專利名稱：工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
碳納米管陰極場(chǎng)致發(fā)射顯示器是一種新型的平板顯示設(shè)備，充分利用了碳納米管的冷場(chǎng)致發(fā)射特性，使用外加電場(chǎng)強(qiáng)度迫使碳納米管尖端發(fā)射電子，而非使用熱能，使得場(chǎng)致發(fā)射電子束的能量分布較窄且具有較高亮度。這種顯示器非常薄、輕，并且功耗低，能夠節(jié)省能源。場(chǎng)致發(fā)射顯示器在每一個(gè)像素點(diǎn)的后面都放置了成千上萬個(gè)電子源，使得場(chǎng)致發(fā)射顯示器能夠把陰極射線管顯示器的明亮清晰與液晶顯示器的輕、薄等優(yōu)點(diǎn)相結(jié)合起來，已經(jīng)成為了目前國(guó)際平板顯示領(lǐng)域的熱門話題。
柵極結(jié)構(gòu)是三極結(jié)構(gòu)場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器中的重要控制元件，它直接決定著碳納米管陰極的電子發(fā)射，具有其它元件所無法替代的功能。在目前大多數(shù)的顯示器件當(dāng)中，都采用了柵極結(jié)構(gòu)位于碳納米管陰極結(jié)構(gòu)上方的控制模式，其優(yōu)越之處就在于柵極結(jié)構(gòu)的控制作用比較顯著，但是柵極電壓居高不下，所形成的柵極電流有些偏大，這是其不利之處，需要進(jìn)一步的改進(jìn)。由于從碳納米管陰極所發(fā)射的電子要經(jīng)過柵極結(jié)構(gòu)中的通道孔之后才能夠高速飛向陽(yáng)極，轟擊熒光粉層而發(fā)出可見光。受到柵極正電壓的影響，部分所經(jīng)過的電子要受到柵極結(jié)構(gòu)的截留，從而形成柵極電流，這也就是柵極電流過于偏大的主要原因。受到具體制作材料的絕緣等級(jí)、制作工藝因素的限制，還不能無限制的將柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)之間的距離縮減太小，否則會(huì)引起電學(xué)擊穿，這也就是柵極結(jié)構(gòu)工作電壓居高不下的主要原因。在實(shí)際器件的制作過程中，需要對(duì)上述不利之處都要進(jìn)行適當(dāng)改進(jìn)。究竟采用何種柵極結(jié)構(gòu)形式，如何進(jìn)一步減小柵極電流，如何降低柵極工作電壓等等，都是急需解決的問題。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對(duì)碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進(jìn)行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點(diǎn)和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，包括由陽(yáng)極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽(yáng)極玻璃面板上的陽(yáng)極導(dǎo)電層以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層、碳納米管以及工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)。
所述的工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極升高層；陰極升高層的上下表面均為平面，覆蓋在柵極引線層的上面；陰極升高層中存在弧形孔，即弧形孔在陰極升高層上表面處的截面為一個(gè)中空的圓型孔，此處的圓型孔的直徑最大，然后依次向圓型孔內(nèi)部凹陷，直到到達(dá)間隔層的下表面位置為止，形成向上凸起的弧形面；間隔層中弧形孔在間隔層下表面的截面也是一個(gè)中空的圓型孔，但其直徑要比上表面處截面圓型孔的直徑?。魂帢O升高層中弧形孔的底部要暴露出柵極引線層；陰極升高層中弧形孔的底部的印刷的絕緣漿料層形成隔離一層；隔離一層要完全覆蓋住弧形孔底部的柵極引線層，兩側(cè)和陰極升高層緊密接觸；隔離一層中間存在一個(gè)小孔，作為柵極延長(zhǎng)線層的通道；隔離一層中小孔中印刷的銀漿形成柵極延長(zhǎng)線層；柵極延長(zhǎng)線層和柵極引線層是相互連通的；隔離一層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離二層；隔離二層的上下表面均為平面，坐落于隔離一層的上面；隔離二層的兩側(cè)要比隔離一層向內(nèi)縮進(jìn)，即隔離二層沒有隔離一層寬；隔離二層的兩側(cè)側(cè)面是垂直于陰極玻璃面板的垂直面；隔離二層中存在一個(gè)小孔，和隔離一層中的小孔是相互連通的，作為柵極延長(zhǎng)線層的通道；隔離二層中小孔中印刷的銀漿層形成柵極延長(zhǎng)線層；陰極升高層上表面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極升高層中弧形孔內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；隔離二層上表面上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層；調(diào)控柵極層大部分都位于隔離二層的上表面上，但是兩端要想陰極導(dǎo)電層方向延伸，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；調(diào)控柵極層和柵極延長(zhǎng)線層是相互連通的；調(diào)控柵極層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住全部的調(diào)控柵極層，包括其懸空部分；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻；調(diào)控柵極層為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向是相互垂直的；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
一種工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)柵極引線層的制作在阻滯層上面制出金屬層，刻蝕形成柵極引線層；4)陰極升高層的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極升高層；5)隔離一層的制作在陰極升高層中弧形孔的底部印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離一層；6)柵極延長(zhǎng)線的制作在隔離一層中間小孔內(nèi)印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極延長(zhǎng)線層；7)隔離二層的制作在隔離一層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離二層；8)柵極延長(zhǎng)線的制作在隔離二層中間小孔內(nèi)印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極延長(zhǎng)線層；與隔離一層中的柵極延長(zhǎng)線層是相通的；9)陰極引線層的制作在陰極升高層上表面上制備出金屬層，刻蝕形成陰極引線層；10)陰極過渡層的制作在陰極升高層弧形孔內(nèi)側(cè)壁上制備出金屬層，刻蝕后形成陰極過渡層；11)陰極導(dǎo)電層的制作在陰極過渡層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；12)調(diào)控柵極層的制作在隔離二層的上表面上制備出金屬層，刻蝕后形成調(diào)控柵極層；13)柵極覆蓋層的制作在調(diào)控柵極層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；14)陰極覆蓋層的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；15)工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；16)碳納米管的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；17)陽(yáng)極玻璃面板的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽(yáng)極玻璃面板；18)陽(yáng)極導(dǎo)電層的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；19)絕緣漿料層的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；20)熒光粉層的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；21)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)和四周玻璃圍框裝配到一起，并將消氣劑放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。
23)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟20具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟21具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟23具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)中，分別制作了柵極引線層和調(diào)控柵極層結(jié)構(gòu)。柵極引線層能夠?qū)⑼饨珉妷簜鬟f到器件內(nèi)部，而調(diào)控柵極層則是能夠把外界電壓轉(zhuǎn)換成碳納米管陰極表面頂端的強(qiáng)大電場(chǎng)強(qiáng)度，迫使碳納米管發(fā)射出大量的電子；柵極引線層和調(diào)控柵極層是通過柵極延長(zhǎng)線層相互連通的。由于調(diào)控柵極層位于碳納米管陰極的旁側(cè)，也就極大地減小了對(duì)碳納米管陰極所發(fā)射的電子束進(jìn)行截留的幾率，從而減小了柵極電流的大小，有助于提高器件的顯示亮度。由于調(diào)控柵極層的末端可以盡可能的接近于碳納米管陰極，從而能夠進(jìn)一步降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓。
其次，在所述的工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)中，將碳納米管陰極制作在了位于弧形面形狀上表面上的陰極導(dǎo)電層的上面。這樣就極大地增加了碳納米管陰極的電子發(fā)射面積，使得更多的碳納米管陰極都參與電子發(fā)射，有助于提高器件的陽(yáng)極工作電流。將柵極結(jié)構(gòu)和陰極結(jié)構(gòu)高度集成到一起，有助于促進(jìn)整體器件的高度集成化發(fā)展；此外，在所述的工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)中，并沒有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進(jìn)一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡(jiǎn)化了器件的制作過程，能夠進(jìn)行大面積的器件制作，有利于進(jìn)行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了帶有工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)發(fā)射結(jié)構(gòu)的、碳納米管場(chǎng)致發(fā)射平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說明，但本發(fā)明不限于這些實(shí)施例。
本發(fā)明包括由陽(yáng)極玻璃面板[15]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[20]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽(yáng)極玻璃面板上有陽(yáng)極導(dǎo)電層[16]以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[18]；在陰極玻璃面板上有柵極引線層[3]、碳納米管[14]以及工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[19]以及消氣劑[21]附屬元件。
所述的工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、阻滯層[2]、柵極引線層[3]、陰極升高層[4]、隔離一層[5]、柵極延長(zhǎng)線層[6]、隔離二層[7]、陰極引線層[8]、陰極過渡層[9]、陰極導(dǎo)電層[10]、調(diào)控柵極層[11]、柵極覆蓋層[12]、陰極覆蓋層[13]和碳納米管[14]部分。
所述的工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極升高層；陰極升高層的上下表面均為平面，覆蓋在柵極引線層的上面；陰極升高層中存在弧形孔，即弧形孔在陰極升高層上表面處的截面為一個(gè)中空的圓型孔，此處的圓型孔的直徑最大，然后依次向圓型孔內(nèi)部凹陷，直到到達(dá)間隔層的下表面位置為止，形成向上凸起的弧形面；間隔層中弧形孔在間隔層下表面的截面也是一個(gè)中空的圓型孔，但其直徑要比上表面處截面圓型孔的直徑小；陰極升高層中弧形孔的底部要暴露出柵極引線層；陰極升高層中弧形孔的底部的印刷的絕緣漿料層形成隔離一層；隔離一層要完全覆蓋住弧形孔底部的柵極引線層，兩側(cè)和陰極升高層緊密接觸；隔離一層中間存在一個(gè)小孔，作為柵極延長(zhǎng)線層的通道；隔離一層中小孔中印刷的銀漿形成柵極延長(zhǎng)線層；柵極延長(zhǎng)線層和柵極引線層是相互連通的；隔離一層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離二層；隔離二層的上下表面均為平面，坐落于隔離一層的上面；隔離二層的兩側(cè)要比隔離一層向內(nèi)縮進(jìn)，即隔離二層沒有隔離一層寬；隔離二層的兩側(cè)側(cè)面是垂直于陰極玻璃面板的垂直面；隔離二層中存在一個(gè)小孔，和隔離一層中的小孔是相互連通的，作為柵極延長(zhǎng)線層的通道；隔離二層中小孔中印刷的銀漿層形成柵極延長(zhǎng)線層；陰極升高層上表面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極升高層中弧形孔內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；隔離二層上表面上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層；調(diào)控柵極層大部分都位于隔離二層的上表面上，但是兩端要想陰極導(dǎo)電層方向延伸，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；調(diào)控柵極層和柵極延長(zhǎng)線層是相互連通的；調(diào)控柵極層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住全部的調(diào)控柵極層，包括其懸空部分；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻；調(diào)控柵極層可以為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向是相互垂直的；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳。
一種帶有工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃劃割，制出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；
3)柵極引線層[3]的制作在阻滯層的上面制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；4)陰極升高層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極升高層；5)隔離一層[5]的制作在陰極升高層中弧形孔的底部印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離一層；6)柵極延長(zhǎng)線[6]的制作在隔離一層中間小孔內(nèi)印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極延長(zhǎng)線層；7)隔離二層[7]的制作在隔離一層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離二層；8)柵極延長(zhǎng)線[6]的制作在隔離二層中間小孔內(nèi)印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極延長(zhǎng)線層；與隔離一層中的柵極延長(zhǎng)線層是相通的；9)陰極引線層[8]的制作在陰極升高層上表面上制備出一個(gè)金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；10)陰極過渡層[9]的制作在陰極升高層弧形孔內(nèi)側(cè)壁上制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成陰極過渡層；11)陰極導(dǎo)電層[10]的制作在陰極過渡層的上面制備出一個(gè)金屬鎳層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；12)調(diào)控柵極層[11]的制作在隔離二層的上表面上制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成調(diào)控柵極層；13)柵極覆蓋層[12]的制作在調(diào)控柵極層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；14)陰極覆蓋層[13]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；15)工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；16)碳納米管[14]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；17)碳納米管的后處理對(duì)碳納米管進(jìn)行后處理，改善場(chǎng)致發(fā)射特性；18)陽(yáng)極玻璃面板[15]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽(yáng)極玻璃面板；19)陽(yáng)極導(dǎo)電層[16]的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；20)絕緣漿料層[17]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；21)熒光粉層[18]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；22)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[19]和四周玻璃圍框[20]裝配到一起，并將消氣劑[21]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；23)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟20具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟21具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟23具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽(yáng)極玻璃面板[15]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[20]所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽(yáng)極玻璃面板上的陽(yáng)極導(dǎo)電層[16]以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[18]；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[19]以及消氣劑附屬元件[21]，其特征在于在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層[3]、碳納米管[14]以及工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的襯底材料鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極升高層；陰極升高層的上下表面均為平面，覆蓋在柵極引線層的上面；陰極升高層中存在弧形孔，即弧形孔在陰極升高層上表面處的截面為一個(gè)中空的圓型孔，此處的圓型孔的直徑最大，然后依次向圓型孔內(nèi)部凹陷，直到到達(dá)間隔層的下表面位置為止，形成向上凸起的弧形面；間隔層中弧形孔在間隔層下表面的截面也是一個(gè)中空的圓型孔，但其直徑要比上表面處截面圓型孔的直徑??；陰極升高層中弧形孔的底部要暴露出柵極引線層；陰極升高層中弧形孔的底部的印刷的絕緣漿料層形成隔離一層；隔離一層要完全覆蓋住弧形孔底部的柵極引線層，兩側(cè)和陰極升高層緊密接觸；隔離一層中間存在一個(gè)小孔，作為柵極延長(zhǎng)線層的通道；隔離一層中小孔中印刷的銀漿形成柵極延長(zhǎng)線層；柵極延長(zhǎng)線層和柵極引線層是相互連通的；隔離一層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離二層；隔離二層的上下表面均為平面，坐落于隔離一層的上面；隔離二層的兩側(cè)要比隔離一層向內(nèi)縮進(jìn)，即隔離二層沒有隔離一層寬；隔離二層的兩側(cè)側(cè)面是垂直于陰極玻璃面板的垂直面；隔離二層中存在一個(gè)小孔，和隔離一層中的小孔是相互連通的，作為柵極延長(zhǎng)線層的通道；隔離二層中小孔中印刷的銀漿層形成柵極延長(zhǎng)線層；陰極升高層上表面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極升高層中弧形孔內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；隔離二層上表面上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層；調(diào)控柵極層大部分都位于隔離二層的上表面上，但是兩端要想陰極導(dǎo)電層方向延伸，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；調(diào)控柵極層和柵極延長(zhǎng)線層是相互連通的；調(diào)控柵極層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住全部的調(diào)控柵極層，包括其懸空部分；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻；調(diào)控柵極層為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向相互垂直；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
4.一種工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對(duì)整體平板玻璃劃割，制出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)柵極引線層[3]的制作在阻滯層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；4)陰極升高層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極升高層；5)隔離一層[5]的制作在陰極升高層中弧形孔的底部印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離一層；6)柵極延長(zhǎng)線[6]的制作在隔離一層中間小孔內(nèi)印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極延長(zhǎng)線層；7)隔離二層[7]的制作在隔離一層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離二層；8)柵極延長(zhǎng)線[6]的制作在隔離二層中間小孔內(nèi)印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極延長(zhǎng)線層；與隔離一層中的柵極延長(zhǎng)線層是相通的；9)陰極引線層[8]的制作在陰極升高層上表面上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；10)陰極過渡層[9]的制作在陰極升高層弧形孔內(nèi)側(cè)壁上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極過渡層；11)陰極導(dǎo)電層[10]的制作在陰極過渡層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；12)調(diào)控柵極層[11]的制作在隔離二層的上表面上制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成調(diào)控柵極層；13)柵極覆蓋層[12]的制作在調(diào)控柵極層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；14)陰極覆蓋層[13]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；15)工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；16)碳納米管[14]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；17)陽(yáng)極玻璃面板[15]的制作對(duì)整體平板玻璃劃割，制出陽(yáng)極玻璃面板；18)陽(yáng)極導(dǎo)電層[16]的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；19)絕緣漿料層[17]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；20)熒光粉層[18]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；21)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[19]和四周玻璃圍框[20]裝配到一起，并將消氣劑[21]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定；22)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟19具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟20具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟22具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下封裝工藝將樣品器件放入烘箱中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陽(yáng)極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽(yáng)極玻璃面板上的陽(yáng)極導(dǎo)電層以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上有柵極引線層、碳納米管以及工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)；能夠進(jìn)一步提高碳納米管陰極的電子發(fā)射面積和電子發(fā)射效率，增強(qiáng)柵極的控制功能，具有制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡(jiǎn)單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01J1/304GK101075540SQ20071005460
公開日2007年11月21日 申請(qǐng)日期2007年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月19日
發(fā)明者李玉魁 申請(qǐng)人:中原工學(xué)院