專利名稱：側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
顯示器是信息顯示技術(shù)中重要的輸出設(shè)備，它的作用是將發(fā)出的電信號經(jīng)過一系列處理后轉(zhuǎn)換成光信號，并最終將以文字、圖像的形式顯示出來。在眾多的平板顯示器件中，碳納米管陰極場致發(fā)射顯示器是一種新型平面器件，具有高亮度、高清晰度、功耗低以及高顯示圖像質(zhì)量等諸多優(yōu)點，引起了科研人員的高度重視。利用外加電壓的控制作用，迫使碳納米管陰極發(fā)射出大量的電子；所發(fā)射的電子以更高的速度對陽極的熒光粉層進行轟擊，從而產(chǎn)生可見光。
為了降低總體器件成本，以便于和常規(guī)的集成驅(qū)動電路相聯(lián)系，制作三極結(jié)構(gòu)的場致發(fā)射平板顯示器已經(jīng)成為一種必然選擇。于是，控制柵極結(jié)構(gòu)也就應(yīng)運而生。依靠柵極結(jié)構(gòu)和陰極結(jié)構(gòu)的近距離作用，從而使得讓碳納米管發(fā)射電子所需要的柵極電壓得到了極大的降低，已經(jīng)遠遠小于陽極結(jié)構(gòu)的工作電壓。但是，在目前所制作的大多數(shù)碳納米管陰極場致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，盡管所報道的柵極電壓在數(shù)值上都有了較大的進步，但離和常規(guī)的集成驅(qū)動電路相聯(lián)系還有一段很長的距離，目前的器件柵極工作電壓還遠遠高于集成電路所能夠承受的電壓。因此進一步降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓就成為必須克服的但不容易解決的課題。此外，碳納米管陰極的宏觀表面形狀也會對其頂端的電場強度有著不可忽視的影響，也能從間接角度上來降低柵極工作電壓，減小柵極電流。因此在實際器件制作過程中，如何來降低柵極電壓，如何提高碳納米管陰極的電子發(fā)射效率，如何增大碳納米管陰極的電子發(fā)射面積，是急需解決的現(xiàn)實問題。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡單的帶有一種側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的器件制作及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；在陰極玻璃面板上有陰極引線層、碳納米管以及側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件。
所述的側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極升高一層；柵極升高一層呈現(xiàn)一個圓臺面型形狀，即柵極升高一層的底面為圓盤面型形狀，其直徑最大，柵極升高一層的上頂面也為圓盤面型形狀，其直徑要比下底面的直徑小，柵極升高一層的側(cè)面形成一個傾斜面；柵極升高一層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極升高二層；柵極升高二層呈現(xiàn)倒置的圓臺面型形狀，即柵極升高二層的上表面為圓盤面型形狀，下表面也為圓盤面型形狀，下表面的圓盤面型形狀直徑要小于上表面圓盤面型形狀的直徑，側(cè)面形成略向內(nèi)凹陷的弧形面；柵極升高二層坐落于柵極升高一層的上面，柵極升高二層的下表面和柵極升高一層的上表面緊密接觸；柵極升高二層的側(cè)面以及柵極升高一層的上表面上的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層布滿柵極升高一層的上表面以及柵極升高二層的側(cè)面，在柵極升高二層的上頂面沒有柵極管制層；柵極管制層和底部的柵極引線層是相互連通的；柵極升高二層上頂面的以及柵極管制層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層要完全覆蓋住柵極升高二層的上頂面、柵極管制層的表面、柵極引線層以及空余的絕緣層部分；間隔層的上表面為平面，間隔層中存在中空倒置圓臺孔，環(huán)繞在柵極管制層的周圍；間隔層中空倒置圓臺孔的下底面為平面，其平面高度要高于柵極升高一層的上表面高度；中空倒置圓臺孔在間隔層上表面的截面為中空的圓型面，此處的直徑要大于中空倒置圓臺孔下表面的直徑，其側(cè)面形成一個傾斜面；間隔層的高度不能超過柵極升高二層的高度；間隔層中空倒置圓臺孔的底面和側(cè)面上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；間隔層上表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層、陰極過渡層和陰極導(dǎo)電層都是相互連通的；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極管制層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向是相互垂直的；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳。
一種側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，工藝如下
1)陰極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)柵極引線層的制作在絕緣層的上面制出金屬層，刻蝕形成柵極引線層；4)柵極升高一層的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極升高一層；5)柵極升高二層的制作在柵極升高一層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極升高二層；6)柵極管制層的制作在柵極升高二層的側(cè)面以及柵極升高一層的上表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極管制層；7)間隔層[7]的制作在柵極升高二層的上頂面、柵極管制層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；8)陰極過渡層的制作在間隔層中空倒置圓臺孔的底面和側(cè)面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極過渡層；9)陰極導(dǎo)電層的制作在陰極過渡層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；10)陰極引線層的制作在間隔層上表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；11)陰極覆蓋層的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；12)側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；13)碳納米管的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；
14)陽極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；15)陽極導(dǎo)電層的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；16)絕緣漿料層的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；17)熒光粉層的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；18)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)和四周玻璃圍框[18]裝配到一起，將消氣劑放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定；20)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟17具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟19具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)中，將碳納米管制備在了陰極導(dǎo)電層的上面，而陰極導(dǎo)電層則是制作在了中空倒置圓臺面的內(nèi)表面上。增加了碳納米管陰極的電子發(fā)射面積，使得更多的碳納米管陰極都能夠發(fā)射出大量的電子，有助于提高器件的顯示圖像質(zhì)量；將柵極結(jié)構(gòu)和陰極結(jié)構(gòu)高度集成到一起，有助于促進整體器件的高度集成化發(fā)展。
其次，在所述的側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)中，制作了中心柵極控制結(jié)構(gòu)，即將碳納米管陰極環(huán)繞在柵極結(jié)構(gòu)的周圍。當(dāng)在柵極上施加適當(dāng)電壓以后，就會在碳納米管陰極表面頂端形成強大的電場強度，迫使碳納米管發(fā)射出大量的電子，體現(xiàn)了柵極結(jié)構(gòu)的強有力控制功能。由于柵極結(jié)構(gòu)被間隔層所覆蓋，不能夠?qū)奶技{米管陰極所發(fā)射的電子束進行截留，減小了柵極電流；柵極結(jié)構(gòu)呈現(xiàn)弧形形狀，能夠從碳納米管陰極的側(cè)面和底面均勻的將外界電壓施加給碳納米管陰極，確保整體器件發(fā)光的均勻性和穩(wěn)定性。
此外，在所述的側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)中，并沒有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡化了器件的制作過程，能夠進行大面積的器件制作，有利于進行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了帶有側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的、碳納米管場致發(fā)射平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明，但并不局限于這些實施例。
所述的一種帶有側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[13]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[18]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層[14]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[16]；在陰極玻璃面板上有陰極引線層[10]、碳納米管[12]以及側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[17]以及消氣劑[19]附屬元件。
所述的側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、絕緣層[2]、柵極引線層[3]、柵極升高一層[4]、柵極升高二層[5]、柵極管制層[6]、間隔層[7]、陰極過渡層[8]、陰極導(dǎo)電層[9]、陰極引線層[10]、陰極覆蓋層[11]和碳納米管[12]部分。
所述的側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極升高一層；柵極升高一層呈現(xiàn)一個圓臺面型形狀，即柵極升高一層的底面為圓盤面型形狀，其直徑最大，柵極升高一層的上頂面也為圓盤面型形狀，其直徑要比下底面的直徑小，柵極升高一層的側(cè)面形成一個傾斜面；柵極升高一層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極升高二層；柵極升高二層呈現(xiàn)倒置的圓臺面型形狀，即柵極升高二層的上表面為圓盤面型形狀，下表面也為圓盤面型形狀，下表面的圓盤面型形狀直徑要小于上表面圓盤面型形狀的直徑，側(cè)面形成略向內(nèi)凹陷的弧形面；柵極升高二層坐落于柵極升高一層的上面，柵極升高二層的下表面和柵極升高一層的上表面緊密接觸；柵極升高二層的側(cè)面以及柵極升高一層的上表面上的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層布滿柵極升高一層的上表面以及柵極升高二層的側(cè)面，在柵極升高二層的上頂面沒有柵極管制層；柵極管制層和底部的柵極引線層是相互連通的；柵極升高二層上頂面的以及柵極管制層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層要完全覆蓋住柵極升高二層的上頂面、柵極管制層的表面、柵極引線層以及空余的絕緣層部分；間隔層的上表面為平面，間隔層中存在中空倒置圓臺孔，環(huán)繞在柵極管制層的周圍；間隔層中空倒置圓臺孔的下底面為平面，其平面高度要高于柵極升高一層的上表面高度；中空倒置圓臺孔在間隔層上表面的截面為中空的圓型面，此處的直徑要大于中空倒置圓臺孔下表面的直徑，其側(cè)面形成一個傾斜面；間隔層的高度不能超過柵極升高二層的高度；間隔層中空倒置圓臺孔的底面和側(cè)面上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；間隔層上表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層、陰極過渡層和陰極導(dǎo)電層都是相互連通的；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極管制層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向相互垂直；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
一種側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)柵極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；4)柵極升高一層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極升高一層；5)柵極升高二層[5]的制作在柵極升高一層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極升高二層；6)柵極管制層[6]的制作在柵極升高二層的側(cè)面以及柵極升高一層的上表面上制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成柵極管制層；7)間隔層[7]的制作在柵極升高二層的上頂面、柵極管制層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；8)陰極過渡層[8]的制作在間隔層中空倒置圓臺孔的底面和側(cè)面上制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極過渡層；9)陰極導(dǎo)電層[9]的制作在陰極過渡層的上面制備出一個金屬鈷層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；10)陰極引線層[10]的制作在間隔層上表面上制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；11)陰極覆蓋層[11]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；12)側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；13)碳納米管[12]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；14)碳納米管的后處理對碳納米管進行后處理，改善場致發(fā)射特性；15)陽極玻璃面板[13]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；16)陽極導(dǎo)電層[14]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；17)絕緣漿料層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；18)熒光粉層[16]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；19)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[17]和四周玻璃圍框[18]裝配到一起，并將消氣劑[19]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點玻璃粉，用夾子固定；20)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟17具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟18具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟20具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[13]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[18]構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層[14]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[16]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[17]以及消氣劑附屬元件[19]；其特征在于在陰極玻璃面板上設(shè)置有陰極引線層[10]、碳納米管[12]以及側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極升高一層；柵極升高一層呈現(xiàn)一個圓臺面型形狀，即柵極升高一層的底面為圓盤面型形狀，其直徑最大，柵極升高一層的上頂面也為圓盤面型形狀，其直徑要比下底面的直徑小，柵極升高一層的側(cè)面形成一個傾斜面；柵極升高一層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極升高二層；柵極升高二層呈現(xiàn)倒置的圓臺面型形狀，即柵極升高二層的上表面為圓盤面型形狀，下表面也為圓盤面型形狀，下表面的圓盤面型形狀直徑要小于上表面圓盤面型形狀的直徑，側(cè)面形成略向內(nèi)凹陷的弧形面；柵極升高二層坐落于柵極升高一層的上面，柵極升高二層的下表面和柵極升高一層的上表面緊密接觸；柵極升高二層的側(cè)面以及柵極升高一層的上表面上的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層布滿柵極升高一層的上表面以及柵極升高二層的側(cè)面，在柵極升高二層的上頂面沒有柵極管制層；柵極管制層和底部的柵極引線層是相互連通的；柵極升高二層上頂面的以及柵極管制層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層要完全覆蓋住柵極升高二層的上頂面、柵極管制層的表面、柵極引線層以及空余的絕緣層部分；間隔層的上表面為平面，間隔層中存在中空倒置圓臺孔，環(huán)繞在柵極管制層的周圍；間隔層中空倒置圓臺孔的下底面為平面，其平面高度要高于柵極升高一層的上表面高度；中空倒置圓臺孔在間隔層上表面的截面為中空的圓型面，此處的直徑要大于中空倒置圓臺孔下表面的直徑，其側(cè)面形成一個傾斜面；間隔層的高度不能超過柵極升高二層的高度；間隔層中空倒置圓臺孔的底面和側(cè)面上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；間隔層上表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層、陰極過渡層和陰極導(dǎo)電層都是相互連通的；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極管制層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向相互垂直；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
4.一種側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃劃割，制出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)柵極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；4)柵極升高一層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極升高一層；5)柵極升高二層[5]的制作在柵極升高一層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極升高二層；6)柵極管制層[6]的制作在柵極升高二層的側(cè)面以及柵極升高一層的上表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極管制層；7)間隔層[7]的制作在柵極升高二層的上頂面、柵極管制層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；8)陰極過渡層[8]的制作在間隔層中空倒置圓臺孔的底面和側(cè)面上制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極過渡層；9)陰極導(dǎo)電層[9]的制作在陰極過渡層的上面制備出金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；10)陰極引線層[10]的制作在間隔層上表面上制備出金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；11)陰極覆蓋層[11]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；12)側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；13)碳納米管[12]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；14)陽極玻璃面板[13]的制作對整體平板玻璃劃割，制出陽極玻璃面板；15)陽極導(dǎo)電層[14]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；16)絕緣漿料層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；17)熒光粉層[16]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；18)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[17]和四周玻璃圍框[18]裝到一起，將消氣劑[19]放入空腔中，用低熔點玻璃粉固定；19)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟17具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟19具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；設(shè)置在陰極玻璃面板上的陰極引線層、碳納米管以及側(cè)柵控圓臺面陰極型發(fā)射結(jié)構(gòu)；能夠進一步提高整體器件的顯示亮度、顯示圖像質(zhì)量以及分辨率；具有制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點。
文檔編號H01J31/15GK101071735SQ200710054618
公開日2007年11月14日 申請日期2007年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月19日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學(xué)院