加150V的陽(yáng)極電壓之外，還需要在加熱燈絲與陰極之間加500V的偏置電壓，因此在燈絲桿與離子源殼體之間的耐壓達(dá)到700V以上，這樣原有的一般貝納斯源燈絲引出桿絕緣結(jié)構(gòu)難以滿(mǎn)足高耐壓要求，離子源工作一段時(shí)間后引起爬電及短路等問(wèn)題；同時(shí)，在最新研制的長(zhǎng)壽命離子源中使用一種新型的燈絲引出桿絕緣結(jié)構(gòu)，此結(jié)構(gòu)要充分考慮燈絲引出桿的絕緣耐壓性，在設(shè)計(jì)上要求綜合考慮結(jié)構(gòu)緊湊性和盡量增加絕緣體爬電距離，同時(shí)考慮燈桿高溫工作時(shí)熱傳導(dǎo)問(wèn)題，解決各部件工作一段時(shí)間后由于高溫?zé)崤蛎浶?yīng)及離子濺射污染導(dǎo)致的耐壓?jiǎn)栴}，以滿(mǎn)足離子源的高可靠性及長(zhǎng)使用壽命要求。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型是針對(duì)現(xiàn)有長(zhǎng)壽命離子源技術(shù)中燈絲引出桿電位高、絕緣體容易受高溫離子濺射而污染的問(wèn)題，采用一種燈絲引出桿絕緣結(jié)構(gòu)，滿(mǎn)足離子源的高可靠性及長(zhǎng)使用壽命要求。
本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)一種燈絲引出桿絕緣結(jié)構(gòu)，在一絕緣塊上固定連接有一燈絲引線(xiàn)銅桿，其間設(shè)有密封圈，在燈絲引線(xiàn)銅桿四周設(shè)有通入冷卻水的燈桿水冷套。
本實(shí)用新型一種燈絲引出桿絕緣結(jié)構(gòu)還可以是所述燈絲引線(xiàn)銅桿為高熱導(dǎo)率的紫銅材料，所述絕緣塊與所述燈絲引線(xiàn)銅桿的固定連接采用在所述燈絲引線(xiàn)銅桿上設(shè)置帶有螺釘絕緣套的固定螺釘與絕緣塊固定連接。
本實(shí)用新型具有如下顯著優(yōu)點(diǎn)1、結(jié)構(gòu)緊湊穩(wěn)定可靠，具有抗熱變形、抗高溫腐蝕性能好特點(diǎn)；2、結(jié)構(gòu)連接操作方便；3、絕緣及防污染爬電性能優(yōu)越，可靠性高。


圖1表示本實(shí)用新型一種燈絲引出桿絕緣結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步介紹，但不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。
如圖1所示，一種燈絲引出桿絕緣結(jié)構(gòu)，在一絕緣塊3上固定連接有一燈絲引線(xiàn)銅桿1，所述燈絲引線(xiàn)銅桿1為高熱導(dǎo)率的紫銅材料。連接燈絲固定桿，并將燈絲電壓及偏置電壓引入；在所述燈絲引線(xiàn)銅桿1和絕緣塊3之間設(shè)有密封圈2以維持離子源真空，在燈絲引線(xiàn)銅桿1四周設(shè)有通入冷卻水的燈桿水冷套4，燈桿水冷套4通水強(qiáng)迫冷卻燈絲引線(xiàn)銅桿1，保持燈絲引線(xiàn)銅桿1正常工作溫度；絕緣塊3一方面耐壓絕緣，另一方面固定連接燈絲引線(xiàn)銅桿1；所述絕緣塊3與所述燈絲引線(xiàn)銅桿1的固定連接采用在所述燈絲引線(xiàn)銅桿1上設(shè)置帶有螺釘絕緣套6的固定螺釘5與絕緣塊3固定連接，螺釘絕緣套6隔離燈絲引線(xiàn)銅桿1與固定螺釘5間電位。
本實(shí)用新型所述燈絲引出桿絕緣結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)連接穩(wěn)定可靠，具有抗熱變形、抗高溫耐腐蝕性能好的特點(diǎn)，同時(shí)結(jié)構(gòu)連接操作方便，絕緣及防污染爬電性能優(yōu)越，可靠性好，保證離子源長(zhǎng)期工作的穩(wěn)定可靠性。
本實(shí)用新型的特定實(shí)施例已對(duì)本實(shí)用新型的內(nèi)容做了詳盡說(shuō)明。對(duì)本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本實(shí)用新型精神的前提下對(duì)它所做的任何顯而易見(jiàn)的改動(dòng)，都構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型專(zhuān)利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求1.一種燈絲引出桿絕緣結(jié)構(gòu)，其特征在于在一絕緣塊(3)上固定連接有一燈絲引線(xiàn)銅桿(1)，其間設(shè)有密封圈(2)，在燈絲引線(xiàn)銅桿(1)四周設(shè)有通入冷卻水的燈桿水冷套(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述燈絲引出桿絕緣結(jié)構(gòu)，其特征在于所述燈絲引線(xiàn)銅桿(1)為高熱導(dǎo)率的紫銅材料。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述燈絲引出桿絕緣結(jié)構(gòu)，其特征在于所述絕緣塊(3)與所述燈絲引線(xiàn)銅桿(1)的固定連接采用在所述燈絲引線(xiàn)銅桿(1)上設(shè)置帶有螺釘絕緣套(6)的固定螺釘(5)與絕緣塊(3)固定連接。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種離子注入機(jī)的離子源，特別涉及一種長(zhǎng)壽命離子源的燈絲引出桿絕緣結(jié)構(gòu)，屬于半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域；針對(duì)現(xiàn)有長(zhǎng)壽命離子源技術(shù)中燈絲引出桿電位高、絕緣體容易受高溫離子濺射而污染的問(wèn)題，提出了一種燈絲引出桿絕緣結(jié)構(gòu)，滿(mǎn)足離子源的高可靠性及長(zhǎng)使用壽命要求，在一絕緣塊3上固定連接有一燈絲引線(xiàn)銅桿1，其間設(shè)有密封圈2，在燈絲引線(xiàn)銅桿1四周設(shè)有通入冷卻水的燈桿水冷套4，結(jié)構(gòu)緊湊穩(wěn)定可靠，具有抗熱變形、抗高溫腐蝕性能好特點(diǎn)；結(jié)構(gòu)連接操作方便；絕緣及防污染爬電性能優(yōu)越，可靠性高。
文檔編號(hào)H01J37/317GK2922114SQ200620113059
公開(kāi)日2007年7月11日 申請(qǐng)日期2006年4月24日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月24日
發(fā)明者伍三忠, 戴習(xí)毛, 唐景庭, 劉仁杰 申請(qǐng)人:北京中科信電子裝備有限公司