專利名稱：W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
利用碳納米管作為陰極材料而制作的場(chǎng)致發(fā)射顯示器是一種新發(fā)展起來(lái)的平板顯示器，在亮度、視角、響應(yīng)時(shí)間、工作溫度范圍、能耗等方面具有潛在的優(yōu)勢(shì)。碳納米管具有優(yōu)良的場(chǎng)致發(fā)射性能，發(fā)射電流大且發(fā)射特性穩(wěn)定，使用壽命長(zhǎng)且可靠性高，被認(rèn)為是最有希望的理想場(chǎng)發(fā)射體材料。利用這一原理，進(jìn)行了碳納米管陰極場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器的研制。這種顯示器具有高亮度、高分辨率、高圖像質(zhì)量以及功耗低等特點(diǎn)，已經(jīng)成為了國(guó)際平板顯示領(lǐng)域的熱門話題，并且被認(rèn)為是下一代國(guó)際平板顯示技術(shù)的發(fā)展方向。
為了降低總體器件成本，以便于和常規(guī)的集成驅(qū)動(dòng)電路相聯(lián)系，制作三極結(jié)構(gòu)的場(chǎng)致發(fā)射顯示器已經(jīng)成為了一種必然的選擇。而在三極結(jié)構(gòu)的場(chǎng)致發(fā)射顯示器中，進(jìn)一步降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓就成為了首要的任務(wù)之一。當(dāng)在柵極上施加適當(dāng)電壓以后，就會(huì)在碳納米管陰極表面頂端形成強(qiáng)大的電場(chǎng)強(qiáng)度，迫使碳納米管發(fā)射出大量的電子。要想降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓，一方面可以進(jìn)一步縮減柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)之間的有效距離，從而達(dá)到降低柵極工作電壓的目的；另一方面也可以進(jìn)一步更改碳納米管陰極的形狀，使得能夠在相對(duì)較低的電壓下就能夠發(fā)射出更多的電子，從而間接的也可以降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓。同時(shí)，還要將柵極電壓均勻的施加到碳納米管陰極頂端，以便于提高整體器件的顯示均勻度。那么，在實(shí)際器件的制作過(guò)程中，究竟采取何種柵極結(jié)構(gòu)形式，如何進(jìn)一步增強(qiáng)柵極的控制功能，如何降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓，等等，這些都是需要解決的問(wèn)題。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對(duì)碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進(jìn)行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點(diǎn)和不足而提供一種成本低廉、制作過(guò)程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，包括由陽(yáng)極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽(yáng)極玻璃面板上有陽(yáng)極導(dǎo)電層以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上的熒光粉層；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，在陰極玻璃面板上有柵極引線層、碳納米管以及W型斜面陰極結(jié)構(gòu)。
所述的W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的下表面為平面，要覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層部分；間隔層中存在倒置圓形尖錐孔，即此倒置圓形尖錐孔在隔離層上表面的截面為一個(gè)圓形，從間隔層的上表面開(kāi)始，逐漸向間隔層內(nèi)部?jī)A斜，其直徑越來(lái)越小，直至到達(dá)間隔層的下表面位置為止，也就是說(shuō)，斜面孔的內(nèi)側(cè)壁類似于一個(gè)尖角向下的圓形尖錐面；間隔層中倒置圓形尖錐孔的底部要暴露出陰極引線層；間隔層中倒置圓形尖錐孔的內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成陰極延長(zhǎng)線層；陰極延長(zhǎng)線層布滿倒置圓形尖錐孔的大下半部分，并且和底部的陰極引線層是相互連通的；倒置圓形尖錐孔底部的印刷的銀漿層形成提升層；提升層的截面呈現(xiàn)菱形形狀，位于倒置圓形尖錐孔的底部，和陰極延長(zhǎng)線層緊密接觸，也就是說(shuō)，提升層位于倒置圓形尖錐孔的底部，形成一個(gè)尖角向上的小尖圓椎，與陰極延長(zhǎng)線層一起形成一個(gè)截面為W型陰極表面；提升層和陰極延長(zhǎng)線層的表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層要布滿提升層和陰極延長(zhǎng)線層的表面；間隔層上表面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層大部分都覆蓋在間隔層的上表面上，但其前端部分要向倒置圓形尖錐孔內(nèi)部延伸，呈現(xiàn)三段折線型形狀，即先沿著倒置圓形尖錐孔內(nèi)側(cè)壁的斜面延伸，然后向上彎曲，其向上彎曲的傾斜度與提升層斜面的彎曲傾斜度相似；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要完全覆蓋住柵極引線層，包括其前端折線型懸空態(tài)部分；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
所述的W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛；陰極延長(zhǎng)線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻。
一種帶有W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對(duì)整體平板玻璃劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)陰極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)間隔層[4]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；5)陰極延長(zhǎng)線層[5]的制作在間隔層中倒置圓形尖錐孔的內(nèi)側(cè)壁上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極延長(zhǎng)線層；6)提升層[6]的制作在倒置圓形尖錐孔的底部印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升層；7)陰極導(dǎo)電層[7]的制作在提升層和陰極延長(zhǎng)線層的表面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；8)柵極引線層[8]的制作在間隔層的上表面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；9)柵極覆蓋層[9]的制作在柵極引線層上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；10)W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；11)碳納米管[10]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；12)碳納米管的后處理對(duì)碳納米管進(jìn)行后處理，改善場(chǎng)致發(fā)射特性；13)陽(yáng)極玻璃面板[11]的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽(yáng)極玻璃面板；14)陽(yáng)極導(dǎo)電層[12]的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；
15)絕緣漿料層[13]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；16)熒光粉層[14]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；17)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[15]和四周玻璃圍框[16]裝配到一起，并將消氣劑[17]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；18)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟15具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過(guò)烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟16具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟18具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的W型斜面陰極結(jié)構(gòu)中，將碳納米管陰極制備在了呈現(xiàn)W型的陰極導(dǎo)電層上面。這樣，可以極大地增加了參與電子發(fā)射的碳納米管陰極的面積，使得更多的碳納米管陰極都能夠發(fā)射出大量的電子，有利于進(jìn)一步提高整體器件的顯示亮度。此外，還更改了碳納米管陰極的表面形狀，更有利于在較低的柵極電壓就能夠在碳納米管陰極表面頂端形成強(qiáng)大的電場(chǎng)強(qiáng)度，迫使碳納米管陰極發(fā)射出更多的電子；充分利用了邊緣位置能夠發(fā)射大量電子的碳納米管陰極特有現(xiàn)象，有利于提高碳納米管陰極的電子發(fā)射效率。
其次，在所述的W型斜面陰極結(jié)構(gòu)中，制作了三段折線型控制柵極結(jié)構(gòu)。位于間隔層上面的柵極引線層能夠?qū)⑼饨珉妷簜鬟f到器件內(nèi)部，而包括沿著倒置圓形尖錐孔內(nèi)側(cè)壁斜面部分的柵極引線層以及向上彎曲部分的柵極引線層均能夠在W型斜面陰極結(jié)構(gòu)中的碳納米管陰極表面頂端形成強(qiáng)大的電場(chǎng)強(qiáng)度，迫使其發(fā)射出大量的電子。這種柵極結(jié)構(gòu)不僅縮短了柵極-陰極二者之間的距離，有助于降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓，而且還極大地增強(qiáng)了柵極結(jié)構(gòu)的控制作用。將柵極結(jié)構(gòu)和陰極結(jié)構(gòu)高度集成到一起，有助于促進(jìn)整體器件的高度集成化發(fā)展；此外，在所述的W型斜面陰極結(jié)構(gòu)中，并沒(méi)有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒(méi)有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進(jìn)一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡(jiǎn)化了器件的制作過(guò)程，能夠進(jìn)行大面積的器件制作，有利于進(jìn)行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。
圖1給出了W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了帶有W型斜面陰極結(jié)構(gòu)發(fā)射結(jié)構(gòu)的、碳納米管場(chǎng)致發(fā)射平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步說(shuō)明，但本發(fā)明并不局限于這些實(shí)施例。
所述的一種帶有W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽(yáng)極玻璃面板[11]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[16]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽(yáng)極玻璃面板上有陽(yáng)極導(dǎo)電層[12]以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上的熒光粉層[14]；在陰極玻璃面板上有柵極引線層[8]、碳納米管[10]以及W型斜面陰極結(jié)構(gòu)；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[15]以及消氣劑[17]附屬元件。
所述的W型斜面陰極結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、絕緣層[2]、陰極引線層[3]、間隔層[4]、陰極延長(zhǎng)線層[5]、提升層[6]、陰極導(dǎo)電層[7]、柵極引線層[8]、柵極覆蓋層[9]和碳納米管[10]部分。
所述的W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的下表面為平面，要覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層部分；間隔層中存在倒置圓形尖錐孔，即此倒置圓形尖錐孔在隔離層上表面的截面為一個(gè)圓形，從間隔層的上表面開(kāi)始，逐漸向間隔層內(nèi)部?jī)A斜，其直徑越來(lái)越小，直至到達(dá)間隔層的下表面位置為止，也就是說(shuō)，斜面孔的內(nèi)側(cè)壁類似于一個(gè)尖角向下的圓形尖錐面；間隔層中倒置圓形尖錐孔的底部要暴露出陰極引線層；間隔層中倒置圓形尖錐孔的內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成陰極延長(zhǎng)線層；陰極延長(zhǎng)線層布滿倒置圓形尖錐孔的大下半部分，并且和底部的陰極引線層是相互連通的；倒置圓形尖錐孔底部的印刷的銀漿層形成提升層；提升層的截面呈現(xiàn)菱形形狀，位于倒置圓形尖錐孔的底部，和陰極延長(zhǎng)線層緊密接觸，也就是說(shuō)，提升層位于倒置圓形尖錐孔的底部，形成一個(gè)尖角向上的小尖圓椎，與陰極延長(zhǎng)線層一起形成一個(gè)截面為W型陰極表面；提升層和陰極延長(zhǎng)線層的表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層要布滿提升層和陰極延長(zhǎng)線層的表面；間隔層上表面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層大部分都覆蓋在間隔層的上表面上，但其前端部分要向倒置圓形尖錐孔內(nèi)部延伸，呈現(xiàn)三段折線型形狀，即先沿著倒置圓形尖錐孔內(nèi)側(cè)壁的斜面延伸，然后向上彎曲，其向上彎曲的傾斜度與提升層斜面的彎曲傾斜度相似；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要完全覆蓋住柵極引線層，包括其前端折線型懸空態(tài)部分；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
所述的W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛；陰極延長(zhǎng)線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻。
一種帶有W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)陰極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個(gè)金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)間隔層[4]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；5)陰極延長(zhǎng)線層[5]的制作在間隔層中倒置圓形尖錐孔的內(nèi)側(cè)壁上制備出一個(gè)金屬鉬層，刻蝕后形成陰極延長(zhǎng)線層；6)提升層[6]的制作在倒置圓形尖錐孔的底部印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升層；7)陰極導(dǎo)電層[7]的制作在提升層和陰極延長(zhǎng)線層的表面制備出一個(gè)金屬鎳層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；8)柵極引線層[8]的制作在間隔層的上表面制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；9)柵極覆蓋層[9]的制作在柵極引線層上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；10)W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；11)碳納米管[10]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；12)碳納米管的后處理對(duì)碳納米管進(jìn)行后處理，改善場(chǎng)致發(fā)射特性；13)陽(yáng)極玻璃面板[11]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽(yáng)極玻璃面板；14)陽(yáng)極導(dǎo)電層[12]的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；15)絕緣漿料層[13]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；16)熒光粉層[14]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；17)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[15]和四周玻璃圍框[16]裝配到一起，并將消氣劑[17]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；18)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟15具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過(guò)烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟16具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟18具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽(yáng)極玻璃面板[11]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[16]所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽(yáng)極玻璃面板上有陽(yáng)極導(dǎo)電層[12]以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上的熒光粉層[14]；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[15]以及消氣劑附屬元件[17]，其特征在于在陰極玻璃面板上有柵極引線層[8]、碳納米管[10]以及W型斜面陰極結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃或硼硅玻璃，即陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的下表面為平面，要覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層部分；間隔層中存在倒置圓形尖錐孔，即此倒置圓形尖錐孔在隔離層上表面的截面為一個(gè)圓形，從間隔層的上表面開(kāi)始，逐漸向間隔層內(nèi)部?jī)A斜，其直徑越來(lái)越小，直至到達(dá)間隔層的下表面位置為止，也就是說(shuō)，斜面孔的內(nèi)側(cè)壁類似于一個(gè)尖角向下的圓形尖錐面；間隔層中倒置圓形尖錐孔的底部要暴露出陰極引線層；間隔層中倒置圓形尖錐孔的內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成陰極延長(zhǎng)線層；陰極延長(zhǎng)線層布滿倒置圓形尖錐孔的大下半部分，并且和底部的陰極引線層是相互連通的；倒置圓形尖錐孔底部的印刷的銀漿層形成提升層；提升層的截面呈現(xiàn)菱形形狀，位于倒置圓形尖錐孔的底部，和陰極延長(zhǎng)線層緊密接觸，也就是說(shuō)，提升層位于倒置圓形尖錐孔的底部，形成一個(gè)尖角向上的小尖圓椎，與陰極延長(zhǎng)線層一起形成一個(gè)截面為W型陰極表面；提升層和陰極延長(zhǎng)線層的表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層要布滿提升層和陰極延長(zhǎng)線層的表面；間隔層上表面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層大部分都覆蓋在間隔層的上表面上，但其前端部分要向倒置圓形尖錐孔內(nèi)部延伸，呈現(xiàn)三段折線型形狀，即先沿著倒置圓形尖錐孔內(nèi)側(cè)壁的斜面延伸，然后向上彎曲，其向上彎曲的傾斜度與提升層斜面的彎曲傾斜度相似；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要完全覆蓋住柵極引線層，包括其前端折線型懸空態(tài)部分；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛；陰極延長(zhǎng)線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻。
4.一種W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)陰極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)間隔層[4]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；5)陰極延長(zhǎng)線層[5]的制作在間隔層中倒置圓形尖錐孔的內(nèi)側(cè)壁上制備出一個(gè)金屬鉬層，刻蝕后形成陰極延長(zhǎng)線層；6)提升層[6]的制作在倒置圓形尖錐孔的底部印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升層；7)陰極導(dǎo)電層[7]的制作在提升層和陰極延長(zhǎng)線層的表面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；8)柵極引線層[8]的制作在間隔層的上表面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；9)柵極覆蓋層[9]的制作在柵極引線層上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；10)W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；11)碳納米管[10]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；12)陽(yáng)極玻璃面板[11]的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽(yáng)極玻璃面板；13)陽(yáng)極導(dǎo)電層[12]的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；14)絕緣漿料層[13]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；15)熒光粉層[14]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；16)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[15]和四周玻璃圍框[16]裝配到一起，并將消氣劑放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定；17)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟14具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過(guò)烘烤，烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟15具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟17具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種W型斜面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陽(yáng)極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陽(yáng)極玻璃面板上有陽(yáng)極導(dǎo)電層以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上的熒光粉層；在陰極玻璃面板上有柵極引線層、碳納米管以及W型斜面陰極結(jié)構(gòu)；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃而板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，能夠提高碳納米管陰極的電子發(fā)射效率和電子發(fā)射數(shù)量，進(jìn)一步降低柵極的工作電壓，有助于提高整體器件的顯示亮度，具有制作過(guò)程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡(jiǎn)單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01J31/15GK101071733SQ20071005461
公開(kāi)日2007年11月14日 申請(qǐng)日期2007年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月19日
發(fā)明者李玉魁 申請(qǐng)人:中原工學(xué)院