專利名稱：斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
幾年來顯示器部件正在加快平板化進程，碳納米管陰極場致發(fā)射顯示器則是應(yīng)運而生的一種新型平面顯示設(shè)備，其工作原理與傳統(tǒng)陰極射線管顯示器的原理相似，因此這種顯示器充分保留了陰極射線管顯示器的高清晰顯示圖像質(zhì)量特點，同時還具有超薄型、功耗低、完全平板化、適用溫區(qū)廣以及響應(yīng)速度快等諸多特點，是一種比較理想的下一代平面顯示器。碳納米管具有優(yōu)異的場致發(fā)射電子功能，能在外加電場強度作用下不需要額外的能量就發(fā)射電子，而碳納米管陰極場致發(fā)射顯示器也就是充分利用這一特性而研制成功出來的。
在目前所報道的大多數(shù)碳納米管陰極場致發(fā)射顯示器件中，普遍存在著柵極電壓居高不下、碳納米管陰極的電子有效發(fā)射面積小、柵極-陰極電容效應(yīng)比較突出等缺點。其中碳納米管陰極對于器件顯示圖像質(zhì)量影響作用不可忽視。受到柵極結(jié)構(gòu)的制約，碳納米管陰極的電子發(fā)射面積不可能制作的太大，否則柵極結(jié)構(gòu)也就失去了應(yīng)有的調(diào)控功能；而在相同柵極電壓下，受到調(diào)控而進行電子發(fā)射的碳納米管陰極數(shù)量不是很多，這對于進一步提高器件的顯示亮度是不利的。由于柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)的距離很近，相互表面積又很大，因此柵極-陰極之間的電容效應(yīng)也就凸現(xiàn)出來。如果電容效應(yīng)過大，使得器件的工作頻率則很難得到提高。這些問題都需器件制作人員認(rèn)真地思考并加以解決。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需降低總體器件成本，進行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡單的斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上有柵極引線層、碳納米管以及斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)。
所述的斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，即陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面印刷的絕緣漿料層形成陰極升高層；陰極升高層上下表面均為平面，下表面覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層部分；陰極升高層中存在小圓孔，作為陰極延長線層的通道；陰極升高層中小圓孔內(nèi)的印刷的銀漿層形成陰極延長線層；陰極延長線層和陰極引線層相互連通；陰極升高層上面印刷的絕緣漿料層形成提升一層；提升一層呈現(xiàn)圓柱體型形狀，上下表面均為平面，坐落于陰極升高層的上表面上；提升一層的側(cè)面為垂直于陰極玻璃面板的柱面；提升一層中存在小圓孔，作為陰極延長線層的通道；提升一層中小圓孔內(nèi)印刷的銀漿層形成陰極延長線層；提升一層中的陰極延長線層和陰極升高層中的陰極延長線層相互連通；提升一層側(cè)面上刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層布滿提升一層的整個側(cè)面上；柵極管制層旁側(cè)印刷的絕緣漿料層形成提升二層；提升二層的上下表面均為平面，覆蓋住陰極升高層的上表面；提升二層上表面低于提升一層的上表面；提升一層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升三層；提升三層的上下表面均為平面，提升三層的下表面和提升一層的上表面相接觸，且二者的直徑相同；提升三層中存在小圓孔，作為陰極延長線層的通道；提升三層中小圓孔內(nèi)印刷的銀漿層形成陰極延長線層；提升三層中的陰極延長線層和提升一層中的陰極延長線層是相互連通的；提升三層的側(cè)面為一個斜向半圓形型的凹陷面，從提升三層上表面開始，直至到達提升三層的下表面位置為止；提升三層上表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層布滿提升三層的上表面，且和陰極延長線層相互連通；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；提升二層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和柵極管制層相互連通；柵極引線層上面印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層上下表面均為平面，覆蓋住柵極引線層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層走向和陰極引線層走向相互垂直；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極管制層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻。
一種斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板的制作對整體平板玻璃劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)陰極引線層的制作在絕緣層上面制出金屬層，刻蝕形成陰極引線層；4)陰極升高層的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極升高層；5)陰極延長線層的制作在陰極升高層中小圓孔內(nèi)印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極延長線層；6)提升一層的制作在陰極升高層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升一層；7)柵極延長線層的制作在提升一層中小圓孔內(nèi)印刷銀漿層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極延長線層；8)柵極管制層的制作在提升一層的側(cè)面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極管制層；9)提升二層的制作在柵極管制層的旁側(cè)印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升二層；10)提升三層的制作在提升一層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升三層；11)陰極延長線層的制作在提升三層中小圓孔內(nèi)印刷銀漿層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極延長線層；12)陰極過渡層的制作在提升三層的上表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極過渡層；13)陰極導(dǎo)電層的制作在陰極過渡層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；14)柵極引線層的制作在提升二層上面制出金屬層，刻蝕成柵極引線層；
15)柵極覆蓋層制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；16)斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；17)碳納米管的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；18)陽極玻璃面板的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；19)陽極導(dǎo)電層的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；20)絕緣漿料層的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；21)熒光粉層的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；22)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)和四周玻璃圍框裝配到一起，并將消氣劑放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定；23)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟20具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟21具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟23具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果
首先，在斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)中，將柵極結(jié)構(gòu)制作在碳納米管陰極斜下方，且呈筒型形狀。在柵極結(jié)構(gòu)上施加適當(dāng)電壓以后，會在碳納米管陰極表面頂端形成強大電場強度，使碳納米管發(fā)射出大量電子，體現(xiàn)了柵極結(jié)構(gòu)強有力控制功能。由于柵極結(jié)構(gòu)位于碳納米管陰極下方，不會對碳納米管所發(fā)射的電子束進行截留，減小了柵極電流。在提升三層和提升一層側(cè)面之間制作了一個斜向半圓型凹陷孔結(jié)構(gòu)，有力的避免了柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)之間的相互導(dǎo)通現(xiàn)象的出現(xiàn)，提高了器件制作的成功率，但同時可以通過調(diào)節(jié)凹陷孔的大小，來縮減二者之間的距離，這有助于進一步降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓。
其次，在斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)中，將碳納米管陰極制作在平面陰極導(dǎo)電層上面。增加了碳納米管陰極的電子發(fā)射面積，有助于提高器件的顯示亮度。將陰極引線層通過陰極延長線層和碳納米管陰極相互連通，從而可以將陰極引線層制作的更加遠離柵極引線層，有助于減小柵極-陰極之間的極間電容效應(yīng)。將柵極結(jié)構(gòu)和陰極結(jié)構(gòu)高度集成到一起，有助于促進整體器件的高度集成化發(fā)展。
此外，在斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)中，并沒采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒采用特殊的器件制作工藝，這進一步降低了整體平板顯示器件制作成本，簡化了器件制作過程，能夠進行大面積的器件制作，有利于進行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了帶有斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明，但并不局限于這些實施例。
所述的一種帶有斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[15]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[20]構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層[16]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[18]；在陰極玻璃面板上有柵極引線層[12]、碳納米管[14]以及斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[19]以及消氣劑[21]附屬元件。
所述的斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、絕緣層[2]、陰極引線層[3]、陰極升高層[4]、陰極延長線層[5]、提升一層[6]、柵極管制層[7]、提升二層[8]、提升三層[9]、陰極過渡層[10]、陰極導(dǎo)電層[11]、柵極引線層[12]、柵極覆蓋層[13]和碳納米管[14]部分。
所述的斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極升高層；陰極升高層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層部分；陰極升高層中存在小圓孔，作為陰極延長線層的通道；陰極升高層中小圓孔內(nèi)的印刷的銀漿層形成陰極延長線層；陰極延長線層和陰極引線層是相互連通的；陰極升高層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升一層；提升一層呈現(xiàn)圓柱體型形狀，上下表面均為平面，坐落于陰極升高層的上表面上；提升一層的側(cè)面為垂直于陰極玻璃面板的柱面；提升一層中存在小圓孔，作為陰極延長線層的通道；提升一層中小圓孔內(nèi)印刷的銀漿層形成陰極延長線層；提升一層中的陰極延長線層和陰極升高層中的陰極延長線層是相互連通的；提升一層的側(cè)面上的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層布滿提升一層的整個側(cè)面上；柵極管制層旁側(cè)的印刷的絕緣漿料層形成提升二層；提升二層的上下表面均為平面，要覆蓋住陰極升高層的上表面；提升二層的上表面要低于提升一層的上表面；提升一層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升三層；提升三層的上下表面均為平面，提升三層的下表面和提升一層的上表面相接觸，且二者的直徑相同；提升三層中存在小圓孔，作為陰極延長線層的通道；提升三層中小圓孔內(nèi)印刷的銀漿層形成陰極延長線層；提升三層中的陰極延長線層和提升一層中的陰極延長線層是相互連通的；提升三層的側(cè)面為一個斜向半圓形型的凹陷面，從提升三層的上表面開始，直至到達提升三層的下表面位置為止；提升三層的上表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層布滿提升三層的上表面，且和陰極延長線層是相互連通的；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；提升二層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和柵極管制層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層的上下表面均為平面，要覆蓋住柵極引線層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極管制層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻。
一種斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)陰極引線層[3]的制作在絕緣層上面制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；
4)陰極升高層[4]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極升高層；5)陰極延長線層[5]的制作在陰極升高層中小圓孔內(nèi)印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極延長線層；6)提升一層[6]的制作在陰極升高層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升一層；7)柵極延長線層[5]的制作在提升一層中小圓孔內(nèi)印刷銀漿層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極延長線層；8)柵極管制層[7]的制作在提升一層的側(cè)面上制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成柵極管制層；9)提升二層[8]的制作在柵極管制層的旁側(cè)印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升二層；10)提升三層[9]的制作在提升一層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升三層；11)陰極延長線層[5]的制作在提升三層中小圓孔內(nèi)印刷銀漿層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極延長線層；12)陰極過渡層[10]的制作在提升三層的上表面上制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極過渡層；13)陰極導(dǎo)電層[11]的制作在陰極過渡層的上面制備出一個金屬鎳層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；14)柵極引線層[12]的制作在提升二層的上面制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；15)柵極覆蓋層[13]制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；16)斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；17)碳納米管[14]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；18)碳納米管的后處理對碳納米管進行后處理，改善場致發(fā)射特性；19)陽極玻璃面板[15]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；20)陽極導(dǎo)電層[16]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；21)絕緣漿料層[17]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；22)熒光粉層[18]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；23)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[19]和四周玻璃圍框[20]裝配到一起，并將消氣劑[21]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點玻璃粉，用夾子固定；24)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟21具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟22具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟24具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[15]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[20]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層[16]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[18]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[19]以及消氣劑[21]附屬元件，其特征在于在陰極玻璃面板上有柵極引線層[12]、碳納米管[14]以及斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，即陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面刻蝕后金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面印刷的絕緣漿料層形成陰極升高層；陰極升高層上下表面均為平面，下表面覆蓋陰極引線層以及空余的絕緣層部分；陰極升高層中存在小圓孔，作為陰極延長線層的通道；陰極升高層中小圓孔內(nèi)印刷的銀漿層形成陰極延長線層；陰極延長線層和陰極引線層相互連通；陰極升高層上面印刷的絕緣漿料層形成提升一層；提升一層呈現(xiàn)圓柱體型形狀，上下表面均為平面，坐落于陰極升高層上表面上；提升一層側(cè)面為垂直于陰極玻璃面板的柱面；提升一層中存在小圓孔，作為陰極延長線層的通道；提升一層中小圓孔內(nèi)印刷的銀漿層形成陰極延長線層；提升一層中的陰極延長線層和陰極升高層中的陰極延長線層相互連通；提升一層的側(cè)面上的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層布滿提升一層的整個側(cè)面上；柵極管制層旁側(cè)的印刷的絕緣漿料層形成提升二層；提升二層的上下表面均為平面，覆蓋住陰極升高層的上表面；提升二層的上表面低于提升一層的上表面；提升一層上面印刷的絕緣漿料層形成提升三層；提升三層的上下表面均為平面，提升三層下表面和提升一層上表面相接觸，且二者直徑相同；提升三層中存在小圓孔，作為陰極延長線層的通道；提升三層中小圓孔內(nèi)印刷的銀漿層形成陰極延長線層；提升三層中陰極延長線層和提升一層中的陰極延長線層相互連通；提升三層的側(cè)面為一個斜向半圓形型的凹陷面，從提升三層的上表面開始，直至到達提升三層的下表面位置為止；提升三層的上表面上刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層布滿提升三層的上表面，且和陰極延長線層相互連通；陰極過渡層上面刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；提升二層上面刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和柵極管制層相互連通；柵極引線層上面印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層上下表面均為平面，覆蓋柵極引線層；碳納米管制在陰極導(dǎo)電層上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層的走向和陰極引線層走向相互垂直；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極管制層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻。
4.一種斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃劃割，制出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)陰極引線層[3]的制作在絕緣層上制金屬層，刻蝕形成陰極引線層；4)陰極升高層[4]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極升高層；5)陰極延長線層[5]的制作在陰極升高層中小圓孔內(nèi)印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極延長線層；6)提升一層[6]的制作在陰極升高層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升一層；7)柵極延長線層[5]的制作在提升一層中小圓孔內(nèi)印刷銀漿層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極延長線層；8)柵極管制層[7]的制作在提升一層側(cè)面上制出金屬層，刻蝕形成柵極管制層；9)提升二層[8]的制作在柵極管制層的旁側(cè)印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升二層；10)提升三層[9]的制作在提升一層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升三層；11)陰極延長線層[5]的制作在提升三層中小圓孔內(nèi)印刷銀漿層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極延長線層；12)陰極過渡層[10]的制作在提升三層的上表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極過渡層；13)陰極導(dǎo)電層[11]的制作在陰極過渡層上面制出金屬層，刻蝕形成陰極導(dǎo)電層；14)柵極引線層[12]的制作在提升二層上面制備金屬層，刻蝕形成柵極引線層；15)柵極覆蓋層[13]制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；16)斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；17)碳納米管[14]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；18)陽極玻璃面板[15]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；19)陽極導(dǎo)電層[16]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；20)絕緣漿料層[17]的制作在陽極導(dǎo)電層非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；21)熒光粉層[18]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；22)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[19]和四周玻璃圍框[20]裝到一起，將消氣劑[21]放入空腔中，用低熔點玻璃粉固定；23)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟20具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟21具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟23具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；在陰極玻璃面板上有柵極引線層、碳納米管以及斜下柵控平陰極結(jié)構(gòu)；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，有助于提高整體器件的顯示亮度和分辨率，具有制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點。
文檔編號H01J1/00GK101071737SQ200710054620
公開日2007年11月14日 申請日期2007年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月19日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學(xué)院