專(zhuān)利名稱：同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
碳納米管陰極場(chǎng)致發(fā)射顯示器是一種新型的平面顯示設(shè)備，既具有液晶顯示器一樣的輕而薄，同時(shí)又具備陰極射線管顯示器的高亮度、高對(duì)比度、高分辨率、高響應(yīng)速度以及寬視角的優(yōu)勢(shì)，能量消耗比其它顯示器要低得多，成本也不高，并且無(wú)陰極射線管的電磁輻射和X射線輻射問(wèn)題，是一種理想的下一代顯示設(shè)備。碳納米管又稱巴基管，是一種具有獨(dú)特結(jié)構(gòu)的一維量子材料，能夠在外加電場(chǎng)強(qiáng)度的作用下發(fā)射出大量電子，具有優(yōu)異的冷場(chǎng)致發(fā)射功能，已經(jīng)作為了場(chǎng)致發(fā)射顯示器的優(yōu)良陰極材料。
在目前報(bào)道的大多數(shù)碳納米管陰極場(chǎng)致發(fā)射顯示器中，都采用了柵極結(jié)構(gòu)位于碳納米管陰極結(jié)構(gòu)上方的結(jié)構(gòu)模式，其優(yōu)點(diǎn)是柵極結(jié)構(gòu)的控制作用比較顯著，其它結(jié)構(gòu)顯示器中的柵極調(diào)控作用都不是很強(qiáng)。但這種顯示器缺點(diǎn)也不少，諸如柵極電壓居高不下，碳納米管陰極的電子發(fā)射效率不高，有效發(fā)射面積不大等等，都還需要進(jìn)一步的加以解決。在柵極控制作用方面，在器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的時(shí)候添加一些輔助調(diào)控結(jié)構(gòu)也不失為一個(gè)好辦法；在解決電容效應(yīng)方面，柵極-陰極結(jié)構(gòu)之間的直接電容效應(yīng)以及柵極引線層和陰極引線層之間的旁路電容效應(yīng)等都是值得注意之處，一方面要盡可能的加大距離，有助于減小電容效應(yīng)，另一方面還需要盡可能的減小正對(duì)面積，使之相互交錯(cuò)開(kāi)來(lái)。減小電容效應(yīng)對(duì)于提高器件的工作頻率是非常有益的。因此在實(shí)際器件設(shè)計(jì)和制作過(guò)程中，這些問(wèn)題應(yīng)該認(rèn)真思考和加以解決。
此外在三極結(jié)構(gòu)的平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器件中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對(duì)碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進(jìn)行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點(diǎn)和不足而提供一種成本低廉、制作過(guò)程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，包括由陽(yáng)極玻璃面板、陰極玻璃面板以及四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陽(yáng)極玻璃面板上有陽(yáng)極導(dǎo)電層以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上有柵極引線層、碳納米管以及同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)。
所述的同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，即陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升一層；提升一層呈現(xiàn)圓柱體型形狀，上下表面均為平面，下表面和柵極引線層相互接觸；提升一層側(cè)面上刻蝕后的金屬層形成內(nèi)側(cè)柵極管制層；內(nèi)側(cè)柵極管制層完全覆蓋提升一層的內(nèi)側(cè)面，并和底部的柵極引線層相互連通；內(nèi)側(cè)柵極管制層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升二層；提升二層呈現(xiàn)環(huán)形圓桶型形狀，環(huán)繞在內(nèi)側(cè)柵極管制層的外表面上；提升二層的上下表面均為平面，下表面和柵極引線層相互接觸；提升二層的外側(cè)面上刻蝕后的金屬層形成外側(cè)柵極管制層；外側(cè)柵極管制層也呈圓桶型形狀，與內(nèi)側(cè)柵極管制層具有同一個(gè)中心軸，并且和底部的柵極引線層是相互連通的；外側(cè)柵極管制層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升三層；提升三層要覆蓋住外側(cè)柵極管制層、柵極引線層以及空余的阻滯層部分；提升三層的上下表面均為平面，提升三層、提升二層和提升一層的上表面都是平齊的；提升三層、提升二層和提升一層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔一層；間隔一層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住提升三層、提升二層、提升一層的上表面；間隔一層上表面上刻蝕后的金屬層形成陰極過(guò)渡層；陰極過(guò)渡層呈現(xiàn)圓環(huán)型形狀，位于內(nèi)側(cè)柵極管制層和外側(cè)柵極管制層之間的間隔一層的上面，即在垂直方向上陰極過(guò)渡層位于間隔一層的上表面上，和內(nèi)側(cè)柵極管制層和外側(cè)柵極管制層相互分隔開(kāi)，在水平方向上陰極過(guò)渡層的外直徑要小于外側(cè)柵極管制層的直徑，陰極過(guò)渡層的內(nèi)直徑大于內(nèi)側(cè)柵極管制層的直徑；間隔一層上面印刷的絕緣漿料層形成間隔二層；間隔二層呈現(xiàn)環(huán)形半球型形狀，即間隔二層的縱向截面為半球型，以陰極過(guò)渡層的圓心為中心環(huán)繞在陰極過(guò)渡層的周?chē)?，在垂直方向上位于外?cè)柵極管制層的正上方；陰極過(guò)渡層上面刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；間隔一層和間隔二層上表面上刻蝕后金屬層形成陰極引線層；陰極引線層、陰極過(guò)渡層和陰極導(dǎo)電層都是相互連通的；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；內(nèi)側(cè)柵極管制層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；外側(cè)柵極管制層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向相互垂直；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過(guò)渡層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
一種同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板的制作對(duì)整體平板玻璃劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)柵極引線層的制作在阻滯層上制出金屬層，刻蝕形成柵極引線層；4)提升一層的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升一層；5)內(nèi)側(cè)柵極管制層的制作在提升一層外側(cè)面上制出金屬層，刻蝕形成內(nèi)側(cè)柵極管制層；6)提升二層的制作在內(nèi)側(cè)柵極管制層上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升二層；7)外側(cè)柵極管制層[7]的制作在提升二層的外側(cè)面上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成外側(cè)柵極管制層；8)提升三層的制作在外側(cè)柵極管制層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升三層；9)間隔一層的制作在提升一層、提升二層和提升三層的上表面上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔一層；10)陰極過(guò)渡層的制作在間隔一層上表面上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極過(guò)渡層；11)間隔二層的制作在間隔一層上表面上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔二層；
12)陰極導(dǎo)電層的制作在陰極過(guò)渡層上面制金屬層，刻蝕成陰極導(dǎo)電層；13)陰極引線層[13]的制作在間隔一層和間隔二層的上表面上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；14)陰極覆蓋層[14]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；15)同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；16)碳納米管[15]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；17)陽(yáng)極玻璃面板[16]的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽(yáng)極玻璃面板；18)陽(yáng)極導(dǎo)電層[17]的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；19)絕緣漿料層[18]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；20)熒光粉層[19]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；21)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[20]和四周玻璃圍框[21]裝到一起，將消氣劑[22]放入到空腔中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定；22)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟19具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過(guò)烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟20具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟22具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)中，將同軸桶面型的柵極結(jié)構(gòu)制作在碳納米管陰極下方。當(dāng)在柵極結(jié)構(gòu)上施加適當(dāng)電壓后，通過(guò)柵極引線層將外界電壓傳遞到器件內(nèi)部，并傳導(dǎo)到內(nèi)側(cè)柵極管制層和外側(cè)柵極管制層的上面，從而轉(zhuǎn)換為碳納米管陰極表面頂端的強(qiáng)大電場(chǎng)強(qiáng)度，迫使碳納米管陰極發(fā)射出大量的電子，體現(xiàn)了柵極結(jié)構(gòu)的強(qiáng)有力控制功能。由于內(nèi)側(cè)柵極管制層和外側(cè)柵極管制層同時(shí)在內(nèi)外兩側(cè)對(duì)碳納米管施加電壓影響，增強(qiáng)了柵極控制作用。由于內(nèi)側(cè)柵極管制層和外側(cè)柵極管制層呈現(xiàn)圓桶面型結(jié)構(gòu)，且和碳納米管陰極相互交錯(cuò)開(kāi)，從而能減小了柵極-陰極之間的電容效應(yīng)，提高了器件的工作頻率。
其次，在所述的同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)中，將碳納米管制備在了呈現(xiàn)圓環(huán)型的陰極導(dǎo)電層的上面。這就充分利用了碳納米管陰極中邊緣位置能夠發(fā)射大量電子的特有現(xiàn)象，提高了碳納米管陰極的電子發(fā)射效率。由于制作了半球型的間隔二層，將陰極引線層進(jìn)行抬高，增大了陰極引線層和柵極管制層之間的距離，有助于減小柵極-陰極二者之間的旁路電容效應(yīng)。將柵極結(jié)構(gòu)和陰極結(jié)構(gòu)高度集成到一起，有助于促進(jìn)整體器件的高度集成化發(fā)展。
此外，在所述的同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)中，并沒(méi)有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒(méi)有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進(jìn)一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡(jiǎn)化了器件的制作過(guò)程，能夠進(jìn)行大面積的器件制作，有利于進(jìn)行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2給出了同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了帶有同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明，但并不局限于這些實(shí)施例。
所述的同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽(yáng)極玻璃面板[16]、陰極玻璃面板[1]以及四周玻璃圍框[21]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽(yáng)極玻璃面板上有陽(yáng)極導(dǎo)電層[17]以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[19]；在陰極玻璃面板上有柵極引線層[3]、碳納米管[15]以及同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[20]以及消氣劑[22]附屬元件。
所述的同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、阻滯層[2]、柵極引線層[3]、提升一層[4]、內(nèi)側(cè)柵極管制層[5]、提升二層[6]、外側(cè)柵極管制層[7]、提升三層[8]、間隔一層[9]、陰極過(guò)渡層[10]、間隔二層[11]、陰極導(dǎo)電層[12]、陰極引線層[13]、陰極覆蓋層[14]和碳納米管[15]部分。
所述結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，即陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面印刷的絕緣漿料層形成提升一層；提升一層呈現(xiàn)圓柱體型形狀，上下表面均為平面，下表面和柵極引線層相互接觸；提升一層的側(cè)面上刻蝕后的金屬層形成內(nèi)側(cè)柵極管制層；內(nèi)側(cè)柵極管制層完全覆蓋提升一層的內(nèi)側(cè)面，并和底部的柵極引線層相互連通；內(nèi)側(cè)柵極管制層上面印刷的絕緣漿料層形成提升二層；提升二層呈現(xiàn)環(huán)形圓桶型形狀，環(huán)繞在內(nèi)側(cè)柵極管制層的外表面上；提升二層的上下表面均為平面，下表面和柵極引線層相互接觸；提升二層外側(cè)面上的刻蝕后的金屬層形成外側(cè)柵極管制層；外側(cè)柵極管制層也呈圓桶型形狀，與內(nèi)側(cè)柵極管制層具有同一個(gè)中心軸，并和底部的柵極引線層相互連通；外側(cè)柵極管制層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升三層；提升三層要覆蓋住外側(cè)柵極管制層、柵極引線層以及空余的阻滯層部分；提升三層的上下表面均為平面，提升三層、提升二層和提升一層的上表面平齊；提升三層、提升二層和提升一層上面印刷的絕緣漿料層形成間隔一層；間隔一層的上下表面均為平面，下表面覆蓋住提升三層、提升二層、提升一層的上表面；間隔一層上表面上刻蝕后的金屬層形成陰極過(guò)渡層；陰極過(guò)渡層呈現(xiàn)圓環(huán)型形狀，位于內(nèi)側(cè)柵極管制層和外側(cè)柵極管制層之間的間隔一層的上面，即在垂直方向上陰極過(guò)渡層位于間隔一層的上表面上，和內(nèi)側(cè)柵極管制層和外側(cè)柵極管制層相互分隔開(kāi)，在水平方向上陰極過(guò)渡層外直徑小于外側(cè)柵極管制層的直徑，陰極過(guò)渡層內(nèi)直徑大于內(nèi)側(cè)柵極管制層的直徑；間隔一層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔二層；間隔二層呈現(xiàn)環(huán)形半球型形狀，即間隔二層的縱向截面為半球型，以陰極過(guò)渡層圓心為中心環(huán)繞在陰極過(guò)渡層的周?chē)?，在垂直方向上位于外?cè)柵極管制層正上方；陰極過(guò)渡層上面刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；間隔一層和間隔二層上表面上刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層、陰極過(guò)渡層和陰極導(dǎo)電層相互連通；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；內(nèi)側(cè)柵極管制層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；外側(cè)柵極管制層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極引線層和柵極引線層走向相互垂直；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過(guò)渡層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
一種同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下
1)陰極玻璃面板[1]的制作對(duì)平板鈉鈣玻璃劃割，制出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)柵極引線層[3]的制作在阻滯層的上面制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；4)提升一層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升一層；5)內(nèi)側(cè)柵極管制層[5]的制作在提升一層的外側(cè)面上制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成內(nèi)側(cè)柵極管制層；6)提升二層[6]的制作在內(nèi)側(cè)柵極管制層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升二層；7)外側(cè)柵極管制層[7]的制作在提升二層的外側(cè)面上制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成外側(cè)柵極管制層；8)提升三層[8]的制作在外側(cè)柵極管制層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升三層；9)間隔一層[9]的制作在提升一層、提升二層和提升三層的上表面上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔一層；10)陰極過(guò)渡層[10]的制作在間隔一層上表面上制備出一個(gè)金屬鉬層，刻蝕后形成陰極過(guò)渡層；11)間隔二層[11]的制作在間隔一層上表面上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔二層；12)陰極導(dǎo)電層[12]的制作在陰極過(guò)渡層上面制出一個(gè)金屬鎳層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；
13)陰極引線層[13]的制作在間隔一層和間隔二層的上表面上制備出一個(gè)金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；14)陰極覆蓋層[14]的制作在陰極引線層上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；15)同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；16)碳納米管[15]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；17)陽(yáng)極玻璃面板[16]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃劃割，制陽(yáng)極玻璃面板；18)陽(yáng)極導(dǎo)電層[17]的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；19)絕緣漿料層[18]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；20)熒光粉層[19]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；21)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[20]和四周玻璃圍框[21]裝配到一起，將消氣劑[22]放入到空腔中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定；22)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟20具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過(guò)烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟21具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟23具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽(yáng)極玻璃面板[16]、陰極玻璃面板[1]以及四周玻璃圍框[21]構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽(yáng)極玻璃面板上的陽(yáng)極導(dǎo)電層[17]以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[19]；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[20]以及消氣劑附屬元件；其特征在于在陰極玻璃面板上有柵極引線層[3]、碳納米管[15]以及同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶有同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，即陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面印刷的絕緣漿料層形成提升一層；提升一層呈現(xiàn)圓柱體型形狀，上下表面均為平面，下表面和柵極引線層相互接觸；提升一層的側(cè)面上刻蝕后的金屬層形成內(nèi)側(cè)柵極管制層；內(nèi)側(cè)柵極管制層完全覆蓋提升一層的內(nèi)側(cè)面，并和底部的柵極引線層相互連通；內(nèi)側(cè)柵極管制層上面印刷的絕緣漿料層形成提升二層；提升二層呈現(xiàn)環(huán)形圓桶型形狀，環(huán)繞在內(nèi)側(cè)柵極管制層的外表面上；提升二層上下表面均為平面，下表面和柵極引線層相互接觸；提升二層的外側(cè)面上刻蝕后的金屬層形成外側(cè)柵極管制層；外側(cè)柵極管制層也呈圓桶型形狀，與內(nèi)側(cè)柵極管制層具有同一個(gè)中心軸，并且和底部的柵極引線層相互連通；外側(cè)柵極管制層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升三層；提升三層要覆蓋住外側(cè)柵極管制層、柵極引線層以及空余的阻滯層部分；提升三層的上下表面均為平面，提升三層、提升二層和提升一層的上表面平齊；提升三層、提升二層和提升一層上面印刷的絕緣漿料層形成間隔一層；間隔一層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住提升三層、提升二層、提升一層的上表面；間隔一層上表面上刻蝕后的金屬層形成陰極過(guò)渡層；陰極過(guò)渡層呈現(xiàn)圓環(huán)型形狀，位于內(nèi)側(cè)柵極管制層和外側(cè)柵極管制層之間的間隔一層的上面，即在垂直方向上陰極過(guò)渡層位于間隔一層的上表面上，和內(nèi)側(cè)柵極管制層和外側(cè)柵極管制層相互分隔開(kāi)，在水平方向上陰極過(guò)渡層的外直徑要小于外側(cè)柵極管制層的直徑，陰極過(guò)渡層的內(nèi)直徑要大于內(nèi)側(cè)柵極管制層的直徑；間隔一層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔二層；間隔二層呈現(xiàn)環(huán)形半球型形狀，即間隔二層的縱向截面為半球型，以陰極過(guò)渡層的圓心為中心環(huán)繞在陰極過(guò)渡層的周?chē)?，在垂直方向上位于外?cè)柵極管制層的正上方；陰極過(guò)渡層上面刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；間隔一層和間隔二層上表面上刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層、陰極過(guò)渡層和陰極導(dǎo)電層相互連通；陰極引線層上面印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；內(nèi)側(cè)柵極管制層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；外側(cè)柵極管制層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向相互垂直；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過(guò)渡層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
4.一種同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對(duì)整體平板玻璃劃割，制出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)柵極引線層[3]的制作在阻滯層上面制金屬層，刻蝕成柵極引線層；4)提升一層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升一層；5)內(nèi)側(cè)柵極管制層[5]的制作在提升一層的外側(cè)面上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成內(nèi)側(cè)柵極管制層；6)提升二層[6]的制作在內(nèi)側(cè)柵極管制層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升二層；7)外側(cè)柵極管制層[7]的制作在提升二層外側(cè)面上制出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成外側(cè)柵極管制層；8)提升三層[8]的制作在外側(cè)柵極管制層上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升三層；9)間隔一層[9]的制作在提升一層、提升二層和提升三層的上表面上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔一層；10)陰極過(guò)渡層[10]的制作在間隔一層上表面上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極過(guò)渡層；11)間隔二層[11]的制作在間隔一層上表面上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔二層；12)陰極導(dǎo)電層[12]的制作在陰極過(guò)渡層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；13)陰極引線層[13]的制作在間隔一層和間隔二層的上表面上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；14)陰極覆蓋層[14]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；15)同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；16)碳納米管[15]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；17)陽(yáng)極玻璃面板[16]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽(yáng)極玻璃面板；18)陽(yáng)極導(dǎo)電層[17]的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；19)絕緣漿料層[18]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；20)熒光粉層[19]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；21)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[20]和四周玻璃圍框[21]裝到一起，將消氣劑[22]放入空腔中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定；22)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟19具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，經(jīng)過(guò)烘烤，烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟20具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟22具體為對(duì)裝配好的器件進(jìn)行封裝將樣品器件放入烘箱中烘烤；放入燒結(jié)爐中燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陽(yáng)極玻璃面板、陰極玻璃面板以及四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陽(yáng)極玻璃面板上有陽(yáng)極導(dǎo)電層以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上有柵極引線層、碳納米管以及同軸桶面型柵控陰極結(jié)構(gòu)；能夠進(jìn)一步降低柵極工作電壓，提高碳納米管陰極的電子發(fā)射效率，具有制作過(guò)程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡(jiǎn)單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01J31/15GK101071739SQ20071005462
公開(kāi)日2007年11月14日 申請(qǐng)日期2007年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月19日
發(fā)明者李玉魁 申請(qǐng)人:中原工學(xué)院